物体の搬送装置
【課題】 コンベヤユニットを用いて薄板状の物体を長い距離を搬送する装置において、ベルトやプーリの交換などのメンテナンスが容易であるコンベヤユニットを提供する。
【解決手段】 物体の搬送装置1において、基台と、基台への着脱が容易であると共に、物体の搬送方向に並んで基台に設置されている複数のコンベヤユニット5とを有する。
【解決手段】 物体の搬送装置1において、基台と、基台への着脱が容易であると共に、物体の搬送方向に並んで基台に設置されている複数のコンベヤユニット5とを有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、物体の搬送装置に係り、特に、物体の搬送方向および物体の幅方向に複数のコンベヤユニットを配置して構成されたものに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、コンベヤの一方の側板を搬送ベルト(ベルト)の取り外しが可能な大きさに形成し、他方の側板を架台(基台)に対して回動可能に連結し、前記一方の側板を前記架台から持ち上げることによって、前記ベルトの交換を容易に行うことができる構成のコンベヤ(コンベヤユニット)が知られている(たとえば、特許文献1参照)。
【特許文献1】特開2002−114351号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
ところで、前記従来のコンベヤユニットを用いて、薄板状のガラス基板を長い距離搬送するとなると、前記従来のコンベヤユニットを、前記ガラス基板の搬送方向に複数並べると共に、上流側のコンベヤユニットから下流側のコンベヤユニットへの前記ガラス基板の乗り継ぎがスムーズに行われるようにするために、前記上流側コンベヤユニットの一部と前記下流側コンベヤユニットの一部とを、前記ガラス基板の搬送方向においてオーバーラップさせる必要がある。
【0004】
また、前記従来のコンベヤユニットを、前記ガラス基板を幅方向にも複数個並べて、前記ガラス基板の幅方向において幅の広い前記ガラス基板を安定した状態で支持し搬送する必要がある。
【0005】
しかし、前記従来のコンベヤユニットを、前述したようにガラス基板の搬送方向および幅方向に並べて配置すると、各コンベヤユニット同士が互いに接近しまたオーバーラップするので、ベルトの交換をする際に、隣に存在しているコンベヤユニットが邪魔になり、ベルトの交換がしにくいという問題がある。
【0006】
なお、前記問題は、ガラス基板以外の薄いワーク等の物体を搬送する場合にも発生する問題であり、また、ベルトの交換のみでなく、他のメンテナンス(たとえば、プーリの交換等)をする場合にも発生する問題である。
【0007】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、メンテナンスが容易である物体の搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
請求項1に記載の発明は、物体の搬送装置において、基台と、前記基台への着脱が容易であると共に、前記物体の搬送方向に並んで前記基台に設置されている複数のコンベヤユニットとを有する物体の搬送装置である。
【0009】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の物体の搬送装置において、前記コンベヤユニットは、前記基台に着脱自在なフレームと、前記フレームの長手方向の一端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第1のプーリと、前記フレームの長手方向の他端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第2のプーリと、前記第1のプーリと前記第2のプーリとに巻き掛けられた第1のベルトと、前記第2のプーリを回転駆動する回転駆動手段とを有するコンベヤユニットである物体の搬送装置である。
【0010】
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の物体の搬送装置において、前記各コンベヤユニットは、前記物体の幅方向で間隔をあけて設けられていると共に、前記物体の流れ方向の上流側に設置された上流側各コンベヤユニットの下流側の部位と、前記物体の流れ方向の下流側に設置された下流側各コンベヤユニットの上流側の部位とが、互いにオーバーラップしている物体の搬送装置である。
【0011】
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の物体の搬送装置において、前記各プーリは、前記フレームの幅方向の一端部側に、オーバーハングして設けられており、前記物体の幅方向で、前記上流側コンベヤユニットのフレームと前記下流側コンベヤユニットのフレームとの間に、前記上流側コンベヤユニットの第1のベルトと前記下流側コンベヤユニットの第1のベルトとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニットと前記下流側コンベヤユニットとが設けられている物体の搬送装置である。
【0012】
請求項5に記載の発明は、請求項2〜請求項4のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、前記回転駆動手段は、前記第2のプーリの回転中心軸と同じ軸を回転中心にして前記第2のプーリといっしょに回転する第3のプーリと、前記基台に対して回転自在な第4のプーリと、前記第3のプーリと前記第4のプーリとの間に巻き掛けられた第2のベルトと、前記第4のプーリを回転駆動するためのアクチュエータとを有する手段である物体の搬送装置である。
【0013】
請求項6に記載の発明は、請求項2〜請求項5のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、前記第1のプーリ、前記第2のプーリと接する側とは反対側の部位である前記第1のベルトの外側部位には、所定の高さの支持体が、前記第1のベルトの長手方向で間隔をあけて複数設けられている物体の搬送装置である。
【0014】
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の物体の搬送装置において、前記第1のプーリと前記第2のプーリとの間で上側に位置している各支持体の先端部が突出するように、前記第1のプーリ、前記第2のプーリおよび前記第1のベルトをカバーで覆ってある物体の搬送装置である。
【0015】
請求項8に記載の発明は、請求項2〜請求項7のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、前記第1のプーリと前記第2のプーリとの間で上側に位置している前記第1のベルトを支持するベルト支持手段を有する物体の搬送装置である。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、物体の搬送装置において、メンテナンスが容易になるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【0017】
図1は、本発明の実施形態に係る物体の搬送装置1の概略構成を示す斜視図である。
【0018】
図2は、物体の搬送装置1の概略構成を示す平面図であり、図1におけるII矢視を示す図である。
【0019】
搬送装置1は、たとえば、LCD用のガラス基板W等の薄板状の物体の搬送装置(以下、単に「搬送装置」という場合がある。)であり、基台3を備えている。
【0020】
前記基台3の上には、前記ガラス基板Wを搬送するために、前記ガラス基板Wの搬送方向(たとえば水平方向の一方向)および前記ガラス基板Wの幅方向に並んで、複数のコンベヤユニット(ユニット化された各ベルトコンベヤユニット)5が設置されている。前記各コンベヤユニット5は、前記基台3へ着脱自在になっていると共に、前記基台3への着脱が容易になっている。
【0021】
なお、説明の便宜のために、前記ガラス基板Wの搬送方向をx軸方向とし、前記ガラス基板Wの幅方向(前記x軸方向に垂直な水平方向)をy軸方向とし、上下方向をz軸方向とする場合がある。
【0022】
次に、前記コンベヤユニット5について詳しく説明する。
【0023】
図3は、コンベヤユニット5の概略構成を示す平面図である。
【0024】
図4は、コンベヤユニット5の概略構成を示す側面図であり、図3におけるIV矢視図である。
【0025】
コンベヤユニット5は、前記基台3に着脱自在な長いフレーム7を備え、このフレーム7の長手方向の一端部側には、第1のプーリ9が設けられている。この第1のプーリ9は、円柱形状に形成され、前記フレーム7に対して回転自在になっている。前記フレーム7の長手方向の他端部側には、第2のプーリ11が設けられている。この第2のプーリ11も、円柱形状に形成され、前記フレーム7に対して回転自在になっている。
【0026】
前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11とには、無端状の帯状体または紐状体で構成されたベルト(たとえば、歯付タイミングベルトや平ベルト)13が巻き掛けられている。
【0027】
また、前記第2のプーリ11は、詳しくは後述する回転駆動手段15によって、矢印AR1の方向に回転駆動するようになっており、前記第2のプーリ11によって、前記第1のプーリ9が矢印AR2の方向に回転駆動し、前記各プーリ9、11の間で上方に位置しているベルト13が、矢印AR3の方向に移動し、このベルト13の上に載置されたガラス基板が搬送されるようになっている。
【0028】
なお、前記第1のプーリ9が前記ガラス基板Wの流れ方向の上流側に位置し、第2のプーリ11が前記ガラス基板Wの流れ方向の下流側に位置するように、前記コンベヤユニット5が前記基台3に設置される。
【0029】
また、図2に示すように、前記各コンベヤユニット5は、前記ガラス基板Wの幅方向(y軸方向)で間隔をあけて設けられている。
【0030】
前記ガラス基板Wの幅方向から眺めると、前記ガラス基板Wの流れ方向の上流側に設置された上流側各コンベヤユニット5Aの下流側(ガラス基板Wの流れ方向の下流側)の部位と、前記ガラス基板Wの流れ方向の下流側に設置された下流側各コンベヤユニット5Bの上流側(ガラス基板Wの流れ方向の上流側)の部位とが、互いにオーバーラップしている。
【0031】
なお、前記ガラス基板Wの幅方向に並んで設けられる上流側各コンベヤユニット5Aは、前記ガラス基板Wの搬送方向においてほぼ同じ位置に設置されており、前記ガラス基板Wの幅方向に並んで設けられる下流側各コンベヤユニット5Bも、前記ガラス基板Wの搬送方向においてほぼ同じ位置に設置されている。
【0032】
前記上流側各コンベヤユニット5Aの幅方向のすきま(前記上流側各コンベヤユニット5Aの間の下流側の空間)に、前記下流側各コンベヤユニット5Bの上流側の部位が入り込んでおり、この入り込んでいるところでは、前記上流側コンベヤユニット5Aと前記下流側コンベヤユニット5Bとが前記ガラス基板Wの幅方向で交互に並んでいる。
【0033】
さらには、前記下流側各コンベヤユニット5Bの第1のプーリ9Bの回転中心軸CL1が、前記上流側各コンベヤユニット5Aの第2のプーリ11Aの回転中心軸CL2よりも、上流側(ガラス基板Wの流れ方向の上流側)に位置している。
【0034】
そして、前記上流側コンベヤユニット5Aにおいてガラス基板Wを支持するベルト13Aの部位(上部で水平方向に延伸している部位)の一部と、前記下流側コンベヤユニット5Bにおいてガラス基板Wを支持するベルト13Bの部位(上部で水平方向に延伸している部位)の一部とが、前記ガラス基板Wの搬送方向でオーバーラップしている。
【0035】
また、図3に示すように、前記各プーリ9、11は、前記フレーム7の幅方向(y軸方向)の一端部側に、オーバーハングして設けられている。
【0036】
さらに、図2に示すように、前記ガラス基板Wの幅方向(y軸方向)で、前記上流側コンベヤユニット5Aのフレーム7と前記下流側コンベヤユニット5Bのフレーム7との間に、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13Aと前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト13Bとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニット5Aと前記下流側コンベヤユニット5Bとが設けられる。
【0037】
また、図4に示すように、コンベヤユニット5には、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11との間で上側に位置しているベルト13を支持するベルト支持手段17が設けられている。
【0038】
具体的には、細長い平坦な上面を備えていると共に、超高分子ポリエチレン(UPE)もしくはポリエーテルエーテルケトン(PEEK)等の素材で構成されたベルト支持部材19によって、ベルト支持手段17が構成されている。
【0039】
前記ベルト支持部材19は、長い長方体状に形成されており、上面21が前記ガラス基板Wの搬送方向に延伸し、かつ、前記上面21が、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ13との間で上側に位置しているベルト13の下面よりもわずかに高い位置にくるように、前記フレーム7に一体的に設置されている。
【0040】
なお、前記上面21が、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ13との間で上側に位置しているベルト13の下面とほぼ同じ高さであってもよい。
【0041】
そして、前記ベルト支持部材19の上面21を、前記ベルト13の下面(前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11との間で上側に位置しているベルト13の下面)に接触させて、前記ベルト13が前記ガラス基板Wの重量や前記ベルト13自身の重量で下方に撓まないようにしている。
【0042】
前記ベルト支持部材19の長手方向の上面21の端部(少なくとも、ベルト13が接触し始める側である第1のプーリ9側の端部)には、面取り20がされている。
【0043】
ここで、前記回転駆動手段15について詳しく説明する。
【0044】
図5は、回転駆動手段15の概略構成を示す図であり、図2におけるVA―VB矢視を示す図である。
【0045】
図6は、回転駆動手段15の概略構成を示す図であり、図2におけるVIA―VIB矢視を示す図である。
【0046】
前記回転駆動手段15は、前記第2のプーリ11の回転中心軸CL2と同じ軸を回転中心にして前記第2のプーリ11といっしょに回転する第3のプーリ23と、前記基台3に対して回転自在な第4のプーリ25と、前記第3のプーリ23と前記第4のプーリ25との間に巻き掛けられたベルト(たとえば、歯付タイミングベルト)27と、前記第4のプーリ25を回転駆動するためのアクチュエータ(たとえば、モータ)29とを備えている。
【0047】
より詳しく説明すると、前記第2のプーリ11を支持している軸部材31の他端部側(前記第2のプーリ11が設けられている側とは反対側)には、前記第3のプーリ23が一体的に設けられている。
【0048】
したがって、上流側の各コンベヤユニット5Aの第3の各プーリ23の回転中心軸CL2は互いに一致している。
【0049】
また、前記基台3の下側には、前記ガラス基板Wの幅方向(y軸方向)に長く延びた板状のベース部材31が設けられている。このベース部材31は、姿勢をほぼ一定に保ったまま前記基台3に対して上下方向(z軸方向)に移動位置決め自在になっている。
【0050】
前記ベース部材31には、前記第3のプーリ23の回転中心軸CL2と平行な軸を回転中心軸にして回転自在な軸部材33が設けられている。この軸部材33は、前記ベース部材31と同様に、前記ガラス基板Wの幅方向に長く延びて設けられていると共に、ピローブロック35等の軸受けを介して、前記ベース部材31に支持され、カップリング37を介して前記29の回転出力軸に連結されている。そして、前記軸部材33は、前記基台3に対して回転駆動するようになっている。
【0051】
前記軸部材33には、第4のプーリ25が複数個一体的に設けられている。前記第4の各プーリ25は、前記ガラス基板Wの幅方向に並べて配置された前記各コンベヤユニット5の第3の各プーリ23の下側で、前記各プーリ23に対応する位置に、前記第3の各プーリ23と同じ数だけ設けられている。
【0052】
また、前記第3の各プーリ23と、前記第4の各プーリ25との間には、ベルト27が巻き掛けられており、前記モータ29で前記軸部材33を回転駆動すると、前記第4の各プーリ25が回転駆動し、前記第3の各プーリ23も回転駆動する。
【0053】
そして、ガラス基板Wの幅方向に並べて配置された前記各コンベヤユニット5の各プーリ9、11が回転し、ガラス基板Wの幅方向に並べて配置された前記各コンベヤユニット5の各ベルト13が移動し、ガラス基板Wを搬送することができるようになっている。
【0054】
また、前記軸部材33は、この長手方向でいくつかに分断され、これらの分断された各箇所が、各カップリング39で接続されている。
【0055】
前記各カップリング39による前記軸部材33の接続を解除すると、前記軸部材33の分断された箇所に隙間が形成され、これらの隙間をベルト(前記第3のプーリ23と前記第4のプーリ25とに巻掛られたベルト)27が通過できるようになっている。
【0056】
前記各隙間をベルト27が通過できることにより、前記第3のプーリ23と前記第4のプーリ25との間に巻き掛けられたベルト27を、前記第3のプーリ23や前記第4のプーリ25を各軸部材31、33から取り外すことなく、容易に取り外して交換することができ、また、基台3に設置されている各コンベヤユニット5の取り外しや交換が容易になる。
【0057】
なお、図6に示すように、上流側各コンベヤユニット5Aの回転駆動手段15と、下流側各コンベヤユニット5Bの回転駆動手段15とは、ガラス基板Wの搬送方向で離れて、個別に設けられている。また、ガラス基板Wの搬送方向に並べて設けられた各コンベヤユニット5A、5B等を、1つのモータで駆動するようにしてもよい。
【0058】
さらに、図7に示すように、第3のプーリ23を削除し、前記ベルト13を、前記第1のプーリ9、前記第2のプーリ11、前記第4のプーリ25に巻き掛けて、各コンベヤユニットを駆動するようにしてもよい。また、各コンベヤユニット毎にモータを設け、各コンベヤユニットを駆動するようにしてもよい。
【0059】
ここで、前記コンベヤユニット5についてさらに詳しく説明する。
【0060】
図8は、コンベヤユニット5の構成を示す平面図であり、図9は、図8におけるIXA―IXB断面を示す図であり、図10は、図8におけるX矢視を示す図であり、図11は、図8におけるXI矢視図であり、図12は、図8におけるXIIA―XIIB断面を示す図である。
【0061】
前記コンベヤユニット5のフレーム7は、本体部41と、第1のプーリ支持部材43と、第2のプーリ支持部材45とを備えている。
【0062】
前記本体部41は、概観が直方体形状に形成されていると共に、引き抜き成型されたことによって、長手方向に伸びた複数の溝を外壁部に備えている。
【0063】
前記第1のプーリ支持部材43は、矩形で板状に形成され、前記本体部41の長手方向の一端部側に基端部側が設置されている。また、前記第1のプーリ支持部材43は、先端部側が前記本体部41よりも突出し、前記先端部側で前記第1のプーリ9を支持していると共に、前記本体部41の長手方向に移動位置決め自在になっている。
【0064】
前記第2のプーリ支持部材45は、矩形で板状に形成され、前記本体部41の長手方向の他端部側に基端部側が設置されている。また、前記第2のプーリ支持部材45は、先端部側が前記本体部41よりも突出し、前記先端部側で前記第2のプーリ11を支持していると共に、前記本体部41の長手方向に移動位置決め自在になっている。
【0065】
そして、前記本体部41の各溝のうちの一部の溝(上側の溝と下側の溝)内を前記ベルト13が通過するようになっている。
【0066】
また、前記本体部41の各溝の他の一部の溝(本体部41の側方に位置する溝)は、開口部の幅が内部の幅よりも小さくなっており、前記他の一部の溝に係合し前記本体部41の長手方向に移動自在なナット(図示せず)と、ボルト等の締結具(図示せず)とを用いて、前記第1のプーリ支持部材43が、移動位置決め自在になっており、同様に、前記第2のプーリ支持部材45も移動自在になっている。
【0067】
また、図8や図9に示すように、前記他の一部の溝に係合し前記本体部41の長手方向に移動自在なナット47とボルト等の締結具49とを用いて、[L]字状のコンベヤユニット支持部材51の一端部側を前記本体部41に一体的に設け、前記コンベヤユニット支持部材51の他端部側を、ボルト等の締結具53を用いて、前記基台3に対して固定することによって、前記コンベヤユニット5が前記基台3に対して着脱自在になっている。
【0068】
なお、前記コンベヤユニット支持部材51を前記基台3に固定するボルト53は、上方向から工具を挿入等してまわすことができるようになっている。
【0069】
また、前記コンベヤユニット支持部材51をプーリ支持部材45に設けてもよい(図8、図11参照)。
【0070】
なお、すでに理解されるように、1つの前記コンベヤユニット5を前記基台3に設置した状態では、前記フレーム7の長手方向が前記ガラス基板Wの搬送方向(x軸方向)に一致し、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11とは、前記ガラス基板Wの搬送方向で互いに離れており、前記第1のプーリ9の回転中心軸CL1と前記第2のプーリ11の回転中心軸CL2とは、前記ガラス基板Wの幅方向(y軸方向)に延伸している。
【0071】
また、たとえば、前記各プーリ9、11が同じ大きさに形成されしかも前記各プーリ9、11の回転中心軸CL1、CL2が同じ高さのところに位置していることにより、前記各プーリ9、11の上端部は、ほぼ同じ高さのところに位置している。
【0072】
そして、前記各プーリ9、11に巻き掛けられたベルト13のうちの上部になる部位(前記各プーリ9、11の各上端部の間で前記ガラス基板Wの搬送方向に延伸している部位)で、前記ガラス基板Wを支持し(より正確には、後述する支持体57でガラス基板を支持し)搬送するようになっている。
【0073】
さらに詳しく説明すると、前記フレーム7の本体部41の幅方向(y軸方向)の一端部であって、ガラス基板Wの流れ方向において上流側の一端部に、前記第1のプーリ支持部材43が設けられている。
【0074】
そして、片持梁で構成された軸部材55が、前記第1のプーリ支持部材43(前記本体部41から突出している第1の支持部材43の部位)から前記本体部41の幅方向の他端部側へ突出して前記プーリ支持部材43に一体的に設けられている。前記軸部材55の先端部側に、前記第1のプーリ9がベアリングを介して回転自在に設けられている。
【0075】
また、前記フレーム7の本体部41の幅方向(y軸方向)の一端部であって、ガラス基板Wの流れ方向において下流側の一端部に前記第2のプーリ支持部材45が設けられている。
【0076】
そして、軸部材31が、前記第2のプーリ支持部材45(前記本体部41から突出している第2の支持部材45の部位)から前記本体部41の幅方向の両側へ突出して設けられている。前記軸部材31は、ベアリングを介して、前記第2のプーリ支持部材45に回転自在になっている。
【0077】
前記軸部材31の一端部(前記本体部41の幅方向の他端部側の一端部)に、前記第2のプーリ11が一体的に設けられており、前記軸部材31の他端部に、前記第3のプーリ23が設けられている。
【0078】
そして、前記上流側のコンベヤユニット5Aの前記フレーム7の本体部41の幅方向の前記他端部側(前記第2のプーリ11が設けられている側)に配置される前記下流側コンベヤユニット5Bは、この下流側コンベヤユニット5Bの第1のプーリ9が前記上流側コンベヤユニット5Aの側を向くように配置される(図2、図4参照)。
【0079】
このように、配置されることにより、前記上流側コンベヤユニット5Aの第2のプーリ11と前記下流側コンベヤユニット5Bの第1のプーリ9とを、ガラス基板Wの幅方向で互いに近づけて配置することが容易になり、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト13とが、前記ガラス基板Wの幅方向で互いに近づくことになる。
【0080】
一方、前記上流側のコンベヤユニット5A(5C)の前記フレーム7の本体部41の幅方向の前記一端部側(前記第2のプーリ11が設けられていない側)に配置される前記下流側コンベヤユニット5B(5D)は、この下流側コンベヤユニット5B(5D)の第1のプーリ9が前記上流側コンベヤユニット5A(5C)とは反対側を向くように配置される(図2参照)。
【0081】
ところで、図8や図9に示すように、前記各プーリ9、11と接する側とは反対側の部位である前記ベルト13の外側部位には、所定の高さの支持体57が、前記ベルト13の長手方向で、たとえばほぼ一定の間隔をあけて複数設けられている。
【0082】
前記各支持体57の概観は、たとえば円柱状に形成されており、先端部が半球状に形成されている。また、前記各コンベヤユニット5が、前記基台3に取り付けられた状態では、前記各支持体57の上端は、1つの水平面上に位置しており、この1つの水平面上に位置している各支持体57の各上端が、搬送されるガラス基板Wに接触し前記ガラス基板Wを支持する。
【0083】
また、前記コンベヤユニット5では、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11との間で上側に位置している各支持体57の先端部が上方に突出するように、前記第1のプーリ9、前記第2のプーリ11および前記ベルト13をカバー59で覆ってある。
【0084】
さらに、前記カバー59内の排気を行う排気手段が設けられている。
【0085】
より詳しく説明すると、図9に示すように、上側に存在しているベルト13が通過している本体部41の上側(上面)の溝と、前記本体部41の側面上側の溝との間には、貫通孔61があけられており、この貫通孔61が通じている一方の溝(前記本体部41の側面の上側の一方の溝)には、蓋63がされている。
【0086】
前記貫通孔61が通じている他方溝(前記本体部41の側面の他方の溝)には、ダクト65が設けられている。
【0087】
また、前記本体部41の上面の溝には、ベルト支持部材19が設けられており、前記本体部41の上面の両側には、帯板状のカバー部材67が所定の間隔をあけて設けられており、前記各カバー部材67の間から、前記ベルト13に設けられた前記支持体57が上方に突出している。
【0088】
また、前記本体部41の下側(下面)の溝内を、下側に存在しているベルト13が通過しており、前記本体部41の下側の溝の下部は、帯板状のカバー部材69で塞がれている。
【0089】
また、図8に示すように、前記本体部41の長手方向の両端部には、前記各プーリ支持部材43、45と協働して前記各プーリ9、11を覆う各カバー部材71、73が設けられている。なお、前記各カバー部材71、73は、前記本体部41の溝(前記ベルト13が通過している各溝、前記ダクト65が設けられている溝、前記蓋63がされている溝)と連通している。
【0090】
そして、前記ダクト65に設けられた吸引口75を、吸引ポンプ等(図示せず)に接続することにより、前記ベルト13が設けられている空間内の空気(前記カバー59内の空気)を効率良く吸引(排気)することができるようになっている。
【0091】
ここで、前記ベルト支持部材19について、さらに詳しく説明する。
【0092】
前述したように、上流側コンベヤユニット5Aと下流側コンベヤユニット5Bとをガラス基板Wの搬送方向でオーバーラップして設けてある。前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト支持部材19の上面の一部と、前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト支持部材19の上面の一部とが互いにオーバーラップするように設けられる。
【0093】
さらに、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト支持部材19の上面の一部と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト支持部材19の上面の一部とが互いにオーバーラップしている区間には、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13に設けられている支持体57が、常に、少なくとも1本存在し、前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト13に設けられている支持体57が、常に、少なくとも1本存在するようになっている。
【0094】
搬送装置1によれば、ガラス基板Wを搬送するために前記ガラス基板Wの搬送方向に並んで基台3に設置される複数のコンベヤユニット5が、前記基台3へ容易に着脱自在になっているので、コンベヤユニット5のメンテナンスを行う際、コンベヤユニット5を基台3から取り外し、広いスペースで容易にメンテナンスを行うことができる。
【0095】
また、コンベヤユニット5のメンテナンスを行う際、それまで使用していたコンベヤユニット5を新しいコンベヤユニット5やメンテナンス済みのコンベヤユニット5に交換することもできるので、メンテナンス時における搬送装置1の停止時間を短くすることができる。
【0096】
また、搬送装置1によれば、コンベヤユニット5が前記ガラス基板Wの搬送方向および幅方向に並べられているので、ガラス基板Wを幅方向で安定した状態で支持しつつ長い距離にわたって搬送することができる。
【0097】
さらに、搬送装置1によれば、コンベヤユニット5の配置を変更することによって、搬送されるガラス基板Wの形態に合致した構成の搬送装置1を容易に実現することができる。
【0098】
また、搬送装置1によれば、第1のプーリ支持部材43、第2のプーリ支持部材45が、本体部41に対して移動位置決め自在になっているので、第1のプーリ9と第2のプーリ11との間に巻き掛けられたベルト13の張力の調整を容易に行うことができると共に、前記ベルト13の交換が容易になっている。
【0099】
また、搬送装置1によれば、ガラス基板Wの搬送方向において、上流側コンベヤユニット5Aの一部と下流側コンベヤユニット5Bの一部とがオーバーラップしているので、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへ、蛇行等することなくスムーズにガラス基板Wが乗り移ることができる。
【0100】
すなわち、ガラス基板Wの剛性が小さい場合、上流側コンベヤユニット5Aと下流側コンベヤユニット5Bとがオーバーラップしていないと、前記上流側コンベヤユニット5Aと前記下流側コンベヤユニット5Bとの間で、前記ガラス基板Wが下方に撓む。
【0101】
そして、前記ガラス基板Wの先端部(搬送方向の先端部)が、前記下流側コンベヤユニット5Bにぶつかり、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへガラス基板Wがスムーズに乗り移ることができなくなる。
【0102】
しかし、前述したように、上流側コンベヤユニット5Aと下流側コンベヤユニット5Bとがオーバーラップしていると、前記上流側コンベヤユニット5Aと前記下流側コンベヤユニット5Bとの間で、前記ガラス基板Wが下方に撓むことを抑制することができ、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへガラス基板Wがスムーズに乗り移ることができる。
【0103】
また、搬送装置1では、前記各プーリ9、11が、前記フレーム7の幅方向の一端部側でオーバーハングして設けられていると共に、前記上流側コンベヤユニット5Aのフレーム7と前記下流側コンベヤユニット5Bのフレーム7との間で(前記ガラス基板Wの幅方向の間で)、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルトとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニット5Aと前記下流側コンベヤユニット5Bとが設けられているので、ガラス基板Wの幅方向における前記ガラス基板Wの撓みが小さい状態で、前記ガラス基板Wが前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bに乗り移ることができる。
【0104】
より詳しく説明すると、ガラス基板Wの搬送方向において上流側コンベヤユニット5Aのベルト13と下流側コンベヤユニット5Bのベルト13とがオーバーラップしているとしても、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト13との間がガラス基板Wの幅方向で離れていると、前記ガラス基板Wの幅方向で前記ガラス基板Wが撓み、前記ガラス基板Wの先端部(搬送方向に先端部)が、前記下流側コンベヤユニット5Bにぶつかり、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへガラス基板Wがスムーズに乗り移ることができなくなる。
【0105】
しかし、前述したように、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト13がガラス基板Wの幅方向で互いに隣接していると、前記ガラス基板Wがこの幅方向で下方に撓むことを抑制することができ、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへ、ガラス基板Wがスムーズに乗り移ることができる。
【0106】
また、搬送装置1によれば、各コンベヤユニット5に第3のプーリ23を設け、前記各第3のプーリ23と第4の各プーリ25とをベルト27を用いて連結し、前記第4の各プーリ25を1つのモータ29で回転駆動しているので、各コンベヤユニット5におけるベルト13の移動速度(第1のプーリ9と第2のプーリ11とに巻き掛けられたベルト13の移動速度)を等しくすることができ、ガラス基板Wをスムーズに搬送することができる。
【0107】
また、搬送装置1によれば、前記第1のプーリ9、前記第2のプーリ11および前記ベルト13をカバー59で覆ってあると共に、前記カバー59内の排気を行う排気手段を有するので、前記ベルト13から出てくる僅かな粉塵の拡散を確実に防止することができ、前記ガラス基板Wの搬送装置1をクリーンルーム等のクリーンな環境下で好適に使用することができる。さらに、コンベヤユニット5がユニット化されているので、前記カバー59を設置しやすくなっている。
【0108】
また、搬送装置1によれば、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11との間で上側に位置しているベルト13を支持するベルト支持手段17を設けて、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11との間で上側に位置しているベルト13が下方に撓まないようにしているので、安定した状態でガラス基板Wを支持し搬送することができる。
【0109】
また、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト支持部材19の上面の一部と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト支持部材19の上面の一部とが互いにオーバーラップしている区間には、常に、前記上流側コンベヤユニット5Aの支持体57と前記下流側コンベヤユニット5Bの支持体57とが存在するようになっているので、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへ、ガラス基板Wがスムーズに乗り移ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0110】
【図1】本発明の実施形態に係る物体の搬送装置の概略構成を示す斜視図である。
【図2】物体の搬送装置の概略構成を示す平面図であり、図1におけるII矢視を示す図である。
【図3】コンベヤユニットの概略構成を示す平面図である。
【図4】コンベヤユニットの概略構成を示す側面図であり、図3におけるIV矢視図である。
【図5】回転駆動手段の概略構成を示す図であり、図2におけるVA―VB矢視を示す図である。
【図6】回転駆動手段の概略構成を示す図であり、図2におけるVIA―VIB矢視を示す図である。
【図7】回転駆動手段の変形例の概略構成を示す図であり、図2におけるVIA―VIB矢視に対応した図である。
【図8】コンベヤユニットの構成を示す平面図である。
【図9】図8におけるIXA―IXB断面を示す図である。
【図10】図8におけるX矢視を示す図である。
【図11】図8におけるXI矢視図である。
【図12】図8におけるXIIA―XIIB断面を示す図である。
【符号の説明】
【0111】
1 搬送装置
3 基台
W ガラス基板
5 コンベヤユニット
5A 上流側コンベヤユニット
5B 下流側コンベヤユニット
7 フレーム
9 第1のプーリ
11 第2のプーリ
13 第1のベルト
15 回転駆動手段
17 ベルト支持手段
23 第3のプーリ
25 第4のプーリ
27 第2のベルト
29 モータ
57 支持体
59 カバー
【技術分野】
【0001】
本発明は、物体の搬送装置に係り、特に、物体の搬送方向および物体の幅方向に複数のコンベヤユニットを配置して構成されたものに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、コンベヤの一方の側板を搬送ベルト(ベルト)の取り外しが可能な大きさに形成し、他方の側板を架台(基台)に対して回動可能に連結し、前記一方の側板を前記架台から持ち上げることによって、前記ベルトの交換を容易に行うことができる構成のコンベヤ(コンベヤユニット)が知られている(たとえば、特許文献1参照)。
【特許文献1】特開2002−114351号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
ところで、前記従来のコンベヤユニットを用いて、薄板状のガラス基板を長い距離搬送するとなると、前記従来のコンベヤユニットを、前記ガラス基板の搬送方向に複数並べると共に、上流側のコンベヤユニットから下流側のコンベヤユニットへの前記ガラス基板の乗り継ぎがスムーズに行われるようにするために、前記上流側コンベヤユニットの一部と前記下流側コンベヤユニットの一部とを、前記ガラス基板の搬送方向においてオーバーラップさせる必要がある。
【0004】
また、前記従来のコンベヤユニットを、前記ガラス基板を幅方向にも複数個並べて、前記ガラス基板の幅方向において幅の広い前記ガラス基板を安定した状態で支持し搬送する必要がある。
【0005】
しかし、前記従来のコンベヤユニットを、前述したようにガラス基板の搬送方向および幅方向に並べて配置すると、各コンベヤユニット同士が互いに接近しまたオーバーラップするので、ベルトの交換をする際に、隣に存在しているコンベヤユニットが邪魔になり、ベルトの交換がしにくいという問題がある。
【0006】
なお、前記問題は、ガラス基板以外の薄いワーク等の物体を搬送する場合にも発生する問題であり、また、ベルトの交換のみでなく、他のメンテナンス(たとえば、プーリの交換等)をする場合にも発生する問題である。
【0007】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、メンテナンスが容易である物体の搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
請求項1に記載の発明は、物体の搬送装置において、基台と、前記基台への着脱が容易であると共に、前記物体の搬送方向に並んで前記基台に設置されている複数のコンベヤユニットとを有する物体の搬送装置である。
【0009】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の物体の搬送装置において、前記コンベヤユニットは、前記基台に着脱自在なフレームと、前記フレームの長手方向の一端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第1のプーリと、前記フレームの長手方向の他端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第2のプーリと、前記第1のプーリと前記第2のプーリとに巻き掛けられた第1のベルトと、前記第2のプーリを回転駆動する回転駆動手段とを有するコンベヤユニットである物体の搬送装置である。
【0010】
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の物体の搬送装置において、前記各コンベヤユニットは、前記物体の幅方向で間隔をあけて設けられていると共に、前記物体の流れ方向の上流側に設置された上流側各コンベヤユニットの下流側の部位と、前記物体の流れ方向の下流側に設置された下流側各コンベヤユニットの上流側の部位とが、互いにオーバーラップしている物体の搬送装置である。
【0011】
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の物体の搬送装置において、前記各プーリは、前記フレームの幅方向の一端部側に、オーバーハングして設けられており、前記物体の幅方向で、前記上流側コンベヤユニットのフレームと前記下流側コンベヤユニットのフレームとの間に、前記上流側コンベヤユニットの第1のベルトと前記下流側コンベヤユニットの第1のベルトとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニットと前記下流側コンベヤユニットとが設けられている物体の搬送装置である。
【0012】
請求項5に記載の発明は、請求項2〜請求項4のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、前記回転駆動手段は、前記第2のプーリの回転中心軸と同じ軸を回転中心にして前記第2のプーリといっしょに回転する第3のプーリと、前記基台に対して回転自在な第4のプーリと、前記第3のプーリと前記第4のプーリとの間に巻き掛けられた第2のベルトと、前記第4のプーリを回転駆動するためのアクチュエータとを有する手段である物体の搬送装置である。
【0013】
請求項6に記載の発明は、請求項2〜請求項5のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、前記第1のプーリ、前記第2のプーリと接する側とは反対側の部位である前記第1のベルトの外側部位には、所定の高さの支持体が、前記第1のベルトの長手方向で間隔をあけて複数設けられている物体の搬送装置である。
【0014】
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の物体の搬送装置において、前記第1のプーリと前記第2のプーリとの間で上側に位置している各支持体の先端部が突出するように、前記第1のプーリ、前記第2のプーリおよび前記第1のベルトをカバーで覆ってある物体の搬送装置である。
【0015】
請求項8に記載の発明は、請求項2〜請求項7のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、前記第1のプーリと前記第2のプーリとの間で上側に位置している前記第1のベルトを支持するベルト支持手段を有する物体の搬送装置である。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、物体の搬送装置において、メンテナンスが容易になるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【0017】
図1は、本発明の実施形態に係る物体の搬送装置1の概略構成を示す斜視図である。
【0018】
図2は、物体の搬送装置1の概略構成を示す平面図であり、図1におけるII矢視を示す図である。
【0019】
搬送装置1は、たとえば、LCD用のガラス基板W等の薄板状の物体の搬送装置(以下、単に「搬送装置」という場合がある。)であり、基台3を備えている。
【0020】
前記基台3の上には、前記ガラス基板Wを搬送するために、前記ガラス基板Wの搬送方向(たとえば水平方向の一方向)および前記ガラス基板Wの幅方向に並んで、複数のコンベヤユニット(ユニット化された各ベルトコンベヤユニット)5が設置されている。前記各コンベヤユニット5は、前記基台3へ着脱自在になっていると共に、前記基台3への着脱が容易になっている。
【0021】
なお、説明の便宜のために、前記ガラス基板Wの搬送方向をx軸方向とし、前記ガラス基板Wの幅方向(前記x軸方向に垂直な水平方向)をy軸方向とし、上下方向をz軸方向とする場合がある。
【0022】
次に、前記コンベヤユニット5について詳しく説明する。
【0023】
図3は、コンベヤユニット5の概略構成を示す平面図である。
【0024】
図4は、コンベヤユニット5の概略構成を示す側面図であり、図3におけるIV矢視図である。
【0025】
コンベヤユニット5は、前記基台3に着脱自在な長いフレーム7を備え、このフレーム7の長手方向の一端部側には、第1のプーリ9が設けられている。この第1のプーリ9は、円柱形状に形成され、前記フレーム7に対して回転自在になっている。前記フレーム7の長手方向の他端部側には、第2のプーリ11が設けられている。この第2のプーリ11も、円柱形状に形成され、前記フレーム7に対して回転自在になっている。
【0026】
前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11とには、無端状の帯状体または紐状体で構成されたベルト(たとえば、歯付タイミングベルトや平ベルト)13が巻き掛けられている。
【0027】
また、前記第2のプーリ11は、詳しくは後述する回転駆動手段15によって、矢印AR1の方向に回転駆動するようになっており、前記第2のプーリ11によって、前記第1のプーリ9が矢印AR2の方向に回転駆動し、前記各プーリ9、11の間で上方に位置しているベルト13が、矢印AR3の方向に移動し、このベルト13の上に載置されたガラス基板が搬送されるようになっている。
【0028】
なお、前記第1のプーリ9が前記ガラス基板Wの流れ方向の上流側に位置し、第2のプーリ11が前記ガラス基板Wの流れ方向の下流側に位置するように、前記コンベヤユニット5が前記基台3に設置される。
【0029】
また、図2に示すように、前記各コンベヤユニット5は、前記ガラス基板Wの幅方向(y軸方向)で間隔をあけて設けられている。
【0030】
前記ガラス基板Wの幅方向から眺めると、前記ガラス基板Wの流れ方向の上流側に設置された上流側各コンベヤユニット5Aの下流側(ガラス基板Wの流れ方向の下流側)の部位と、前記ガラス基板Wの流れ方向の下流側に設置された下流側各コンベヤユニット5Bの上流側(ガラス基板Wの流れ方向の上流側)の部位とが、互いにオーバーラップしている。
【0031】
なお、前記ガラス基板Wの幅方向に並んで設けられる上流側各コンベヤユニット5Aは、前記ガラス基板Wの搬送方向においてほぼ同じ位置に設置されており、前記ガラス基板Wの幅方向に並んで設けられる下流側各コンベヤユニット5Bも、前記ガラス基板Wの搬送方向においてほぼ同じ位置に設置されている。
【0032】
前記上流側各コンベヤユニット5Aの幅方向のすきま(前記上流側各コンベヤユニット5Aの間の下流側の空間)に、前記下流側各コンベヤユニット5Bの上流側の部位が入り込んでおり、この入り込んでいるところでは、前記上流側コンベヤユニット5Aと前記下流側コンベヤユニット5Bとが前記ガラス基板Wの幅方向で交互に並んでいる。
【0033】
さらには、前記下流側各コンベヤユニット5Bの第1のプーリ9Bの回転中心軸CL1が、前記上流側各コンベヤユニット5Aの第2のプーリ11Aの回転中心軸CL2よりも、上流側(ガラス基板Wの流れ方向の上流側)に位置している。
【0034】
そして、前記上流側コンベヤユニット5Aにおいてガラス基板Wを支持するベルト13Aの部位(上部で水平方向に延伸している部位)の一部と、前記下流側コンベヤユニット5Bにおいてガラス基板Wを支持するベルト13Bの部位(上部で水平方向に延伸している部位)の一部とが、前記ガラス基板Wの搬送方向でオーバーラップしている。
【0035】
また、図3に示すように、前記各プーリ9、11は、前記フレーム7の幅方向(y軸方向)の一端部側に、オーバーハングして設けられている。
【0036】
さらに、図2に示すように、前記ガラス基板Wの幅方向(y軸方向)で、前記上流側コンベヤユニット5Aのフレーム7と前記下流側コンベヤユニット5Bのフレーム7との間に、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13Aと前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト13Bとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニット5Aと前記下流側コンベヤユニット5Bとが設けられる。
【0037】
また、図4に示すように、コンベヤユニット5には、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11との間で上側に位置しているベルト13を支持するベルト支持手段17が設けられている。
【0038】
具体的には、細長い平坦な上面を備えていると共に、超高分子ポリエチレン(UPE)もしくはポリエーテルエーテルケトン(PEEK)等の素材で構成されたベルト支持部材19によって、ベルト支持手段17が構成されている。
【0039】
前記ベルト支持部材19は、長い長方体状に形成されており、上面21が前記ガラス基板Wの搬送方向に延伸し、かつ、前記上面21が、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ13との間で上側に位置しているベルト13の下面よりもわずかに高い位置にくるように、前記フレーム7に一体的に設置されている。
【0040】
なお、前記上面21が、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ13との間で上側に位置しているベルト13の下面とほぼ同じ高さであってもよい。
【0041】
そして、前記ベルト支持部材19の上面21を、前記ベルト13の下面(前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11との間で上側に位置しているベルト13の下面)に接触させて、前記ベルト13が前記ガラス基板Wの重量や前記ベルト13自身の重量で下方に撓まないようにしている。
【0042】
前記ベルト支持部材19の長手方向の上面21の端部(少なくとも、ベルト13が接触し始める側である第1のプーリ9側の端部)には、面取り20がされている。
【0043】
ここで、前記回転駆動手段15について詳しく説明する。
【0044】
図5は、回転駆動手段15の概略構成を示す図であり、図2におけるVA―VB矢視を示す図である。
【0045】
図6は、回転駆動手段15の概略構成を示す図であり、図2におけるVIA―VIB矢視を示す図である。
【0046】
前記回転駆動手段15は、前記第2のプーリ11の回転中心軸CL2と同じ軸を回転中心にして前記第2のプーリ11といっしょに回転する第3のプーリ23と、前記基台3に対して回転自在な第4のプーリ25と、前記第3のプーリ23と前記第4のプーリ25との間に巻き掛けられたベルト(たとえば、歯付タイミングベルト)27と、前記第4のプーリ25を回転駆動するためのアクチュエータ(たとえば、モータ)29とを備えている。
【0047】
より詳しく説明すると、前記第2のプーリ11を支持している軸部材31の他端部側(前記第2のプーリ11が設けられている側とは反対側)には、前記第3のプーリ23が一体的に設けられている。
【0048】
したがって、上流側の各コンベヤユニット5Aの第3の各プーリ23の回転中心軸CL2は互いに一致している。
【0049】
また、前記基台3の下側には、前記ガラス基板Wの幅方向(y軸方向)に長く延びた板状のベース部材31が設けられている。このベース部材31は、姿勢をほぼ一定に保ったまま前記基台3に対して上下方向(z軸方向)に移動位置決め自在になっている。
【0050】
前記ベース部材31には、前記第3のプーリ23の回転中心軸CL2と平行な軸を回転中心軸にして回転自在な軸部材33が設けられている。この軸部材33は、前記ベース部材31と同様に、前記ガラス基板Wの幅方向に長く延びて設けられていると共に、ピローブロック35等の軸受けを介して、前記ベース部材31に支持され、カップリング37を介して前記29の回転出力軸に連結されている。そして、前記軸部材33は、前記基台3に対して回転駆動するようになっている。
【0051】
前記軸部材33には、第4のプーリ25が複数個一体的に設けられている。前記第4の各プーリ25は、前記ガラス基板Wの幅方向に並べて配置された前記各コンベヤユニット5の第3の各プーリ23の下側で、前記各プーリ23に対応する位置に、前記第3の各プーリ23と同じ数だけ設けられている。
【0052】
また、前記第3の各プーリ23と、前記第4の各プーリ25との間には、ベルト27が巻き掛けられており、前記モータ29で前記軸部材33を回転駆動すると、前記第4の各プーリ25が回転駆動し、前記第3の各プーリ23も回転駆動する。
【0053】
そして、ガラス基板Wの幅方向に並べて配置された前記各コンベヤユニット5の各プーリ9、11が回転し、ガラス基板Wの幅方向に並べて配置された前記各コンベヤユニット5の各ベルト13が移動し、ガラス基板Wを搬送することができるようになっている。
【0054】
また、前記軸部材33は、この長手方向でいくつかに分断され、これらの分断された各箇所が、各カップリング39で接続されている。
【0055】
前記各カップリング39による前記軸部材33の接続を解除すると、前記軸部材33の分断された箇所に隙間が形成され、これらの隙間をベルト(前記第3のプーリ23と前記第4のプーリ25とに巻掛られたベルト)27が通過できるようになっている。
【0056】
前記各隙間をベルト27が通過できることにより、前記第3のプーリ23と前記第4のプーリ25との間に巻き掛けられたベルト27を、前記第3のプーリ23や前記第4のプーリ25を各軸部材31、33から取り外すことなく、容易に取り外して交換することができ、また、基台3に設置されている各コンベヤユニット5の取り外しや交換が容易になる。
【0057】
なお、図6に示すように、上流側各コンベヤユニット5Aの回転駆動手段15と、下流側各コンベヤユニット5Bの回転駆動手段15とは、ガラス基板Wの搬送方向で離れて、個別に設けられている。また、ガラス基板Wの搬送方向に並べて設けられた各コンベヤユニット5A、5B等を、1つのモータで駆動するようにしてもよい。
【0058】
さらに、図7に示すように、第3のプーリ23を削除し、前記ベルト13を、前記第1のプーリ9、前記第2のプーリ11、前記第4のプーリ25に巻き掛けて、各コンベヤユニットを駆動するようにしてもよい。また、各コンベヤユニット毎にモータを設け、各コンベヤユニットを駆動するようにしてもよい。
【0059】
ここで、前記コンベヤユニット5についてさらに詳しく説明する。
【0060】
図8は、コンベヤユニット5の構成を示す平面図であり、図9は、図8におけるIXA―IXB断面を示す図であり、図10は、図8におけるX矢視を示す図であり、図11は、図8におけるXI矢視図であり、図12は、図8におけるXIIA―XIIB断面を示す図である。
【0061】
前記コンベヤユニット5のフレーム7は、本体部41と、第1のプーリ支持部材43と、第2のプーリ支持部材45とを備えている。
【0062】
前記本体部41は、概観が直方体形状に形成されていると共に、引き抜き成型されたことによって、長手方向に伸びた複数の溝を外壁部に備えている。
【0063】
前記第1のプーリ支持部材43は、矩形で板状に形成され、前記本体部41の長手方向の一端部側に基端部側が設置されている。また、前記第1のプーリ支持部材43は、先端部側が前記本体部41よりも突出し、前記先端部側で前記第1のプーリ9を支持していると共に、前記本体部41の長手方向に移動位置決め自在になっている。
【0064】
前記第2のプーリ支持部材45は、矩形で板状に形成され、前記本体部41の長手方向の他端部側に基端部側が設置されている。また、前記第2のプーリ支持部材45は、先端部側が前記本体部41よりも突出し、前記先端部側で前記第2のプーリ11を支持していると共に、前記本体部41の長手方向に移動位置決め自在になっている。
【0065】
そして、前記本体部41の各溝のうちの一部の溝(上側の溝と下側の溝)内を前記ベルト13が通過するようになっている。
【0066】
また、前記本体部41の各溝の他の一部の溝(本体部41の側方に位置する溝)は、開口部の幅が内部の幅よりも小さくなっており、前記他の一部の溝に係合し前記本体部41の長手方向に移動自在なナット(図示せず)と、ボルト等の締結具(図示せず)とを用いて、前記第1のプーリ支持部材43が、移動位置決め自在になっており、同様に、前記第2のプーリ支持部材45も移動自在になっている。
【0067】
また、図8や図9に示すように、前記他の一部の溝に係合し前記本体部41の長手方向に移動自在なナット47とボルト等の締結具49とを用いて、[L]字状のコンベヤユニット支持部材51の一端部側を前記本体部41に一体的に設け、前記コンベヤユニット支持部材51の他端部側を、ボルト等の締結具53を用いて、前記基台3に対して固定することによって、前記コンベヤユニット5が前記基台3に対して着脱自在になっている。
【0068】
なお、前記コンベヤユニット支持部材51を前記基台3に固定するボルト53は、上方向から工具を挿入等してまわすことができるようになっている。
【0069】
また、前記コンベヤユニット支持部材51をプーリ支持部材45に設けてもよい(図8、図11参照)。
【0070】
なお、すでに理解されるように、1つの前記コンベヤユニット5を前記基台3に設置した状態では、前記フレーム7の長手方向が前記ガラス基板Wの搬送方向(x軸方向)に一致し、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11とは、前記ガラス基板Wの搬送方向で互いに離れており、前記第1のプーリ9の回転中心軸CL1と前記第2のプーリ11の回転中心軸CL2とは、前記ガラス基板Wの幅方向(y軸方向)に延伸している。
【0071】
また、たとえば、前記各プーリ9、11が同じ大きさに形成されしかも前記各プーリ9、11の回転中心軸CL1、CL2が同じ高さのところに位置していることにより、前記各プーリ9、11の上端部は、ほぼ同じ高さのところに位置している。
【0072】
そして、前記各プーリ9、11に巻き掛けられたベルト13のうちの上部になる部位(前記各プーリ9、11の各上端部の間で前記ガラス基板Wの搬送方向に延伸している部位)で、前記ガラス基板Wを支持し(より正確には、後述する支持体57でガラス基板を支持し)搬送するようになっている。
【0073】
さらに詳しく説明すると、前記フレーム7の本体部41の幅方向(y軸方向)の一端部であって、ガラス基板Wの流れ方向において上流側の一端部に、前記第1のプーリ支持部材43が設けられている。
【0074】
そして、片持梁で構成された軸部材55が、前記第1のプーリ支持部材43(前記本体部41から突出している第1の支持部材43の部位)から前記本体部41の幅方向の他端部側へ突出して前記プーリ支持部材43に一体的に設けられている。前記軸部材55の先端部側に、前記第1のプーリ9がベアリングを介して回転自在に設けられている。
【0075】
また、前記フレーム7の本体部41の幅方向(y軸方向)の一端部であって、ガラス基板Wの流れ方向において下流側の一端部に前記第2のプーリ支持部材45が設けられている。
【0076】
そして、軸部材31が、前記第2のプーリ支持部材45(前記本体部41から突出している第2の支持部材45の部位)から前記本体部41の幅方向の両側へ突出して設けられている。前記軸部材31は、ベアリングを介して、前記第2のプーリ支持部材45に回転自在になっている。
【0077】
前記軸部材31の一端部(前記本体部41の幅方向の他端部側の一端部)に、前記第2のプーリ11が一体的に設けられており、前記軸部材31の他端部に、前記第3のプーリ23が設けられている。
【0078】
そして、前記上流側のコンベヤユニット5Aの前記フレーム7の本体部41の幅方向の前記他端部側(前記第2のプーリ11が設けられている側)に配置される前記下流側コンベヤユニット5Bは、この下流側コンベヤユニット5Bの第1のプーリ9が前記上流側コンベヤユニット5Aの側を向くように配置される(図2、図4参照)。
【0079】
このように、配置されることにより、前記上流側コンベヤユニット5Aの第2のプーリ11と前記下流側コンベヤユニット5Bの第1のプーリ9とを、ガラス基板Wの幅方向で互いに近づけて配置することが容易になり、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト13とが、前記ガラス基板Wの幅方向で互いに近づくことになる。
【0080】
一方、前記上流側のコンベヤユニット5A(5C)の前記フレーム7の本体部41の幅方向の前記一端部側(前記第2のプーリ11が設けられていない側)に配置される前記下流側コンベヤユニット5B(5D)は、この下流側コンベヤユニット5B(5D)の第1のプーリ9が前記上流側コンベヤユニット5A(5C)とは反対側を向くように配置される(図2参照)。
【0081】
ところで、図8や図9に示すように、前記各プーリ9、11と接する側とは反対側の部位である前記ベルト13の外側部位には、所定の高さの支持体57が、前記ベルト13の長手方向で、たとえばほぼ一定の間隔をあけて複数設けられている。
【0082】
前記各支持体57の概観は、たとえば円柱状に形成されており、先端部が半球状に形成されている。また、前記各コンベヤユニット5が、前記基台3に取り付けられた状態では、前記各支持体57の上端は、1つの水平面上に位置しており、この1つの水平面上に位置している各支持体57の各上端が、搬送されるガラス基板Wに接触し前記ガラス基板Wを支持する。
【0083】
また、前記コンベヤユニット5では、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11との間で上側に位置している各支持体57の先端部が上方に突出するように、前記第1のプーリ9、前記第2のプーリ11および前記ベルト13をカバー59で覆ってある。
【0084】
さらに、前記カバー59内の排気を行う排気手段が設けられている。
【0085】
より詳しく説明すると、図9に示すように、上側に存在しているベルト13が通過している本体部41の上側(上面)の溝と、前記本体部41の側面上側の溝との間には、貫通孔61があけられており、この貫通孔61が通じている一方の溝(前記本体部41の側面の上側の一方の溝)には、蓋63がされている。
【0086】
前記貫通孔61が通じている他方溝(前記本体部41の側面の他方の溝)には、ダクト65が設けられている。
【0087】
また、前記本体部41の上面の溝には、ベルト支持部材19が設けられており、前記本体部41の上面の両側には、帯板状のカバー部材67が所定の間隔をあけて設けられており、前記各カバー部材67の間から、前記ベルト13に設けられた前記支持体57が上方に突出している。
【0088】
また、前記本体部41の下側(下面)の溝内を、下側に存在しているベルト13が通過しており、前記本体部41の下側の溝の下部は、帯板状のカバー部材69で塞がれている。
【0089】
また、図8に示すように、前記本体部41の長手方向の両端部には、前記各プーリ支持部材43、45と協働して前記各プーリ9、11を覆う各カバー部材71、73が設けられている。なお、前記各カバー部材71、73は、前記本体部41の溝(前記ベルト13が通過している各溝、前記ダクト65が設けられている溝、前記蓋63がされている溝)と連通している。
【0090】
そして、前記ダクト65に設けられた吸引口75を、吸引ポンプ等(図示せず)に接続することにより、前記ベルト13が設けられている空間内の空気(前記カバー59内の空気)を効率良く吸引(排気)することができるようになっている。
【0091】
ここで、前記ベルト支持部材19について、さらに詳しく説明する。
【0092】
前述したように、上流側コンベヤユニット5Aと下流側コンベヤユニット5Bとをガラス基板Wの搬送方向でオーバーラップして設けてある。前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト支持部材19の上面の一部と、前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト支持部材19の上面の一部とが互いにオーバーラップするように設けられる。
【0093】
さらに、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト支持部材19の上面の一部と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト支持部材19の上面の一部とが互いにオーバーラップしている区間には、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13に設けられている支持体57が、常に、少なくとも1本存在し、前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト13に設けられている支持体57が、常に、少なくとも1本存在するようになっている。
【0094】
搬送装置1によれば、ガラス基板Wを搬送するために前記ガラス基板Wの搬送方向に並んで基台3に設置される複数のコンベヤユニット5が、前記基台3へ容易に着脱自在になっているので、コンベヤユニット5のメンテナンスを行う際、コンベヤユニット5を基台3から取り外し、広いスペースで容易にメンテナンスを行うことができる。
【0095】
また、コンベヤユニット5のメンテナンスを行う際、それまで使用していたコンベヤユニット5を新しいコンベヤユニット5やメンテナンス済みのコンベヤユニット5に交換することもできるので、メンテナンス時における搬送装置1の停止時間を短くすることができる。
【0096】
また、搬送装置1によれば、コンベヤユニット5が前記ガラス基板Wの搬送方向および幅方向に並べられているので、ガラス基板Wを幅方向で安定した状態で支持しつつ長い距離にわたって搬送することができる。
【0097】
さらに、搬送装置1によれば、コンベヤユニット5の配置を変更することによって、搬送されるガラス基板Wの形態に合致した構成の搬送装置1を容易に実現することができる。
【0098】
また、搬送装置1によれば、第1のプーリ支持部材43、第2のプーリ支持部材45が、本体部41に対して移動位置決め自在になっているので、第1のプーリ9と第2のプーリ11との間に巻き掛けられたベルト13の張力の調整を容易に行うことができると共に、前記ベルト13の交換が容易になっている。
【0099】
また、搬送装置1によれば、ガラス基板Wの搬送方向において、上流側コンベヤユニット5Aの一部と下流側コンベヤユニット5Bの一部とがオーバーラップしているので、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへ、蛇行等することなくスムーズにガラス基板Wが乗り移ることができる。
【0100】
すなわち、ガラス基板Wの剛性が小さい場合、上流側コンベヤユニット5Aと下流側コンベヤユニット5Bとがオーバーラップしていないと、前記上流側コンベヤユニット5Aと前記下流側コンベヤユニット5Bとの間で、前記ガラス基板Wが下方に撓む。
【0101】
そして、前記ガラス基板Wの先端部(搬送方向の先端部)が、前記下流側コンベヤユニット5Bにぶつかり、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへガラス基板Wがスムーズに乗り移ることができなくなる。
【0102】
しかし、前述したように、上流側コンベヤユニット5Aと下流側コンベヤユニット5Bとがオーバーラップしていると、前記上流側コンベヤユニット5Aと前記下流側コンベヤユニット5Bとの間で、前記ガラス基板Wが下方に撓むことを抑制することができ、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへガラス基板Wがスムーズに乗り移ることができる。
【0103】
また、搬送装置1では、前記各プーリ9、11が、前記フレーム7の幅方向の一端部側でオーバーハングして設けられていると共に、前記上流側コンベヤユニット5Aのフレーム7と前記下流側コンベヤユニット5Bのフレーム7との間で(前記ガラス基板Wの幅方向の間で)、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルトとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニット5Aと前記下流側コンベヤユニット5Bとが設けられているので、ガラス基板Wの幅方向における前記ガラス基板Wの撓みが小さい状態で、前記ガラス基板Wが前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bに乗り移ることができる。
【0104】
より詳しく説明すると、ガラス基板Wの搬送方向において上流側コンベヤユニット5Aのベルト13と下流側コンベヤユニット5Bのベルト13とがオーバーラップしているとしても、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト13との間がガラス基板Wの幅方向で離れていると、前記ガラス基板Wの幅方向で前記ガラス基板Wが撓み、前記ガラス基板Wの先端部(搬送方向に先端部)が、前記下流側コンベヤユニット5Bにぶつかり、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへガラス基板Wがスムーズに乗り移ることができなくなる。
【0105】
しかし、前述したように、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト13と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト13がガラス基板Wの幅方向で互いに隣接していると、前記ガラス基板Wがこの幅方向で下方に撓むことを抑制することができ、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへ、ガラス基板Wがスムーズに乗り移ることができる。
【0106】
また、搬送装置1によれば、各コンベヤユニット5に第3のプーリ23を設け、前記各第3のプーリ23と第4の各プーリ25とをベルト27を用いて連結し、前記第4の各プーリ25を1つのモータ29で回転駆動しているので、各コンベヤユニット5におけるベルト13の移動速度(第1のプーリ9と第2のプーリ11とに巻き掛けられたベルト13の移動速度)を等しくすることができ、ガラス基板Wをスムーズに搬送することができる。
【0107】
また、搬送装置1によれば、前記第1のプーリ9、前記第2のプーリ11および前記ベルト13をカバー59で覆ってあると共に、前記カバー59内の排気を行う排気手段を有するので、前記ベルト13から出てくる僅かな粉塵の拡散を確実に防止することができ、前記ガラス基板Wの搬送装置1をクリーンルーム等のクリーンな環境下で好適に使用することができる。さらに、コンベヤユニット5がユニット化されているので、前記カバー59を設置しやすくなっている。
【0108】
また、搬送装置1によれば、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11との間で上側に位置しているベルト13を支持するベルト支持手段17を設けて、前記第1のプーリ9と前記第2のプーリ11との間で上側に位置しているベルト13が下方に撓まないようにしているので、安定した状態でガラス基板Wを支持し搬送することができる。
【0109】
また、前記上流側コンベヤユニット5Aのベルト支持部材19の上面の一部と前記下流側コンベヤユニット5Bのベルト支持部材19の上面の一部とが互いにオーバーラップしている区間には、常に、前記上流側コンベヤユニット5Aの支持体57と前記下流側コンベヤユニット5Bの支持体57とが存在するようになっているので、前記上流側コンベヤユニット5Aから前記下流側コンベヤユニット5Bへ、ガラス基板Wがスムーズに乗り移ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0110】
【図1】本発明の実施形態に係る物体の搬送装置の概略構成を示す斜視図である。
【図2】物体の搬送装置の概略構成を示す平面図であり、図1におけるII矢視を示す図である。
【図3】コンベヤユニットの概略構成を示す平面図である。
【図4】コンベヤユニットの概略構成を示す側面図であり、図3におけるIV矢視図である。
【図5】回転駆動手段の概略構成を示す図であり、図2におけるVA―VB矢視を示す図である。
【図6】回転駆動手段の概略構成を示す図であり、図2におけるVIA―VIB矢視を示す図である。
【図7】回転駆動手段の変形例の概略構成を示す図であり、図2におけるVIA―VIB矢視に対応した図である。
【図8】コンベヤユニットの構成を示す平面図である。
【図9】図8におけるIXA―IXB断面を示す図である。
【図10】図8におけるX矢視を示す図である。
【図11】図8におけるXI矢視図である。
【図12】図8におけるXIIA―XIIB断面を示す図である。
【符号の説明】
【0111】
1 搬送装置
3 基台
W ガラス基板
5 コンベヤユニット
5A 上流側コンベヤユニット
5B 下流側コンベヤユニット
7 フレーム
9 第1のプーリ
11 第2のプーリ
13 第1のベルト
15 回転駆動手段
17 ベルト支持手段
23 第3のプーリ
25 第4のプーリ
27 第2のベルト
29 モータ
57 支持体
59 カバー
【特許請求の範囲】
【請求項1】
物体の搬送装置において、
基台と;
前記基台への着脱が容易であると共に、前記物体の搬送方向に並んで前記基台に設置されている複数のコンベヤユニットと;
を有することを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項2】
請求項1に記載の物体の搬送装置において、
前記コンベヤユニットは、
前記基台に着脱自在なフレームと;
前記フレームの長手方向の一端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第1のプーリと;
前記フレームの長手方向の他端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第2のプーリと;
前記第1のプーリと前記第2のプーリとに巻き掛けられた第1のベルトと;
前記第2のプーリを回転駆動する回転駆動手段と;
を有するコンベヤユニットであることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項3】
請求項2に記載の物体の搬送装置において、
前記各コンベヤユニットは、前記物体の幅方向で間隔をあけて設けられていると共に、
前記物体の流れ方向の上流側に設置された上流側各コンベヤユニットの下流側の部位と、前記物体の流れ方向の下流側に設置された下流側各コンベヤユニットの上流側の部位とが、互いにオーバーラップしていることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項4】
請求項3に記載の物体の搬送装置において、
前記各プーリは、前記フレームの幅方向の一端部側に、オーバーハングして設けられており、
前記物体の幅方向で、前記上流側コンベヤユニットのフレームと前記下流側コンベヤユニットのフレームとの間に、前記上流側コンベヤユニットの第1のベルトと前記下流側コンベヤユニットの第1のベルトとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニットと前記下流側コンベヤユニットとが設けられていることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項5】
請求項2〜請求項4のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、
前記回転駆動手段は、
前記第2のプーリの回転中心軸と同じ軸を回転中心にして前記第2のプーリといっしょに回転する第3のプーリと;
前記基台に対して回転自在な第4のプーリと;
前記第3のプーリと前記第4のプーリとの間に巻き掛けられた第2のベルトと;
前記第4のプーリを回転駆動するためのアクチュエータと;
を有する手段であることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項6】
請求項2〜請求項5のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、
前記第1のプーリ、前記第2のプーリと接する側とは反対側の部位である前記第1のベルトの外側部位には、所定の高さの支持体が、前記第1のベルトの長手方向で間隔をあけて複数設けられていることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項7】
請求項6に記載の物体の搬送装置において、
前記第1のプーリと前記第2のプーリとの間で上側に位置している各支持体の先端部が突出するように、前記第1のプーリ、前記第2のプーリおよび前記第1のベルトをカバーで覆ってあることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項8】
請求項2〜請求項7のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、
前記第1のプーリと前記第2のプーリとの間で上側に位置している前記第1のベルトを支持するベルト支持手段を有することを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項1】
物体の搬送装置において、
基台と;
前記基台への着脱が容易であると共に、前記物体の搬送方向に並んで前記基台に設置されている複数のコンベヤユニットと;
を有することを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項2】
請求項1に記載の物体の搬送装置において、
前記コンベヤユニットは、
前記基台に着脱自在なフレームと;
前記フレームの長手方向の一端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第1のプーリと;
前記フレームの長手方向の他端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第2のプーリと;
前記第1のプーリと前記第2のプーリとに巻き掛けられた第1のベルトと;
前記第2のプーリを回転駆動する回転駆動手段と;
を有するコンベヤユニットであることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項3】
請求項2に記載の物体の搬送装置において、
前記各コンベヤユニットは、前記物体の幅方向で間隔をあけて設けられていると共に、
前記物体の流れ方向の上流側に設置された上流側各コンベヤユニットの下流側の部位と、前記物体の流れ方向の下流側に設置された下流側各コンベヤユニットの上流側の部位とが、互いにオーバーラップしていることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項4】
請求項3に記載の物体の搬送装置において、
前記各プーリは、前記フレームの幅方向の一端部側に、オーバーハングして設けられており、
前記物体の幅方向で、前記上流側コンベヤユニットのフレームと前記下流側コンベヤユニットのフレームとの間に、前記上流側コンベヤユニットの第1のベルトと前記下流側コンベヤユニットの第1のベルトとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニットと前記下流側コンベヤユニットとが設けられていることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項5】
請求項2〜請求項4のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、
前記回転駆動手段は、
前記第2のプーリの回転中心軸と同じ軸を回転中心にして前記第2のプーリといっしょに回転する第3のプーリと;
前記基台に対して回転自在な第4のプーリと;
前記第3のプーリと前記第4のプーリとの間に巻き掛けられた第2のベルトと;
前記第4のプーリを回転駆動するためのアクチュエータと;
を有する手段であることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項6】
請求項2〜請求項5のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、
前記第1のプーリ、前記第2のプーリと接する側とは反対側の部位である前記第1のベルトの外側部位には、所定の高さの支持体が、前記第1のベルトの長手方向で間隔をあけて複数設けられていることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項7】
請求項6に記載の物体の搬送装置において、
前記第1のプーリと前記第2のプーリとの間で上側に位置している各支持体の先端部が突出するように、前記第1のプーリ、前記第2のプーリおよび前記第1のベルトをカバーで覆ってあることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項8】
請求項2〜請求項7のいずれか1項に記載の物体の搬送装置において、
前記第1のプーリと前記第2のプーリとの間で上側に位置している前記第1のベルトを支持するベルト支持手段を有することを特徴とする物体の搬送装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【公開番号】特開2006−306593(P2006−306593A)
【公開日】平成18年11月9日(2006.11.9)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2005−132724(P2005−132724)
【出願日】平成17年4月28日(2005.4.28)
【出願人】(000000099)石川島播磨重工業株式会社 (5,014)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成18年11月9日(2006.11.9)
【国際特許分類】
【出願日】平成17年4月28日(2005.4.28)
【出願人】(000000099)石川島播磨重工業株式会社 (5,014)
【Fターム(参考)】
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