真空アクチュエータ及び基板搬送ロボット
【課題】ロータのステータに対する位置決め精度を向上するとともに、モータ効率や組み立て性を向上する。
【解決手段】真空アクチュエータは、内側を真空排気できる真空隔壁と、真空隔壁に回転自在に支持されたロータと、ロータの外周面に設けられた永久磁石と、永久磁石に対向して設けられたコイルと、コイルを設けるステータと、を有する。ステータと真空隔壁は、一体として形成されている。
【解決手段】真空アクチュエータは、内側を真空排気できる真空隔壁と、真空隔壁に回転自在に支持されたロータと、ロータの外周面に設けられた永久磁石と、永久磁石に対向して設けられたコイルと、コイルを設けるステータと、を有する。ステータと真空隔壁は、一体として形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空雰囲気内部の機構部を駆動する真空アクチュエータ及び基板搬送ロボットに関し、特に、真空雰囲気下で基板などを搬送する搬送装置の駆動源としての真空アクチュエータ及びこの真空アクチュエータを備える基板搬送ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空雰囲気内部の機構部を駆動するアクチュエータは、ロータとステータの間に隔壁を配置することによって、永久磁石が取り付けられたロータを真空側に、磁界を発生させるステータを大気側に配置されているものが知られていた（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４参照）。
【０００３】
ステータのコイルは導線を巻回して構成されているため巻かれた導線の長さに応じた表面積を有しているが、特許文献１、特許文献２のモータのようにコイルを真空側から分離する隔壁を有することで、コイルから放出されるアウトガスが真空側に及ぼす影響を防いでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開昭６２−５１９４３号公報
【特許文献２】実開昭６４−１６１５７号公報
【特許文献３】特開２００１−１１２２２３号公報
【特許文献４】特開平０５−３１６７０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１、特許文献２に示された技術によれば、ロータが配置される空間とステータが配置される空間が隔壁によって分離されるため、ロータに固定された永久磁石と、ステータの先端との距離が広がってしまい、コイルに流した電流に対するロータが実際に発生可能な効率（トルク定数）が必然的に低くなってしまっていた。真空隔壁部の肉厚を薄くしようとしても、大気圧力に耐える剛性を備えた厚みが必要で、且つその隔壁とロータ、隔壁とステータの間に稼動時の干渉防止のためや、組立上の関係でギャップを空けなければならないため、大幅な改善を図ることができなかった。
【０００６】
同様に、ロータが配置される空間とステータが配置される空間が隔壁によって分離されるため、ロータは隔壁に対して位置決めを行うことになる。一方、ステータも隔壁に対して位置決めを行わざるを得ない。そのため、ロータのステータに対する位置決め精度、すなわち同軸精度の確保が困難であるという問題を有しており、モータの振動の増大や効率の低下、若しくは組み立て性の低下などの不都合が生じていた。
【０００７】
本発明の目的は、上記問題に鑑みて真空雰囲気内部の機構部を駆動する真空アクチュエータ及び基板搬送ロボットについてなされたものであり、真空度に悪影響を与えることなく、ロータに固定された永久磁石とステータの先端との距離を縮めて磁気効率を大幅に向上を図ることができる真空アクチュエータ及び基板搬送ロボットを提供することにある。
【０００８】
また、本発明の他の目的は、ロータのステータに対する位置決め精度を向上するとともに、モータ効率や組み立て性を向上することができる真空アクチュエータ及び基板搬送ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成する本発明に係る真空アクチュエータは、
内側を真空排気できる真空隔壁と、
前記真空隔壁に回転自在に支持されたロータと、
前記ロータの外周面に設けられた永久磁石と、
前記永久磁石に対向して設けられたコイルと、
前記コイルを設けるステータと、を有し、
前記ステータと前記真空隔壁は、一体として形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のモータによれば、真空雰囲気に悪影響を与えることなく、モータ効率を向上することができるとともに、ロータのステータに対する高い位置決め精度及び同軸精度や組み立て性の向上を図ることができる。また、ステータが部品に覆われないため、大気への放熱効率の向上が図れ、温度上昇による発熱抵抗の増大を減少させ、より大電流を流すことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係るモータの断面斜視図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施形態に係るモータの縦断面図である。
【図３】図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４Ａ】、
【図４Ｂ】図４Ａ、Ｂは、本発明の第１の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボット（一軸）の構成例（斜視図）である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボット（二軸）の構成例（斜視図）である。
【図６】図６は、本発明の第１の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボット（二軸）の構成例（部分断面図）である。
【図７】図７は、本発明の第１の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボット（二軸）の構成例（部分断面図）である。
【図８】図８は、本発明の第２の実施形態に係るモータの断面斜視図である。
【図９】図９は、本発明の第２の実施形態に係るモータの縦断面図である。
【図１０】図１０は、図５のＢ−Ｂ断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の第２の実施形態に係るステータの他の構成例（図５のＢ−Ｂ断面図）である。
【図１２】図１２は、本発明の第２の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（斜視図）である。
【図１３】図１３は、本発明の第２の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）である。
【図１４】図１４は、本発明の第２の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）である。
【図１５】図１５は、本発明の第３の実施形態に係るモータの断面斜視図である。
【図１６】図１６は、本発明の第３の実施形態に係るモータの縦断面図である。
【図１７】図１７は、図１６のＡ−Ａ断面図である。
【図１８】図１８は、本発明の第３の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（斜視図）である。
【図１９】図１９は、本発明の第３の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）である。
【図２０】図２０は、本発明の第３の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１の実施形態）
以下に、本発明の第１の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下に説明する部材、配置等は発明を具体化した一例であって本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨に沿って各種改変できることは勿論である。
【００１３】
図１乃至７は本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータについての図であり、図１はモータの断面斜視図、図２はモータの縦断面図、図３は図２のＡ−Ａ断面図である。図４Ａ、Ｂ乃至図７は本実施形態に係るアクチュエータを基板搬送ロボットに適用した構成例である。
【００１４】
なお、これらの図面は煩雑化を防ぐため一部を除いて省略している。
【００１５】
図１、２に示したアクチュエータ（モータ３）は、モータケーシング５に回転自在にロータ７が支持されて構成されている。真空容器１の壁面に形成された開口部１ａにロータ７の先端を差し込むようにモータケーシング５（真空隔壁）を取り付けることができる。
【００１６】
真空容器１に取り付けた状態では、ロータ７の先端部を真空容器１の内側に突出させて配置することができる。
【００１７】
モータケーシング５（真空隔壁）は、内側を真空雰囲気に保つことができる略有底円筒状の容器であり、真空容器１に取り付けられる第１ハウジング９と、コイル２３が設けられたステータ１２と、ステータ１２の底部に接続される第２ハウジング１０とを主要構成要素として有している。
【００１８】
また、ロータ７は、出力軸としてのシャフト１５とシャフト１５の回りにステータ１２と対向して取り付けられた磁石部材１７とを有して構成されている。ロータ７の回転軸とモータケーシング５の上下方向の中心軸は同軸として配設されている。
【００１９】
なお、本明細書中では、シャフト１５の軸方向を上下方向とし、真空容器１が配置されている方向を上方、モータケーシング５が配置されている方向を下方とする。
【００２０】
まず、モータケーシング５について説明する。第１ハウジング９は、上部側で真空容器１の開口部１ａの下側に締結部材によって取り付けられる部分であり、モータケーシング５の側面の一部を構成する円筒状の上側壁部９ａを有して構成されている。上側壁部９ａの上端にはＯリング３３ａを嵌め込む溝部９ｃが形成されており、真空容器１の開口部１ａ周囲の底面と上側壁部９ａの上端との間でＯリング３３ａを挟み込むことによって気密を保持している。上側壁部９ａは下側でステータ１２の上部と気密に接続されており、上側壁部９ａとステータ１２の接続部分にはＯリング３３ｂが介装されている。
【００２１】
ステータ１２は、第１ハウジング９の下側に気密に接続される略円筒状の部材であり、図３に示すように、円筒状のシール隔壁１２ａと、シール隔壁１２ａを貫通するように形成された略矩形板状の複数のステータティース２１とから構成されている。ステータ１２は下部で第２ハウジング１０の上部と気密に接続されており、ステータ１２と第２ハウジング１０の接続部分にはＯリング３３ｃが介装されている。
【００２２】
ステータ１２はシール隔壁１２ａの上下側でそれぞれ第１ハウジング１０、第２ハウジング１０と気密に接続されているため、シール隔壁１２ａを貫通して配置されているステータティース２１は内側が真空側、外側が大気側に配置されている。コイル２３はステータティース２１の大気側の部分に形成されている。本実施形態のモータ３は２４個のステータティース２１を有しており、それぞれのステータティース２１にコイル２３が形成されるため、ステータティース２１と同数のコイル２３を有している。
【００２３】
なお、図３においては、コイル２３を３相８極２４コイル、ロータ側極数を１６極とした構成例を示しているが、コイル２３とロータ極数の組み合わせとしては、公知の構造を適宜採用することができるものとする。また、本実施形態においては、ステータティース２１に巻回される導線として直径１．０ｍｍポリエステルエナメルワイヤー（φ１．０ＰＥＷ）が用いられているが公知の導線を適宜用いることができるものとする。
【００２４】
第２ハウジング１０は、ステータ１２の下側に気密に取り付けられる略円筒有底部材であり、モータケーシング５の側面の一部を構成する円筒状の下側壁部１０ａと底面を形成する略円板状の底板１０ｂとからなる。
【００２５】
次に、ロータ７について説明する。シャフト１５は、上述のようにロータ７の主要構成要素であり、少なくとも下側部分をモータケーシング５の内側に挿入した状態で回転自在に支持されている。シャフト１５の上側の先端部を真空容器１の内側に突出できるように、先端部をモータケーシング５の上側から突出させて配設されている。シャフト１５の下側は磁石部材１７と同軸に嵌合されている。なお、イナーシャ低減のためシャフト１５は中空の管状部材から構成してもよい。
【００２６】
磁石部材１７は、上述のようにロータ７の主要構成要素であり、ステータ１２及びシャフト１５の軸線を一致させた状態で、シャフト１５の下端側に固定されている。本実施形態における磁石部材１７は、シャフト１５に固定された略円環状のバックヨーク２５と、バックヨーク２５の外周面に沿って一列に並べて取り付けられた複数の永久磁石２７とから構成されている。
【００２７】
バックヨーク２５は永久磁石２７の磁路を形成する部材であり、磁性材料であるケイ素鋼板やフェライトに相当する材質で形成されている。このバックヨーク２５の形状は、磁路を形成できる形状であればよく、例えば、内側面や外側面に凹凸を有する形状や、磁路に影響を与えない範囲内に複数の貫通した孔部が形成された形状でもよい。
【００２８】
永久磁石２７は、板厚方向に磁束が向くように磁化されたセグメント型の複数の永久磁石から構成されている。本実施形態においては、上下方向に細長い１６枚の矩形状のセグメント磁石が、極性が互い違いになるようにバックヨーク２５の外周面に沿ってリング状に配列されている。また、コギング対策として板厚方向の断面形状が扇状であればより好適である。
【００２９】
磁石材料としてはＳｍ系やＮｄ系、フェライト系など任意の永久磁石を適用することができることはもちろんである。なお、永久磁石２７は、コギングを抑えるためスキュー角度を有してバックヨーク２５に取り付けられると好適である。さらに、磁石部材１７は、バックヨーク２５を備えず、シャフト１５に永久磁石２７を直接取り付ける構成であってもよいことはもちろんである。
【００３０】
以下に、本実施形態の特徴的な構成について詳しく説明する。まず、ステータ１２について詳しく説明する。上述したように、ステータ１２はシール隔壁１２ａと、シール隔壁１２ａを貫通するように形成されたステータティース２１とを備えている。シール隔壁１２ａは、真空隔壁としての機能を有しており、ステータティース２１とは一体として構成されている。シール隔壁１２ａの厚さはコイル２３で発生する磁束がロータ側に漏れ出す程度である必要があり、モータ３は０．５〜２．０ｍｍ程度に調整されている。
【００３１】
ステータティース２１は、その周囲に導線を巻回することでコイル２３が形成される部材であり、シール隔壁１２ａを貫通するように形成された略矩形板状のコア部２１ａと、ステータ１２内側のコア部２１ａの端部に形成された略矩形板状のコアホルダ部２１ｂとから構成されている。また、本実施形態のモータ３は、ステータ１２外側のコア部２１ａの端部に、略筒状の外周ヨーク２１ｃを備えているが、外周ヨーク２１ｃを備えない構成とすることもできる。
【００３２】
コア部２１ａは、長手方向を軸方向に合わせ、等角度間隔に放射状に配置されており、径方向の中央位置付近がシール隔壁１２ａにほぼ垂直に差し込まれるように配設されている。すなわち、コア部２１ａの一端部側はステータ１２の内側（真空側）に、他端部側はステータ１２の外側（大気側）に配置されている。
【００３３】
コアホルダ部２１ｂは、磁石部材１７の外周面と平行になるように湾曲して形成された略板状の構造を、ステータティース２１内側のコア部２１ａ先端に形成したものである。コイル２３はコア部２１ａの大気側に位置する部分に導線を幾重にも巻回することで形成されている。コイル２３が大気側に形成されているため、コイル２３の導線から発生するアウトガスがステータ１２内側の真空度に悪影響を及ぼすことがない。
【００３４】
ステータ１２は、ケイ素鋼板やフェライト、パーマロイなど鉄損の少ない材質から構成されている。本実施形態のステータ１２は、これらの材質を所定の形状に加工した部材から構成されている。なお、上記の鉄損の少ない材質で構成された板材を軸方向（上下方向）に多数枚積層させて構成するとより好適である。また、シール隔壁１２ａとステータティース２１とを別体として製造し、これらを組み立ててステータ１２を構成してもよい。この場合には、シール隔壁に形成された開口にステータティースを差し込んでロウ付けや接着剤により気密に固着される。
【００３５】
なお、予め導線を巻回してコイルが形成されたステータティースをシール隔壁に差し込んで固着すると、狭いスリットで巻線を行う必要がなくなり好適である。ステータティースはシール隔壁よりも透磁率の高い材質から構成されることが望ましい。または、シール隔壁だけを非磁性ステンレスなどの非磁性材料から構成されるとしてもよい。
【００３６】
なお、本実施形態のモータ３では、ステータティース２１の外側端部を連結する略筒状の外周ヨーク２１ｃを備える構造が採用されている。外周ヨーク２１ｃは、ステータティース２１の外周部分に接してネジにより締結、若しくは、圧入や溶接により固着されている。リブと一体に取り付けることでステータの強度向上を図ることができる。また、外周ヨーク２１ｃはステータティース２１と同様の材質で構成されるため、ステータティース２１の外周側の磁路を形成し、隣接するステータティース２１にまで磁力線を導くことができる。
【００３７】
外周ヨーク２１ｃは、コイル２３の上下部分を覆わないようにステータティース２１に固定されており、ステータティース２１の上下部分に隙間があるため放熱性が高い構造である。すなわち、コイル２３付近で過熱された空気は外周ヨーク２１ｃの上側の隙間から放出され、外周ヨーク２１ｃの上側の隙間から外気が流入することで対流が生じやすくなっている。なお、外周ヨーク２１ｃにさらに開口部分を形成して放熱性の向上を図ってもよい。
【００３８】
コイル２３で発生した磁場は、透磁率が高いステータティース２１内を磁路とする。そのため、ステータ１２の大気側で発生させた磁場はステータティース２１内を通ってステータ１２の内側（真空側）に導かれる。また、コアホルダ部２１ｂによって磁石部材１７の外周面に沿った領域に強い磁路を形成することができるため、磁石部材１７の外周面の近傍により強い磁場を形成することができる。
【００３９】
すなわち、大気側のコイル２３で発生させた磁場は、そのコイル２３が形成されているステータティース２１内を通って真空側に誘導され、磁石部材１７（永久磁石２７）に近接するステータティース２１の端部側に強い磁場を形成することができる。
【００４０】
また、ステータティース２１をシール隔壁１２ａよりも透磁率の高い材質で構成した場合には、シール隔壁１２ａに洩れる磁力線を少なくすることができるため、さらに高い出力や効率を有するモータを得ることができる。
【００４１】
なお、ステータ１２は板材を軸方向（上下方向）に多数枚積層して構成させた場合には、板材の隙間に滲み込ませた樹脂やセラミックを固めて（含浸処理）、シール構造とすると好適である。このように導線の隙間などに樹脂などを含浸させることで、ステータ１２を真空隔壁として機能させるとともに、真空領域に曝されるコイル２３の表面積を減少させてアウトガスの放出を抑えることができる。
【００４２】
本実施形態では半導体素子等のパッケージングに使われるＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂が用いられている。ＰＰＳペレット（米粒状の原材料）をステータ１２の周囲においた状態で加熱し、溶融させ、ステータ１２の隙間へ毛細管現象により浸透させたあと冷却することで含浸処理をすることができる。
【００４３】
次に、ベアリング３１の配設位置と効果について説明する。磁石部材１７の外周部分とステータティース２１の内周部分との隙間にはベアリング３１が介装されている。すなわち、ステータ１２の内側に張り出して形成されたステータティース２１（コアホルダ部２１ｂ）の内周側先端の上側及び下側に２つのベアリング３１の外周面がそれぞれ当接しており、磁石部材１７の外周面の上側及び下側に２つのベアリング３１の内周面がそれぞれ当接している。
【００４４】
このように、本実施形態に係るモータ３は、ステータ１２に対してロータ７の位置を直接的に決めることができる。このため、ステータ１２とロータ７の高い同軸精度を確保することができる。すなわち、ステータティース２１の内周面と磁石部材１７の外周面の距離を極めて高い精度で組み付けることができるとともに、ステータティース２１の内周面と磁石部材１７の外周面の距離を近づけることができる。従って、モータ３の高効率化やトルクリップルの低減、若しくは組み立て性の向上を図ることができる。
【００４５】
また、ロータ７は、２つのベアリング３１でのみ支持する構造とすることができる。すなわち、シャフト１５の下側のみで他の部材と接触し、真空容器１に近い部分にベアリングを配置しない構成にすることができる。この場合、ベアリング３１でパーティクルが発生した場合にもパーティクルが上方の開口部１ａを通過して真空容器１内に到達することが難しい。
【００４６】
さらに、ベアリング３１はいずれも磁石部材１７（永久磁石２７）に隣接して配置されていることから、磁性を有するパーティクルが発生した場合には磁石部材１７に付着して除去することができる。もちろん、ベアリング３１は、磁石部材１７の外周面の上側及び下側のいずれか一方にのみ配置される構成でもよく、この場合も、磁性を有するパーティクルは磁石部材１７に付着して除去することができる。ただし、ベアリング３１の位置はこれに限定されるものではない。
【００４７】
なお、図４Ａ，Ｂ乃至図７に示したモータ３を用いた基板搬送ロボットＲ１，Ｒ２については、実施例として後述する。
【００４８】
（第２の実施形態）
図８乃至１０は本発明の第２の実施形態に係るアクチュエータ（モータ４３）についての図であり、図８はモータの断面斜視図、図９はモータの縦断面図、図１０は図９のＢ−Ｂ断面図である。図１２乃至１４は本実施形態に係るアクチュエータを基板搬送ロボットに適用した構成例である。なお、これらの図面は煩雑化を防ぐため一部を除いて省略している。なお、以下の本実施形態において、第１の実施の形態と同様部材、配置等には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００４９】
本実施形態に係るアクチュエータ（モータ４３）は、上述した第１の実施形態に係るモータ３と比べてステータ５２の構成に大きな違いがある。
【００５０】
ステータ５２は、第１ハウジング９の下側に気密に接続される略円筒状の部材であり、図８に示すように、シール隔壁５３と、シール隔壁５３の外壁面から外方に向けて放射状に形成された略矩形板状の複数のステータティース６１とから構成されている。
【００５１】
シール隔壁５３は、真空を保持する隔壁としての機能を有し、厚さ０．５〜２．０ｍｍ程度、ステータティース６１とは一体として構成されている。また、シール隔壁５３は、円筒状の隔壁部５３ａと、隔壁部５３ａの上側と下側のそれぞれに形成されたリング状のフランジ部５３ｂ，５３ｃとから構成されており、隔壁部５３ａの直径はフランジ部５３ｂ，５３ｃの内径側に連結される大きさに形成されている。
【００５２】
フランジ部５３ｂの上側とフランジ部５３ｃの下側はそれぞれ第１ハウジング１０、第２ハウジング１０と接続される。フランジ部５３ｂと第１ハウジング１０の間には気密を保持するためのＯリング３３ｂが、フランジ部５３ｃと第２ハウジング１０の間にはＯリング３３ｃがそれぞれ介装されている。
【００５３】
また、本実施形態に係るフランジ部５３ｂは外径側の縁が第１ハウジング９及び第２ハウジング１０の外周面とほぼ同一の直径になるように形成されている。すなわち、隔壁部５３ａの内周面がロータ７の外周面に接近するように張り出して配置されている。
【００５４】
ステータティース６１は、その周囲に導線を巻回することでコイル２３が形成される略矩形板状の部材であり、長手方向を軸方向に合わせ、等角度間隔に放射状に配置されており、内側の端部が隔壁部５３ａにほぼ垂直に連結されるように配設されている。ステータティース６１の外側の端部は、フランジ部５３ｂは外径側の外周面とほぼ同一の直径になるように形成されている。
【００５５】
そのため、ステータティース６１に形成されるコイル２３は、シール隔壁５３の外側（大気側）、且つ、モータケーシング４４の外周面から突出しないように配置されている。コイル２３が大気側に形成されているため、コイル２３の導線から発生するアウトガスがステータ１２内側の真空度に悪影響を及ぼすことがなく、また、モータケーシング４４の外周面から張り出した部分がないため省スペース化を図ることができる。
【００５６】
上下のフランジ部５３ｂ，５３ｃの間には、リブ６２がステータ５２と一体に形成されている。リブ６２はステータティース６１と平行に形成された板状部材であり、ステータ５２の剛性の向上を図ることができる。すなわち、隔壁部５３ａに負荷される応力を緩和することができ、隔壁部５３ａの厚さをより薄く形成することができる。もちろん、リブ６２を有さない構造のステータであってもよい。
【００５７】
また、図１０に示すように、隔壁部５３ａの内側には軸線に沿ってスリット５４が形成されている。スリット５４は、隔壁部５３ａの内面から外方に向けて、隔壁部５３ａの肉厚の０．３〜３．０ｍｍ程度を残すように形成された切れ込みであり、各ステータティース６１の中間位置の隔壁部５３ａ内側に形成されている。なお、スリット５４を有しない構成とすることもできる。
【００５８】
コイル２３で発生した磁場は、透磁率が高いステータティース６１内を磁路とする。そのため、ステータ５２の大気側で発生させた磁場はステータティース６１内を通ってステータ５２の内側（真空側）に導かれる。
【００５９】
スリット５４が形成された肉厚の薄い部分は、各コイル２３から発生した磁界が飽和しやすくなるため、コイル２３からの磁界を効率よく磁石部材１７側に及ぼすことができる。言い換えると、スリット５４で隔壁部５３ａを縦方向に区切ることによって磁石部材１７の外周面に沿った磁路を形成することができ、磁石部材１７の外周面の近傍により強い磁場を形成することができる。すなわち、スリット５４で区切られた隔壁部の部分が、コアホルダに相当する部分である。もちろん、隔壁部５３ａを完全に切断するスリットを形成し、スリットの隙間を樹脂やエラストマーなどのシール部材で補填してもよい。
【００６０】
ステータ５２はステータ１２と同様、ケイ素鋼板やフェライト、パーマロイなど鉄損の少ない材質で構成されている。これらの材質で構成された板材を軸方向（上下方向）に多数枚積層させて構成するとより好適である。
【００６１】
また、シール隔壁５３とステータティース６１とを別体として製造し、これらを組み立ててステータ５２を構成してもよい。この場合は、隔壁部にステータティースの端部を差し込む開口を設けておき、ステータティースは隔壁部よりも透磁率の高い材質から構成されることが望ましい。このように、シール隔壁とステータティースを別部材で製造してから組み立てることで、隔壁部５３ａの側方に洩れる磁力線を少なくすることができ、より高い出力や効率を有するモータを得ることができる。
【００６２】
図１１に、本実施形態に適用できるステータの他の構成例（断面図）を示す。図１１は、図９のＢ−Ｂ断面図に相当する。図１１に示したステータ７２は、ロータ７と対向する内面にスリットが形成されておらず、隔壁部５３ａの厚さが薄く形成されている点でステータ５２と異なっている。スリット５４を形成しない構成であるので製造コストの低減を図ることができる。
【実施例】
【００６３】
モータ３を用いて構成した基板搬送ロボットについて図４Ａ，Ｂ乃至図７に基づいて説明する。基板などを載置することができる基板載置部材（アーム）を、シャフト１５の先端部に取り付けることで、シャフト１５の回転角度に応じて、真空容器１内で水平方向の基板の支持位置を変更することができるダイレクトドライブの基板搬送ロボットを構成することができる。
【００６４】
まず、モータ３を適用した１軸の基板搬送ロボットＲ１の構成例について図４Ａ，Ｂに基づいて説明する。モータケーシング５と真空容器１とを上下方向に伸縮可能なベローズ管３８を介して接続するとともに、モータケーシング５の上下位置を調整する公知の上下動機構３７を大気側に設けて構成すると好適である。このように構成すると、シャフト１５の先端部を回転、及び上下動させることができるため、シャフト１５の先端に基板４１を載置できるアーム３６を取り付けることで、真空容器１内で水平及び上下方向に基板搬送を行う基板搬送ロボットＲ１を構成することができる。
【００６５】
なお、モータ３は、シャフト１５の回転角度を制御する公知のサーボ装置を備えている。サーボ装置は、シャフト１５の回転角度や回転速度をモニターするエンコーダー（ディスクと読み取りヘッド）と、コイル（ステータコイル）を構成する導線に印加する電力を制御する電源（不図示）とからなり、エンコーダーから入力されるシャフト１５の回転角度信号に基づいて電力を印加するコイルに流れる電流を制御することによってシャフト１５の回転数や回転角度を制御することができる。すなわち、基板搬送ロボットＲ１の動力源としてモータ３を用いることで、アームの変位速度や位置を制御することができる。
【００６６】
なお、モータ３に替えてモータ４３や後述するモータ３０３を用いることができることはもちろんである。
【００６７】
次に、モータ３を適用した２軸の基板搬送ロボットＲ２の構成例について図５乃至７に基づいて以下に説明する。図５はモータを適用した搬送ロボットの構成例（斜視図）、図６はモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）、図７はモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）である。
【００６８】
基板搬送ロボットＲ２において、上下に配置された２つのモータ３ａ，３ｂは、上述したモータ３と同様の構成を有している。また、上側のモータ３ａのシャフトである外側シャフト１５ｂと、下側のモータ３ｂのシャフトである内側シャフト１５ａとが同軸に配置されるとともに、それぞれ独立回転制御可能に構成されている。
【００６９】
外側シャフト１５ｂは、アーム３６ｃに接続され、内側シャフト１５ａはアーム３６ｃ内に掛け渡されているベルト（不図示）を介してアーム３６ｂと同期して回動するように接続されている。従って、モータ３ａ，３ｂの回転制御により基板４１を載置するアーム３６ａの前後・回転方向（水平方向）の移動制御をすることができる。なお、アーム部分の構成は一般的なスカラアームとして公知の構成である。
【００７０】
図４Ａ，Ｂに示した基板搬送ロボットＲ１と同様に、モータ３ａのモータケーシングと真空容器１とを上下方向に伸縮可能なベローズ管（不図示）を介して接続するとともに、モータ３ａ，３ｂの上下位置を調整する公知の上下動機構をモータケーシングの大気側に設けると好適である。このように構成することで、アーム３６ａを水平方向及び上下方向に移動制御することができるため、真空容器１内で水平及び上下方向に基板搬送を行う基板搬送ロボットを構成することができる。
【００７１】
図１２乃至１４は、モータ４３を適用した基板搬送ロボットＲ３の構成例であり、モータ４３（４３ａ，４３ｂ）を上下方向に２つ連結して構成されている。基板搬送ロボットＲ３において上下に配置された２つのモータ４３ａ，４３ｂは、上述したモータ４３と同様の構成を有している。また、上側のモータ４３ａのシャフトである外側シャフト１５ｂと、下側のモータ４３ｂのシャフトである内側シャフト１５ａとが同軸に配置されるとともに、それぞれ独立回転制御可能に構成されている。基板搬送ロボットＲ３の他の構成は、上述した基板搬送ロボットＲ２とほぼ同様である。
【００７２】
（第３の実施形態）
図１５乃至図２０は本発明の第３の実施形態に係るモータについての図であり、図１５はモータの断面斜視図、図１６はモータの縦断面図、図１７は図１６のＡ−Ａ断面図である。また図１８乃至図２０はいずれもモータを適用した搬送ロボットの構成例である。なお、これらの図面は煩雑化を防ぐため一部を除いて省略している。
【００７３】
図１５、１６に示したアクチュエータ（モータ３０３）は、モータケーシング３０５に回転自在にロータ３０７が支持されたアクチュエータである。真空容器３０１壁面の開口部３０１ａにロータ３０７の先端を差し込むようにモータケーシング３０５（真空隔壁）を取り付けることができる。真空容器３０１に取り付けた状態では、ロータ３０７の先端部を真空容器３０１の内側に突出させて配置することができる。
【００７４】
モータケーシング３０５（真空隔壁）は、内側を真空雰囲気に保つことができる略有底円筒状の容器であり、真空容器３０１に取り付けられる第１ハウジング３０９とコイル３２３が設けられたステータ３１２とステータ３１２の底部に接続される第２ハウジング３１０とを主要構成要素として有している。また、ロータ３０７は、出力軸としてのシャフト３１５とシャフト３１５の回りにステータ３１２と対向して取り付けられた磁石部材３１７とを有して構成されている。ロータ３０７の回転軸とモータケーシング３０５の上下方向の中心軸は同軸として配設されている。なお、本明細書中では、シャフト３１５の軸方向を上下方向とし、真空容器３０１が配置されている方向を上方、モータケーシング３０５が配置されている方向を下方とする。
【００７５】
まず、モータケーシング３０５について説明する。第１ハウジング３０９は、上部側で真空容器３０１の開口部３０１ａの下側に締結部材によって取り付けられる部分であり、モータケーシング３０５の側面の一部を構成する円筒状の上側壁部３０９ａと真空容器３０１側に接する略リング状の天板３０９ｂが一体に連結されて構成されている。天板３０９ｂにはＯリング３０９ｄを嵌め込む溝部３０９ｃが形成されており、真空容器３０１の開口部３０１ａ周囲の底面と天板３０９ｂとの間でＯリング３０９ｄを挟み込むことによって気密を保持している。
【００７６】
上側壁部３０９ａは下側でステータ３１２の上部と気密に接続されており、上側壁部３０９ａとステータ３１２の接続部分にはＯリング３１２ａが介装されている。
【００７７】
ステータ３１２は、第１ハウジング３０９の下側に気密に接続される略円筒状の部材であり、図１７に示すように、内周面に沿ってリング状に複数のコイル３２３が配列されている。ステータ３１２は下部で第２ハウジング３１０の上部と気密に接続されており、ステータ３１２と第２ハウジング３１０の接続部分にはＯリング３１０ａが介装されている。ステータ３１２は、ケイ素鋼板やフェライト、パーマロイなど鉄損の少ない材質で構成されている。また、これらの材質で構成された板材を軸方向（上下方向）に多数枚積層させて構成するとより好適である。
【００７８】
コイル３２３は、モータケーシング３０５の内側にステータ３１２と一体に形成されたステータティース３２１に導線を幾重にも巻回することで形成されている。ステータティース３２１は、ステータ３１２のＯリング３１２ａ，３１０ｃによるシール位置よりも内側に形成されている。そのため、コイル３２３はモータケーシング３０５の内側（真空側）に配設されている。
【００７９】
なお、図１７においては、コイル３２３を３相８極２４コイル、ロータ側極数を１６極とした構成例を示しているが、コイル３２３とロータ極数の組み合わせとしては、公知の構造を適宜採用することができるものとする。また、本実施形態においては、ステータティース３２１に巻回される導線としてＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）絶縁皮膜された直径１．０ｍｍワイヤーが用いられているが、ポリエステルエナメルワイヤー（φ１．０ＰＥＷ）などの公知の導線を適宜用いることができるものとする。ただし、ガス放出量が少ないＰＴＦＥ絶縁皮膜のワイヤーの方がより好適である。なお、コイル３２３の構成については後述する。
【００８０】
第２ハウジング３１０は、ステータ３１２の下側に気密に取り付けられる略円筒有底部材であり、モータケーシング３０５の側面の一部を構成する円筒状の下側壁部３１０ａと底面を形成する略円板状の底板３１０ｂとからなる。
【００８１】
次に、ロータ３０７について説明する。シャフト３１５は、上述のようにロータ３０７の主要構成要素であり、少なくとも下側部分をモータケーシング３０５の内側に挿入した状態で回転自在に支持されている。シャフト３１５の上側の先端部を真空容器３０１の内側に突出できるように、先端部をモータケーシング３０５の上側から突出させて配設されている。シャフト３１５の下側は磁石部材３１７と同軸に嵌合されている。なお、イナーシャ低減のため、シャフト３１５は中空の管状部材から構成ることも可能である。
【００８２】
磁石部材３１７は、上述のようにロータ３０７の主要構成要素であり、ステータ３１２及びシャフト３１５の軸線を一致させた状態で、シャフト３１５の下端側に固定されている。本実施形態における磁石部材３１７は、シャフト３１５に固定された略円環状のバックヨーク３２５と、バックヨーク３２５の外周面に沿って一列に並べて取り付けられた複数の永久磁石３２７とから構成されている。
【００８３】
バックヨーク３２５は永久磁石３２７の磁路を形成する部材であり、磁性材料であるケイ素鋼板やフェライトに相当する材質で形成されている。このバックヨーク３２５の形状は、磁路を形成できる形状であればよく、例えば、内側面や外側面に凹凸を有する形状や、磁路に影響を与えない範囲内に複数の貫通した孔部が形成された形状でもよい。
【００８４】
永久磁石３２７は、板厚方向に磁束が向いくように磁化されたセグメント型の複数の永久磁石から構成されている。本実施形態においては、上下方向に細長い１６枚の矩形状のセグメント磁石が、極性が互い違いになるようにバックヨーク３２５の外周面に沿ってリング状に配列されている。また、コギング対策として永久磁石３２７の板厚方向の断面形状が扇状に形成、若しくは円弧状に湾曲されているとより好適である。
【００８５】
磁石材料としてはＳｍ系やＮｄ系、フェライト系など任意の永久磁石を適用することができることはもちろんである。なお、永久磁石３２７は、コギングを抑えるためスキュー角度を有してバックヨーク３２５に取り付けられると好適である。さらに、磁石部材１７は、バックヨーク３２５を備えず、シャフト３１５に永久磁石３２７を直接取り付ける構成であってもよいことはもちろんである。
【００８６】
以下に、本発明の特徴的な構成についてさらに説明する。まず、本発明に係るモータ３０３の主たる特徴であるステータ３１２について説明する。コイル３２３の形成されたステータティース３２１と一体に構成されたステータ３１２が、真空隔壁の機能を果たしている。これにより、ステータ３１２の内周部分と、磁性部材の外周部分の間（Ｇａｐ）には、お互いの干渉防止用の空間のみの隙間しか必要がなくなるため、磁気効率を大幅に向上させることが可能になる。
【００８７】
また、ステータ３１２自体が真空隔壁をなしているため、ステータ３１２の外側は大気に開放されることになる。従って、モータ駆動電流による発熱に対する高い冷却効果を得ることができる。さらに高い冷却効果を狙うために、空冷や、真空内部へ配管を通さずにステータ３１２に水冷機構を増設することも可能である。そして、このようなステータ３１２を備えることに起因して、ベアリング３３１、コイル３２３も特徴を有している。
【００８８】
ベアリング３３１の配設位置と効果について説明する。磁石部材３１７の外周部分とステータ３１２の内周部分との隙間にはベアリング３３１が介装されている。すなわち、ステータ３１２の内側に張り出して形成されたステータティース３２１の内周側先端の上側及び下側に２つのベアリング３３１の外周面がそれぞれ当接しており、磁石部材３１７の外周面の上側及び下側に２つのベアリング３３１の内周面がそれぞれ当接している。
【００８９】
このように、モータ３０３は、ステータ３１２に対してロータ３０７の位置を直接決めることができる。従って、ステータ３１２とロータ３０７の同軸精度を確保することができる。すなわち、ステータティース３２１の内周面と磁石部材３１７の外周面の距離を極めて高い精度で組み付けることができ、ステータティース３２１の内周面と磁石部材３１７の外周面の距離を近づけることができる。従って、モータ３０３の高効率化やトルクリップルの低減、若しくは組み立て性の向上を図ることができる。
【００９０】
また、ロータ３０７は、２つのベアリング３３１でのみ支持する構造をすることができる。すなわち、シャフト３１５の下側のみで他の部材と接触し、真空容器３０１に近い部分にベアリングを配置しない構成にすることができる。この場合、ベアリング３３１でパーティクルが発生した場合にもパーティクルが上方の開口部３０１ａを通過して真空容器３０１内に到達することが難しい。さらに、ベアリング３３１はいずれも磁石部材３１７（永久磁石３２７）に隣接して配置されていることから、磁性を有するパーティクルは磁石部材３１７に付着して除去することができる。
【００９１】
もちろん、ベアリング３３１は、磁石部材３１７の外周面の上側及び下側のいずれか一方にのみ配置される構成でもよく、この場合も、磁性を有するパーティクルは磁石部材３１７に付着して除去することができる。ただし、ベアリング３３１の位置はこれに限定されるものではない。
【００９２】
次に、コイル３２３の構成について説明する。コイル３２３は、ステータティース３２１に導線を巻回して構成されているが、本発明におけるコイル３２３は、導線同士の隙間や導線とステータティース３２１の隙間に滲み込ませた、樹脂やセラミックを固める（含浸処理）ことで、真空領域に曝されるコイル３２３の表面積を減少させている。このように導線の隙間などに樹脂などを含浸させることで、コイル３２３の表面積を低減しアウトガスの放出を抑えることができる。
【００９３】
また、導線部分の表面を樹脂やセラミックによって覆うことでもほぼ同様の効果を得ることができる。すなわち、ステータティース３２１に巻回された導線の外側領域だけに樹脂やセラミックを浸透させて固めることで、真空領域に曝されるコイル３２３の表面積を低減し、アウトガスの放出を抑えることができる。
【００９４】
コイル３２３部分に含浸させる材料として、本実施形態では半導体素子等のパッケージングに使われるＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂が用いられている。ＰＰＳ樹脂を用いた場合について説明すると、ＰＰＳ樹脂によって、コイル３２３部分、若しくは真空内部に配備されるステータ３１２とコイル３２３を一体とした部分を覆いＰＰＳ樹脂モールドを形成すると好適である。
【００９５】
ＰＰＳ樹脂モールドの形成方法としては、コイル巻き完了済みのステータ３１２の周囲に金型を配備し、ＰＰＳペレット（米粒状の原材料）をステータ３１２の周囲においた状態で加熱し、溶融させ、コイル３２３の細部へ毛細管現象により浸透させたあと冷却する方法を用いることができる。このとき、ＰＰＳモールド外側からコイル３２３の配線（巻線）が見えないだけでなく、コイル３２３内部からの脱ガスに対して、リークパスが発生しないように封止可能に固着させている。当然ながら、コイルの導線を絶縁する部材はこの際の温度に耐えうる耐熱性を持つものであるものとする。
【００９６】
また、上記のＰＰＳ樹脂モールドの形成方法は、ステータ３１２がケイ素鋼板やフェライト、パーマロイなどの板材を軸方向（上下方向）に多数枚積層させて構成したものである場合にも適用することができる。この場合、コイル３２３が形成された状態のステータ３１２の周囲を減圧雰囲気にしてからＰＰＳペレットを溶融させると、ステータの隙間やコイル３２３の細部により浸透しやすくなり、効果的にリークパスをなくすことができる。
【００９７】
ＰＰＳ樹脂の他にも、エポキシ系樹脂、絶縁メッキ、水ガラスなどの絶縁性材料を用いることができる。例えば、エポキシ系樹脂を用いた場合は、エポキシ系樹脂による固着によって、真空内部の部品の真空に触れる部分の表面積を大幅に低減させ、吸着ガスの量を減らすことにより、真空雰囲気に悪影響を与えることなく真空内部への駆動伝達が可能になる。
【００９８】
以下に、モータ３０３を用いた基板搬送ロボットについて説明する。基板などを載置することができる基板載置部材（アーム）を、シャフト３１５の先端部に取り付けることで、シャフト３１５の回転角度に応じて、真空容器３０１内で水平方向の基板の支持位置を変更することができるダイレクトドライブの基板搬送ロボットを構成することができる。モータ３０３を適用した基板搬送ロボットの構成例について、さらに後述する。
【００９９】
図１８乃至図２０は、本発明のモータ３０３を上下方向に２つ連結したモータ３０４を適用した基板搬送ロボット（スカラロボット）の構成例である。モータ３０４は、スカラロボットの駆動源として好適に適用できるように構成されたものであり、モータ３０３と同様の構成を有する２つのモータ３０３ａ，３０３ｂを上下に配置されている。また、上側のモータ３０３ａのシャフトである外側シャフト３１５ｂと、下側のモータ３０３ｂのシャフトである内側シャフト３１５ａとが同軸に配置されるとともに、それぞれ独立回転制御可能に構成されている。
【０１００】
外側シャフト３１５ｂは、アーム３３６ｃに接続され、内側シャフト３１５ａはアーム３３６ｃ内に掛け渡されているベルト（不図示）を介してアーム３３６ｂと同期して回動するように接続されている。従って、モータ３０３ａ，３０３ｂの回転制御により基板３４１を載置するアーム３３６ａの前後・回転方向（水平方向）の移動制御をすることができる。なお、アーム部分の構成は一般的なスカラロボットとして公知の構成とする。
【０１０１】
モータ３０４（３０３ａ）と真空容器３０１とを上下方向に伸縮可能なベローズ管を介して接続するとともに、モータ３０４の上下位置を調整する公知の上下動機構３３７をモータ３０４のケーシングの大気側に設けると好適である。このように構成することで、アーム３３６ａを水平方向及び上下方向に移動制御することができるため、真空容器３０１内で水平及び上下方向に基板搬送を行う基板搬送ロボットを構成することができる。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空雰囲気内部の機構部を駆動する真空アクチュエータ及び基板搬送ロボットに関し、特に、真空雰囲気下で基板などを搬送する搬送装置の駆動源としての真空アクチュエータ及びこの真空アクチュエータを備える基板搬送ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空雰囲気内部の機構部を駆動するアクチュエータは、ロータとステータの間に隔壁を配置することによって、永久磁石が取り付けられたロータを真空側に、磁界を発生させるステータを大気側に配置されているものが知られていた（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４参照）。
【０００３】
ステータのコイルは導線を巻回して構成されているため巻かれた導線の長さに応じた表面積を有しているが、特許文献１、特許文献２のモータのようにコイルを真空側から分離する隔壁を有することで、コイルから放出されるアウトガスが真空側に及ぼす影響を防いでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開昭６２−５１９４３号公報
【特許文献２】実開昭６４−１６１５７号公報
【特許文献３】特開２００１−１１２２２３号公報
【特許文献４】特開平０５−３１６７０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１、特許文献２に示された技術によれば、ロータが配置される空間とステータが配置される空間が隔壁によって分離されるため、ロータに固定された永久磁石と、ステータの先端との距離が広がってしまい、コイルに流した電流に対するロータが実際に発生可能な効率（トルク定数）が必然的に低くなってしまっていた。真空隔壁部の肉厚を薄くしようとしても、大気圧力に耐える剛性を備えた厚みが必要で、且つその隔壁とロータ、隔壁とステータの間に稼動時の干渉防止のためや、組立上の関係でギャップを空けなければならないため、大幅な改善を図ることができなかった。
【０００６】
同様に、ロータが配置される空間とステータが配置される空間が隔壁によって分離されるため、ロータは隔壁に対して位置決めを行うことになる。一方、ステータも隔壁に対して位置決めを行わざるを得ない。そのため、ロータのステータに対する位置決め精度、すなわち同軸精度の確保が困難であるという問題を有しており、モータの振動の増大や効率の低下、若しくは組み立て性の低下などの不都合が生じていた。
【０００７】
本発明の目的は、上記問題に鑑みて真空雰囲気内部の機構部を駆動する真空アクチュエータ及び基板搬送ロボットについてなされたものであり、真空度に悪影響を与えることなく、ロータに固定された永久磁石とステータの先端との距離を縮めて磁気効率を大幅に向上を図ることができる真空アクチュエータ及び基板搬送ロボットを提供することにある。
【０００８】
また、本発明の他の目的は、ロータのステータに対する位置決め精度を向上するとともに、モータ効率や組み立て性を向上することができる真空アクチュエータ及び基板搬送ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成する本発明に係る真空アクチュエータは、
内側を真空排気できる真空隔壁と、
前記真空隔壁に回転自在に支持されたロータと、
前記ロータの外周面に設けられた永久磁石と、
前記永久磁石に対向して設けられたコイルと、
前記コイルを設けるステータと、を有し、
前記ステータと前記真空隔壁は、一体として形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のモータによれば、真空雰囲気に悪影響を与えることなく、モータ効率を向上することができるとともに、ロータのステータに対する高い位置決め精度及び同軸精度や組み立て性の向上を図ることができる。また、ステータが部品に覆われないため、大気への放熱効率の向上が図れ、温度上昇による発熱抵抗の増大を減少させ、より大電流を流すことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係るモータの断面斜視図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施形態に係るモータの縦断面図である。
【図３】図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４Ａ】、
【図４Ｂ】図４Ａ、Ｂは、本発明の第１の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボット（一軸）の構成例（斜視図）である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボット（二軸）の構成例（斜視図）である。
【図６】図６は、本発明の第１の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボット（二軸）の構成例（部分断面図）である。
【図７】図７は、本発明の第１の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボット（二軸）の構成例（部分断面図）である。
【図８】図８は、本発明の第２の実施形態に係るモータの断面斜視図である。
【図９】図９は、本発明の第２の実施形態に係るモータの縦断面図である。
【図１０】図１０は、図５のＢ−Ｂ断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の第２の実施形態に係るステータの他の構成例（図５のＢ−Ｂ断面図）である。
【図１２】図１２は、本発明の第２の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（斜視図）である。
【図１３】図１３は、本発明の第２の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）である。
【図１４】図１４は、本発明の第２の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）である。
【図１５】図１５は、本発明の第３の実施形態に係るモータの断面斜視図である。
【図１６】図１６は、本発明の第３の実施形態に係るモータの縦断面図である。
【図１７】図１７は、図１６のＡ−Ａ断面図である。
【図１８】図１８は、本発明の第３の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（斜視図）である。
【図１９】図１９は、本発明の第３の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）である。
【図２０】図２０は、本発明の第３の実施形態に係るモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１の実施形態）
以下に、本発明の第１の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下に説明する部材、配置等は発明を具体化した一例であって本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨に沿って各種改変できることは勿論である。
【００１３】
図１乃至７は本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータについての図であり、図１はモータの断面斜視図、図２はモータの縦断面図、図３は図２のＡ−Ａ断面図である。図４Ａ、Ｂ乃至図７は本実施形態に係るアクチュエータを基板搬送ロボットに適用した構成例である。
【００１４】
なお、これらの図面は煩雑化を防ぐため一部を除いて省略している。
【００１５】
図１、２に示したアクチュエータ（モータ３）は、モータケーシング５に回転自在にロータ７が支持されて構成されている。真空容器１の壁面に形成された開口部１ａにロータ７の先端を差し込むようにモータケーシング５（真空隔壁）を取り付けることができる。
【００１６】
真空容器１に取り付けた状態では、ロータ７の先端部を真空容器１の内側に突出させて配置することができる。
【００１７】
モータケーシング５（真空隔壁）は、内側を真空雰囲気に保つことができる略有底円筒状の容器であり、真空容器１に取り付けられる第１ハウジング９と、コイル２３が設けられたステータ１２と、ステータ１２の底部に接続される第２ハウジング１０とを主要構成要素として有している。
【００１８】
また、ロータ７は、出力軸としてのシャフト１５とシャフト１５の回りにステータ１２と対向して取り付けられた磁石部材１７とを有して構成されている。ロータ７の回転軸とモータケーシング５の上下方向の中心軸は同軸として配設されている。
【００１９】
なお、本明細書中では、シャフト１５の軸方向を上下方向とし、真空容器１が配置されている方向を上方、モータケーシング５が配置されている方向を下方とする。
【００２０】
まず、モータケーシング５について説明する。第１ハウジング９は、上部側で真空容器１の開口部１ａの下側に締結部材によって取り付けられる部分であり、モータケーシング５の側面の一部を構成する円筒状の上側壁部９ａを有して構成されている。上側壁部９ａの上端にはＯリング３３ａを嵌め込む溝部９ｃが形成されており、真空容器１の開口部１ａ周囲の底面と上側壁部９ａの上端との間でＯリング３３ａを挟み込むことによって気密を保持している。上側壁部９ａは下側でステータ１２の上部と気密に接続されており、上側壁部９ａとステータ１２の接続部分にはＯリング３３ｂが介装されている。
【００２１】
ステータ１２は、第１ハウジング９の下側に気密に接続される略円筒状の部材であり、図３に示すように、円筒状のシール隔壁１２ａと、シール隔壁１２ａを貫通するように形成された略矩形板状の複数のステータティース２１とから構成されている。ステータ１２は下部で第２ハウジング１０の上部と気密に接続されており、ステータ１２と第２ハウジング１０の接続部分にはＯリング３３ｃが介装されている。
【００２２】
ステータ１２はシール隔壁１２ａの上下側でそれぞれ第１ハウジング１０、第２ハウジング１０と気密に接続されているため、シール隔壁１２ａを貫通して配置されているステータティース２１は内側が真空側、外側が大気側に配置されている。コイル２３はステータティース２１の大気側の部分に形成されている。本実施形態のモータ３は２４個のステータティース２１を有しており、それぞれのステータティース２１にコイル２３が形成されるため、ステータティース２１と同数のコイル２３を有している。
【００２３】
なお、図３においては、コイル２３を３相８極２４コイル、ロータ側極数を１６極とした構成例を示しているが、コイル２３とロータ極数の組み合わせとしては、公知の構造を適宜採用することができるものとする。また、本実施形態においては、ステータティース２１に巻回される導線として直径１．０ｍｍポリエステルエナメルワイヤー（φ１．０ＰＥＷ）が用いられているが公知の導線を適宜用いることができるものとする。
【００２４】
第２ハウジング１０は、ステータ１２の下側に気密に取り付けられる略円筒有底部材であり、モータケーシング５の側面の一部を構成する円筒状の下側壁部１０ａと底面を形成する略円板状の底板１０ｂとからなる。
【００２５】
次に、ロータ７について説明する。シャフト１５は、上述のようにロータ７の主要構成要素であり、少なくとも下側部分をモータケーシング５の内側に挿入した状態で回転自在に支持されている。シャフト１５の上側の先端部を真空容器１の内側に突出できるように、先端部をモータケーシング５の上側から突出させて配設されている。シャフト１５の下側は磁石部材１７と同軸に嵌合されている。なお、イナーシャ低減のためシャフト１５は中空の管状部材から構成してもよい。
【００２６】
磁石部材１７は、上述のようにロータ７の主要構成要素であり、ステータ１２及びシャフト１５の軸線を一致させた状態で、シャフト１５の下端側に固定されている。本実施形態における磁石部材１７は、シャフト１５に固定された略円環状のバックヨーク２５と、バックヨーク２５の外周面に沿って一列に並べて取り付けられた複数の永久磁石２７とから構成されている。
【００２７】
バックヨーク２５は永久磁石２７の磁路を形成する部材であり、磁性材料であるケイ素鋼板やフェライトに相当する材質で形成されている。このバックヨーク２５の形状は、磁路を形成できる形状であればよく、例えば、内側面や外側面に凹凸を有する形状や、磁路に影響を与えない範囲内に複数の貫通した孔部が形成された形状でもよい。
【００２８】
永久磁石２７は、板厚方向に磁束が向くように磁化されたセグメント型の複数の永久磁石から構成されている。本実施形態においては、上下方向に細長い１６枚の矩形状のセグメント磁石が、極性が互い違いになるようにバックヨーク２５の外周面に沿ってリング状に配列されている。また、コギング対策として板厚方向の断面形状が扇状であればより好適である。
【００２９】
磁石材料としてはＳｍ系やＮｄ系、フェライト系など任意の永久磁石を適用することができることはもちろんである。なお、永久磁石２７は、コギングを抑えるためスキュー角度を有してバックヨーク２５に取り付けられると好適である。さらに、磁石部材１７は、バックヨーク２５を備えず、シャフト１５に永久磁石２７を直接取り付ける構成であってもよいことはもちろんである。
【００３０】
以下に、本実施形態の特徴的な構成について詳しく説明する。まず、ステータ１２について詳しく説明する。上述したように、ステータ１２はシール隔壁１２ａと、シール隔壁１２ａを貫通するように形成されたステータティース２１とを備えている。シール隔壁１２ａは、真空隔壁としての機能を有しており、ステータティース２１とは一体として構成されている。シール隔壁１２ａの厚さはコイル２３で発生する磁束がロータ側に漏れ出す程度である必要があり、モータ３は０．５〜２．０ｍｍ程度に調整されている。
【００３１】
ステータティース２１は、その周囲に導線を巻回することでコイル２３が形成される部材であり、シール隔壁１２ａを貫通するように形成された略矩形板状のコア部２１ａと、ステータ１２内側のコア部２１ａの端部に形成された略矩形板状のコアホルダ部２１ｂとから構成されている。また、本実施形態のモータ３は、ステータ１２外側のコア部２１ａの端部に、略筒状の外周ヨーク２１ｃを備えているが、外周ヨーク２１ｃを備えない構成とすることもできる。
【００３２】
コア部２１ａは、長手方向を軸方向に合わせ、等角度間隔に放射状に配置されており、径方向の中央位置付近がシール隔壁１２ａにほぼ垂直に差し込まれるように配設されている。すなわち、コア部２１ａの一端部側はステータ１２の内側（真空側）に、他端部側はステータ１２の外側（大気側）に配置されている。
【００３３】
コアホルダ部２１ｂは、磁石部材１７の外周面と平行になるように湾曲して形成された略板状の構造を、ステータティース２１内側のコア部２１ａ先端に形成したものである。コイル２３はコア部２１ａの大気側に位置する部分に導線を幾重にも巻回することで形成されている。コイル２３が大気側に形成されているため、コイル２３の導線から発生するアウトガスがステータ１２内側の真空度に悪影響を及ぼすことがない。
【００３４】
ステータ１２は、ケイ素鋼板やフェライト、パーマロイなど鉄損の少ない材質から構成されている。本実施形態のステータ１２は、これらの材質を所定の形状に加工した部材から構成されている。なお、上記の鉄損の少ない材質で構成された板材を軸方向（上下方向）に多数枚積層させて構成するとより好適である。また、シール隔壁１２ａとステータティース２１とを別体として製造し、これらを組み立ててステータ１２を構成してもよい。この場合には、シール隔壁に形成された開口にステータティースを差し込んでロウ付けや接着剤により気密に固着される。
【００３５】
なお、予め導線を巻回してコイルが形成されたステータティースをシール隔壁に差し込んで固着すると、狭いスリットで巻線を行う必要がなくなり好適である。ステータティースはシール隔壁よりも透磁率の高い材質から構成されることが望ましい。または、シール隔壁だけを非磁性ステンレスなどの非磁性材料から構成されるとしてもよい。
【００３６】
なお、本実施形態のモータ３では、ステータティース２１の外側端部を連結する略筒状の外周ヨーク２１ｃを備える構造が採用されている。外周ヨーク２１ｃは、ステータティース２１の外周部分に接してネジにより締結、若しくは、圧入や溶接により固着されている。リブと一体に取り付けることでステータの強度向上を図ることができる。また、外周ヨーク２１ｃはステータティース２１と同様の材質で構成されるため、ステータティース２１の外周側の磁路を形成し、隣接するステータティース２１にまで磁力線を導くことができる。
【００３７】
外周ヨーク２１ｃは、コイル２３の上下部分を覆わないようにステータティース２１に固定されており、ステータティース２１の上下部分に隙間があるため放熱性が高い構造である。すなわち、コイル２３付近で過熱された空気は外周ヨーク２１ｃの上側の隙間から放出され、外周ヨーク２１ｃの上側の隙間から外気が流入することで対流が生じやすくなっている。なお、外周ヨーク２１ｃにさらに開口部分を形成して放熱性の向上を図ってもよい。
【００３８】
コイル２３で発生した磁場は、透磁率が高いステータティース２１内を磁路とする。そのため、ステータ１２の大気側で発生させた磁場はステータティース２１内を通ってステータ１２の内側（真空側）に導かれる。また、コアホルダ部２１ｂによって磁石部材１７の外周面に沿った領域に強い磁路を形成することができるため、磁石部材１７の外周面の近傍により強い磁場を形成することができる。
【００３９】
すなわち、大気側のコイル２３で発生させた磁場は、そのコイル２３が形成されているステータティース２１内を通って真空側に誘導され、磁石部材１７（永久磁石２７）に近接するステータティース２１の端部側に強い磁場を形成することができる。
【００４０】
また、ステータティース２１をシール隔壁１２ａよりも透磁率の高い材質で構成した場合には、シール隔壁１２ａに洩れる磁力線を少なくすることができるため、さらに高い出力や効率を有するモータを得ることができる。
【００４１】
なお、ステータ１２は板材を軸方向（上下方向）に多数枚積層して構成させた場合には、板材の隙間に滲み込ませた樹脂やセラミックを固めて（含浸処理）、シール構造とすると好適である。このように導線の隙間などに樹脂などを含浸させることで、ステータ１２を真空隔壁として機能させるとともに、真空領域に曝されるコイル２３の表面積を減少させてアウトガスの放出を抑えることができる。
【００４２】
本実施形態では半導体素子等のパッケージングに使われるＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂が用いられている。ＰＰＳペレット（米粒状の原材料）をステータ１２の周囲においた状態で加熱し、溶融させ、ステータ１２の隙間へ毛細管現象により浸透させたあと冷却することで含浸処理をすることができる。
【００４３】
次に、ベアリング３１の配設位置と効果について説明する。磁石部材１７の外周部分とステータティース２１の内周部分との隙間にはベアリング３１が介装されている。すなわち、ステータ１２の内側に張り出して形成されたステータティース２１（コアホルダ部２１ｂ）の内周側先端の上側及び下側に２つのベアリング３１の外周面がそれぞれ当接しており、磁石部材１７の外周面の上側及び下側に２つのベアリング３１の内周面がそれぞれ当接している。
【００４４】
このように、本実施形態に係るモータ３は、ステータ１２に対してロータ７の位置を直接的に決めることができる。このため、ステータ１２とロータ７の高い同軸精度を確保することができる。すなわち、ステータティース２１の内周面と磁石部材１７の外周面の距離を極めて高い精度で組み付けることができるとともに、ステータティース２１の内周面と磁石部材１７の外周面の距離を近づけることができる。従って、モータ３の高効率化やトルクリップルの低減、若しくは組み立て性の向上を図ることができる。
【００４５】
また、ロータ７は、２つのベアリング３１でのみ支持する構造とすることができる。すなわち、シャフト１５の下側のみで他の部材と接触し、真空容器１に近い部分にベアリングを配置しない構成にすることができる。この場合、ベアリング３１でパーティクルが発生した場合にもパーティクルが上方の開口部１ａを通過して真空容器１内に到達することが難しい。
【００４６】
さらに、ベアリング３１はいずれも磁石部材１７（永久磁石２７）に隣接して配置されていることから、磁性を有するパーティクルが発生した場合には磁石部材１７に付着して除去することができる。もちろん、ベアリング３１は、磁石部材１７の外周面の上側及び下側のいずれか一方にのみ配置される構成でもよく、この場合も、磁性を有するパーティクルは磁石部材１７に付着して除去することができる。ただし、ベアリング３１の位置はこれに限定されるものではない。
【００４７】
なお、図４Ａ，Ｂ乃至図７に示したモータ３を用いた基板搬送ロボットＲ１，Ｒ２については、実施例として後述する。
【００４８】
（第２の実施形態）
図８乃至１０は本発明の第２の実施形態に係るアクチュエータ（モータ４３）についての図であり、図８はモータの断面斜視図、図９はモータの縦断面図、図１０は図９のＢ−Ｂ断面図である。図１２乃至１４は本実施形態に係るアクチュエータを基板搬送ロボットに適用した構成例である。なお、これらの図面は煩雑化を防ぐため一部を除いて省略している。なお、以下の本実施形態において、第１の実施の形態と同様部材、配置等には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００４９】
本実施形態に係るアクチュエータ（モータ４３）は、上述した第１の実施形態に係るモータ３と比べてステータ５２の構成に大きな違いがある。
【００５０】
ステータ５２は、第１ハウジング９の下側に気密に接続される略円筒状の部材であり、図８に示すように、シール隔壁５３と、シール隔壁５３の外壁面から外方に向けて放射状に形成された略矩形板状の複数のステータティース６１とから構成されている。
【００５１】
シール隔壁５３は、真空を保持する隔壁としての機能を有し、厚さ０．５〜２．０ｍｍ程度、ステータティース６１とは一体として構成されている。また、シール隔壁５３は、円筒状の隔壁部５３ａと、隔壁部５３ａの上側と下側のそれぞれに形成されたリング状のフランジ部５３ｂ，５３ｃとから構成されており、隔壁部５３ａの直径はフランジ部５３ｂ，５３ｃの内径側に連結される大きさに形成されている。
【００５２】
フランジ部５３ｂの上側とフランジ部５３ｃの下側はそれぞれ第１ハウジング１０、第２ハウジング１０と接続される。フランジ部５３ｂと第１ハウジング１０の間には気密を保持するためのＯリング３３ｂが、フランジ部５３ｃと第２ハウジング１０の間にはＯリング３３ｃがそれぞれ介装されている。
【００５３】
また、本実施形態に係るフランジ部５３ｂは外径側の縁が第１ハウジング９及び第２ハウジング１０の外周面とほぼ同一の直径になるように形成されている。すなわち、隔壁部５３ａの内周面がロータ７の外周面に接近するように張り出して配置されている。
【００５４】
ステータティース６１は、その周囲に導線を巻回することでコイル２３が形成される略矩形板状の部材であり、長手方向を軸方向に合わせ、等角度間隔に放射状に配置されており、内側の端部が隔壁部５３ａにほぼ垂直に連結されるように配設されている。ステータティース６１の外側の端部は、フランジ部５３ｂは外径側の外周面とほぼ同一の直径になるように形成されている。
【００５５】
そのため、ステータティース６１に形成されるコイル２３は、シール隔壁５３の外側（大気側）、且つ、モータケーシング４４の外周面から突出しないように配置されている。コイル２３が大気側に形成されているため、コイル２３の導線から発生するアウトガスがステータ１２内側の真空度に悪影響を及ぼすことがなく、また、モータケーシング４４の外周面から張り出した部分がないため省スペース化を図ることができる。
【００５６】
上下のフランジ部５３ｂ，５３ｃの間には、リブ６２がステータ５２と一体に形成されている。リブ６２はステータティース６１と平行に形成された板状部材であり、ステータ５２の剛性の向上を図ることができる。すなわち、隔壁部５３ａに負荷される応力を緩和することができ、隔壁部５３ａの厚さをより薄く形成することができる。もちろん、リブ６２を有さない構造のステータであってもよい。
【００５７】
また、図１０に示すように、隔壁部５３ａの内側には軸線に沿ってスリット５４が形成されている。スリット５４は、隔壁部５３ａの内面から外方に向けて、隔壁部５３ａの肉厚の０．３〜３．０ｍｍ程度を残すように形成された切れ込みであり、各ステータティース６１の中間位置の隔壁部５３ａ内側に形成されている。なお、スリット５４を有しない構成とすることもできる。
【００５８】
コイル２３で発生した磁場は、透磁率が高いステータティース６１内を磁路とする。そのため、ステータ５２の大気側で発生させた磁場はステータティース６１内を通ってステータ５２の内側（真空側）に導かれる。
【００５９】
スリット５４が形成された肉厚の薄い部分は、各コイル２３から発生した磁界が飽和しやすくなるため、コイル２３からの磁界を効率よく磁石部材１７側に及ぼすことができる。言い換えると、スリット５４で隔壁部５３ａを縦方向に区切ることによって磁石部材１７の外周面に沿った磁路を形成することができ、磁石部材１７の外周面の近傍により強い磁場を形成することができる。すなわち、スリット５４で区切られた隔壁部の部分が、コアホルダに相当する部分である。もちろん、隔壁部５３ａを完全に切断するスリットを形成し、スリットの隙間を樹脂やエラストマーなどのシール部材で補填してもよい。
【００６０】
ステータ５２はステータ１２と同様、ケイ素鋼板やフェライト、パーマロイなど鉄損の少ない材質で構成されている。これらの材質で構成された板材を軸方向（上下方向）に多数枚積層させて構成するとより好適である。
【００６１】
また、シール隔壁５３とステータティース６１とを別体として製造し、これらを組み立ててステータ５２を構成してもよい。この場合は、隔壁部にステータティースの端部を差し込む開口を設けておき、ステータティースは隔壁部よりも透磁率の高い材質から構成されることが望ましい。このように、シール隔壁とステータティースを別部材で製造してから組み立てることで、隔壁部５３ａの側方に洩れる磁力線を少なくすることができ、より高い出力や効率を有するモータを得ることができる。
【００６２】
図１１に、本実施形態に適用できるステータの他の構成例（断面図）を示す。図１１は、図９のＢ−Ｂ断面図に相当する。図１１に示したステータ７２は、ロータ７と対向する内面にスリットが形成されておらず、隔壁部５３ａの厚さが薄く形成されている点でステータ５２と異なっている。スリット５４を形成しない構成であるので製造コストの低減を図ることができる。
【実施例】
【００６３】
モータ３を用いて構成した基板搬送ロボットについて図４Ａ，Ｂ乃至図７に基づいて説明する。基板などを載置することができる基板載置部材（アーム）を、シャフト１５の先端部に取り付けることで、シャフト１５の回転角度に応じて、真空容器１内で水平方向の基板の支持位置を変更することができるダイレクトドライブの基板搬送ロボットを構成することができる。
【００６４】
まず、モータ３を適用した１軸の基板搬送ロボットＲ１の構成例について図４Ａ，Ｂに基づいて説明する。モータケーシング５と真空容器１とを上下方向に伸縮可能なベローズ管３８を介して接続するとともに、モータケーシング５の上下位置を調整する公知の上下動機構３７を大気側に設けて構成すると好適である。このように構成すると、シャフト１５の先端部を回転、及び上下動させることができるため、シャフト１５の先端に基板４１を載置できるアーム３６を取り付けることで、真空容器１内で水平及び上下方向に基板搬送を行う基板搬送ロボットＲ１を構成することができる。
【００６５】
なお、モータ３は、シャフト１５の回転角度を制御する公知のサーボ装置を備えている。サーボ装置は、シャフト１５の回転角度や回転速度をモニターするエンコーダー（ディスクと読み取りヘッド）と、コイル（ステータコイル）を構成する導線に印加する電力を制御する電源（不図示）とからなり、エンコーダーから入力されるシャフト１５の回転角度信号に基づいて電力を印加するコイルに流れる電流を制御することによってシャフト１５の回転数や回転角度を制御することができる。すなわち、基板搬送ロボットＲ１の動力源としてモータ３を用いることで、アームの変位速度や位置を制御することができる。
【００６６】
なお、モータ３に替えてモータ４３や後述するモータ３０３を用いることができることはもちろんである。
【００６７】
次に、モータ３を適用した２軸の基板搬送ロボットＲ２の構成例について図５乃至７に基づいて以下に説明する。図５はモータを適用した搬送ロボットの構成例（斜視図）、図６はモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）、図７はモータを適用した搬送ロボットの構成例（部分断面図）である。
【００６８】
基板搬送ロボットＲ２において、上下に配置された２つのモータ３ａ，３ｂは、上述したモータ３と同様の構成を有している。また、上側のモータ３ａのシャフトである外側シャフト１５ｂと、下側のモータ３ｂのシャフトである内側シャフト１５ａとが同軸に配置されるとともに、それぞれ独立回転制御可能に構成されている。
【００６９】
外側シャフト１５ｂは、アーム３６ｃに接続され、内側シャフト１５ａはアーム３６ｃ内に掛け渡されているベルト（不図示）を介してアーム３６ｂと同期して回動するように接続されている。従って、モータ３ａ，３ｂの回転制御により基板４１を載置するアーム３６ａの前後・回転方向（水平方向）の移動制御をすることができる。なお、アーム部分の構成は一般的なスカラアームとして公知の構成である。
【００７０】
図４Ａ，Ｂに示した基板搬送ロボットＲ１と同様に、モータ３ａのモータケーシングと真空容器１とを上下方向に伸縮可能なベローズ管（不図示）を介して接続するとともに、モータ３ａ，３ｂの上下位置を調整する公知の上下動機構をモータケーシングの大気側に設けると好適である。このように構成することで、アーム３６ａを水平方向及び上下方向に移動制御することができるため、真空容器１内で水平及び上下方向に基板搬送を行う基板搬送ロボットを構成することができる。
【００７１】
図１２乃至１４は、モータ４３を適用した基板搬送ロボットＲ３の構成例であり、モータ４３（４３ａ，４３ｂ）を上下方向に２つ連結して構成されている。基板搬送ロボットＲ３において上下に配置された２つのモータ４３ａ，４３ｂは、上述したモータ４３と同様の構成を有している。また、上側のモータ４３ａのシャフトである外側シャフト１５ｂと、下側のモータ４３ｂのシャフトである内側シャフト１５ａとが同軸に配置されるとともに、それぞれ独立回転制御可能に構成されている。基板搬送ロボットＲ３の他の構成は、上述した基板搬送ロボットＲ２とほぼ同様である。
【００７２】
（第３の実施形態）
図１５乃至図２０は本発明の第３の実施形態に係るモータについての図であり、図１５はモータの断面斜視図、図１６はモータの縦断面図、図１７は図１６のＡ−Ａ断面図である。また図１８乃至図２０はいずれもモータを適用した搬送ロボットの構成例である。なお、これらの図面は煩雑化を防ぐため一部を除いて省略している。
【００７３】
図１５、１６に示したアクチュエータ（モータ３０３）は、モータケーシング３０５に回転自在にロータ３０７が支持されたアクチュエータである。真空容器３０１壁面の開口部３０１ａにロータ３０７の先端を差し込むようにモータケーシング３０５（真空隔壁）を取り付けることができる。真空容器３０１に取り付けた状態では、ロータ３０７の先端部を真空容器３０１の内側に突出させて配置することができる。
【００７４】
モータケーシング３０５（真空隔壁）は、内側を真空雰囲気に保つことができる略有底円筒状の容器であり、真空容器３０１に取り付けられる第１ハウジング３０９とコイル３２３が設けられたステータ３１２とステータ３１２の底部に接続される第２ハウジング３１０とを主要構成要素として有している。また、ロータ３０７は、出力軸としてのシャフト３１５とシャフト３１５の回りにステータ３１２と対向して取り付けられた磁石部材３１７とを有して構成されている。ロータ３０７の回転軸とモータケーシング３０５の上下方向の中心軸は同軸として配設されている。なお、本明細書中では、シャフト３１５の軸方向を上下方向とし、真空容器３０１が配置されている方向を上方、モータケーシング３０５が配置されている方向を下方とする。
【００７５】
まず、モータケーシング３０５について説明する。第１ハウジング３０９は、上部側で真空容器３０１の開口部３０１ａの下側に締結部材によって取り付けられる部分であり、モータケーシング３０５の側面の一部を構成する円筒状の上側壁部３０９ａと真空容器３０１側に接する略リング状の天板３０９ｂが一体に連結されて構成されている。天板３０９ｂにはＯリング３０９ｄを嵌め込む溝部３０９ｃが形成されており、真空容器３０１の開口部３０１ａ周囲の底面と天板３０９ｂとの間でＯリング３０９ｄを挟み込むことによって気密を保持している。
【００７６】
上側壁部３０９ａは下側でステータ３１２の上部と気密に接続されており、上側壁部３０９ａとステータ３１２の接続部分にはＯリング３１２ａが介装されている。
【００７７】
ステータ３１２は、第１ハウジング３０９の下側に気密に接続される略円筒状の部材であり、図１７に示すように、内周面に沿ってリング状に複数のコイル３２３が配列されている。ステータ３１２は下部で第２ハウジング３１０の上部と気密に接続されており、ステータ３１２と第２ハウジング３１０の接続部分にはＯリング３１０ａが介装されている。ステータ３１２は、ケイ素鋼板やフェライト、パーマロイなど鉄損の少ない材質で構成されている。また、これらの材質で構成された板材を軸方向（上下方向）に多数枚積層させて構成するとより好適である。
【００７８】
コイル３２３は、モータケーシング３０５の内側にステータ３１２と一体に形成されたステータティース３２１に導線を幾重にも巻回することで形成されている。ステータティース３２１は、ステータ３１２のＯリング３１２ａ，３１０ｃによるシール位置よりも内側に形成されている。そのため、コイル３２３はモータケーシング３０５の内側（真空側）に配設されている。
【００７９】
なお、図１７においては、コイル３２３を３相８極２４コイル、ロータ側極数を１６極とした構成例を示しているが、コイル３２３とロータ極数の組み合わせとしては、公知の構造を適宜採用することができるものとする。また、本実施形態においては、ステータティース３２１に巻回される導線としてＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）絶縁皮膜された直径１．０ｍｍワイヤーが用いられているが、ポリエステルエナメルワイヤー（φ１．０ＰＥＷ）などの公知の導線を適宜用いることができるものとする。ただし、ガス放出量が少ないＰＴＦＥ絶縁皮膜のワイヤーの方がより好適である。なお、コイル３２３の構成については後述する。
【００８０】
第２ハウジング３１０は、ステータ３１２の下側に気密に取り付けられる略円筒有底部材であり、モータケーシング３０５の側面の一部を構成する円筒状の下側壁部３１０ａと底面を形成する略円板状の底板３１０ｂとからなる。
【００８１】
次に、ロータ３０７について説明する。シャフト３１５は、上述のようにロータ３０７の主要構成要素であり、少なくとも下側部分をモータケーシング３０５の内側に挿入した状態で回転自在に支持されている。シャフト３１５の上側の先端部を真空容器３０１の内側に突出できるように、先端部をモータケーシング３０５の上側から突出させて配設されている。シャフト３１５の下側は磁石部材３１７と同軸に嵌合されている。なお、イナーシャ低減のため、シャフト３１５は中空の管状部材から構成ることも可能である。
【００８２】
磁石部材３１７は、上述のようにロータ３０７の主要構成要素であり、ステータ３１２及びシャフト３１５の軸線を一致させた状態で、シャフト３１５の下端側に固定されている。本実施形態における磁石部材３１７は、シャフト３１５に固定された略円環状のバックヨーク３２５と、バックヨーク３２５の外周面に沿って一列に並べて取り付けられた複数の永久磁石３２７とから構成されている。
【００８３】
バックヨーク３２５は永久磁石３２７の磁路を形成する部材であり、磁性材料であるケイ素鋼板やフェライトに相当する材質で形成されている。このバックヨーク３２５の形状は、磁路を形成できる形状であればよく、例えば、内側面や外側面に凹凸を有する形状や、磁路に影響を与えない範囲内に複数の貫通した孔部が形成された形状でもよい。
【００８４】
永久磁石３２７は、板厚方向に磁束が向いくように磁化されたセグメント型の複数の永久磁石から構成されている。本実施形態においては、上下方向に細長い１６枚の矩形状のセグメント磁石が、極性が互い違いになるようにバックヨーク３２５の外周面に沿ってリング状に配列されている。また、コギング対策として永久磁石３２７の板厚方向の断面形状が扇状に形成、若しくは円弧状に湾曲されているとより好適である。
【００８５】
磁石材料としてはＳｍ系やＮｄ系、フェライト系など任意の永久磁石を適用することができることはもちろんである。なお、永久磁石３２７は、コギングを抑えるためスキュー角度を有してバックヨーク３２５に取り付けられると好適である。さらに、磁石部材１７は、バックヨーク３２５を備えず、シャフト３１５に永久磁石３２７を直接取り付ける構成であってもよいことはもちろんである。
【００８６】
以下に、本発明の特徴的な構成についてさらに説明する。まず、本発明に係るモータ３０３の主たる特徴であるステータ３１２について説明する。コイル３２３の形成されたステータティース３２１と一体に構成されたステータ３１２が、真空隔壁の機能を果たしている。これにより、ステータ３１２の内周部分と、磁性部材の外周部分の間（Ｇａｐ）には、お互いの干渉防止用の空間のみの隙間しか必要がなくなるため、磁気効率を大幅に向上させることが可能になる。
【００８７】
また、ステータ３１２自体が真空隔壁をなしているため、ステータ３１２の外側は大気に開放されることになる。従って、モータ駆動電流による発熱に対する高い冷却効果を得ることができる。さらに高い冷却効果を狙うために、空冷や、真空内部へ配管を通さずにステータ３１２に水冷機構を増設することも可能である。そして、このようなステータ３１２を備えることに起因して、ベアリング３３１、コイル３２３も特徴を有している。
【００８８】
ベアリング３３１の配設位置と効果について説明する。磁石部材３１７の外周部分とステータ３１２の内周部分との隙間にはベアリング３３１が介装されている。すなわち、ステータ３１２の内側に張り出して形成されたステータティース３２１の内周側先端の上側及び下側に２つのベアリング３３１の外周面がそれぞれ当接しており、磁石部材３１７の外周面の上側及び下側に２つのベアリング３３１の内周面がそれぞれ当接している。
【００８９】
このように、モータ３０３は、ステータ３１２に対してロータ３０７の位置を直接決めることができる。従って、ステータ３１２とロータ３０７の同軸精度を確保することができる。すなわち、ステータティース３２１の内周面と磁石部材３１７の外周面の距離を極めて高い精度で組み付けることができ、ステータティース３２１の内周面と磁石部材３１７の外周面の距離を近づけることができる。従って、モータ３０３の高効率化やトルクリップルの低減、若しくは組み立て性の向上を図ることができる。
【００９０】
また、ロータ３０７は、２つのベアリング３３１でのみ支持する構造をすることができる。すなわち、シャフト３１５の下側のみで他の部材と接触し、真空容器３０１に近い部分にベアリングを配置しない構成にすることができる。この場合、ベアリング３３１でパーティクルが発生した場合にもパーティクルが上方の開口部３０１ａを通過して真空容器３０１内に到達することが難しい。さらに、ベアリング３３１はいずれも磁石部材３１７（永久磁石３２７）に隣接して配置されていることから、磁性を有するパーティクルは磁石部材３１７に付着して除去することができる。
【００９１】
もちろん、ベアリング３３１は、磁石部材３１７の外周面の上側及び下側のいずれか一方にのみ配置される構成でもよく、この場合も、磁性を有するパーティクルは磁石部材３１７に付着して除去することができる。ただし、ベアリング３３１の位置はこれに限定されるものではない。
【００９２】
次に、コイル３２３の構成について説明する。コイル３２３は、ステータティース３２１に導線を巻回して構成されているが、本発明におけるコイル３２３は、導線同士の隙間や導線とステータティース３２１の隙間に滲み込ませた、樹脂やセラミックを固める（含浸処理）ことで、真空領域に曝されるコイル３２３の表面積を減少させている。このように導線の隙間などに樹脂などを含浸させることで、コイル３２３の表面積を低減しアウトガスの放出を抑えることができる。
【００９３】
また、導線部分の表面を樹脂やセラミックによって覆うことでもほぼ同様の効果を得ることができる。すなわち、ステータティース３２１に巻回された導線の外側領域だけに樹脂やセラミックを浸透させて固めることで、真空領域に曝されるコイル３２３の表面積を低減し、アウトガスの放出を抑えることができる。
【００９４】
コイル３２３部分に含浸させる材料として、本実施形態では半導体素子等のパッケージングに使われるＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂が用いられている。ＰＰＳ樹脂を用いた場合について説明すると、ＰＰＳ樹脂によって、コイル３２３部分、若しくは真空内部に配備されるステータ３１２とコイル３２３を一体とした部分を覆いＰＰＳ樹脂モールドを形成すると好適である。
【００９５】
ＰＰＳ樹脂モールドの形成方法としては、コイル巻き完了済みのステータ３１２の周囲に金型を配備し、ＰＰＳペレット（米粒状の原材料）をステータ３１２の周囲においた状態で加熱し、溶融させ、コイル３２３の細部へ毛細管現象により浸透させたあと冷却する方法を用いることができる。このとき、ＰＰＳモールド外側からコイル３２３の配線（巻線）が見えないだけでなく、コイル３２３内部からの脱ガスに対して、リークパスが発生しないように封止可能に固着させている。当然ながら、コイルの導線を絶縁する部材はこの際の温度に耐えうる耐熱性を持つものであるものとする。
【００９６】
また、上記のＰＰＳ樹脂モールドの形成方法は、ステータ３１２がケイ素鋼板やフェライト、パーマロイなどの板材を軸方向（上下方向）に多数枚積層させて構成したものである場合にも適用することができる。この場合、コイル３２３が形成された状態のステータ３１２の周囲を減圧雰囲気にしてからＰＰＳペレットを溶融させると、ステータの隙間やコイル３２３の細部により浸透しやすくなり、効果的にリークパスをなくすことができる。
【００９７】
ＰＰＳ樹脂の他にも、エポキシ系樹脂、絶縁メッキ、水ガラスなどの絶縁性材料を用いることができる。例えば、エポキシ系樹脂を用いた場合は、エポキシ系樹脂による固着によって、真空内部の部品の真空に触れる部分の表面積を大幅に低減させ、吸着ガスの量を減らすことにより、真空雰囲気に悪影響を与えることなく真空内部への駆動伝達が可能になる。
【００９８】
以下に、モータ３０３を用いた基板搬送ロボットについて説明する。基板などを載置することができる基板載置部材（アーム）を、シャフト３１５の先端部に取り付けることで、シャフト３１５の回転角度に応じて、真空容器３０１内で水平方向の基板の支持位置を変更することができるダイレクトドライブの基板搬送ロボットを構成することができる。モータ３０３を適用した基板搬送ロボットの構成例について、さらに後述する。
【００９９】
図１８乃至図２０は、本発明のモータ３０３を上下方向に２つ連結したモータ３０４を適用した基板搬送ロボット（スカラロボット）の構成例である。モータ３０４は、スカラロボットの駆動源として好適に適用できるように構成されたものであり、モータ３０３と同様の構成を有する２つのモータ３０３ａ，３０３ｂを上下に配置されている。また、上側のモータ３０３ａのシャフトである外側シャフト３１５ｂと、下側のモータ３０３ｂのシャフトである内側シャフト３１５ａとが同軸に配置されるとともに、それぞれ独立回転制御可能に構成されている。
【０１００】
外側シャフト３１５ｂは、アーム３３６ｃに接続され、内側シャフト３１５ａはアーム３３６ｃ内に掛け渡されているベルト（不図示）を介してアーム３３６ｂと同期して回動するように接続されている。従って、モータ３０３ａ，３０３ｂの回転制御により基板３４１を載置するアーム３３６ａの前後・回転方向（水平方向）の移動制御をすることができる。なお、アーム部分の構成は一般的なスカラロボットとして公知の構成とする。
【０１０１】
モータ３０４（３０３ａ）と真空容器３０１とを上下方向に伸縮可能なベローズ管を介して接続するとともに、モータ３０４の上下位置を調整する公知の上下動機構３３７をモータ３０４のケーシングの大気側に設けると好適である。このように構成することで、アーム３３６ａを水平方向及び上下方向に移動制御することができるため、真空容器３０１内で水平及び上下方向に基板搬送を行う基板搬送ロボットを構成することができる。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内側を真空排気できる真空隔壁と、
前記真空隔壁に回転自在に支持されたロータと、
前記ロータの外周面に設けられた永久磁石と、
前記永久磁石に対向して設けられたコイルと、
前記コイルを設けるステータと、を有し、
前記ステータと前記真空隔壁は、一体として形成されていることを特徴とする真空アクチュエータ。
【請求項２】
前記ステータは、前記真空隔壁の一部を構成するシール隔壁と、前記シール隔壁と一体に且つ真空側と大気側を貫通して放射状に配設された複数のステータティースとを有して構成され、
前記コイルは前記ステータティースの大気側に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空アクチュエータ。
【請求項３】
前記ステータは、前記真空隔壁の一部を構成するシール隔壁と、前記シール隔壁の大気側にのみ放射状に配設され、前記コイルが形成された複数のステータティースとを有して構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空アクチュエータ。
【請求項４】
前記シール隔壁は、真空排気される内面に軸方向に形成されたスリットを有し、
前記スリットは、前記ステータティースの間の位置に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の真空アクチュエータ。
【請求項５】
前記ステータティースは、前記シール隔壁よりも透磁率の高い材質で構成されることを特徴とする請求項２に記載の真空アクチュエータ。
【請求項６】
前記ステータは、前記コイルが設けられるステータティースを前記真空隔壁の内側に有することを特徴とする請求項１に記載の真空アクチュエータ。
【請求項７】
前記コイルは、絶縁樹脂で覆われていることを特徴とする請求項６に記載の真空アクチュエータ。
【請求項８】
前記ステータの少なくとも真空側に曝される部分が、絶縁樹脂で覆われていることを特徴とする請求項６に記載の真空アクチュエータ。
【請求項９】
前記ロータは、前記真空隔壁にベアリングを介して支持され、
前記ベアリングの外周面は、前記ステータの内周面に当接し、内周面は前記ロータの外周面に当接することを特徴とする請求項１に記載の真空アクチュエータ。
【請求項１０】
前記ロータは、前記ベアリングのみに支持されていることを特徴とする請求項９に記載の真空アクチュエータ。
【請求項１１】
前記ベアリングの外周面は、前記ステータティースに当接することを特徴とする請求項９に記載の真空アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１に記載された真空アクチュエータを駆動源として備えることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項１】
内側を真空排気できる真空隔壁と、
前記真空隔壁に回転自在に支持されたロータと、
前記ロータの外周面に設けられた永久磁石と、
前記永久磁石に対向して設けられたコイルと、
前記コイルを設けるステータと、を有し、
前記ステータと前記真空隔壁は、一体として形成されていることを特徴とする真空アクチュエータ。
【請求項２】
前記ステータは、前記真空隔壁の一部を構成するシール隔壁と、前記シール隔壁と一体に且つ真空側と大気側を貫通して放射状に配設された複数のステータティースとを有して構成され、
前記コイルは前記ステータティースの大気側に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空アクチュエータ。
【請求項３】
前記ステータは、前記真空隔壁の一部を構成するシール隔壁と、前記シール隔壁の大気側にのみ放射状に配設され、前記コイルが形成された複数のステータティースとを有して構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空アクチュエータ。
【請求項４】
前記シール隔壁は、真空排気される内面に軸方向に形成されたスリットを有し、
前記スリットは、前記ステータティースの間の位置に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の真空アクチュエータ。
【請求項５】
前記ステータティースは、前記シール隔壁よりも透磁率の高い材質で構成されることを特徴とする請求項２に記載の真空アクチュエータ。
【請求項６】
前記ステータは、前記コイルが設けられるステータティースを前記真空隔壁の内側に有することを特徴とする請求項１に記載の真空アクチュエータ。
【請求項７】
前記コイルは、絶縁樹脂で覆われていることを特徴とする請求項６に記載の真空アクチュエータ。
【請求項８】
前記ステータの少なくとも真空側に曝される部分が、絶縁樹脂で覆われていることを特徴とする請求項６に記載の真空アクチュエータ。
【請求項９】
前記ロータは、前記真空隔壁にベアリングを介して支持され、
前記ベアリングの外周面は、前記ステータの内周面に当接し、内周面は前記ロータの外周面に当接することを特徴とする請求項１に記載の真空アクチュエータ。
【請求項１０】
前記ロータは、前記ベアリングのみに支持されていることを特徴とする請求項９に記載の真空アクチュエータ。
【請求項１１】
前記ベアリングの外周面は、前記ステータティースに当接することを特徴とする請求項９に記載の真空アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１に記載された真空アクチュエータを駆動源として備えることを特徴とする基板搬送ロボット。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２】
【図３】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【公開番号】特開２０１１−２０５８７８（Ｐ２０１１−２０５８７８Ａ）
【公開日】平成２３年１０月１３日（２０１１．１０．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２７９８４５（Ｐ２０１０−２７９８４５）
【出願日】平成２２年１２月１５日（２０１０．１２．１５）
【出願人】（０００２２７２９４）キヤノンアネルバ株式会社 (564)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１０月１３日（２０１１．１０．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１２月１５日（２０１０．１２．１５）
【出願人】（０００２２７２９４）キヤノンアネルバ株式会社 (564)
【Ｆターム（参考）】
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