磁気ノイズを補償するためのシステム及び方法
【課題】ＯＨＴレールには、交流（ＡＣ）信号が供給される複数対の平行なコンダクタが含まれ、これらのＡＣ信号は電子ビームシステムに誤差を生じさせうる磁界を発生させる。ＡＣ電源システムは、また、粒子ビームの位置誤差を生じさせる磁界も生じさせる。
【解決手段】少なくもと一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知し、これにより荷電粒子ビームの位置の検出と同期して磁気ノイズ測定値を供給する、互いに離間して設けられた一つ又は二つ以上のセンサを含む。磁気ノイズの測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号が生成される。そして、所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームによってオブジェクトがスキャンされる。
【解決手段】少なくもと一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知し、これにより荷電粒子ビームの位置の検出と同期して磁気ノイズ測定値を供給する、互いに離間して設けられた一つ又は二つ以上のセンサを含む。磁気ノイズの測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号が生成される。そして、所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームによってオブジェクトがスキャンされる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的にノイズ消去（noise cancellation）の分野に関し、具体的には、粒子ビームに影響を与える磁気ノイズの消去に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハは、多くの製造ツールを必要とする非常に複雑な製造プロセスによって製造される。ウェハは、頭上ホイスト輸送（overhead hoist transport:ＯＨＴ）システムによって、一つの製造ツールから別の製造ツールへと搬送される。典型的なＯＨＴシステムには、複数のＯＨＴレールが含まれる。ＯＨＴレールには、交流（ＡＣ）信号が供給される複数対の平行なコンダクタ（conductor）が含まれる。これらのＡＣ信号は、電子ビームシステムに誤差を生じさせうる磁界を発生させる。
【０００３】
ＡＣ電源システムは、また、粒子ビームの位置誤差を生じさせる磁界も生じさせる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の一実施形態によれば、粒子ビームのノイズ補償のための方法は、互いに離間して設けられた少なくもと二つのセンサによって少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を供給するステップと、前記磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するステップと、所望のビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするステップとを含む。
【０００５】
前記方法は、さらに、磁気ノイズが存在するときに所望の粒子ビームのスキャンパターンが得られるよう、実際のスキャンパターンを定義し又は受信するステップと、実際のスキャンパターンに沿って粒子ビームを方向付けることによって前記オブジェクトをスキャンするステップとを含むことができる。
【０００６】
前記方法は、磁気ノイズに対して１８０度だけ実質的にシフトした磁気ノイズ補償信号を生成するステップを含むことができる。
【０００７】
前記方法は、磁気ノイズ測定値を約１８０度遅延させて遅延信号を供給し、遅延された信号に利得関数を適用して磁気ノイズ補償信号を供給するステップを含むことができる。
【０００８】
前記方法は、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するステップを含むことができる。
【０００９】
前記方法は、ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るステップと、前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係を評価するステップと、を含むことができる。
【００１０】
前記方法は、ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得るステップを含むことができる。
【００１１】
前記方法は、少なくとも一つのセンサを含む第１グループのセンサによって第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、前記第１グループのセンサとは異なる第２グループのセンサによって、前記第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、を含むことができる。
【００１２】
前記方法は、粒子ビームのカラム（column）の外側に位置するセンサによって磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００１３】
前記方法は、互いに約９０度だけ離間した検知領域を有する少なくもと四つのセンサによって磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００１４】
前記方法は、粒子ビームのカラムを含むツールのフレームの異なる面に近接して設けられたセンサによって磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００１５】
前記方法は、主要な磁気ノイズ源を検知し、センサをその主要な磁気ノイズ源を向くように配置するステップを含むことができる。
【００１６】
前記方法は、センサを、主要な磁気ノイズ源のグループを向くように配置するステップを含むことができる。
【００１７】
前記方法は、９ＫＨｚの周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００１８】
前記方法は、５０Ｈｚ、６０Ｈｚ、５０Ｈｚの高調波、又は６０Ｈｚの高調波の周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００１９】
前記方法は、頭上ホイスト輸送（ＯＨＴ）システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００２０】
本発明の一実施形態によれば、システムは、互いに離間して配置され、少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を供給するようにされた少なくもと二つのセンサと、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を生成するようにされたノイズ補償モジュールと、所望の粒子ビームのスキャンパターンと前記磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームでオブジェクトをスキャンするようにされた粒子ビームスキャナと、を含むことができる。
【００２１】
前記粒子ビームスキャナは、磁気ノイズが存在するときに所望の粒子ビームのスキャンパターンが得られるように実際のスキャンパターンを受信するようにされ、かつ、粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けてオブジェクトをスキャンするようにされていてもよい。
【００２２】
前記ノイズ補償モジュールは、ノイズ信号に対して１８０度だけ実質的にシフトされた磁気ノイズ補償信号を生成するようにされていてもよい。
【００２３】
前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズ測定値を約１８０度だけ遅延させて遅延信号を与え、前記遅延信号に利得関数を適用してノイズ補償信号を供給するようにされていてもよい。
【００２４】
前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するようにされていてもよい。
【００２５】
前記粒子ビームスキャナは、ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るようにされ、前記ノイズ補償モジュールは、前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係を評価するようにされていてもよい。
【００２６】
前記粒子ビームスキャナは、ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得るようにされていてもよい。
【００２７】
前記システムは、第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する第１グループのセンサと、前記第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する第２グループのセンサと、を含んでいてもよい。
【００２８】
前記システムは、粒子ビームのカラムの外側に配置され、磁気ノイズを検知するようにされたセンサを含むことができる。
【００２９】
前記システムは、互いに約９０度ずつ離間した検知領域を有する少なくとも四つのセンサを含むことができる。
【００３０】
前記システムは、粒子ビームのカラムを含むツールのフレームの異なる面に近接して配置されたセンサを含むことができる。
【００３１】
前記システムは、９ＫＨｚの周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するようにされた少なくもと一つのセンサを含むことができる。
【００３２】
前記システムは、５０Ｈｚ、６０Ｈｚ、５０Ｈｚの高調波、又は６０Ｈｚの高調波の周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する少なくもと一つのセンサを含むことができる。
【００３３】
前記システムは、頭上ホイスト輸送（ＯＨＴ）システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する少なくもと一つのセンサを含むことができる。
【００３４】
非一時的な（non-transitory）コンピュータ読取可能な媒体は、互いに離間して配置された少なくもと二つのセンサによって少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を提供するという命令、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズと粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するという命令、所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするという命令、を記憶することができる。
【００３５】
前記非一時的なコンピュータ読取可能な媒体は、以下の命令の少なくもと一つ又はこれらの組み合わせを記憶することができる：
ａ．磁気ノイズがある場合に所望のスキャンパターンが得られるように、実際のスキャンパターンを定義し又は受信するステップ、及び、粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けしてオブジェクトをスキャンするステップ。
ｂ．ノイズ信号に対して１８０度だけ実質的にシフトした磁気ノイズ補償信号を生成するステップ。
ｃ．磁気ノイズ測定値を約１８０度遅延させて遅延信号を供給し、遅延された信号に利得関数を適用して磁気ノイズ補償信号を供給するステップ。
ｄ．磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するステップ。
ｅ．ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るステップと、前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係評価するステップ。
ｆ．ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得るステップ。
ｇ．少なくとも一つのセンサを含む第１グループのセンサによって第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、前記第１グループのセンサとは異なる第２グループのセンサによって、前記第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
ｈ．粒子ビームのカラムの外側に位置するセンサによって磁気ノイズを検知するステップ。
ｉ．互いに約９０度だけ離間した検知領域を有する少なくもと四つのセンサによって磁気ノイズを検知するステップ。
ｊ．粒子ビームのカラムを含むツールのフレームの異なる面に近接して設けられたセンサによって磁気ノイズを検知するステップ。
ｋ．主要な磁気ノイズ源を検知し、センサをその主要な磁気ノイズ源を向くように配置するステップ。
ｌ．センサを、主要な磁気ノイズ源のグループを向くように配置するステップ。
ｍ．９ＫＨｚの周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
ｎ．５０Ｈｚ、６０Ｈｚ、５０Ｈｚの高調波、又は６０Ｈｚの高調波の周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
ｏ．頭上ホイスト輸送（ＯＨＴ）システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施形態に係るシステム及びその環境を示した図である。
【図２】本発明の別の実施形態に係るシステム及びその環境を示した図である。
【図３】本発明のさらに別の実施形態に係るシステム及びその環境を示した図である。
【図４】本発明のさらに別の実施形態に係るシステム及びその環境を示した図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るシステムのいくつかのユニットを示した図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るノイズ補償モジュールを示した図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るパターン及びスキャンパターンを示した図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る方法を示した図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る方法の一つの段階を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
本発明と見なされる主題は、本明細書の結語部分において特に指摘され、かつ、明確に特許請求されている。しかしながら本発明の動作の構成及び方法、発明の目的、特徴、効果は、以下の記載を、添付図面と共に参照することによって理解される。
【００３８】
説明を容易かつ明確にするために、図面中に含まれる要素は必ずしも寸法通りに示していない。例えば、いくつかの要素の寸法は、理解しやすくするために他の要素よりも誇張して示している。さらに、適切と思われる場合には、同一又は類似の要素を指し示すために同一の符号を異なる図面中で用いている。
【００３９】
以下の詳細な説明において、本発明の完全な理解のために、種々の具体的な詳細が記載される。しかしながら当業者であれば、このような具体的な詳細が示されなくても本発明を実施できることを理解するであろう。周知の方法、手続き、部品などについては、本発明を分かりにくくしないよう記載を省いている。
【００４０】
本発明の一実施形態によれば、一つのシステムが提供される。このシステムには、（ｉ）互いに離間して設けられた、磁気ノイズを検知するよう構成された一つ又は複数のセンサ（少なくとも予め決められた周波数帯の範囲で）、（ii）磁気ノイズ測定及び磁気ノイズと粒子ビーム位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するよう構成されたノイズ補償モジュール、（iii）所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答してオブジェクトを粒子ビームでスキャンするよう構成され、制御ユニット、粒子ビーム源及び粒子ビーム偏向器、マグネット等を含むことができる荷電粒子ビームスキャナ、を含むことができる。
【００４１】
本システムはまた、画像化荷電粒子光学系、粒子検出器及びモニタあるいは荷電粒子ビームの位置に感応するその他のシステムを含むことができる画像化ユニットを含んでもよい。
【００４２】
荷電粒子ビームは、イオンビーム又は電子ビームとすることができる。本システムは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、臨界寸法（critical dimension）走査型電子顕微鏡（ＣＤＳＥＭ）、電子ビーム検査（ＥＢＩ）装置、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、ミラー（miller）又はこれらの組合せ（あるいはこれを含むもの）とすることができる。本システムは、１又は２以上の荷電粒子ビームを使ってオブジェクトをスキャンすることができる。説明を簡単にするために、本システムは単一の電子ビームを用いるものとする。
【００４３】
粒子ビームに影響する異なる方向から到来する磁界を検知するために、複数のセンサが離間して設けられる。本システムは通常、本システムから見て通常異なる位置及び異なる方向に配置された複数の磁気ノイズ源に近い。例えば、ＯＨＴレールは、本システムを外部から取り囲むことができる。このＯＨＴレールは通常は互いに直交しているが、常にそうというわけではない。
【００４４】
磁気ノイズ源の数、システムに対するそれらの位置、磁気ノイズの強さ、そして特に電子ビームの位置に対するそれらのインパクトは、前もって予測することが難しいことから、較正の段階で検知して評価することが必要となる。磁気ノイズを補償することを可能にするために、本システムはノイズ源の数よりも多くのセンサを備えるべきである。これらのセンサは、各ノイズ源が少なくもと一つのセンサによって検知されるように配置されるべきである。
【００４５】
本発明の一実施形態によれば、すべてのセンサに同じ応答を生じさせる複数のノイズ源のグループは、単一のノイズ源とみなすことができる。典型的には、このようなグループの複数のノイズ源は、システムとの距離に比べて互いに近接している。したがって、互いに実質的に平行で近接している（あるいは少なくともシステムとの距離に比べて互いに近接している）ＯＨＴレールのグループは、単一のノイズ源とみなすことができる。同様のことが、互いに近接して５０Ｈｚ（又は６０Ｈｚ）及び／又はこの周波数の高調波の磁界を放出する複数の電源にも当てはまる。説明を簡単にするために以下では５０Ｈｚの場合について説明するが、これはその高調波（又は６０Ｈｚ又はその高調波）にも当てはまる。
【００４６】
複数のセンサの位置及びその数は、前もって決められる（例えば、最もセンサを必要とする場合、あるいはあまりセンサを必要としない場合などを考慮して）。一般に、センサの数に関しては、ハードウェハ及び／又はコストの制約があり、いくつかの実施形態では、システムは常に最大数のセンサを備えることができる。別の実施形態では、センサの数及びその位置を、そのシステムが設置される環境に応じて適合させることができる。別の実施形態では、余分なセンサを設けることが可能であり、ノイズ補償プロセスでは重要な磁気ノイズ源（ＯＨＴレールなど）に対向するセンサのみを読み取ることもできるし、すべてのセンサを読み取ってもよい。
【００４７】
離間したすべてのセンサの距離はすべて同じでもよいし、ある対となるセンサの距離を別の対となるセンサの距離と異なるようにしてもよい。センサは、異なる方向を向くように配置してもよい。これらのセンサが向いている方向の角度は、互いに同じでもよいし、ある対となるセンサの角度を別の対となるセンサの角度と異なるようにしてもよい。例えば、Ｍ個のセンサを、隣り合うセンサの各対が向いている方向の角度を約（３６０／Ｍ）度とすることができる。さらに別の例として、少なくとも一つの対のセンサが向いている方向の角度を、少なくとも一つの別の対のセンサが向いている方向の角度と異なるようにしてもよい。
【００４８】
一様に配置されたセンサの例を図１〜３に示す。ＯＨＴレールの磁気ノイズを検知するための四つのセンサ１１〜１４（Ｍ＝４）は、０度、９０度、１８０度、２７０度の角度を向いている。これら四つのセンサ１１〜１４を別の角度、例えば互いに垂直でない角度を向くようにもできることが分かるだろう。また、センサの数を四つよりも多く、あるいは二つ又は三つとすることもできる。ＯＨＴレールの磁気ノイズセンサを三つ設けた場合を図４に示す。
【００４９】
本発明の種々の実施形態によれば、異なる周波数帯において磁気ノイズを検知するために、異なるセンサを割り当てることができる。すなわち一つのセンサが、単一の周波数帯の磁気ノイズを検知するように構成し、あるいは複数の周波数帯の磁気ノイズを検知するように構成することができる。一つのセンサを、単一の周波数帯の磁気信号を検知するように同調することもできるし、後段に複数のフィルタを設け一つ又はそれ以上の周波数帯の磁気信号をフィルタリングするようにすることもできる。このようなフィルタは、センサと一体とするもとできるし、別体のものとすることもできる。したがって、（ｉ）周波数帯の複数の信号を検知するように構成されている場合、（ii）その周波数帯を含むがその周波数帯よりも広い範囲の複数の磁気信号を検知するが後段にフィルタが設けられ、その作動構成及び／又は原理が実質的にその周波数帯の外側の周波数に関する情報を無視（又は減衰）するよう構成されている場合には、センサを、一つの周波数帯の複数の磁気信号を検知するよう構成されているとみなすこともできる。
【００５０】
一つのセンサアレーが周波数帯当たり一つ又は二つ以上のセンサを含んだ複数のセンサアレー（複数のグループ）を設けることができる。複数のアレー（複数のグループ）は、センサの数、センサの位置、その他のセンサの特性（例えば、感度、ダイナミックレンジ、検知領域等）が互いに異なっていてもよい。図１〜３に示した例では、ＯＨＴレールの磁気ノイズを検査するためのセンサ１１〜１４と、５０Ｈｚ（又は６０Ｈｚ）のノイズを検知するための単一のセンサ１５が設けられている。
【００５１】
本発明の一実施形態によれば、荷電粒子ビームはチャンバ４の中を進行するか、あるいは追加的に又は選択的にカラム５の中を進行する。センサは、チャンバ４又はカラム５の外側に設けることができるが、必ずしもそのようにしなくてもよい。例えば、一つ又は二つ以上のセンサをチャンバ又はカラムの内側に設けることができる。しかしながら、清潔さ、寸法の制約又はこれら両方の問題に対処するために、すべてのセンサをカラム５及びチャンバ４の外側に設けることが多い。
【００５２】
図１では、センサ１１〜１５がカラム５及びチャンバ４の外側に設けられ、センサ１〜１４のそれぞれは、システム２の第１フレーム３のそれぞれの異なる面に近接して設けられている。
【００５３】
ＯＨＴレール１０（１）〜１０（５）は、大きな磁気ノイズ源と考えることができ、センサ１１〜１４はこれらの大きな磁気ノイズ源のそれぞれを向くように配置されている。
【００５４】
単一のノイズ源によって生成される磁気ノイズを、一つよりも多くのセンサによって検知することができる。センサに向き合うＯＨＴレールに起因する磁気ノイズをそのセンサが検知することができる他、そのセンサと異なる方向を向いた一つ又は二つ以上のＯＨＴレールからの磁気ノイズも検知することができる。
【００５５】
図１の例を参照すると、センサ１１はＯＨＴレール１０（１）の方を向き、ＯＨＴレール１０（１）に起因する磁気ノイズの他、ＯＨＴレール１０（１）に垂直なＯＨＴレール１０（２）、１０（４）、及び１０（５）に起因する磁気ノイズも検知する。センサ１１は、ＯＨＴレール１０（１）に垂直なＯＨＴレール１０（３）からの磁気ノイズも検出できるが、これはシステム２の反対側に設けられている。これは、遮蔽効果によって無視することができるが、これを考慮することもできる。
【００５６】
図１〜４の例を参照する。ここにはシステム２が設けられており、システム２には、センサ１１〜１５、チャンバ４、カラム５、コントローラ３４、粒子ビームスキャナ２０、シャシ６、補償関数計算機３０、ノイズ補償モジュール２２が含まれている。検査される又はオペレートされるオブジェクト（不図示）はシャシ６上に配置され、機械的ステージ等によって移動させることができる。
【００５７】
センサ１１〜１４はＯＨＴレールの磁気ノイズを検知し、センサ１５は電源システムによって生成される磁気ノイズを検知するよう構成されている。
【００５８】
ノイズ補償モジュール２２は、測定された磁気ノイズ及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいた磁気ノイズ補償信号を生成するよう構成されている。これらの関係は、複数の磁気ノイズ測定値及び複数の粒子ビームの位置誤差が得られる較正の段階で、システム２によって評価することができる。ノイズ補償モジュール２２は、得られた情報に基づいてこれらの関係を計算するよう構成することができる。
【００５９】
本願の一実施形態では、異なるＯＨＴレールは異なる周波数で動作し（例えば数分の１Ｈｚ又は数Ｈｚ程度のわずかな差でも）、したがって磁気ノイズは互いに干渉してうなり（beat）やその他の干渉パターンを生じる。磁気ノイズは、１またはそれ以上のうなり周期内の複数の反復測定中に得ることができる。うなりの周波数は異なるＯＨＴレールの周波数差に反比例する。
【００６０】
ノイズ補償モジュール２２は、粒子ビームスキャナ２０に対してノイズ補償信号を供給することができ、粒子ビームスキャナ２０は、所望の粒子ビームスキャンパターン（例えば、ラスタースキャンパターン、スパイラルスキャンパターン、その他のスキャンパターン）及び磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするよう構成することができる。
【００６１】
ノイズ補償モジュール２２又は粒子ビームスキャナ２０は、磁気ノイズが存在するときに所望のスキャンパターンが得られるように、実際のスキャンパターンを定義し又は受信することができる。言い換えると、実際のスキャンパターンは、所望のスキャンパターンからは逸脱しており、このような逸脱は磁気ノイズによって逆方向に（完全に、実質的に、又は部分的に）作用することを考慮に入れる必要がある。ノイズ補償信号は、磁気ノイズによって生成される誤差信号に対して逆位相（実質的に１８０度のずれ）となるように遅らせ、磁気ノイズに起因する粒子ビームの位置誤差をキャンセル（又は少なくとも大幅に減少する）よう増幅又は減衰される。
【００６２】
図１、図２及び図４では、ノイズ補償モジュール２２がシステム２の第１フレーム３に近接して配置されているよう示されている。図３では、ノイズ補償モジュール２２が第１フレーム３の中に含まれるように（あるいは少なくとも部分的に囲まれるように）示されている。
【００６３】
補償関数計算機３０は、磁気ノイズを補償する補償関数を計算することができ、この補償関数は、磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差を考慮に入れることができる。補償関数計算機３０は、粒子ビームスキャナ２０の動作中にこの補償関数を測定された磁気ノイズに適用することができる。この補償関数は行列によって表すことができるが、別の表示形式で計算することもできる。補償関数は、磁気ノイズと粒子ビームの位置誤差との間の関係を表す伝達関数（transfer function）に対する逆関数でありうる。
【００６４】
較正の段階において、補償関数計算機３０は、センサ１１〜１５から磁気ノイズ測定値の信号を受信するか、あるいはノイズ補償モジュール２２から少なくもと部分的に処理された信号を受信することができる。補償関数計算機３０は、粒子ビームの位置誤差を受信するか、又は、較正の段階で得られた画像に基づいて粒子ビームの位置誤差を計算することができる。
【００６５】
要するに、補償関数は、異なる磁気ノイズ源によって生成された磁気ノイズの位相及び振幅を考慮する。特に、磁気ノイズの値（センサによって検知された）及び粒子ビームの位置誤差を考慮する。例えば、補償関数は、二つの軸（例えば直交平面座標のＸ軸及びＹ軸）によって各ノイズ源によって導入される位相誤差及びこれらの軸に沿って導入される振幅誤差を考慮することができる。
【００６６】
較正の段階で、一つ又は二つ以上のノイズ源の強さを操作することができる（例えば、ＯＨＴレールを流れる電流を増減することによって）。各ノイズ源の特性を独立して変えることが望ましいかもしれない。また、十分長い較正期間にわたって変化するノイズ源の時間的な値は、各センサについての各ノイズ源の影響を評価することかできる十分な情報を与えるだろう。
【００６７】
センサは、検知した磁気ノイズに比例した電流を出力する。異なるセンサによって生成される電流の値及びこれらが原因となる粒子ビームの位置誤差は、補償関数を決定するコリレータ（correlator）に与えられる。典型的には、補償関数は非常に数多くの磁気ノイズ測定の後に計算される。この磁気ノイズ測定の数は、通常、センサの数に各センサに影響する磁気ノイズ源の数を掛け、これに振幅及び位相を掛けて得られる最小の要件を超える。
【００６８】
補償関数は、１回又はそれ以上計算される（較正段階で）。このような計算は、システムを製造設備に設置するとき、システムの環境が変わるとき（例えば、ＯＨＴレールを追加し又は取り外すとき）、画像の質が許容レベルより低下したとき、粒子ビームの位置誤差が許容閾値を超えたとき、あるいはその他の事象に応じて、周期的に、不規則的に、あるいは擬似的に不規則的に行うことができる。
【００６９】
粒子ビームの位置誤差は、既知のパターンをスキャンし、得られたその画像を既知のパターンと比較することによって評価、測定することができる。しかし、例えば、別のときに得られた同じパターンの画像を比較するといった、他の評価方法を適用することもできる。
【００７０】
本発明の一実施形態では、Ｘ軸の粒子ビームの位置誤差は、仮想的なＹ軸に平行な辺又は線をスキャンすることによって評価することができ、また、Ｙ軸の粒子ビームの位置誤差は、仮想的なＸ軸に平行な辺又は線をスキャンすることによって評価することができる（これらのＸ軸及びＹ軸は互いに直交する）。しかし、別の実施形態では、同じスキャンの反復の際にＸ軸及びＹ軸両方の辺をスキャンすることもできる。例えば、純粋なＸ軸スキャン及び純粋なＹ軸スキャンとは異なる任意の種類の楕円形のスキャンパターンを適用するこができる。円形のスキャンパターンを図７に示す。上記の楕円形のスキャンパターンは、線形、円形、あるいは完全な楕円形とすることができる。較正の段階では、複数のパターンをスキャンできることが注目される。
【００７１】
図７は、２本の水平な辺１３２、１３４及び２本の垂直な辺１３１、１３３を有する長方形１３０を示している。円形のスキャンパターン１４０は、水平な辺１３２と点１４２で交わり、垂直な辺１３１と点１４１で交わっている。
【００７２】
磁気ノイズがなければ、スキャンを繰り返しても点１４１及び１４２は同じであり、これらの位置は長方形１３０の既知の位置と一致するはずである。
【００７３】
Ｘ軸ノイズ及びＹ軸ノイズは、得られる画像において点１４１及び１４２の位置を変えうる。このような磁気ノイズは、辺検出（点１４１及び１４２で表される）のタイミングも変えうる。
【００７４】
動作の段階（例えば、較正段階とは異なる測定段階又は作業段階（milling period））では、粒子ビームスキャナ２０は、粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けることによってオブジェクトをスキャンするよう構成することができる。粒子ビームスキャナ２０は、同じ所望のスキャンパターンを用いて、あるいは異なる所望のスキャンパターンを用いて、粒子ビームを複数回スキャンさせることができる。反復されるそれぞれのスキャンにおいて、所望のスキャンパターンを達成するために（オブジェクトの表面上で）、実際のスキャンパターンは所望のスキャンパターンと異なることがありうる。例えば、磁界が粒子ビームを変調してサイン曲線の粒子ビームの位置誤差を形成する場合には、実際のスキャンパターンは、望ましくない変調を打ち消すために逆サイン曲線のパターンを含みうる。
【００７５】
センサ１１〜１５から得られる磁気ノイズの測定値は、これらに限られるものではないが、フィルタリング、アナログ−デジタル変換、バンドパスフィルタリング（ローパスフィルタリング及び／又はハイパスフィルタリングを含む）、デシメーション（decimation）、近似などといった種々の演算を適用して処理することができる。
【００７６】
図６は、本発明の一実施形態に係るノイズ補償モジュール２２を示している。
【００７７】
ノイズ補償モジュール２２は、アナログ−デジタル変換器（ＡＤＣ）５０〜５４、バンドパスフィルタ６０〜６４、記憶ユニット７０及び７１、遅延ユニット８０〜８９、整合フィルタ（matched filter）９０、線形変換マトリックスユニット１０２、そしてフロントエンドユニット１１２及び１１４を含んでいる。
【００７８】
ＡＤＣ５０〜５４は、センサ１１〜１５からのアナログの磁気ノイズ測定値をデジタルの磁気ノイズ測定値に変換する。
【００７９】
ＡＤＣ５０〜５３からのデジタル磁気ノイズ測定値は、９ＫＨｚのバンドパスフィルタ６０〜６３を通過し、ＡＤＣ５４からのデジタル磁気ノイズ測定値は、５０Ｈｚのバンドパスフィルタ６４を通過して、バンドパスフィルタリングがなされた磁気ノイズ測定値を与える。これらのバンドパスフィルタのそれぞれは、９ＫＨｚ又は５０Ｈｚを中心とする狭い周波数帯域を通過させることができるが、これは必須ではない。例えば、９ＫＨｚのバンドパスフィルタは、８ＫＨｚから１０ＫＨｚの帯域の周波数成分を通過させることができる。
【００８０】
９ＫＨｚのバンドパスフィルタ６０〜６３からのフィルタリングされた磁気ノイズ測定値は、記憶ユニット７０に記憶され、５０Ｈｚのバンドパスフィルタ６４からのフィルタリングされた磁気ノイズ測定値は、記憶ユニット７１に記憶される。
【００８１】
単一のバンドパスフィルタが、単一のセンサからのノイズ測定値を受信するようにすることもできる。単一のバンドパスフィルタからのノイズ測定値を検索（retrieved）して二つの遅延ユニットに供給してもよい。
【００８２】
単一のセンサを向いている磁気ノイズ源からの磁気ノイズを補償するために、一つの遅延ユニットが設けられており、この単一のセンサを向いておらず、これに垂直な（あるいはこれの方向を向いた）磁気ノイズ源からの磁気ノイズを補償するために他の遅延ユニットが設けられている。
【００８３】
センサ１１がＸ軸方向のＯＨＴレール１０（１）及びＹ軸方向のＯＨＴレール１０（２）、１０（４）及び１０（５）からの磁気ノイズを検知することを考えると、一つの遅延ユニット（８０）が、Ｘ軸方向のＯＨＴレール１０（１）からの磁気ノイズを補償するのに割り当てられ、別の遅延ユニット（８１）が、Ｙ軸方向のＯＨＴレール１０（２）、１０（４）及び１０（５）からの磁気ノイズを補償するのに割り当てられる。
【００８４】
したがって、遅延ユニット８０〜８９の組が、センサ１１〜１５からのバンドパスフィルタ通過後の磁気ノイズ測定値を遅延させるために、すなわちセンサごとに一組の遅延ユニットが割り当てられる。遅延ユニットの出力を、遅延磁気ノイズ測定値と呼ぶ。
【００８５】
各遅延ユニットによって導入される遅延周期は、各較正段階において計算される。校正段階では、遅延ユニットは、ゼロ遅延又は他の任意の既知の遅延周期を与えるよう設定することができ、これは補償関数を計算する際に考慮される。
【００８６】
整合フィルタ９０は、ゼロ遅延ユニット又はすべての遅延ユニットから、遅延磁気ノイズ測定値を受信することができる。図６は、一例として、整合フィルタ９０が遅延ユニット８０〜８７からの遅延磁気ノイズ測定値を受信する場合を示している。整合フィルタは、アナログノイズ測定信号のＡＤＣ５０〜５４によるサンプリングレートに起因する測定誤差を補償するフィルタリングプロセスを適用することができる。
【００８７】
整合フィルタ９０の出力及び整合フィルタ９０へは信号を供給しなかった遅延ユニット（８８及び８９）の出力は、補償関数を適用して出力信号を与える変換マトリックスユニット１０２へ供給される。
【００８８】
これらの出力信号は、フロントエンドユニット１１２及び１１４へ供給され、フロントエンドユニット１１２及び１１４は、粒子ビームの位置誤差を除去又は大幅に低減するために、粒子ビームスキャナ２０へ制御信号を与える。この制御信号はアナログ信号とすることができ、フロントエンドユニットは、デジタル−アナログ変換器（ＤＡＣ）を含むことができる。各フロントエンドユニットは、出力信号（すなわちアナログに変換された出力信号）を増幅して制御信号を与える増幅器を含むことができる。
【００８９】
フロントエンドユニット１１２及び１１４からの制御信号出力は、磁気ノイズ補償信号と見なすことができる。
【００９０】
フロントエンドユニット１１２及び１１４からの磁気ノイズ補償信号の数は、粒子ビームスキャナ２０が制御される方法に依存することができる。例えば、粒子ビームスキャナ２０にＸ軸制御信号及びＹ軸制御信号が与えられる場合には、フロントエンドユニット１１２及び１１４はＸ軸制御信号及びＹ軸制御信号を出力する。
【００９１】
図５に示すように、粒子ビームスキャナ２０は、コントローラ３４から所望のスキャンパターン制御信号を受信することができ、また、ノイズ補償モジュール２２から磁気ノイズ補償信号を受信することができ、これに応じて、これらすべての信号に応答する実際のスキャンパターンに沿って粒子ビームをスキャンすることができる。この粒子ビームスキャナ２０は、異なる制御信号を追加したり、あるいは他の任意の数学的関数をこれらの信号に適用することができるが、これらは必須ではない。
【００９２】
本発明の一実施形態では、センサ１１〜１５は、０〜２０ＫＨｚの帯域幅を有し、それぞれは、９ＫＨｚ及び５０Ｈｚのノイズ補償に利用することができる。システム２は、センサ１１〜１４のためのＸ軸及びＹ軸のノイズ補償、及びセンサ１５のためのＸ軸、Ｙ額、及びＺ軸（Ｚ軸はＸ軸及びＹ実の双方に直交する）のノイズ補償を実行することができる。
【００９３】
ノイズ測定信号のサンプリングレートは、約１ＭＨｚとすることができる。５０Ｈｚの信号記録のためには、十分な数のサイクルを含めるために、デシメーション（decimation）を実行する必要がある。９ＫＨｚの信号記録のためには、サンプリングレートは、入力サンプリングレートと同程度になるだろう。
【００９４】
図７は、本発明の一実施形態のパターン１３０及びスキャンパターン１４０を示している。
【００９５】
パターン１３０は長方形であり、上部の水平な辺１３２、下部の水平な辺１３４、右側の垂直な辺１３３、左側の垂直な辺１３１を含んでいる。スキャンパターン１４０は、理想的な円形のスキャンパターンとして描かれており、上部の水平な辺１３２と第１の交点１４２で交わり、左側の垂直な辺１３１と第２の交点１４１で交わっている。磁気ノイズがない場合には、スキャンパターンの繰り返しは同じ結果となり、画像は第１及び第２の交点を表す小さな線を含むだろう。磁気ノイズが現れ、スキャンパターンに影響を及ぼすと、Ｘ軸に沿った、Ｙ軸に沿ったあるいはこれら両方に沿った交点の逸脱が生じる。これらの逸脱は、画像における交点の位置が第１及び第２の（ノイズのない）逸脱点から逸脱させるだろう。別のパターン及び別のスキャンパターンを適用できることが注目される。
【００９６】
図８は、本発明の一実施形態に係る粒子ビームのノイズ補償のための方法８００を示している。
【００９７】
本発明の一実施形態によれば、方法８００は、磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係を表す補償関数を受信するステップを含むことができる。ただし、別の実施形態では、方法８００は、磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係を表す補償関数を計算するステップを含むことができる。
【００９８】
方法８００は、初期化段階８１０を含むものとして示されている。
【００９９】
段階８１０は、補償関数を受信する、補償関数を計算するなどの較正ステップ８１１を含んでもよい。
【０１００】
段階８１０は、例えば、ノイズ補償を適用せずに（又は既知のノイズ補償を適用して）既知の形状をスキャンして実際の画像を得るステップ８１２、及び、既知の形状と実際の画像の間の差異に基づいて磁気ノイズ及び粒子ビームの位置誤差の少なくともいくつかの値の間の関係を評価するステップ８１４を含むことができる。ステップ８１２は、ノイズ補償を適用せずに、円形のスキャンパターンに沿って、互いに直交する二つの線を含むパターンをスキャンして実際の画像を得るステップを含むことができる。段階８１０は、センサの位置を決定するステップ８１６を含むことができる。ステップ８１６は、磁気ノイズの主要なノイズ源を検出し、この主要な磁気ノイズ源を向くようにセンサを配置するステップを含んでもよい。
【０１０１】
要するに段階８１０は、一つ又は二つ以上のノイズ源の強さを変えることによって、補償関数を計算するステップを含むことができる。これに追加してあるいは別の選択肢として、十分に長い較正期間（十分なサンプル数）によって、必要な数のサンプルを提供することができる。
【０１０２】
段階８１０の後には、互いに離間した少なくとも二つのセンサによって、少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を与えるステップ８２０が続く。
【０１０３】
ステップ８２０は、以下のステップの少なくとも一つを含むことができる：（ａ）少なくとも一つのセンサを含む第１グループのセンサによって第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ、（ｂ）第１グループのセンサとは異なり少なくとも一つのセンサを含む第２グループのセンサによって第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ、（ｃ）粒子ビームのカラムの外側に位置する複数のセンサによって磁気ノイズを検知するステップ、（ｄ）互いに約９０度の角度だけ離間した検知領域を有する少なくもと四つのセンサによって磁気ノイズを検知するステップ、（ｅ）粒子ビームのカラムを含むツールのフレームの異なる面に近接して設けられた複数のセンサによって磁気ノイズを検知するステップ、（ｆ）主要な磁気ノイズ源を検知し、主要な磁気ノイズ源を向くようにセンサを配置するステップ、（ｇ）９ＫＨｚの周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ、（ｈ）５０Ｈｚの周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ、（ｉ）頭上ホイスト輸送（ＯＨＴ）システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
【０１０４】
ステップ８２０の後には、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するステップ８３０が続く。
【０１０５】
ステップ８３０は、フィルタリング、遅延、増幅、マトリックス計算等の、一つ又は二つ以上の処理動作を含むことができる。ステップ８３０は、例えば、デジタル−アナログ変換、バンドパスフィルタリング、記憶、検索、整合フィルタリング、線形変換マトリックス変換、遅延、増幅等を含んでもよい。
【０１０６】
ステップ８３０は、図９に示した以下のステップの少なくともいくつかを含むことができる：
ａ．センサからのアナログ磁気ノイズ測定値をデジタル磁気ノイズ測定値に変換するステップ８３１。
ｂ．ゼロ又は９ＫＨｚより高いバンドパスフィルタ、及び、ゼロ又は５０Ｈｚの信号といったバンドパスフィルタを通して（予め決められた周波数帯をフィルタリングするために）、デジタル磁気ノイズ測定値をバンドパスフィルタリングしてバンドパスフィルタを通過した磁気ノイズ測定値を供給するステップ８３２。
ｃ．バンドパスフィルタを通過した磁気ノイズ測定値を記憶するステップ８３３。
ｄ．バンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値を検索するステップ８３４。
ｅ．バンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値を遅延して、遅延されたノイズ測定値を供給するステップ８３５。ここで単一のセンサからのバンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値はゼロ又はこれより多くの遅延されたノイズ測定値によって遅延される。
ｆ．ゼロ又はこれより多くのバンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値を整合フィルタリングし、ゼロ又はこれより多くの遅延された磁気ノイズ測定値を整合フィルタリングするステップ８３６。
ｇ．補償関数を適用して出力信号を提供するステップ８３７。
ｈ．出力信号を、粒子ビームスキャナを制御するのに用いる制御信号に変換するステップ８３８。ここでこの変換は、増幅、デジタル−アナログ変換等を含むことができる。制御信号は、磁気ノイズ補償信号と見なすことができる。
【０１０７】
ステップ８３５は、ノイズ信号に対して１８０度だけ実質的にシフトした磁気ノイズ補償信号を生成するステップを含むことができる。
【０１０８】
図８に戻って、ステップ８３０の後には、所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするステップ８４０が続く。
【０１０９】
ステップ８４０は、以下のうち少なくとも一つを含んでよい：
ａ．磁気ノイズがある場合に所望のスキャンパターンが得られるように、実際のスキャンパターンを定義し又は受信するステップ８４１
ｂ．粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けしてオブジェクトをスキャンするステップ８４２
【０１１０】
方法８００は、いつ較正段階を繰り返すか、そして、いつ補償関数の再計算を行うかを決定する制御段階８９０を含むことができる。
【０１１１】
方法８００は、ディスク、ディスケット、テープ、記憶ユニット、集積回路等の非一時的な（non-transitory）コンピュータ読取可能な媒体に記憶された命令（コード）を実行することができるプロセッサによって実行される。
【０１１２】
非一時的なコンピュータ読取可能な媒体は、互いに離間して配置された少なくもと二つのセンサによって少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を提供するという命令、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズと粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するという命令、所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするという命令、を記憶することができる。
【０１１３】
これまで本発明の特定の特徴を例示し説明してきたこの段階では、当業者によって、多くの変形例、代替例、変更例、等価物が想到されるだろう。したがって、本願の特許請求の範囲は、本願発明の真正な思想に含まれるこのような変形例及び変更例をすべてカバーするものと理解されるべきである。
【符号の説明】
【０１１４】
２：システム
３：第１フレーム
４：チャンバ
５：カラム
６：シャシ
１０（１）〜１０（５）：ＯＨＴレール
１１〜１５：センサ
２０：粒子ビームスキャナ
２２：ノイズ補償モジュール
３０：補償関数計算機
３４：コントローラ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的にノイズ消去（noise cancellation）の分野に関し、具体的には、粒子ビームに影響を与える磁気ノイズの消去に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハは、多くの製造ツールを必要とする非常に複雑な製造プロセスによって製造される。ウェハは、頭上ホイスト輸送（overhead hoist transport:ＯＨＴ）システムによって、一つの製造ツールから別の製造ツールへと搬送される。典型的なＯＨＴシステムには、複数のＯＨＴレールが含まれる。ＯＨＴレールには、交流（ＡＣ）信号が供給される複数対の平行なコンダクタ（conductor）が含まれる。これらのＡＣ信号は、電子ビームシステムに誤差を生じさせうる磁界を発生させる。
【０００３】
ＡＣ電源システムは、また、粒子ビームの位置誤差を生じさせる磁界も生じさせる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の一実施形態によれば、粒子ビームのノイズ補償のための方法は、互いに離間して設けられた少なくもと二つのセンサによって少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を供給するステップと、前記磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するステップと、所望のビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするステップとを含む。
【０００５】
前記方法は、さらに、磁気ノイズが存在するときに所望の粒子ビームのスキャンパターンが得られるよう、実際のスキャンパターンを定義し又は受信するステップと、実際のスキャンパターンに沿って粒子ビームを方向付けることによって前記オブジェクトをスキャンするステップとを含むことができる。
【０００６】
前記方法は、磁気ノイズに対して１８０度だけ実質的にシフトした磁気ノイズ補償信号を生成するステップを含むことができる。
【０００７】
前記方法は、磁気ノイズ測定値を約１８０度遅延させて遅延信号を供給し、遅延された信号に利得関数を適用して磁気ノイズ補償信号を供給するステップを含むことができる。
【０００８】
前記方法は、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するステップを含むことができる。
【０００９】
前記方法は、ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るステップと、前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係を評価するステップと、を含むことができる。
【００１０】
前記方法は、ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得るステップを含むことができる。
【００１１】
前記方法は、少なくとも一つのセンサを含む第１グループのセンサによって第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、前記第１グループのセンサとは異なる第２グループのセンサによって、前記第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、を含むことができる。
【００１２】
前記方法は、粒子ビームのカラム（column）の外側に位置するセンサによって磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００１３】
前記方法は、互いに約９０度だけ離間した検知領域を有する少なくもと四つのセンサによって磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００１４】
前記方法は、粒子ビームのカラムを含むツールのフレームの異なる面に近接して設けられたセンサによって磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００１５】
前記方法は、主要な磁気ノイズ源を検知し、センサをその主要な磁気ノイズ源を向くように配置するステップを含むことができる。
【００１６】
前記方法は、センサを、主要な磁気ノイズ源のグループを向くように配置するステップを含むことができる。
【００１７】
前記方法は、９ＫＨｚの周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００１８】
前記方法は、５０Ｈｚ、６０Ｈｚ、５０Ｈｚの高調波、又は６０Ｈｚの高調波の周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００１９】
前記方法は、頭上ホイスト輸送（ＯＨＴ）システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップを含むことができる。
【００２０】
本発明の一実施形態によれば、システムは、互いに離間して配置され、少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を供給するようにされた少なくもと二つのセンサと、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を生成するようにされたノイズ補償モジュールと、所望の粒子ビームのスキャンパターンと前記磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームでオブジェクトをスキャンするようにされた粒子ビームスキャナと、を含むことができる。
【００２１】
前記粒子ビームスキャナは、磁気ノイズが存在するときに所望の粒子ビームのスキャンパターンが得られるように実際のスキャンパターンを受信するようにされ、かつ、粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けてオブジェクトをスキャンするようにされていてもよい。
【００２２】
前記ノイズ補償モジュールは、ノイズ信号に対して１８０度だけ実質的にシフトされた磁気ノイズ補償信号を生成するようにされていてもよい。
【００２３】
前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズ測定値を約１８０度だけ遅延させて遅延信号を与え、前記遅延信号に利得関数を適用してノイズ補償信号を供給するようにされていてもよい。
【００２４】
前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するようにされていてもよい。
【００２５】
前記粒子ビームスキャナは、ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るようにされ、前記ノイズ補償モジュールは、前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係を評価するようにされていてもよい。
【００２６】
前記粒子ビームスキャナは、ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得るようにされていてもよい。
【００２７】
前記システムは、第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する第１グループのセンサと、前記第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する第２グループのセンサと、を含んでいてもよい。
【００２８】
前記システムは、粒子ビームのカラムの外側に配置され、磁気ノイズを検知するようにされたセンサを含むことができる。
【００２９】
前記システムは、互いに約９０度ずつ離間した検知領域を有する少なくとも四つのセンサを含むことができる。
【００３０】
前記システムは、粒子ビームのカラムを含むツールのフレームの異なる面に近接して配置されたセンサを含むことができる。
【００３１】
前記システムは、９ＫＨｚの周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するようにされた少なくもと一つのセンサを含むことができる。
【００３２】
前記システムは、５０Ｈｚ、６０Ｈｚ、５０Ｈｚの高調波、又は６０Ｈｚの高調波の周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する少なくもと一つのセンサを含むことができる。
【００３３】
前記システムは、頭上ホイスト輸送（ＯＨＴ）システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する少なくもと一つのセンサを含むことができる。
【００３４】
非一時的な（non-transitory）コンピュータ読取可能な媒体は、互いに離間して配置された少なくもと二つのセンサによって少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を提供するという命令、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズと粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するという命令、所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするという命令、を記憶することができる。
【００３５】
前記非一時的なコンピュータ読取可能な媒体は、以下の命令の少なくもと一つ又はこれらの組み合わせを記憶することができる：
ａ．磁気ノイズがある場合に所望のスキャンパターンが得られるように、実際のスキャンパターンを定義し又は受信するステップ、及び、粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けしてオブジェクトをスキャンするステップ。
ｂ．ノイズ信号に対して１８０度だけ実質的にシフトした磁気ノイズ補償信号を生成するステップ。
ｃ．磁気ノイズ測定値を約１８０度遅延させて遅延信号を供給し、遅延された信号に利得関数を適用して磁気ノイズ補償信号を供給するステップ。
ｄ．磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するステップ。
ｅ．ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るステップと、前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係評価するステップ。
ｆ．ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得るステップ。
ｇ．少なくとも一つのセンサを含む第１グループのセンサによって第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、前記第１グループのセンサとは異なる第２グループのセンサによって、前記第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
ｈ．粒子ビームのカラムの外側に位置するセンサによって磁気ノイズを検知するステップ。
ｉ．互いに約９０度だけ離間した検知領域を有する少なくもと四つのセンサによって磁気ノイズを検知するステップ。
ｊ．粒子ビームのカラムを含むツールのフレームの異なる面に近接して設けられたセンサによって磁気ノイズを検知するステップ。
ｋ．主要な磁気ノイズ源を検知し、センサをその主要な磁気ノイズ源を向くように配置するステップ。
ｌ．センサを、主要な磁気ノイズ源のグループを向くように配置するステップ。
ｍ．９ＫＨｚの周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
ｎ．５０Ｈｚ、６０Ｈｚ、５０Ｈｚの高調波、又は６０Ｈｚの高調波の周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
ｏ．頭上ホイスト輸送（ＯＨＴ）システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施形態に係るシステム及びその環境を示した図である。
【図２】本発明の別の実施形態に係るシステム及びその環境を示した図である。
【図３】本発明のさらに別の実施形態に係るシステム及びその環境を示した図である。
【図４】本発明のさらに別の実施形態に係るシステム及びその環境を示した図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るシステムのいくつかのユニットを示した図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るノイズ補償モジュールを示した図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るパターン及びスキャンパターンを示した図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る方法を示した図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る方法の一つの段階を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
本発明と見なされる主題は、本明細書の結語部分において特に指摘され、かつ、明確に特許請求されている。しかしながら本発明の動作の構成及び方法、発明の目的、特徴、効果は、以下の記載を、添付図面と共に参照することによって理解される。
【００３８】
説明を容易かつ明確にするために、図面中に含まれる要素は必ずしも寸法通りに示していない。例えば、いくつかの要素の寸法は、理解しやすくするために他の要素よりも誇張して示している。さらに、適切と思われる場合には、同一又は類似の要素を指し示すために同一の符号を異なる図面中で用いている。
【００３９】
以下の詳細な説明において、本発明の完全な理解のために、種々の具体的な詳細が記載される。しかしながら当業者であれば、このような具体的な詳細が示されなくても本発明を実施できることを理解するであろう。周知の方法、手続き、部品などについては、本発明を分かりにくくしないよう記載を省いている。
【００４０】
本発明の一実施形態によれば、一つのシステムが提供される。このシステムには、（ｉ）互いに離間して設けられた、磁気ノイズを検知するよう構成された一つ又は複数のセンサ（少なくとも予め決められた周波数帯の範囲で）、（ii）磁気ノイズ測定及び磁気ノイズと粒子ビーム位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するよう構成されたノイズ補償モジュール、（iii）所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答してオブジェクトを粒子ビームでスキャンするよう構成され、制御ユニット、粒子ビーム源及び粒子ビーム偏向器、マグネット等を含むことができる荷電粒子ビームスキャナ、を含むことができる。
【００４１】
本システムはまた、画像化荷電粒子光学系、粒子検出器及びモニタあるいは荷電粒子ビームの位置に感応するその他のシステムを含むことができる画像化ユニットを含んでもよい。
【００４２】
荷電粒子ビームは、イオンビーム又は電子ビームとすることができる。本システムは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、臨界寸法（critical dimension）走査型電子顕微鏡（ＣＤＳＥＭ）、電子ビーム検査（ＥＢＩ）装置、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、ミラー（miller）又はこれらの組合せ（あるいはこれを含むもの）とすることができる。本システムは、１又は２以上の荷電粒子ビームを使ってオブジェクトをスキャンすることができる。説明を簡単にするために、本システムは単一の電子ビームを用いるものとする。
【００４３】
粒子ビームに影響する異なる方向から到来する磁界を検知するために、複数のセンサが離間して設けられる。本システムは通常、本システムから見て通常異なる位置及び異なる方向に配置された複数の磁気ノイズ源に近い。例えば、ＯＨＴレールは、本システムを外部から取り囲むことができる。このＯＨＴレールは通常は互いに直交しているが、常にそうというわけではない。
【００４４】
磁気ノイズ源の数、システムに対するそれらの位置、磁気ノイズの強さ、そして特に電子ビームの位置に対するそれらのインパクトは、前もって予測することが難しいことから、較正の段階で検知して評価することが必要となる。磁気ノイズを補償することを可能にするために、本システムはノイズ源の数よりも多くのセンサを備えるべきである。これらのセンサは、各ノイズ源が少なくもと一つのセンサによって検知されるように配置されるべきである。
【００４５】
本発明の一実施形態によれば、すべてのセンサに同じ応答を生じさせる複数のノイズ源のグループは、単一のノイズ源とみなすことができる。典型的には、このようなグループの複数のノイズ源は、システムとの距離に比べて互いに近接している。したがって、互いに実質的に平行で近接している（あるいは少なくともシステムとの距離に比べて互いに近接している）ＯＨＴレールのグループは、単一のノイズ源とみなすことができる。同様のことが、互いに近接して５０Ｈｚ（又は６０Ｈｚ）及び／又はこの周波数の高調波の磁界を放出する複数の電源にも当てはまる。説明を簡単にするために以下では５０Ｈｚの場合について説明するが、これはその高調波（又は６０Ｈｚ又はその高調波）にも当てはまる。
【００４６】
複数のセンサの位置及びその数は、前もって決められる（例えば、最もセンサを必要とする場合、あるいはあまりセンサを必要としない場合などを考慮して）。一般に、センサの数に関しては、ハードウェハ及び／又はコストの制約があり、いくつかの実施形態では、システムは常に最大数のセンサを備えることができる。別の実施形態では、センサの数及びその位置を、そのシステムが設置される環境に応じて適合させることができる。別の実施形態では、余分なセンサを設けることが可能であり、ノイズ補償プロセスでは重要な磁気ノイズ源（ＯＨＴレールなど）に対向するセンサのみを読み取ることもできるし、すべてのセンサを読み取ってもよい。
【００４７】
離間したすべてのセンサの距離はすべて同じでもよいし、ある対となるセンサの距離を別の対となるセンサの距離と異なるようにしてもよい。センサは、異なる方向を向くように配置してもよい。これらのセンサが向いている方向の角度は、互いに同じでもよいし、ある対となるセンサの角度を別の対となるセンサの角度と異なるようにしてもよい。例えば、Ｍ個のセンサを、隣り合うセンサの各対が向いている方向の角度を約（３６０／Ｍ）度とすることができる。さらに別の例として、少なくとも一つの対のセンサが向いている方向の角度を、少なくとも一つの別の対のセンサが向いている方向の角度と異なるようにしてもよい。
【００４８】
一様に配置されたセンサの例を図１〜３に示す。ＯＨＴレールの磁気ノイズを検知するための四つのセンサ１１〜１４（Ｍ＝４）は、０度、９０度、１８０度、２７０度の角度を向いている。これら四つのセンサ１１〜１４を別の角度、例えば互いに垂直でない角度を向くようにもできることが分かるだろう。また、センサの数を四つよりも多く、あるいは二つ又は三つとすることもできる。ＯＨＴレールの磁気ノイズセンサを三つ設けた場合を図４に示す。
【００４９】
本発明の種々の実施形態によれば、異なる周波数帯において磁気ノイズを検知するために、異なるセンサを割り当てることができる。すなわち一つのセンサが、単一の周波数帯の磁気ノイズを検知するように構成し、あるいは複数の周波数帯の磁気ノイズを検知するように構成することができる。一つのセンサを、単一の周波数帯の磁気信号を検知するように同調することもできるし、後段に複数のフィルタを設け一つ又はそれ以上の周波数帯の磁気信号をフィルタリングするようにすることもできる。このようなフィルタは、センサと一体とするもとできるし、別体のものとすることもできる。したがって、（ｉ）周波数帯の複数の信号を検知するように構成されている場合、（ii）その周波数帯を含むがその周波数帯よりも広い範囲の複数の磁気信号を検知するが後段にフィルタが設けられ、その作動構成及び／又は原理が実質的にその周波数帯の外側の周波数に関する情報を無視（又は減衰）するよう構成されている場合には、センサを、一つの周波数帯の複数の磁気信号を検知するよう構成されているとみなすこともできる。
【００５０】
一つのセンサアレーが周波数帯当たり一つ又は二つ以上のセンサを含んだ複数のセンサアレー（複数のグループ）を設けることができる。複数のアレー（複数のグループ）は、センサの数、センサの位置、その他のセンサの特性（例えば、感度、ダイナミックレンジ、検知領域等）が互いに異なっていてもよい。図１〜３に示した例では、ＯＨＴレールの磁気ノイズを検査するためのセンサ１１〜１４と、５０Ｈｚ（又は６０Ｈｚ）のノイズを検知するための単一のセンサ１５が設けられている。
【００５１】
本発明の一実施形態によれば、荷電粒子ビームはチャンバ４の中を進行するか、あるいは追加的に又は選択的にカラム５の中を進行する。センサは、チャンバ４又はカラム５の外側に設けることができるが、必ずしもそのようにしなくてもよい。例えば、一つ又は二つ以上のセンサをチャンバ又はカラムの内側に設けることができる。しかしながら、清潔さ、寸法の制約又はこれら両方の問題に対処するために、すべてのセンサをカラム５及びチャンバ４の外側に設けることが多い。
【００５２】
図１では、センサ１１〜１５がカラム５及びチャンバ４の外側に設けられ、センサ１〜１４のそれぞれは、システム２の第１フレーム３のそれぞれの異なる面に近接して設けられている。
【００５３】
ＯＨＴレール１０（１）〜１０（５）は、大きな磁気ノイズ源と考えることができ、センサ１１〜１４はこれらの大きな磁気ノイズ源のそれぞれを向くように配置されている。
【００５４】
単一のノイズ源によって生成される磁気ノイズを、一つよりも多くのセンサによって検知することができる。センサに向き合うＯＨＴレールに起因する磁気ノイズをそのセンサが検知することができる他、そのセンサと異なる方向を向いた一つ又は二つ以上のＯＨＴレールからの磁気ノイズも検知することができる。
【００５５】
図１の例を参照すると、センサ１１はＯＨＴレール１０（１）の方を向き、ＯＨＴレール１０（１）に起因する磁気ノイズの他、ＯＨＴレール１０（１）に垂直なＯＨＴレール１０（２）、１０（４）、及び１０（５）に起因する磁気ノイズも検知する。センサ１１は、ＯＨＴレール１０（１）に垂直なＯＨＴレール１０（３）からの磁気ノイズも検出できるが、これはシステム２の反対側に設けられている。これは、遮蔽効果によって無視することができるが、これを考慮することもできる。
【００５６】
図１〜４の例を参照する。ここにはシステム２が設けられており、システム２には、センサ１１〜１５、チャンバ４、カラム５、コントローラ３４、粒子ビームスキャナ２０、シャシ６、補償関数計算機３０、ノイズ補償モジュール２２が含まれている。検査される又はオペレートされるオブジェクト（不図示）はシャシ６上に配置され、機械的ステージ等によって移動させることができる。
【００５７】
センサ１１〜１４はＯＨＴレールの磁気ノイズを検知し、センサ１５は電源システムによって生成される磁気ノイズを検知するよう構成されている。
【００５８】
ノイズ補償モジュール２２は、測定された磁気ノイズ及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいた磁気ノイズ補償信号を生成するよう構成されている。これらの関係は、複数の磁気ノイズ測定値及び複数の粒子ビームの位置誤差が得られる較正の段階で、システム２によって評価することができる。ノイズ補償モジュール２２は、得られた情報に基づいてこれらの関係を計算するよう構成することができる。
【００５９】
本願の一実施形態では、異なるＯＨＴレールは異なる周波数で動作し（例えば数分の１Ｈｚ又は数Ｈｚ程度のわずかな差でも）、したがって磁気ノイズは互いに干渉してうなり（beat）やその他の干渉パターンを生じる。磁気ノイズは、１またはそれ以上のうなり周期内の複数の反復測定中に得ることができる。うなりの周波数は異なるＯＨＴレールの周波数差に反比例する。
【００６０】
ノイズ補償モジュール２２は、粒子ビームスキャナ２０に対してノイズ補償信号を供給することができ、粒子ビームスキャナ２０は、所望の粒子ビームスキャンパターン（例えば、ラスタースキャンパターン、スパイラルスキャンパターン、その他のスキャンパターン）及び磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするよう構成することができる。
【００６１】
ノイズ補償モジュール２２又は粒子ビームスキャナ２０は、磁気ノイズが存在するときに所望のスキャンパターンが得られるように、実際のスキャンパターンを定義し又は受信することができる。言い換えると、実際のスキャンパターンは、所望のスキャンパターンからは逸脱しており、このような逸脱は磁気ノイズによって逆方向に（完全に、実質的に、又は部分的に）作用することを考慮に入れる必要がある。ノイズ補償信号は、磁気ノイズによって生成される誤差信号に対して逆位相（実質的に１８０度のずれ）となるように遅らせ、磁気ノイズに起因する粒子ビームの位置誤差をキャンセル（又は少なくとも大幅に減少する）よう増幅又は減衰される。
【００６２】
図１、図２及び図４では、ノイズ補償モジュール２２がシステム２の第１フレーム３に近接して配置されているよう示されている。図３では、ノイズ補償モジュール２２が第１フレーム３の中に含まれるように（あるいは少なくとも部分的に囲まれるように）示されている。
【００６３】
補償関数計算機３０は、磁気ノイズを補償する補償関数を計算することができ、この補償関数は、磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差を考慮に入れることができる。補償関数計算機３０は、粒子ビームスキャナ２０の動作中にこの補償関数を測定された磁気ノイズに適用することができる。この補償関数は行列によって表すことができるが、別の表示形式で計算することもできる。補償関数は、磁気ノイズと粒子ビームの位置誤差との間の関係を表す伝達関数（transfer function）に対する逆関数でありうる。
【００６４】
較正の段階において、補償関数計算機３０は、センサ１１〜１５から磁気ノイズ測定値の信号を受信するか、あるいはノイズ補償モジュール２２から少なくもと部分的に処理された信号を受信することができる。補償関数計算機３０は、粒子ビームの位置誤差を受信するか、又は、較正の段階で得られた画像に基づいて粒子ビームの位置誤差を計算することができる。
【００６５】
要するに、補償関数は、異なる磁気ノイズ源によって生成された磁気ノイズの位相及び振幅を考慮する。特に、磁気ノイズの値（センサによって検知された）及び粒子ビームの位置誤差を考慮する。例えば、補償関数は、二つの軸（例えば直交平面座標のＸ軸及びＹ軸）によって各ノイズ源によって導入される位相誤差及びこれらの軸に沿って導入される振幅誤差を考慮することができる。
【００６６】
較正の段階で、一つ又は二つ以上のノイズ源の強さを操作することができる（例えば、ＯＨＴレールを流れる電流を増減することによって）。各ノイズ源の特性を独立して変えることが望ましいかもしれない。また、十分長い較正期間にわたって変化するノイズ源の時間的な値は、各センサについての各ノイズ源の影響を評価することかできる十分な情報を与えるだろう。
【００６７】
センサは、検知した磁気ノイズに比例した電流を出力する。異なるセンサによって生成される電流の値及びこれらが原因となる粒子ビームの位置誤差は、補償関数を決定するコリレータ（correlator）に与えられる。典型的には、補償関数は非常に数多くの磁気ノイズ測定の後に計算される。この磁気ノイズ測定の数は、通常、センサの数に各センサに影響する磁気ノイズ源の数を掛け、これに振幅及び位相を掛けて得られる最小の要件を超える。
【００６８】
補償関数は、１回又はそれ以上計算される（較正段階で）。このような計算は、システムを製造設備に設置するとき、システムの環境が変わるとき（例えば、ＯＨＴレールを追加し又は取り外すとき）、画像の質が許容レベルより低下したとき、粒子ビームの位置誤差が許容閾値を超えたとき、あるいはその他の事象に応じて、周期的に、不規則的に、あるいは擬似的に不規則的に行うことができる。
【００６９】
粒子ビームの位置誤差は、既知のパターンをスキャンし、得られたその画像を既知のパターンと比較することによって評価、測定することができる。しかし、例えば、別のときに得られた同じパターンの画像を比較するといった、他の評価方法を適用することもできる。
【００７０】
本発明の一実施形態では、Ｘ軸の粒子ビームの位置誤差は、仮想的なＹ軸に平行な辺又は線をスキャンすることによって評価することができ、また、Ｙ軸の粒子ビームの位置誤差は、仮想的なＸ軸に平行な辺又は線をスキャンすることによって評価することができる（これらのＸ軸及びＹ軸は互いに直交する）。しかし、別の実施形態では、同じスキャンの反復の際にＸ軸及びＹ軸両方の辺をスキャンすることもできる。例えば、純粋なＸ軸スキャン及び純粋なＹ軸スキャンとは異なる任意の種類の楕円形のスキャンパターンを適用するこができる。円形のスキャンパターンを図７に示す。上記の楕円形のスキャンパターンは、線形、円形、あるいは完全な楕円形とすることができる。較正の段階では、複数のパターンをスキャンできることが注目される。
【００７１】
図７は、２本の水平な辺１３２、１３４及び２本の垂直な辺１３１、１３３を有する長方形１３０を示している。円形のスキャンパターン１４０は、水平な辺１３２と点１４２で交わり、垂直な辺１３１と点１４１で交わっている。
【００７２】
磁気ノイズがなければ、スキャンを繰り返しても点１４１及び１４２は同じであり、これらの位置は長方形１３０の既知の位置と一致するはずである。
【００７３】
Ｘ軸ノイズ及びＹ軸ノイズは、得られる画像において点１４１及び１４２の位置を変えうる。このような磁気ノイズは、辺検出（点１４１及び１４２で表される）のタイミングも変えうる。
【００７４】
動作の段階（例えば、較正段階とは異なる測定段階又は作業段階（milling period））では、粒子ビームスキャナ２０は、粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けることによってオブジェクトをスキャンするよう構成することができる。粒子ビームスキャナ２０は、同じ所望のスキャンパターンを用いて、あるいは異なる所望のスキャンパターンを用いて、粒子ビームを複数回スキャンさせることができる。反復されるそれぞれのスキャンにおいて、所望のスキャンパターンを達成するために（オブジェクトの表面上で）、実際のスキャンパターンは所望のスキャンパターンと異なることがありうる。例えば、磁界が粒子ビームを変調してサイン曲線の粒子ビームの位置誤差を形成する場合には、実際のスキャンパターンは、望ましくない変調を打ち消すために逆サイン曲線のパターンを含みうる。
【００７５】
センサ１１〜１５から得られる磁気ノイズの測定値は、これらに限られるものではないが、フィルタリング、アナログ−デジタル変換、バンドパスフィルタリング（ローパスフィルタリング及び／又はハイパスフィルタリングを含む）、デシメーション（decimation）、近似などといった種々の演算を適用して処理することができる。
【００７６】
図６は、本発明の一実施形態に係るノイズ補償モジュール２２を示している。
【００７７】
ノイズ補償モジュール２２は、アナログ−デジタル変換器（ＡＤＣ）５０〜５４、バンドパスフィルタ６０〜６４、記憶ユニット７０及び７１、遅延ユニット８０〜８９、整合フィルタ（matched filter）９０、線形変換マトリックスユニット１０２、そしてフロントエンドユニット１１２及び１１４を含んでいる。
【００７８】
ＡＤＣ５０〜５４は、センサ１１〜１５からのアナログの磁気ノイズ測定値をデジタルの磁気ノイズ測定値に変換する。
【００７９】
ＡＤＣ５０〜５３からのデジタル磁気ノイズ測定値は、９ＫＨｚのバンドパスフィルタ６０〜６３を通過し、ＡＤＣ５４からのデジタル磁気ノイズ測定値は、５０Ｈｚのバンドパスフィルタ６４を通過して、バンドパスフィルタリングがなされた磁気ノイズ測定値を与える。これらのバンドパスフィルタのそれぞれは、９ＫＨｚ又は５０Ｈｚを中心とする狭い周波数帯域を通過させることができるが、これは必須ではない。例えば、９ＫＨｚのバンドパスフィルタは、８ＫＨｚから１０ＫＨｚの帯域の周波数成分を通過させることができる。
【００８０】
９ＫＨｚのバンドパスフィルタ６０〜６３からのフィルタリングされた磁気ノイズ測定値は、記憶ユニット７０に記憶され、５０Ｈｚのバンドパスフィルタ６４からのフィルタリングされた磁気ノイズ測定値は、記憶ユニット７１に記憶される。
【００８１】
単一のバンドパスフィルタが、単一のセンサからのノイズ測定値を受信するようにすることもできる。単一のバンドパスフィルタからのノイズ測定値を検索（retrieved）して二つの遅延ユニットに供給してもよい。
【００８２】
単一のセンサを向いている磁気ノイズ源からの磁気ノイズを補償するために、一つの遅延ユニットが設けられており、この単一のセンサを向いておらず、これに垂直な（あるいはこれの方向を向いた）磁気ノイズ源からの磁気ノイズを補償するために他の遅延ユニットが設けられている。
【００８３】
センサ１１がＸ軸方向のＯＨＴレール１０（１）及びＹ軸方向のＯＨＴレール１０（２）、１０（４）及び１０（５）からの磁気ノイズを検知することを考えると、一つの遅延ユニット（８０）が、Ｘ軸方向のＯＨＴレール１０（１）からの磁気ノイズを補償するのに割り当てられ、別の遅延ユニット（８１）が、Ｙ軸方向のＯＨＴレール１０（２）、１０（４）及び１０（５）からの磁気ノイズを補償するのに割り当てられる。
【００８４】
したがって、遅延ユニット８０〜８９の組が、センサ１１〜１５からのバンドパスフィルタ通過後の磁気ノイズ測定値を遅延させるために、すなわちセンサごとに一組の遅延ユニットが割り当てられる。遅延ユニットの出力を、遅延磁気ノイズ測定値と呼ぶ。
【００８５】
各遅延ユニットによって導入される遅延周期は、各較正段階において計算される。校正段階では、遅延ユニットは、ゼロ遅延又は他の任意の既知の遅延周期を与えるよう設定することができ、これは補償関数を計算する際に考慮される。
【００８６】
整合フィルタ９０は、ゼロ遅延ユニット又はすべての遅延ユニットから、遅延磁気ノイズ測定値を受信することができる。図６は、一例として、整合フィルタ９０が遅延ユニット８０〜８７からの遅延磁気ノイズ測定値を受信する場合を示している。整合フィルタは、アナログノイズ測定信号のＡＤＣ５０〜５４によるサンプリングレートに起因する測定誤差を補償するフィルタリングプロセスを適用することができる。
【００８７】
整合フィルタ９０の出力及び整合フィルタ９０へは信号を供給しなかった遅延ユニット（８８及び８９）の出力は、補償関数を適用して出力信号を与える変換マトリックスユニット１０２へ供給される。
【００８８】
これらの出力信号は、フロントエンドユニット１１２及び１１４へ供給され、フロントエンドユニット１１２及び１１４は、粒子ビームの位置誤差を除去又は大幅に低減するために、粒子ビームスキャナ２０へ制御信号を与える。この制御信号はアナログ信号とすることができ、フロントエンドユニットは、デジタル−アナログ変換器（ＤＡＣ）を含むことができる。各フロントエンドユニットは、出力信号（すなわちアナログに変換された出力信号）を増幅して制御信号を与える増幅器を含むことができる。
【００８９】
フロントエンドユニット１１２及び１１４からの制御信号出力は、磁気ノイズ補償信号と見なすことができる。
【００９０】
フロントエンドユニット１１２及び１１４からの磁気ノイズ補償信号の数は、粒子ビームスキャナ２０が制御される方法に依存することができる。例えば、粒子ビームスキャナ２０にＸ軸制御信号及びＹ軸制御信号が与えられる場合には、フロントエンドユニット１１２及び１１４はＸ軸制御信号及びＹ軸制御信号を出力する。
【００９１】
図５に示すように、粒子ビームスキャナ２０は、コントローラ３４から所望のスキャンパターン制御信号を受信することができ、また、ノイズ補償モジュール２２から磁気ノイズ補償信号を受信することができ、これに応じて、これらすべての信号に応答する実際のスキャンパターンに沿って粒子ビームをスキャンすることができる。この粒子ビームスキャナ２０は、異なる制御信号を追加したり、あるいは他の任意の数学的関数をこれらの信号に適用することができるが、これらは必須ではない。
【００９２】
本発明の一実施形態では、センサ１１〜１５は、０〜２０ＫＨｚの帯域幅を有し、それぞれは、９ＫＨｚ及び５０Ｈｚのノイズ補償に利用することができる。システム２は、センサ１１〜１４のためのＸ軸及びＹ軸のノイズ補償、及びセンサ１５のためのＸ軸、Ｙ額、及びＺ軸（Ｚ軸はＸ軸及びＹ実の双方に直交する）のノイズ補償を実行することができる。
【００９３】
ノイズ測定信号のサンプリングレートは、約１ＭＨｚとすることができる。５０Ｈｚの信号記録のためには、十分な数のサイクルを含めるために、デシメーション（decimation）を実行する必要がある。９ＫＨｚの信号記録のためには、サンプリングレートは、入力サンプリングレートと同程度になるだろう。
【００９４】
図７は、本発明の一実施形態のパターン１３０及びスキャンパターン１４０を示している。
【００９５】
パターン１３０は長方形であり、上部の水平な辺１３２、下部の水平な辺１３４、右側の垂直な辺１３３、左側の垂直な辺１３１を含んでいる。スキャンパターン１４０は、理想的な円形のスキャンパターンとして描かれており、上部の水平な辺１３２と第１の交点１４２で交わり、左側の垂直な辺１３１と第２の交点１４１で交わっている。磁気ノイズがない場合には、スキャンパターンの繰り返しは同じ結果となり、画像は第１及び第２の交点を表す小さな線を含むだろう。磁気ノイズが現れ、スキャンパターンに影響を及ぼすと、Ｘ軸に沿った、Ｙ軸に沿ったあるいはこれら両方に沿った交点の逸脱が生じる。これらの逸脱は、画像における交点の位置が第１及び第２の（ノイズのない）逸脱点から逸脱させるだろう。別のパターン及び別のスキャンパターンを適用できることが注目される。
【００９６】
図８は、本発明の一実施形態に係る粒子ビームのノイズ補償のための方法８００を示している。
【００９７】
本発明の一実施形態によれば、方法８００は、磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係を表す補償関数を受信するステップを含むことができる。ただし、別の実施形態では、方法８００は、磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係を表す補償関数を計算するステップを含むことができる。
【００９８】
方法８００は、初期化段階８１０を含むものとして示されている。
【００９９】
段階８１０は、補償関数を受信する、補償関数を計算するなどの較正ステップ８１１を含んでもよい。
【０１００】
段階８１０は、例えば、ノイズ補償を適用せずに（又は既知のノイズ補償を適用して）既知の形状をスキャンして実際の画像を得るステップ８１２、及び、既知の形状と実際の画像の間の差異に基づいて磁気ノイズ及び粒子ビームの位置誤差の少なくともいくつかの値の間の関係を評価するステップ８１４を含むことができる。ステップ８１２は、ノイズ補償を適用せずに、円形のスキャンパターンに沿って、互いに直交する二つの線を含むパターンをスキャンして実際の画像を得るステップを含むことができる。段階８１０は、センサの位置を決定するステップ８１６を含むことができる。ステップ８１６は、磁気ノイズの主要なノイズ源を検出し、この主要な磁気ノイズ源を向くようにセンサを配置するステップを含んでもよい。
【０１０１】
要するに段階８１０は、一つ又は二つ以上のノイズ源の強さを変えることによって、補償関数を計算するステップを含むことができる。これに追加してあるいは別の選択肢として、十分に長い較正期間（十分なサンプル数）によって、必要な数のサンプルを提供することができる。
【０１０２】
段階８１０の後には、互いに離間した少なくとも二つのセンサによって、少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を与えるステップ８２０が続く。
【０１０３】
ステップ８２０は、以下のステップの少なくとも一つを含むことができる：（ａ）少なくとも一つのセンサを含む第１グループのセンサによって第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ、（ｂ）第１グループのセンサとは異なり少なくとも一つのセンサを含む第２グループのセンサによって第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ、（ｃ）粒子ビームのカラムの外側に位置する複数のセンサによって磁気ノイズを検知するステップ、（ｄ）互いに約９０度の角度だけ離間した検知領域を有する少なくもと四つのセンサによって磁気ノイズを検知するステップ、（ｅ）粒子ビームのカラムを含むツールのフレームの異なる面に近接して設けられた複数のセンサによって磁気ノイズを検知するステップ、（ｆ）主要な磁気ノイズ源を検知し、主要な磁気ノイズ源を向くようにセンサを配置するステップ、（ｇ）９ＫＨｚの周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ、（ｈ）５０Ｈｚの周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ、（ｉ）頭上ホイスト輸送（ＯＨＴ）システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
【０１０４】
ステップ８２０の後には、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するステップ８３０が続く。
【０１０５】
ステップ８３０は、フィルタリング、遅延、増幅、マトリックス計算等の、一つ又は二つ以上の処理動作を含むことができる。ステップ８３０は、例えば、デジタル−アナログ変換、バンドパスフィルタリング、記憶、検索、整合フィルタリング、線形変換マトリックス変換、遅延、増幅等を含んでもよい。
【０１０６】
ステップ８３０は、図９に示した以下のステップの少なくともいくつかを含むことができる：
ａ．センサからのアナログ磁気ノイズ測定値をデジタル磁気ノイズ測定値に変換するステップ８３１。
ｂ．ゼロ又は９ＫＨｚより高いバンドパスフィルタ、及び、ゼロ又は５０Ｈｚの信号といったバンドパスフィルタを通して（予め決められた周波数帯をフィルタリングするために）、デジタル磁気ノイズ測定値をバンドパスフィルタリングしてバンドパスフィルタを通過した磁気ノイズ測定値を供給するステップ８３２。
ｃ．バンドパスフィルタを通過した磁気ノイズ測定値を記憶するステップ８３３。
ｄ．バンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値を検索するステップ８３４。
ｅ．バンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値を遅延して、遅延されたノイズ測定値を供給するステップ８３５。ここで単一のセンサからのバンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値はゼロ又はこれより多くの遅延されたノイズ測定値によって遅延される。
ｆ．ゼロ又はこれより多くのバンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値を整合フィルタリングし、ゼロ又はこれより多くの遅延された磁気ノイズ測定値を整合フィルタリングするステップ８３６。
ｇ．補償関数を適用して出力信号を提供するステップ８３７。
ｈ．出力信号を、粒子ビームスキャナを制御するのに用いる制御信号に変換するステップ８３８。ここでこの変換は、増幅、デジタル−アナログ変換等を含むことができる。制御信号は、磁気ノイズ補償信号と見なすことができる。
【０１０７】
ステップ８３５は、ノイズ信号に対して１８０度だけ実質的にシフトした磁気ノイズ補償信号を生成するステップを含むことができる。
【０１０８】
図８に戻って、ステップ８３０の後には、所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするステップ８４０が続く。
【０１０９】
ステップ８４０は、以下のうち少なくとも一つを含んでよい：
ａ．磁気ノイズがある場合に所望のスキャンパターンが得られるように、実際のスキャンパターンを定義し又は受信するステップ８４１
ｂ．粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けしてオブジェクトをスキャンするステップ８４２
【０１１０】
方法８００は、いつ較正段階を繰り返すか、そして、いつ補償関数の再計算を行うかを決定する制御段階８９０を含むことができる。
【０１１１】
方法８００は、ディスク、ディスケット、テープ、記憶ユニット、集積回路等の非一時的な（non-transitory）コンピュータ読取可能な媒体に記憶された命令（コード）を実行することができるプロセッサによって実行される。
【０１１２】
非一時的なコンピュータ読取可能な媒体は、互いに離間して配置された少なくもと二つのセンサによって少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を提供するという命令、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズと粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するという命令、所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするという命令、を記憶することができる。
【０１１３】
これまで本発明の特定の特徴を例示し説明してきたこの段階では、当業者によって、多くの変形例、代替例、変更例、等価物が想到されるだろう。したがって、本願の特許請求の範囲は、本願発明の真正な思想に含まれるこのような変形例及び変更例をすべてカバーするものと理解されるべきである。
【符号の説明】
【０１１４】
２：システム
３：第１フレーム
４：チャンバ
５：カラム
６：シャシ
１０（１）〜１０（５）：ＯＨＴレール
１１〜１５：センサ
２０：粒子ビームスキャナ
２２：ノイズ補償モジュール
３０：補償関数計算機
３４：コントローラ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子ビームのノイズ補償のための方法であって、
互いに離間して設けられた少なくもと二つのセンサによって少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を供給するステップと、
前記磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するステップと、
所望のビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするステップと、
を有する方法。
【請求項２】
さらに、
磁気ノイズが存在するときに所望の粒子ビームのスキャンパターンが得られるよう、実際のスキャンパターンを定義し又は受信するステップと、
実際のスキャンパターンに沿って粒子ビームを方向付けることによって前記オブジェクトをスキャンするステップと、
をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記磁気ノイズ補償信号は、前記磁気ノイズに対して１８０度だけ実質的にシフトするように生成される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
磁気ノイズ測定値を約１８０度遅延させて遅延信号を供給し、遅延された信号に利得関数を適用して磁気ノイズ補償信号を供給するステップ、をさらに含む請求項２に記載の方法。
【請求項５】
磁気ノイズ補償信号を生成する前に、前記磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するステップを、さらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項６】
ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るステップと、
前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係を評価するステップと、
をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項７】
ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得るステップ、をさらに含む請求項６に記載の方法。
【請求項８】
少なくとも一つのセンサを含む第１グループのセンサによって第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、前記第１グループのセンサとは異なる第２グループのセンサによって、前記第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項９】
互いに離間して配置され、少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を供給するようにされた少なくもと二つのセンサと、
磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を生成するようにされたノイズ補償モジュールと、
所望の粒子ビームのスキャンパターンと前記磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームでオブジェクトをスキャンするようにされた粒子ビームスキャナと、
を備えたシステム。
【請求項１０】
前記粒子ビームスキャナは、磁気ノイズが存在するときに所望の粒子ビームのスキャンパターンが得られるように実際のスキャンパターンを受信するようにされ、かつ、粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けてオブジェクトをスキャンするようにされている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズに対して１８０度だけ実質的にシフトされた磁気ノイズ補償信号を生成するようにされている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１２】
前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズ測定値を約１８０度だけ遅延させて遅延信号を与え、前記遅延信号に利得関数を適用してノイズ補償信号を供給するようにされた、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズ補償信号を生成する前に、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するようにされている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１４】
前記粒子ビームスキャナは、ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るようにされ、前記ノイズ補償モジュールは、前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係を評価するようにされている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１５】
前記粒子ビームスキャナは、ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得る、請求項９に記載のシステム。
【請求項１６】
第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する第１グループのセンサと、前記第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する第２グループのセンサと、を備える請求項９に記載のシステム。
【請求項１７】
互いに約９０度ずつ離間した検知領域を有する少なくとも四つのセンサを含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１８】
少なくとも一つのセンサが、５０Ｈｚ、６０Ｈｚ、５０Ｈｚの高調波、又は６０Ｈｚの高調波の周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するようにされている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１９】
少なくとも一つのセンサが、頭上ホイスト輸送（ＯＨＴ）システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するようにされた、請求項９に記載のシステム。
【請求項２０】
互いに離間して配置された少なくもと二つのセンサによって少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を提供するという命令、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズと粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するという命令、所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするという命令、を記憶する非一時的なコンピュータ読取可能な媒体。
【請求項１】
粒子ビームのノイズ補償のための方法であって、
互いに離間して設けられた少なくもと二つのセンサによって少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を供給するステップと、
前記磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するステップと、
所望のビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするステップと、
を有する方法。
【請求項２】
さらに、
磁気ノイズが存在するときに所望の粒子ビームのスキャンパターンが得られるよう、実際のスキャンパターンを定義し又は受信するステップと、
実際のスキャンパターンに沿って粒子ビームを方向付けることによって前記オブジェクトをスキャンするステップと、
をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記磁気ノイズ補償信号は、前記磁気ノイズに対して１８０度だけ実質的にシフトするように生成される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
磁気ノイズ測定値を約１８０度遅延させて遅延信号を供給し、遅延された信号に利得関数を適用して磁気ノイズ補償信号を供給するステップ、をさらに含む請求項２に記載の方法。
【請求項５】
磁気ノイズ補償信号を生成する前に、前記磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するステップを、さらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項６】
ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るステップと、
前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係を評価するステップと、
をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項７】
ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得るステップ、をさらに含む請求項６に記載の方法。
【請求項８】
少なくとも一つのセンサを含む第１グループのセンサによって第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、前記第１グループのセンサとは異なる第２グループのセンサによって、前記第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項９】
互いに離間して配置され、少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を供給するようにされた少なくもと二つのセンサと、
磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を生成するようにされたノイズ補償モジュールと、
所望の粒子ビームのスキャンパターンと前記磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームでオブジェクトをスキャンするようにされた粒子ビームスキャナと、
を備えたシステム。
【請求項１０】
前記粒子ビームスキャナは、磁気ノイズが存在するときに所望の粒子ビームのスキャンパターンが得られるように実際のスキャンパターンを受信するようにされ、かつ、粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けてオブジェクトをスキャンするようにされている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズに対して１８０度だけ実質的にシフトされた磁気ノイズ補償信号を生成するようにされている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１２】
前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズ測定値を約１８０度だけ遅延させて遅延信号を与え、前記遅延信号に利得関数を適用してノイズ補償信号を供給するようにされた、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズ補償信号を生成する前に、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するようにされている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１４】
前記粒子ビームスキャナは、ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るようにされ、前記ノイズ補償モジュールは、前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係を評価するようにされている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１５】
前記粒子ビームスキャナは、ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得る、請求項９に記載のシステム。
【請求項１６】
第１の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する第１グループのセンサと、前記第１の予め決められた周波数帯とは異なる第２の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する第２グループのセンサと、を備える請求項９に記載のシステム。
【請求項１７】
互いに約９０度ずつ離間した検知領域を有する少なくとも四つのセンサを含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１８】
少なくとも一つのセンサが、５０Ｈｚ、６０Ｈｚ、５０Ｈｚの高調波、又は６０Ｈｚの高調波の周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するようにされている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１９】
少なくとも一つのセンサが、頭上ホイスト輸送（ＯＨＴ）システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するようにされた、請求項９に記載のシステム。
【請求項２０】
互いに離間して配置された少なくもと二つのセンサによって少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を提供するという命令、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズと粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するという命令、所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするという命令、を記憶する非一時的なコンピュータ読取可能な媒体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１２−２５３３１１（Ｐ２０１２−２５３３１１Ａ）
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願２０１１−１６７６４０（Ｐ２０１１−１６７６４０）
【出願日】平成２３年７月１２日（２０１１．７．１２）
【出願人】（５０４１４４２５３）アプライド マテリアルズ イスラエル リミテッド (27)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１６７６４０（Ｐ２０１１−１６７６４０）
【出願日】平成２３年７月１２日（２０１１．７．１２）
【出願人】（５０４１４４２５３）アプライド マテリアルズ イスラエル リミテッド (27)
【Ｆターム（参考）】
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