磁気ヘッドサスペンション
【課題】耐衝撃性及びシーク方向の振動特性の双方を向上させ得る磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【解決手段】荷重曲げ部として、支持部１０における幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片１２，１２に両持ち支持された弾性板であって、磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形可能な弾性板６０を備える。弾性板は、荷重曲げ中心線より先端側の部分において、ロードビーム部を形成するロードビーム基板１３０及びフレクシャ部を形成するフレクシャ基板１４０の双方に溶接されている。
【解決手段】荷重曲げ部として、支持部１０における幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片１２，１２に両持ち支持された弾性板であって、磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形可能な弾性板６０を備える。弾性板は、荷重曲げ中心線より先端側の部分において、ロードビーム部を形成するロードビーム基板１３０及びフレクシャ部を形成するフレクシャ基板１４０の双方に溶接されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ヘッドによって記録媒体に対してデータをリード及び／又はライトするデータ記憶装置は、ノートブック型パーソナルコンピュータや携帯音楽プレーヤー等のモバイル機器においても広く利用されており、これに伴い、前記磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンションにはより高い耐衝撃性が求められるようになってきている。
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションには、前記データ記憶装置を作動状態のままで地面に落下させてしまった場合等において、磁気ヘッドがディスク面を損傷させることを可及的に防止することが望まれる。
【０００３】
例えば、作動中の前記データ記憶装置に前記磁気ヘッドをディスク面に近づける方向の衝撃力が加えられた場合には、前記磁気ヘッドと前記ディスク面との間に存する空気膜によって前記磁気ヘッドが前記ディスク面に衝突することをある程度は回避できる。
しかしながら、作動中の前記データ記憶装置に前記磁気ヘッドを前記ディスク面から離間させる方向へ一定以上の大きさの衝撃力が加わると、前記磁気ヘッドが前記ディスク面から離間する方向に跳躍し、この跳躍の揺れ戻しの際に前記磁気ヘッドが前記ディスク面に衝突して、前記ディスク面及び前記磁気ヘッドが損傷する恐れがある。
【０００４】
従って、前記データ記憶装置の耐衝撃性を向上させるためには、外部から印可される衝撃力によって前記磁気ヘッドが跳躍動作を行うことを可及的に防止すること、逆に言うと、前記磁気ヘッドの跳躍動作を引き起こす衝撃力の加速度（限界加速度）を可及的に上げることが必要となる。
【０００５】
前記磁気ヘッドは、前記データ記憶装置に装着される磁気ヘッドサスペンションに支持されている。
詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドを前記ディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドが搭載されるヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に溶接されるフレクシャ部とを備えている。
【０００６】
例えば、前記荷重曲げ部によって発生される前記荷重を増加させることによって、前記限界加速度を引き上げることが可能となる。
しかしながら、前記荷重は、前記ディスク面上での前記磁気ヘッドの浮上高さを制御するために適切な範囲に設定する必要がある。従って、前記荷重を増加させることで前記限界加速度を引き上げるという方法には、自ずと限界がある。
【０００７】
又、前記ロードビーム部の質量を低減させることで衝撃力が加わった際に前記ロードビーム部に付加される慣性力を小さくすることによっても、前記限界加速度を引き上げることが可能である。
しかしながら、前記ロードビーム部の質量を低減させる為には、前記ロードビーム部の板厚を薄くしたり、及び／又は、前記ロードビーム部に孔を形成する必要があり、その結果、前記ロードビーム部の剛性が低下し、これにより、振動特性及びロード／アンロード特性が劣化するという問題がある。
【０００８】
衝撃力印可時における前記磁気ヘッドの跳躍動作を抑える為のさらに他の構成として、前記ロードビーム部に、前記荷重曲げ部に接合される部分より基端側へ延びる延在部を設ける構成が提案されている（例えば、下記特許文献１〜４参照）。
この構成は、前記ロードビーム部のうち前記荷重曲げ部より先端側に位置する部分の質量と前記荷重曲げ部より基端側に位置する質量とを可及的に等しくすることにより、外部からの衝撃力印可時における前記磁気ヘッドの跳躍動作を抑えるものであり、前記ロードビーム部の剛性低下を招くことが無い点で有用である。
【０００９】
しかしながら、これらの特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記ロードビーム部は、前記支持部に片持ち支持された状態の前記荷重曲げ部の自由端部に接合されている。この構成では、衝撃力が印可された際に、前記ロードビーム部の支持点（即ち、前記ロードビーム部及び前記荷重曲げ部の接合点）がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。
従って、前記各特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションは、前記ロードビーム部の剛性低下を招くという問題は生じないものの、前記限界加速度を十分には引き上げることができない。
【００１０】
さらに、前記磁気ヘッドサスペンションはアクチュエータの駆動に応じて前記磁気ヘッドをハードディスク等の記憶媒体上において径方向（シーク方向）へ高速移動させ、前記磁気ヘッドを目的のトラック上に正確に位置決めさせる部材であるから、振動特性、特に、前記ディスク面と平行なシーク方向の振動特性の向上（即ち、ＳＷＡＹモードの共振周波数の高域化）が望まれている。
【特許文献１】特開平９−０８２０５２号公報
【特許文献２】特開平１１−０３９８０８号公報
【特許文献３】特開２００４−３４８８０４号公報
【特許文献４】特開２００５−１７４５０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、耐衝撃性及びシーク方向の振動特性の双方を向上させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドを支持するヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に溶接されるフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、本体領域と、前記本体領域の幅方向両側から先端側へ延び、両者の間に先端側へ開く凹部を画する一対の支持片であって、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして対称とされた一対の支持片とを有し、前記磁気ヘッドサスペンションは前記一対の支持片に両持ち支持された弾性板を備え、前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点において溶接される第１及び第２支持部当接領域と、前記凹部内において前記ロードビーム部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域と前記第１及び第２支持部当接領域との間をそれぞれ連結する第１及び第２延在領域とを有し、前記第１及び第２延在領域が磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形することで前記荷重曲げ部として作用するように構成され、前記ロードビーム部当接領域のうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分が、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第１溶接点において、前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板及び前記フレクシャ部を形成するフレクシャ基板の双方に溶接されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１３】
好ましくは、前記弾性板の前記ロードビーム部当接領域は、前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関し前記第１及び第２延在領域に対応した中央領域と前記中央領域から先端側へ延びる先端領域とを有し得る。
斯かる構成において、前記一対の第１溶接点は前記先端領域に位置される。
【００１４】
より好ましくは、前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム基板に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域から先端側へ延びる一対の支持片と、前記一対の支持片の自由端部に連結され、前記磁気ヘッドが搭載される前記ヘッド搭載領域と、前記ロードビーム部当接領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の拡幅領域とを有し、且つ、前記弾性板は、前記一対の拡幅領域と当接し得るように前記ロードビーム部当接領域の前記先端領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の外方延在領域を有し得る。
そして、前記一対の外方延在領域及び前記一対の拡幅領域は、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第２溶接点において互いに溶接される。
【００１５】
さらに好ましくは、前記フレクシャ基板は、前記支持部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接される支持部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域の幅方向両側から基端側へ延びて前記支持部当接領域に連結される一対のブリッジ領域であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対のブリッジ領域とを有し得る。
前記フレクシャ基板における前記ロードビーム部当接領域の基端側は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央において前記荷重曲げ中心線より基端側へ延びる中央基端側延在部と、前記一対のブリッジ領域にそれぞれつながるように磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる一対の移行部であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対の移行部とを有し得る。
前記中央基端側延在部は、前記長手方向中心線を基準にして対称配置された一又は複数の第３溶接点において前記ロードビーム基板及び前記弾性板の双方に溶接される。
前記中央基端側延在部と前記一対の移行部との間は、平面視において基端側へ開く凹状とされており、前記凹状の先端側は前記荷重曲げ中心線上に位置される。
【００１６】
前記種々の構成において、前記磁気ヘッドサスペンションは、好ましくは、前記荷重曲げ中心線より基端側に位置し且つ平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム基板に固着された平衡質量体を備え得る。
【００１７】
より好ましくは、前記平衡質量体は磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部において曲げられる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、支持部における一対の支持片にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点において溶接される第１及び第２支持部当接領域と、前記一対の支持片によって画される凹部内においてロードビーム部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域と前記第１及び第２支持部当接領域との間をそれぞれ連結する第１及び第２延在領域であって、磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形する第１及び第２延在領域とを有する弾性板が、前記磁気ヘッドをディスク面に向けて押し付ける荷重を発生する荷重曲げ部として作用するように構成されているので、衝撃力が加えられた際に前記ロードビーム部と前記荷重曲げ部との接合点がディスク面に直交する方向に変動することを有効に防止でき、これにより、耐衝撃性を向上させることができる。
さらに、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、前記弾性板における前記ロードビーム部当接領域のうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分が、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第１溶接点において前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板及び前記フレクシャ部を形成するフレクシャ基板の双方に溶接されており、前記フレクシャ基板が前記ロードビーム基板の剛性を補強する補強部材としても作用するように構成されている。従って、質量を増加させることなく、前記磁気ヘッドサスペンションのうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分のシーク方向の剛性を向上させることができる（即ち、ＳＷＡＹモードの共振周波数を高域化させることができる）。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい一実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１の上面図（ディスク面とは反対側から視た図）及び下面図（前記ディスク面の側から見た図）を示す。
又、図２に、図１(b)におけるII部拡大図を示す。
【００２０】
図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１は、磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッド１００に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する支持部１０と、前記磁気ヘッド１００を支持するヘッド搭載領域４３を有し、前記ロードビーム部３０に溶接されるフレクシャ部４０とを備えている。
【００２１】
前記支持部１０は、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する為の部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
本実施の形態においては、前記支持部１０は、図１(a)及び(b)に示すように、基端部がアクチュエータの回転中心に連結されるアームとされている。これに代えて、前記支持部１０を、キャリッジアームの先端にスウェッジ加工により接合されるボス部を備えたベースプレートとすることも可能である。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００２２】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１の幅方向中央に先端側に開く凹部１３を画するように、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片１２を有している。
即ち、前記支持部１０は、基端部が前記アクチュエータに直接又は間接的に連結される平板状の本体領域１１と、前記本体領域１１の先端部における幅方向両端側から先端側へ延びる前記一対の支持片１２とを有しており、前記一対の支持片１２の間に前記凹部１３が画されている。
【００２３】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッド１００に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
前記ロードビーム部３０は、所定形状に成形されたロードビーム基板１３０によって形成されている。
【００２４】
前記ロードビーム基板１３０の板厚を前記荷重曲げ部２０を形成する下記弾性板６０や前記フレクシャ部４０を形成するフレクシャ基板１４０の板厚よりも厚くすることで前記ロードビーム部３０の剛性を確保することも可能であるし、及び／又は、前記ロードビーム基板１３０の両側縁にフランジ部３５を設けることによって前記ロードビーム基板１３０の厚みを前記フレクシャ基板１４０と同程度にしつつ前記ロードビーム部３０の剛性を確保することも可能である。
【００２５】
なお、本実施の形態においては、図１(a)及び(b)に示すように、前記ロードビーム基板１３０の両側縁に前記フランジ部３５を設けることで、前記ロードビーム基板１３０の板厚を可及的に薄くしつつ前記ロードビーム部３０の剛性を確保している。
前記ロードビーム基板１３０は、例えば、厚さ０．０１５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度のステンレス板とされる。
【００２６】
前記ロードビーム部３０の先端部には、図１(a)に示すように、所謂ディンプルと呼ばれる突起３１が設けられている。
前記突起３１は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０４ｍｍ〜０．０８ｍｍ程度突出されている。この突起３１は、前記フレクシャ部４０における前記ヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３１を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００２７】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド１００を支持する為の部材である。
本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０は、図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッド１００を支持するヘッド搭載領域４３を有し、前記ロードビーム基板１３０に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるフレクシャ基板１４０と、前記フレクシャ基板１４０に積層された絶縁層１５０と、前記絶縁層１５０に積層された導体層１５５とを一体的に有する配線一体型とされている。
【００２８】
前記フレクシャ基板１４０は、例えば、厚さ０．０１５ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板とされる。
詳しくは、前記フレクシャ基板１４０は、図１(b)及び図２に示すように、前記ロードビーム基板１３０に当接され且つ適宜の溶接点５１において前記ロードビーム基板１３０に溶接されるロードビーム部当接領域１４１と、前記ロードビーム部当接領域１４１から先端側へ延びる一対の支持片１４２と、前記一対の支持片１４２の自由端部に連結され、前記磁気ヘッド１００が搭載される前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００２９】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド１００を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３１が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は前記突起３１を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００３０】
本実施の形態においては、図１(b)及び図２に示すように、前記フレクシャ基板１４０は、さらに、前記支持部１０に当接され且つ適宜の溶接点５２において溶接される支持部当接領域１４４と、前記ロードビーム部当接領域１４１の幅方向両側から基端側へ延びて前記支持部当接領域１４４に連結される一対のブリッジ領域１４５とを有している。
前記一対のブリッジ領域１４５は、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部当接領域１４１と前記支持部当接領域１４４との間を連結するように前記凹部１３内に延びており、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１の長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称とされている。
【００３１】
図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１は、さらに、前記支持部１０における前記一対の支持片１２に両持ち支持された弾性板６０を有しており、前記弾性板６０が前記荷重曲げ部２０として作用している。
【００３２】
図３(a)に、前記弾性板６０の拡大下面図を示す。
前記弾性板６０は、図３(a)に示すように、前記一対の支持片１２にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点５３（図１(b)参照）において溶接される第１及び第２支持部当接領域６１，６２と、前記凹部１３内において前記ロードビーム部３０に当接され且つ少なくとも後述する下記一対の第１溶接点２１において溶接されるロードビーム部当接領域６５と、前記ロードビーム部当接領域６５と前記第１及び第２支持部当接領域６１，６２との間をそれぞれ連結する第１及び第２延在領域７１，７２とを有している。
【００３３】
前記弾性板６０は、前記第１及び第２延在領域７１，７２が磁気ヘッドサスペンション１の幅方向に沿った荷重曲げ中心線ＢＬ回りに捩れ弾性変形することで前記荷重を発生するように構成されている。
【００３４】
即ち、前記磁気ヘッド１００がディスク面の回転に伴う空気圧を受けて前記ディスク面上で浮上する状態における前記第１及び第２延在領域７１，７２の荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩れ弾性変形動作によって生じる前記弾性板６０の保有弾性が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重として作用し、この押し付け荷重が前記空気圧とつり合うことで、前記磁気ヘッド１００は作動状態において前記ディスク面上で浮上する。
【００３５】
前記弾性板６０は、前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩り動作によって前記荷重を発生し得るような部材によって形成される。前記弾性板６０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００３６】
好ましくは、前記弾性板６０の前記第１及び第２延在領域７１，７２は、前記磁気ヘッドサスペンション１がデータ記憶装置に実装される前の状態において、前記第１及び第２支持部当接領域６１，６２が前記一対の支持片１２によって前記ディスク面に略平行に保持された状態で、前記ロードビーム部当接領域６５における磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側及び基端側が前記ディスク面に対して近接及び離間するように、前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りに捩り変形される。
【００３７】
斯かる構成においては、前記一対の第１及び第２延在領域７１，７２が前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りに捩り戻されて所定の押し付け荷重を発生する状態で、前記磁気ヘッドサスペンション１がデータ記憶装置に実装される。そして、前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面上に位置する状態で前記ディスク面の回転に伴う空気圧を受ける磁気ヘッドサスペンションの作動（ロード）時には、前記空気圧を受けた状態での前記一対の第１及び第２延在領域７１，７２の前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩り戻り弾性変形によって生じる押し付け荷重が前記空気圧と釣り合うことで前記磁気ヘッド１００がディスク面上で浮上する。従って、前記押し付け荷重の制御を安定して行うことができる。
【００３８】
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記弾性板６０は前記支持部１０のディスク面側に位置している。
即ち、前記支持部当接領域６１，６２は、前記一対の支持片１２におけるディスク面側の下面に当接された状態で溶接点５３において溶接固定されている。
【００３９】
一方、前記ロードビーム基板１３０は、図１(a)に示すように、前記弾性板６０の前記ディスク面とは反対側に位置し、且つ、前記フレクシャ基板１４０は、図１(b)及び図２に示すように、前記ロードビーム基板１３０及び前記弾性板６０の前記ディスク面側に位置している。
即ち、前記ロードビーム基板１３０の下面（前記ディスク面側の面）が前記弾性板６０における前記ロードビーム部当接領域６５の上面（前記ディスク面とは反対側の面）に当接されている。
一方、前記フレクシャ基板１４０の上面が、前記弾性板６０が存在しない領域においては前記ロードビーム基板１３０の下面（前記ディスク面側の面）に当接され、且つ、前記弾性板６０が存在する領域においては前記弾性板６０の下面（前記ディスク面側の面）に当接されている。
【００４０】
このように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１においては、両端支持された状態の前記弾性板６０が前記荷重曲げ部２０として作用するように構成されており、これにより、下記効果を奏し得るようになっている。
【００４１】
即ち、従来の磁気ヘッドサスペンションにおける荷重曲げ部は、基端部がアーム等の支持部に支持され且つ自由端部においてロードビーム部を支持する片持ちバネ形態とされている。
斯かる従来構成においては、外部からの衝撃力印可時に、ロードビーム部の支持点（即ち、ロードビーム部及び荷重曲げ部の接合点）がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。従って、仮に、ロードビーム部を、剛性低下を招くことなく軽量化したり、及び／又は、ロードビーム部の支持点を基準にして該ロードビーム部の先端側及び基端側の質量平衡化を行ったとしても、衝撃力が加わった際に磁気ヘッドがディスク面に直交する方向に跳躍することを十分には抑えることはできない。
【００４２】
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１においては、両端支持された前記弾性板６０が前記荷重曲げ部２０として作用するように構成されている。
斯かる構成によれば、外部から衝撃力が印可された際に、前記ロードビーム部３０の支持点（即ち、前記ロードビーム基板１３０と前記弾性板６０との接合点）がディスク面と直交する方向に変動することを有効に防止でき、これにより、衝撃力が加わった際の前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を抑え、前記磁気ヘッドサスペンション１の耐衝撃性を大幅に向上させることができる。
【００４３】
図３(b)に示すように、前記第１及び第２延在領域７１，７２の先端側の辺及び基端側の辺を直線状とすることも可能であるが、好ましくは、前記第１及び第２延在領域７１，７２の先端側の辺及び基端側の辺は、平面視においてそれぞれ先端側及び基端側に開く凹状とされる。
斯かる構成を備えることにより、前記第１及び第２延在領域７１，７２が荷重曲げ中心線ＢＬ回りに無理なく捩り弾性変形動作を行うことができ、これにより、荷重バラツキの低減（荷重安定化）及びばね定数のバラツキ低減（ばね定数安定化）を図ることができる。
本実施の形態においては、図３(a)に示すように、前記第１及び第２延在領域７１，７２の先端側の辺及び基端側の辺は、平面視においてそれぞれ先端側及び基端側へ開く湾曲形状とされている。
【００４４】
さらに、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１においては、図１〜図３に示すように、前記弾性板６０における前記ロードビーム部当接領域６５のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分が、少なくとも前記長手方向中心線ＣＬを基準にして左右対称な一対の第１溶接点２１において、前記ロードビーム基板１３０及び前記フレクシャ基板１４０の双方に溶接されており、これにより、耐衝撃性の悪化を招くことなく、前記磁気ヘッドサスペンション１のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向（ディスク面と平行な方向）の剛性を高め、主共振モードである首振りモード（ＳＷＡＹモード）の共振周波数を向上させている。
【００４５】
即ち、前記ロードビーム基板１３０の板厚を厚くすることで前記磁気ヘッドサスペンション１のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性を高めることも可能であるが、この構成では、前記ロードビーム部３０の質量が増加し、これにより、耐衝撃性が悪化する。
【００４６】
これに対し、本実施の形態においては、前記弾性板６０における前記ロードビーム部当接領域６５のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分と前記ロードビーム基板１３０と前記フレクシャ基板１４０とが、少なくとも前記長手方向中心線ＣＬを基準にして左右対称な一対の第１溶接点２１において、溶接されている。
斯かる構成によれば、前記フレクシャ基板１４０が前記ロードビーム基板１３０の剛性を補強する補強部材としても作用することになり、従って、前記ロードビーム基板１３０の板厚を厚くすることなく、前記磁気ヘッドサスペンション１のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性を高めることができる。
【００４７】
好ましくは、図１及び図２に示すように、前記フレクシャ基板１４０は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記ロードビーム基板１３０と共に前記弾性板６０に溶接される部分と前記ロードビーム部当接領域１４１の先端部分との間において前記ロードビーム部当接領域１４１から磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ前記ロードビーム基板１３０を越えて延びる一対の拡幅領域１４８であって、長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称とされた一対の拡幅領域１４８を有し得る。
前記一対の拡幅領域１４８を備えることにより、前記ロードビーム部３０に対する前記フレクシャ基板１４０によるシーク方向剛性補強効果をより向上させることができる。
【００４８】
前記一対の拡幅領域１４８は、例えば、一枚のシート材から複数の前記フレクシャ基板を成形する際に隣接するフレクシャ基板同士を繋ぐブリッジ部を利用して形成することができる。
即ち、通常、一枚のシート材から複数の前記フレクシャ基板を成形するが、その際、前記フレクシャ基板が変形することを防止する為に、隣接するフレクシャ基板同士がブリッジ部で繋がれた状態のプリ成形体を形成し、その後に、前記ブリッジ部を切断して前記フレクシャ基板を形成する。
このような製造方法で前記フレクシャ基板を形成する場合において、好ましくは、切断された後の前記ブリッジ部によって前記拡幅領域１４８が形成されるように、前記プリ成形体を形成することができる。
斯かる製造方法によれば、実質的に製造工程を増加させることなく、前記拡幅領域１４８を備えた前記フレクシャ基板１４０を得ることができる。
【００４９】
なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記ロードビーム基板１３０の両側縁に前記フランジ部３５が設けられているが、前記フランジ部３５は、図１(a)に示すように、前記ディスク面から離間する方向へ折り曲げられており、且つ、前記フレクシャ基板１４０は、図１(b)及び図２に示すように、前記ロードビーム基板１３０におけるディスク面側の下面に当接されている。
従って、前記フランジ部３５に抵触することなく、前記フレクシャ基板１４０に前記拡幅領域１４８を備えることができる。
【００５０】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１は、前記フレクシャ基板１４０と前記ロードビーム基板１３０との接合を強固にしつつ、前記弾性板６０が前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りに容易に捩り弾性変形動作を行えるように、さらに下記構成を備えている。
【００５１】
即ち、図２に示すように、前記フレクシャ基板１４における前記ロードビーム部当接領域１４１の基端側は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央において前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側へ延びる中央基端側延在部１４１ａと、前記一対のブリッジ領域１４５にそれぞれつながるように磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる一対の移行部１４１ｂであって、前記長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対称とされた一対の移行部１４１ｂとを有している。
【００５２】
斯かる構成において、前記中央基端側延在部１４１ａは、図２に示すように、前記長手方向中心線ＣＬを基準にして対称配置された一又は複数の第３溶接点２５（図示の形態においては長手方向中心線ＣＬ上に位置する一つの溶接点２５）において前記ロードビーム基板１３０及び前記弾性板６０の双方に溶接されており、これにより、前記フレクシャ基板１４０と前記ロードビーム基板１３０とを強固に接合させている。
【００５３】
さらに、前記フレクシャ基板１４０における前記ロードビーム当接領域１４１の基端側は、図２に示すように、前記中央基端側延在部１４１ａと前記一対の移行部１４１ｂとの間の部分１４１ｃが平面視において基端側へ開く凹状とされており、且つ、前記凹状の先端側が前記荷重曲げ中心線ＢＬ上に位置されている。
斯かる構成によれば、前記弾性板６０の前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩り弾性変形動作に対して、前記フレクシャ基板１４０の剛性が悪影響を及ぼすことを可及的に防止できる。
【００５４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１は、図１及び図２に示すように、さらに、前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置し且つ平面視において前記凹部１３内に位置するように前記ロードビーム基板１３０に固着された平衡質量体２００を備えており、これにより、前記荷重曲げ部２０として作用する前記弾性板６０に支持される部材の荷重曲げ中心線ＢＬを基準にした先端側及び基端側の質量平衡化を図っている。
【００５５】
具体的には、前記ロードビーム基板１３０は、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する先端領域１３１と、前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置する基端領域１３２とを有している。
なお、前記ロードビーム基板１３０は、前記先端領域１３１から先端側へ延びるリフトタブ領域１３３をさらに有している。このリフトタブ領域１３３は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａのロード／アンロードの切換を行う際に使用される。即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの非作動（アンロード）時に、前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面の外方に位置するように前記磁気ヘッドサスペンションがシーク方向へ移動する際に、前記リフトタブ領域１３３がデータ記憶装置におけるランプに係合する。斯かる構成により、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａのアンロード時における耐衝撃性をアップさせることができる。
【００５６】
前記平衡質量体２００は、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置し且つ平面視において前記凹部１３内に位置するように前記ロードビーム基板１３０の前記基端領域１３２に溶接によって固着されている。
斯かる平衡質量体２００を設けることにより、前記基端領域１３２を可及的に短くしつつ、前記荷重曲げ中心線ＢＬを基準にして先端側に位置する部分の質量と基端側に位置する部分の質量との平衡化を図ることができ、これにより、衝撃力が加わった際の磁気ヘッド跳躍動作を有効に抑え、耐衝撃特性を向上させることができる。
【００５７】
詳しくは、前記平衡質量体２００は、前記ロードビーム基板１３０における前記基端領域１３２の上面に当接され且つ適宜の溶接点５５，５６において溶接されるロードビーム部当接領域２１０と、前記ロードビーム部当接領域２１０から前記凹部１３内において基端側へ延びる基端側延在領域２２０とを有している。
【００５８】
本実施の形態においては、図２に示すように、前記平衡質量体２００の前記ロードビーム部当接領域２１０は、前記長手方向中央線ＣＬを基準にして対称に配置された一対の先端側溶接点５５において前記ロードビーム基板１３０及び前記弾性板６０の双方に溶接され、且つ、前記一対の先端側溶接点５５より基端側において前記長手方向中央線ＣＬを基準にして対称に配置された一対の基端側溶接点５６において前記ロードビーム基板１３０に溶接されている。
前記平衡質量体２００は、例えば、厚さ０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍ程度の金属板によって形成され得る。
【００５９】
前述の通り、前記ロードビーム基板１３０には、幅方向両側に上方を向くように折り曲げられた一対のフランジ部３５が設けられている。従って、前記平衡質量体２００の前記ロードビーム部当接領域２１０は、前記一対のフランジ部３５の間において前記ロードビーム基板１３０の上面に当接された状態で溶接固定されており、これにより、前記平衡質量体２００と前記ロードビーム基板１３０との接続部分において一定の剛性が確保されている。
【００６０】
図４(a)及び(b)に、それぞれ、前記平衡質量体２００の下面図（前記ディスク面側から視た図）及び側面図を示す。
図１，図２及び図４に示すように、前記平衡質量体２００は磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部２０５を有し、前記折り曲げ部２０５より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部２０５において曲げられている
【００６１】
このように、前記折り曲げ部２０５より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記平衡質量体２００を形成することにより、前記磁気ヘッドサスペンション１の作動状態において、前記平衡質量体２００を前記ディスク面へ近づける向きの衝撃力が加わった際に、前記平衡質量体２００の基端側が前記ディスク面に衝突することを有効に防止できる。
【００６２】
好ましくは、前記平衡質量体２００は、図４(b)に示すように、前記折り曲げ部２０５を含む領域が他の領域に比して薄肉とされる。
斯かる構成によれば、前記折り曲げ部２０５での前記平衡質量体２００の曲げ加工を安定的に行うことができる。
前記薄肉化は、例えば、前記平衡質量体２００における前記折り曲げ部２０５に対応する部分の少なくとも一方側の面（本実施の形態においてはディスク面側の面）をエッチングすることにより、容易に行うことができる。
【００６３】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図５(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２の上面図及び下面図を示す。
又、図６に、図５(b)におけるVI部拡大図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００６４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２は、前記弾性板６０が弾性板２６０に変更されている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１と相違している。
図７に、前記弾性板２６０の拡大下面図を示す。
【００６５】
図７に示すように、前記弾性板２６０は、前記ロードビーム部当接領域６５が、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記第１及び第２延在領域７１，７２に対応した中央領域６６に加えて、前記中央領域６６から先端側へ延びる先端領域６７を有している点において、前記実施の形態１における前記弾性板６０と相違している。
【００６６】
そして、前記一対の第１溶接点２１は前記先端領域６７に位置されている。
即ち、前記弾性板２６０は、前記ロードビーム部当接領域６５における前記先端領域６７に位置された前記一対の第１溶接点２１において、前記ロードビーム基板１３０及び前記フレクシャ基板１４０の双方に溶接されている。
【００６７】
このように、前記弾性板２６０の前記ロードビーム当接領域６５に、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記第１及び第２延在部７１，７２より先端側へ延びる前記先端領域６７を設け、前記先端領域６７を少なくとも前記一対の第１溶接点２１において前記ロードビーム基板１３０及び前記フレクシャ基板１４０の双方に溶接することにより、前記磁気ヘッドサスペンション２のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性をより効果的に向上させることができる。
【００６８】
ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２に対して、有限要素法を用いて行った首振りモードの共振周波数に関する解析結果及び磁気ヘッド１００の跳躍動作を引き起こす衝撃力の限界加速度に関する解析結果について説明する。
【００６９】
この解析においては、実施例として、図５に示す前記磁気ヘッドサスペンション２であって、前記フレクシャ基板１４０、前記ロードビーム基板１３０、前記平衡質量体２００、前記弾性板２６０及び前記支持部１０が全てＳＵＳ３０４−ＨＴＡであり、且つ、厚さがそれぞれ、０．０１８ｍｍ、０．０２ｍｍ、０．２ｍｍ、０．０３ｍｍ及び０．３ｍｍである磁気ヘッドサスペンション２を用いた。
比較例として、前記一対の第１溶接点２１においては前記弾性板２６０及び前記ロードビーム基板１３０だけが溶接され、前記フレクシャ基板１４０は溶接されていない点において前記実施例と異なる磁気ヘッドサスペンションを用いた。
【００７０】
前記実施例及び前記比較例を用いて行ったシーク方向の共振周波数に関する解析結果（周波数応答特性）を図８に示す。
又、前記実施例及び前記比較例に対して、前記磁気ヘッド１００がディスク面から離れる方向の衝撃波（正弦半波）であって、パルス幅０．５ｍｍｓｅｃ，１．０ｍｓｅｃ及び２．０ｍｓｅｃの衝撃波をそれぞれ加え、前記磁気ヘッド１００の跳躍を引き起こす衝撃波の加速度（限界快速度）を解析した。その結果を、図９に示す。
【００７１】
図８及び図９から明らかなように、実施例に係る磁気ヘッドサスペンションは、比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対して、全てのパルス幅の衝撃波において限界加速度が同等以上であった。又、ＳＷＡＹモードの共振周波数に関しては、比較例に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては１１．８ｋＨｚであるのに対し、実施例に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては１２．５ｋＨｚであり、実施例に係る磁気ヘッドサスペンションは比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対して７００Ｈｚ程度向上されている。
これは、前記フレクシャ基板１４０が前記ロードビーム部３０のシーク方向に関する剛性補強部材として作用していることによるものと考えられる。
【００７２】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション３の上面図及び下面図を示す。
又、図１１に、図１０(b)におけるXI部拡大図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００７３】
図１０及び図１１に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２において、前記弾性板２６０の代わりに弾性板３６０を備えている。
【００７４】
図１２に、前記弾性板３６０の拡大下面図を示す。
図１２に示すように、前記弾性板３６０は、前記第１及び第２支持部当接領域６１，６２と、前記中央領域６６及び前記先端領域６７を含む前記ロードビーム部当接領域６５と、前記第１及び第２延在領域７１，７２と、前記ロードビーム部当接領域６５の前記先端領域６７から前記ロードビーム基板１３０を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の外方延在領域７５とを備えている。
【００７５】
前記弾性板３６０における前記ロードビーム部当接領域６５の前記先端領域６７は、図１０〜図１２に示すように、前記実施の形態２におけると同様に、前記一対の第１溶接点２１において前記ロードビーム基板１３０及び前記フレクシャ基板１４０の双方に溶接されている。
【００７６】
さらに、本実施の形態においては、図１０〜図１２に示すように、前記弾性板３６０における前記一対の外方延在領域７５が、少なくとも前記長手方向中心線ＣＬを基準にして左右対称な一対の第２溶接点２２において前記フレクシャ基板１４０における前記一対の拡幅領域１４８に溶接されている。
【００７７】
このように、前記弾性板３６０に前記ロードビーム基板１３０を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる前記一対の外方延在領域７５を設け且つ前記フレクシャ基板１４０にも前記ロードビーム基板１３０を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる前記一対の拡幅領域１４８を設けると共に、前記一対の外方延在領域７５及び前記一対の拡幅領域１４８を少なくとも前記一対の第２溶接点２２において溶接することにより、前記磁気ヘッドサスペンション３のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性をさらに効果的に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】図１(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図（ディスク面とは反対側から視た図）及び下面図（ディスク面の側から見た図）である。
【図２】図２は、図１(b)におけるII部拡大図である。
【図３】図３(a)は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の拡大下面図であり、図３(b)は、変形例に係る弾性板の拡大下面図である。
【図４】図４(a)及び(b)は、それぞれ、図１及び図２に示す前記磁気ヘッドサスペンションにおける平衡質量体の下面図及び側面図である。
【図５】図５(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図６】図６は、図５(b)におけるVI部拡大図である。
【図７】図７は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の拡大下面図である。
【図８】図８は、前記実施の形態２の実施例に係る磁気ヘッドサスペンション及び比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対するシーク方向の共振周波数に関する解析結果を示すグラフである。
【図９】図９は、前記実施例及び比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対する限界加速度に関する解析結果を示すグラフである。
【図１０】図１０(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１１】図１１は、図１０(b)におけるXI部拡大図である。
【図１２】図１２は、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の拡大下面図である。
【符号の説明】
【００７９】
１〜３ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
１１ 本体領域
１２ 支持片
１３ 凹部
２０ 荷重曲げ部
２１ 一対の第１溶接点
２２ 一対の第２溶接点
２５ 第３溶接点
３０ ロードビーム部
４０ フレクシャ部
４３ 磁気ヘッド搭載領域
５１〜５３ 溶接点
６０ 弾性板
６１，６２ 第１及び第２支持部当接領域
６５ ロードビーム部当接領域
６６ 中央領域
６７ 先端領域
７１，７２ 第１及び第２延在領域
７５ 一対の外方延在領域
１３０ ロードビーム基板
１４０ フレクシャ基板
１４１ ロードビーム部当接領域
１４１ａ 中央基端側延在部
１４１ｂ 一対の移行部
１４２ 一対の支持片
１４４ 支持部当接領域
１４５ 一対のブリッジ領域
１４８ 一対の拡幅領域
２００ 平衡質量体
２０５ 折り曲げ部
ＣＬ 長手方向中心線
ＢＬ 荷重曲げ中心線
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ヘッドによって記録媒体に対してデータをリード及び／又はライトするデータ記憶装置は、ノートブック型パーソナルコンピュータや携帯音楽プレーヤー等のモバイル機器においても広く利用されており、これに伴い、前記磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンションにはより高い耐衝撃性が求められるようになってきている。
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションには、前記データ記憶装置を作動状態のままで地面に落下させてしまった場合等において、磁気ヘッドがディスク面を損傷させることを可及的に防止することが望まれる。
【０００３】
例えば、作動中の前記データ記憶装置に前記磁気ヘッドをディスク面に近づける方向の衝撃力が加えられた場合には、前記磁気ヘッドと前記ディスク面との間に存する空気膜によって前記磁気ヘッドが前記ディスク面に衝突することをある程度は回避できる。
しかしながら、作動中の前記データ記憶装置に前記磁気ヘッドを前記ディスク面から離間させる方向へ一定以上の大きさの衝撃力が加わると、前記磁気ヘッドが前記ディスク面から離間する方向に跳躍し、この跳躍の揺れ戻しの際に前記磁気ヘッドが前記ディスク面に衝突して、前記ディスク面及び前記磁気ヘッドが損傷する恐れがある。
【０００４】
従って、前記データ記憶装置の耐衝撃性を向上させるためには、外部から印可される衝撃力によって前記磁気ヘッドが跳躍動作を行うことを可及的に防止すること、逆に言うと、前記磁気ヘッドの跳躍動作を引き起こす衝撃力の加速度（限界加速度）を可及的に上げることが必要となる。
【０００５】
前記磁気ヘッドは、前記データ記憶装置に装着される磁気ヘッドサスペンションに支持されている。
詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドを前記ディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドが搭載されるヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に溶接されるフレクシャ部とを備えている。
【０００６】
例えば、前記荷重曲げ部によって発生される前記荷重を増加させることによって、前記限界加速度を引き上げることが可能となる。
しかしながら、前記荷重は、前記ディスク面上での前記磁気ヘッドの浮上高さを制御するために適切な範囲に設定する必要がある。従って、前記荷重を増加させることで前記限界加速度を引き上げるという方法には、自ずと限界がある。
【０００７】
又、前記ロードビーム部の質量を低減させることで衝撃力が加わった際に前記ロードビーム部に付加される慣性力を小さくすることによっても、前記限界加速度を引き上げることが可能である。
しかしながら、前記ロードビーム部の質量を低減させる為には、前記ロードビーム部の板厚を薄くしたり、及び／又は、前記ロードビーム部に孔を形成する必要があり、その結果、前記ロードビーム部の剛性が低下し、これにより、振動特性及びロード／アンロード特性が劣化するという問題がある。
【０００８】
衝撃力印可時における前記磁気ヘッドの跳躍動作を抑える為のさらに他の構成として、前記ロードビーム部に、前記荷重曲げ部に接合される部分より基端側へ延びる延在部を設ける構成が提案されている（例えば、下記特許文献１〜４参照）。
この構成は、前記ロードビーム部のうち前記荷重曲げ部より先端側に位置する部分の質量と前記荷重曲げ部より基端側に位置する質量とを可及的に等しくすることにより、外部からの衝撃力印可時における前記磁気ヘッドの跳躍動作を抑えるものであり、前記ロードビーム部の剛性低下を招くことが無い点で有用である。
【０００９】
しかしながら、これらの特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記ロードビーム部は、前記支持部に片持ち支持された状態の前記荷重曲げ部の自由端部に接合されている。この構成では、衝撃力が印可された際に、前記ロードビーム部の支持点（即ち、前記ロードビーム部及び前記荷重曲げ部の接合点）がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。
従って、前記各特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションは、前記ロードビーム部の剛性低下を招くという問題は生じないものの、前記限界加速度を十分には引き上げることができない。
【００１０】
さらに、前記磁気ヘッドサスペンションはアクチュエータの駆動に応じて前記磁気ヘッドをハードディスク等の記憶媒体上において径方向（シーク方向）へ高速移動させ、前記磁気ヘッドを目的のトラック上に正確に位置決めさせる部材であるから、振動特性、特に、前記ディスク面と平行なシーク方向の振動特性の向上（即ち、ＳＷＡＹモードの共振周波数の高域化）が望まれている。
【特許文献１】特開平９−０８２０５２号公報
【特許文献２】特開平１１−０３９８０８号公報
【特許文献３】特開２００４−３４８８０４号公報
【特許文献４】特開２００５−１７４５０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、耐衝撃性及びシーク方向の振動特性の双方を向上させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドを支持するヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に溶接されるフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、本体領域と、前記本体領域の幅方向両側から先端側へ延び、両者の間に先端側へ開く凹部を画する一対の支持片であって、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして対称とされた一対の支持片とを有し、前記磁気ヘッドサスペンションは前記一対の支持片に両持ち支持された弾性板を備え、前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点において溶接される第１及び第２支持部当接領域と、前記凹部内において前記ロードビーム部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域と前記第１及び第２支持部当接領域との間をそれぞれ連結する第１及び第２延在領域とを有し、前記第１及び第２延在領域が磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形することで前記荷重曲げ部として作用するように構成され、前記ロードビーム部当接領域のうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分が、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第１溶接点において、前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板及び前記フレクシャ部を形成するフレクシャ基板の双方に溶接されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１３】
好ましくは、前記弾性板の前記ロードビーム部当接領域は、前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関し前記第１及び第２延在領域に対応した中央領域と前記中央領域から先端側へ延びる先端領域とを有し得る。
斯かる構成において、前記一対の第１溶接点は前記先端領域に位置される。
【００１４】
より好ましくは、前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム基板に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域から先端側へ延びる一対の支持片と、前記一対の支持片の自由端部に連結され、前記磁気ヘッドが搭載される前記ヘッド搭載領域と、前記ロードビーム部当接領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の拡幅領域とを有し、且つ、前記弾性板は、前記一対の拡幅領域と当接し得るように前記ロードビーム部当接領域の前記先端領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の外方延在領域を有し得る。
そして、前記一対の外方延在領域及び前記一対の拡幅領域は、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第２溶接点において互いに溶接される。
【００１５】
さらに好ましくは、前記フレクシャ基板は、前記支持部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接される支持部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域の幅方向両側から基端側へ延びて前記支持部当接領域に連結される一対のブリッジ領域であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対のブリッジ領域とを有し得る。
前記フレクシャ基板における前記ロードビーム部当接領域の基端側は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央において前記荷重曲げ中心線より基端側へ延びる中央基端側延在部と、前記一対のブリッジ領域にそれぞれつながるように磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる一対の移行部であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対の移行部とを有し得る。
前記中央基端側延在部は、前記長手方向中心線を基準にして対称配置された一又は複数の第３溶接点において前記ロードビーム基板及び前記弾性板の双方に溶接される。
前記中央基端側延在部と前記一対の移行部との間は、平面視において基端側へ開く凹状とされており、前記凹状の先端側は前記荷重曲げ中心線上に位置される。
【００１６】
前記種々の構成において、前記磁気ヘッドサスペンションは、好ましくは、前記荷重曲げ中心線より基端側に位置し且つ平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム基板に固着された平衡質量体を備え得る。
【００１７】
より好ましくは、前記平衡質量体は磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部において曲げられる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、支持部における一対の支持片にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点において溶接される第１及び第２支持部当接領域と、前記一対の支持片によって画される凹部内においてロードビーム部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域と前記第１及び第２支持部当接領域との間をそれぞれ連結する第１及び第２延在領域であって、磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形する第１及び第２延在領域とを有する弾性板が、前記磁気ヘッドをディスク面に向けて押し付ける荷重を発生する荷重曲げ部として作用するように構成されているので、衝撃力が加えられた際に前記ロードビーム部と前記荷重曲げ部との接合点がディスク面に直交する方向に変動することを有効に防止でき、これにより、耐衝撃性を向上させることができる。
さらに、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、前記弾性板における前記ロードビーム部当接領域のうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分が、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第１溶接点において前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板及び前記フレクシャ部を形成するフレクシャ基板の双方に溶接されており、前記フレクシャ基板が前記ロードビーム基板の剛性を補強する補強部材としても作用するように構成されている。従って、質量を増加させることなく、前記磁気ヘッドサスペンションのうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分のシーク方向の剛性を向上させることができる（即ち、ＳＷＡＹモードの共振周波数を高域化させることができる）。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい一実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１の上面図（ディスク面とは反対側から視た図）及び下面図（前記ディスク面の側から見た図）を示す。
又、図２に、図１(b)におけるII部拡大図を示す。
【００２０】
図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１は、磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッド１００に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する支持部１０と、前記磁気ヘッド１００を支持するヘッド搭載領域４３を有し、前記ロードビーム部３０に溶接されるフレクシャ部４０とを備えている。
【００２１】
前記支持部１０は、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する為の部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
本実施の形態においては、前記支持部１０は、図１(a)及び(b)に示すように、基端部がアクチュエータの回転中心に連結されるアームとされている。これに代えて、前記支持部１０を、キャリッジアームの先端にスウェッジ加工により接合されるボス部を備えたベースプレートとすることも可能である。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００２２】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１の幅方向中央に先端側に開く凹部１３を画するように、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片１２を有している。
即ち、前記支持部１０は、基端部が前記アクチュエータに直接又は間接的に連結される平板状の本体領域１１と、前記本体領域１１の先端部における幅方向両端側から先端側へ延びる前記一対の支持片１２とを有しており、前記一対の支持片１２の間に前記凹部１３が画されている。
【００２３】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッド１００に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
前記ロードビーム部３０は、所定形状に成形されたロードビーム基板１３０によって形成されている。
【００２４】
前記ロードビーム基板１３０の板厚を前記荷重曲げ部２０を形成する下記弾性板６０や前記フレクシャ部４０を形成するフレクシャ基板１４０の板厚よりも厚くすることで前記ロードビーム部３０の剛性を確保することも可能であるし、及び／又は、前記ロードビーム基板１３０の両側縁にフランジ部３５を設けることによって前記ロードビーム基板１３０の厚みを前記フレクシャ基板１４０と同程度にしつつ前記ロードビーム部３０の剛性を確保することも可能である。
【００２５】
なお、本実施の形態においては、図１(a)及び(b)に示すように、前記ロードビーム基板１３０の両側縁に前記フランジ部３５を設けることで、前記ロードビーム基板１３０の板厚を可及的に薄くしつつ前記ロードビーム部３０の剛性を確保している。
前記ロードビーム基板１３０は、例えば、厚さ０．０１５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度のステンレス板とされる。
【００２６】
前記ロードビーム部３０の先端部には、図１(a)に示すように、所謂ディンプルと呼ばれる突起３１が設けられている。
前記突起３１は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０４ｍｍ〜０．０８ｍｍ程度突出されている。この突起３１は、前記フレクシャ部４０における前記ヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３１を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００２７】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド１００を支持する為の部材である。
本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０は、図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッド１００を支持するヘッド搭載領域４３を有し、前記ロードビーム基板１３０に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるフレクシャ基板１４０と、前記フレクシャ基板１４０に積層された絶縁層１５０と、前記絶縁層１５０に積層された導体層１５５とを一体的に有する配線一体型とされている。
【００２８】
前記フレクシャ基板１４０は、例えば、厚さ０．０１５ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板とされる。
詳しくは、前記フレクシャ基板１４０は、図１(b)及び図２に示すように、前記ロードビーム基板１３０に当接され且つ適宜の溶接点５１において前記ロードビーム基板１３０に溶接されるロードビーム部当接領域１４１と、前記ロードビーム部当接領域１４１から先端側へ延びる一対の支持片１４２と、前記一対の支持片１４２の自由端部に連結され、前記磁気ヘッド１００が搭載される前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００２９】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド１００を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３１が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は前記突起３１を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００３０】
本実施の形態においては、図１(b)及び図２に示すように、前記フレクシャ基板１４０は、さらに、前記支持部１０に当接され且つ適宜の溶接点５２において溶接される支持部当接領域１４４と、前記ロードビーム部当接領域１４１の幅方向両側から基端側へ延びて前記支持部当接領域１４４に連結される一対のブリッジ領域１４５とを有している。
前記一対のブリッジ領域１４５は、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部当接領域１４１と前記支持部当接領域１４４との間を連結するように前記凹部１３内に延びており、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１の長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称とされている。
【００３１】
図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１は、さらに、前記支持部１０における前記一対の支持片１２に両持ち支持された弾性板６０を有しており、前記弾性板６０が前記荷重曲げ部２０として作用している。
【００３２】
図３(a)に、前記弾性板６０の拡大下面図を示す。
前記弾性板６０は、図３(a)に示すように、前記一対の支持片１２にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点５３（図１(b)参照）において溶接される第１及び第２支持部当接領域６１，６２と、前記凹部１３内において前記ロードビーム部３０に当接され且つ少なくとも後述する下記一対の第１溶接点２１において溶接されるロードビーム部当接領域６５と、前記ロードビーム部当接領域６５と前記第１及び第２支持部当接領域６１，６２との間をそれぞれ連結する第１及び第２延在領域７１，７２とを有している。
【００３３】
前記弾性板６０は、前記第１及び第２延在領域７１，７２が磁気ヘッドサスペンション１の幅方向に沿った荷重曲げ中心線ＢＬ回りに捩れ弾性変形することで前記荷重を発生するように構成されている。
【００３４】
即ち、前記磁気ヘッド１００がディスク面の回転に伴う空気圧を受けて前記ディスク面上で浮上する状態における前記第１及び第２延在領域７１，７２の荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩れ弾性変形動作によって生じる前記弾性板６０の保有弾性が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重として作用し、この押し付け荷重が前記空気圧とつり合うことで、前記磁気ヘッド１００は作動状態において前記ディスク面上で浮上する。
【００３５】
前記弾性板６０は、前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩り動作によって前記荷重を発生し得るような部材によって形成される。前記弾性板６０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００３６】
好ましくは、前記弾性板６０の前記第１及び第２延在領域７１，７２は、前記磁気ヘッドサスペンション１がデータ記憶装置に実装される前の状態において、前記第１及び第２支持部当接領域６１，６２が前記一対の支持片１２によって前記ディスク面に略平行に保持された状態で、前記ロードビーム部当接領域６５における磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側及び基端側が前記ディスク面に対して近接及び離間するように、前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りに捩り変形される。
【００３７】
斯かる構成においては、前記一対の第１及び第２延在領域７１，７２が前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りに捩り戻されて所定の押し付け荷重を発生する状態で、前記磁気ヘッドサスペンション１がデータ記憶装置に実装される。そして、前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面上に位置する状態で前記ディスク面の回転に伴う空気圧を受ける磁気ヘッドサスペンションの作動（ロード）時には、前記空気圧を受けた状態での前記一対の第１及び第２延在領域７１，７２の前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩り戻り弾性変形によって生じる押し付け荷重が前記空気圧と釣り合うことで前記磁気ヘッド１００がディスク面上で浮上する。従って、前記押し付け荷重の制御を安定して行うことができる。
【００３８】
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記弾性板６０は前記支持部１０のディスク面側に位置している。
即ち、前記支持部当接領域６１，６２は、前記一対の支持片１２におけるディスク面側の下面に当接された状態で溶接点５３において溶接固定されている。
【００３９】
一方、前記ロードビーム基板１３０は、図１(a)に示すように、前記弾性板６０の前記ディスク面とは反対側に位置し、且つ、前記フレクシャ基板１４０は、図１(b)及び図２に示すように、前記ロードビーム基板１３０及び前記弾性板６０の前記ディスク面側に位置している。
即ち、前記ロードビーム基板１３０の下面（前記ディスク面側の面）が前記弾性板６０における前記ロードビーム部当接領域６５の上面（前記ディスク面とは反対側の面）に当接されている。
一方、前記フレクシャ基板１４０の上面が、前記弾性板６０が存在しない領域においては前記ロードビーム基板１３０の下面（前記ディスク面側の面）に当接され、且つ、前記弾性板６０が存在する領域においては前記弾性板６０の下面（前記ディスク面側の面）に当接されている。
【００４０】
このように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１においては、両端支持された状態の前記弾性板６０が前記荷重曲げ部２０として作用するように構成されており、これにより、下記効果を奏し得るようになっている。
【００４１】
即ち、従来の磁気ヘッドサスペンションにおける荷重曲げ部は、基端部がアーム等の支持部に支持され且つ自由端部においてロードビーム部を支持する片持ちバネ形態とされている。
斯かる従来構成においては、外部からの衝撃力印可時に、ロードビーム部の支持点（即ち、ロードビーム部及び荷重曲げ部の接合点）がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。従って、仮に、ロードビーム部を、剛性低下を招くことなく軽量化したり、及び／又は、ロードビーム部の支持点を基準にして該ロードビーム部の先端側及び基端側の質量平衡化を行ったとしても、衝撃力が加わった際に磁気ヘッドがディスク面に直交する方向に跳躍することを十分には抑えることはできない。
【００４２】
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１においては、両端支持された前記弾性板６０が前記荷重曲げ部２０として作用するように構成されている。
斯かる構成によれば、外部から衝撃力が印可された際に、前記ロードビーム部３０の支持点（即ち、前記ロードビーム基板１３０と前記弾性板６０との接合点）がディスク面と直交する方向に変動することを有効に防止でき、これにより、衝撃力が加わった際の前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を抑え、前記磁気ヘッドサスペンション１の耐衝撃性を大幅に向上させることができる。
【００４３】
図３(b)に示すように、前記第１及び第２延在領域７１，７２の先端側の辺及び基端側の辺を直線状とすることも可能であるが、好ましくは、前記第１及び第２延在領域７１，７２の先端側の辺及び基端側の辺は、平面視においてそれぞれ先端側及び基端側に開く凹状とされる。
斯かる構成を備えることにより、前記第１及び第２延在領域７１，７２が荷重曲げ中心線ＢＬ回りに無理なく捩り弾性変形動作を行うことができ、これにより、荷重バラツキの低減（荷重安定化）及びばね定数のバラツキ低減（ばね定数安定化）を図ることができる。
本実施の形態においては、図３(a)に示すように、前記第１及び第２延在領域７１，７２の先端側の辺及び基端側の辺は、平面視においてそれぞれ先端側及び基端側へ開く湾曲形状とされている。
【００４４】
さらに、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１においては、図１〜図３に示すように、前記弾性板６０における前記ロードビーム部当接領域６５のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分が、少なくとも前記長手方向中心線ＣＬを基準にして左右対称な一対の第１溶接点２１において、前記ロードビーム基板１３０及び前記フレクシャ基板１４０の双方に溶接されており、これにより、耐衝撃性の悪化を招くことなく、前記磁気ヘッドサスペンション１のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向（ディスク面と平行な方向）の剛性を高め、主共振モードである首振りモード（ＳＷＡＹモード）の共振周波数を向上させている。
【００４５】
即ち、前記ロードビーム基板１３０の板厚を厚くすることで前記磁気ヘッドサスペンション１のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性を高めることも可能であるが、この構成では、前記ロードビーム部３０の質量が増加し、これにより、耐衝撃性が悪化する。
【００４６】
これに対し、本実施の形態においては、前記弾性板６０における前記ロードビーム部当接領域６５のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分と前記ロードビーム基板１３０と前記フレクシャ基板１４０とが、少なくとも前記長手方向中心線ＣＬを基準にして左右対称な一対の第１溶接点２１において、溶接されている。
斯かる構成によれば、前記フレクシャ基板１４０が前記ロードビーム基板１３０の剛性を補強する補強部材としても作用することになり、従って、前記ロードビーム基板１３０の板厚を厚くすることなく、前記磁気ヘッドサスペンション１のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性を高めることができる。
【００４７】
好ましくは、図１及び図２に示すように、前記フレクシャ基板１４０は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記ロードビーム基板１３０と共に前記弾性板６０に溶接される部分と前記ロードビーム部当接領域１４１の先端部分との間において前記ロードビーム部当接領域１４１から磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ前記ロードビーム基板１３０を越えて延びる一対の拡幅領域１４８であって、長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称とされた一対の拡幅領域１４８を有し得る。
前記一対の拡幅領域１４８を備えることにより、前記ロードビーム部３０に対する前記フレクシャ基板１４０によるシーク方向剛性補強効果をより向上させることができる。
【００４８】
前記一対の拡幅領域１４８は、例えば、一枚のシート材から複数の前記フレクシャ基板を成形する際に隣接するフレクシャ基板同士を繋ぐブリッジ部を利用して形成することができる。
即ち、通常、一枚のシート材から複数の前記フレクシャ基板を成形するが、その際、前記フレクシャ基板が変形することを防止する為に、隣接するフレクシャ基板同士がブリッジ部で繋がれた状態のプリ成形体を形成し、その後に、前記ブリッジ部を切断して前記フレクシャ基板を形成する。
このような製造方法で前記フレクシャ基板を形成する場合において、好ましくは、切断された後の前記ブリッジ部によって前記拡幅領域１４８が形成されるように、前記プリ成形体を形成することができる。
斯かる製造方法によれば、実質的に製造工程を増加させることなく、前記拡幅領域１４８を備えた前記フレクシャ基板１４０を得ることができる。
【００４９】
なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記ロードビーム基板１３０の両側縁に前記フランジ部３５が設けられているが、前記フランジ部３５は、図１(a)に示すように、前記ディスク面から離間する方向へ折り曲げられており、且つ、前記フレクシャ基板１４０は、図１(b)及び図２に示すように、前記ロードビーム基板１３０におけるディスク面側の下面に当接されている。
従って、前記フランジ部３５に抵触することなく、前記フレクシャ基板１４０に前記拡幅領域１４８を備えることができる。
【００５０】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１は、前記フレクシャ基板１４０と前記ロードビーム基板１３０との接合を強固にしつつ、前記弾性板６０が前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りに容易に捩り弾性変形動作を行えるように、さらに下記構成を備えている。
【００５１】
即ち、図２に示すように、前記フレクシャ基板１４における前記ロードビーム部当接領域１４１の基端側は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央において前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側へ延びる中央基端側延在部１４１ａと、前記一対のブリッジ領域１４５にそれぞれつながるように磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる一対の移行部１４１ｂであって、前記長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対称とされた一対の移行部１４１ｂとを有している。
【００５２】
斯かる構成において、前記中央基端側延在部１４１ａは、図２に示すように、前記長手方向中心線ＣＬを基準にして対称配置された一又は複数の第３溶接点２５（図示の形態においては長手方向中心線ＣＬ上に位置する一つの溶接点２５）において前記ロードビーム基板１３０及び前記弾性板６０の双方に溶接されており、これにより、前記フレクシャ基板１４０と前記ロードビーム基板１３０とを強固に接合させている。
【００５３】
さらに、前記フレクシャ基板１４０における前記ロードビーム当接領域１４１の基端側は、図２に示すように、前記中央基端側延在部１４１ａと前記一対の移行部１４１ｂとの間の部分１４１ｃが平面視において基端側へ開く凹状とされており、且つ、前記凹状の先端側が前記荷重曲げ中心線ＢＬ上に位置されている。
斯かる構成によれば、前記弾性板６０の前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩り弾性変形動作に対して、前記フレクシャ基板１４０の剛性が悪影響を及ぼすことを可及的に防止できる。
【００５４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１は、図１及び図２に示すように、さらに、前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置し且つ平面視において前記凹部１３内に位置するように前記ロードビーム基板１３０に固着された平衡質量体２００を備えており、これにより、前記荷重曲げ部２０として作用する前記弾性板６０に支持される部材の荷重曲げ中心線ＢＬを基準にした先端側及び基端側の質量平衡化を図っている。
【００５５】
具体的には、前記ロードビーム基板１３０は、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する先端領域１３１と、前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置する基端領域１３２とを有している。
なお、前記ロードビーム基板１３０は、前記先端領域１３１から先端側へ延びるリフトタブ領域１３３をさらに有している。このリフトタブ領域１３３は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａのロード／アンロードの切換を行う際に使用される。即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの非作動（アンロード）時に、前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面の外方に位置するように前記磁気ヘッドサスペンションがシーク方向へ移動する際に、前記リフトタブ領域１３３がデータ記憶装置におけるランプに係合する。斯かる構成により、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａのアンロード時における耐衝撃性をアップさせることができる。
【００５６】
前記平衡質量体２００は、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置し且つ平面視において前記凹部１３内に位置するように前記ロードビーム基板１３０の前記基端領域１３２に溶接によって固着されている。
斯かる平衡質量体２００を設けることにより、前記基端領域１３２を可及的に短くしつつ、前記荷重曲げ中心線ＢＬを基準にして先端側に位置する部分の質量と基端側に位置する部分の質量との平衡化を図ることができ、これにより、衝撃力が加わった際の磁気ヘッド跳躍動作を有効に抑え、耐衝撃特性を向上させることができる。
【００５７】
詳しくは、前記平衡質量体２００は、前記ロードビーム基板１３０における前記基端領域１３２の上面に当接され且つ適宜の溶接点５５，５６において溶接されるロードビーム部当接領域２１０と、前記ロードビーム部当接領域２１０から前記凹部１３内において基端側へ延びる基端側延在領域２２０とを有している。
【００５８】
本実施の形態においては、図２に示すように、前記平衡質量体２００の前記ロードビーム部当接領域２１０は、前記長手方向中央線ＣＬを基準にして対称に配置された一対の先端側溶接点５５において前記ロードビーム基板１３０及び前記弾性板６０の双方に溶接され、且つ、前記一対の先端側溶接点５５より基端側において前記長手方向中央線ＣＬを基準にして対称に配置された一対の基端側溶接点５６において前記ロードビーム基板１３０に溶接されている。
前記平衡質量体２００は、例えば、厚さ０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍ程度の金属板によって形成され得る。
【００５９】
前述の通り、前記ロードビーム基板１３０には、幅方向両側に上方を向くように折り曲げられた一対のフランジ部３５が設けられている。従って、前記平衡質量体２００の前記ロードビーム部当接領域２１０は、前記一対のフランジ部３５の間において前記ロードビーム基板１３０の上面に当接された状態で溶接固定されており、これにより、前記平衡質量体２００と前記ロードビーム基板１３０との接続部分において一定の剛性が確保されている。
【００６０】
図４(a)及び(b)に、それぞれ、前記平衡質量体２００の下面図（前記ディスク面側から視た図）及び側面図を示す。
図１，図２及び図４に示すように、前記平衡質量体２００は磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部２０５を有し、前記折り曲げ部２０５より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部２０５において曲げられている
【００６１】
このように、前記折り曲げ部２０５より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記平衡質量体２００を形成することにより、前記磁気ヘッドサスペンション１の作動状態において、前記平衡質量体２００を前記ディスク面へ近づける向きの衝撃力が加わった際に、前記平衡質量体２００の基端側が前記ディスク面に衝突することを有効に防止できる。
【００６２】
好ましくは、前記平衡質量体２００は、図４(b)に示すように、前記折り曲げ部２０５を含む領域が他の領域に比して薄肉とされる。
斯かる構成によれば、前記折り曲げ部２０５での前記平衡質量体２００の曲げ加工を安定的に行うことができる。
前記薄肉化は、例えば、前記平衡質量体２００における前記折り曲げ部２０５に対応する部分の少なくとも一方側の面（本実施の形態においてはディスク面側の面）をエッチングすることにより、容易に行うことができる。
【００６３】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図５(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２の上面図及び下面図を示す。
又、図６に、図５(b)におけるVI部拡大図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００６４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２は、前記弾性板６０が弾性板２６０に変更されている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１と相違している。
図７に、前記弾性板２６０の拡大下面図を示す。
【００６５】
図７に示すように、前記弾性板２６０は、前記ロードビーム部当接領域６５が、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記第１及び第２延在領域７１，７２に対応した中央領域６６に加えて、前記中央領域６６から先端側へ延びる先端領域６７を有している点において、前記実施の形態１における前記弾性板６０と相違している。
【００６６】
そして、前記一対の第１溶接点２１は前記先端領域６７に位置されている。
即ち、前記弾性板２６０は、前記ロードビーム部当接領域６５における前記先端領域６７に位置された前記一対の第１溶接点２１において、前記ロードビーム基板１３０及び前記フレクシャ基板１４０の双方に溶接されている。
【００６７】
このように、前記弾性板２６０の前記ロードビーム当接領域６５に、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記第１及び第２延在部７１，７２より先端側へ延びる前記先端領域６７を設け、前記先端領域６７を少なくとも前記一対の第１溶接点２１において前記ロードビーム基板１３０及び前記フレクシャ基板１４０の双方に溶接することにより、前記磁気ヘッドサスペンション２のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性をより効果的に向上させることができる。
【００６８】
ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２に対して、有限要素法を用いて行った首振りモードの共振周波数に関する解析結果及び磁気ヘッド１００の跳躍動作を引き起こす衝撃力の限界加速度に関する解析結果について説明する。
【００６９】
この解析においては、実施例として、図５に示す前記磁気ヘッドサスペンション２であって、前記フレクシャ基板１４０、前記ロードビーム基板１３０、前記平衡質量体２００、前記弾性板２６０及び前記支持部１０が全てＳＵＳ３０４−ＨＴＡであり、且つ、厚さがそれぞれ、０．０１８ｍｍ、０．０２ｍｍ、０．２ｍｍ、０．０３ｍｍ及び０．３ｍｍである磁気ヘッドサスペンション２を用いた。
比較例として、前記一対の第１溶接点２１においては前記弾性板２６０及び前記ロードビーム基板１３０だけが溶接され、前記フレクシャ基板１４０は溶接されていない点において前記実施例と異なる磁気ヘッドサスペンションを用いた。
【００７０】
前記実施例及び前記比較例を用いて行ったシーク方向の共振周波数に関する解析結果（周波数応答特性）を図８に示す。
又、前記実施例及び前記比較例に対して、前記磁気ヘッド１００がディスク面から離れる方向の衝撃波（正弦半波）であって、パルス幅０．５ｍｍｓｅｃ，１．０ｍｓｅｃ及び２．０ｍｓｅｃの衝撃波をそれぞれ加え、前記磁気ヘッド１００の跳躍を引き起こす衝撃波の加速度（限界快速度）を解析した。その結果を、図９に示す。
【００７１】
図８及び図９から明らかなように、実施例に係る磁気ヘッドサスペンションは、比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対して、全てのパルス幅の衝撃波において限界加速度が同等以上であった。又、ＳＷＡＹモードの共振周波数に関しては、比較例に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては１１．８ｋＨｚであるのに対し、実施例に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては１２．５ｋＨｚであり、実施例に係る磁気ヘッドサスペンションは比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対して７００Ｈｚ程度向上されている。
これは、前記フレクシャ基板１４０が前記ロードビーム部３０のシーク方向に関する剛性補強部材として作用していることによるものと考えられる。
【００７２】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション３の上面図及び下面図を示す。
又、図１１に、図１０(b)におけるXI部拡大図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００７３】
図１０及び図１１に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２において、前記弾性板２６０の代わりに弾性板３６０を備えている。
【００７４】
図１２に、前記弾性板３６０の拡大下面図を示す。
図１２に示すように、前記弾性板３６０は、前記第１及び第２支持部当接領域６１，６２と、前記中央領域６６及び前記先端領域６７を含む前記ロードビーム部当接領域６５と、前記第１及び第２延在領域７１，７２と、前記ロードビーム部当接領域６５の前記先端領域６７から前記ロードビーム基板１３０を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の外方延在領域７５とを備えている。
【００７５】
前記弾性板３６０における前記ロードビーム部当接領域６５の前記先端領域６７は、図１０〜図１２に示すように、前記実施の形態２におけると同様に、前記一対の第１溶接点２１において前記ロードビーム基板１３０及び前記フレクシャ基板１４０の双方に溶接されている。
【００７６】
さらに、本実施の形態においては、図１０〜図１２に示すように、前記弾性板３６０における前記一対の外方延在領域７５が、少なくとも前記長手方向中心線ＣＬを基準にして左右対称な一対の第２溶接点２２において前記フレクシャ基板１４０における前記一対の拡幅領域１４８に溶接されている。
【００７７】
このように、前記弾性板３６０に前記ロードビーム基板１３０を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる前記一対の外方延在領域７５を設け且つ前記フレクシャ基板１４０にも前記ロードビーム基板１３０を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる前記一対の拡幅領域１４８を設けると共に、前記一対の外方延在領域７５及び前記一対の拡幅領域１４８を少なくとも前記一対の第２溶接点２２において溶接することにより、前記磁気ヘッドサスペンション３のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性をさらに効果的に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】図１(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図（ディスク面とは反対側から視た図）及び下面図（ディスク面の側から見た図）である。
【図２】図２は、図１(b)におけるII部拡大図である。
【図３】図３(a)は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の拡大下面図であり、図３(b)は、変形例に係る弾性板の拡大下面図である。
【図４】図４(a)及び(b)は、それぞれ、図１及び図２に示す前記磁気ヘッドサスペンションにおける平衡質量体の下面図及び側面図である。
【図５】図５(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図６】図６は、図５(b)におけるVI部拡大図である。
【図７】図７は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の拡大下面図である。
【図８】図８は、前記実施の形態２の実施例に係る磁気ヘッドサスペンション及び比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対するシーク方向の共振周波数に関する解析結果を示すグラフである。
【図９】図９は、前記実施例及び比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対する限界加速度に関する解析結果を示すグラフである。
【図１０】図１０(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１１】図１１は、図１０(b)におけるXI部拡大図である。
【図１２】図１２は、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の拡大下面図である。
【符号の説明】
【００７９】
１〜３ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
１１ 本体領域
１２ 支持片
１３ 凹部
２０ 荷重曲げ部
２１ 一対の第１溶接点
２２ 一対の第２溶接点
２５ 第３溶接点
３０ ロードビーム部
４０ フレクシャ部
４３ 磁気ヘッド搭載領域
５１〜５３ 溶接点
６０ 弾性板
６１，６２ 第１及び第２支持部当接領域
６５ ロードビーム部当接領域
６６ 中央領域
６７ 先端領域
７１，７２ 第１及び第２延在領域
７５ 一対の外方延在領域
１３０ ロードビーム基板
１４０ フレクシャ基板
１４１ ロードビーム部当接領域
１４１ａ 中央基端側延在部
１４１ｂ 一対の移行部
１４２ 一対の支持片
１４４ 支持部当接領域
１４５ 一対のブリッジ領域
１４８ 一対の拡幅領域
２００ 平衡質量体
２０５ 折り曲げ部
ＣＬ 長手方向中心線
ＢＬ 荷重曲げ中心線
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドを支持するヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に溶接されるフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、本体領域と、前記本体領域の幅方向両側から先端側へ延び、両者の間に先端側へ開く凹部を画する一対の支持片であって、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして対称とされた一対の支持片とを有し、
前記磁気ヘッドサスペンションは前記一対の支持片に両持ち支持された弾性板を備え、
前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点において溶接される第１及び第２支持部当接領域と、前記凹部内において前記ロードビーム部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域と前記第１及び第２支持部当接領域との間をそれぞれ連結する第１及び第２延在領域とを有し、前記第１及び第２延在領域が磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形することで前記荷重曲げ部として作用するように構成され、
前記ロードビーム部当接領域のうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分が、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第１溶接点において、前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板及び前記フレクシャ部を形成するフレクシャ基板の双方に溶接されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記弾性板の前記ロードビーム部当接領域は、前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関し前記第１及び第２延在領域に対応した中央領域と、前記中央領域から先端側へ延びる先端領域とを有し、
前記一対の第１溶接点は前記先端領域に位置していることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム基板に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域から先端側へ延びる一対の支持片と、前記一対の支持片の自由端部に連結され、前記磁気ヘッドが搭載される前記ヘッド搭載領域と、前記ロードビーム部当接領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の拡幅領域とを有し、
前記弾性板は、前記一対の拡幅領域と当接し得るように前記ロードビーム部当接領域の前記先端領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の外方延在領域を有しており、
前記一対の外方延在領域及び前記一対の拡幅領域は、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第２溶接点において互いに溶接されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記フレクシャ基板は、前記支持部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接される支持部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域の幅方向両側から基端側へ延びて前記支持部当接領域に連結される一対のブリッジ領域であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対のブリッジ領域とを有し、
前記フレクシャ基板における前記ロードビーム部当接領域の基端側は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央において前記荷重曲げ中心線より基端側へ延びる中央基端側延在部と、前記一対のブリッジ領域にそれぞれつながるように磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる一対の移行部であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対の移行部とを有し、
前記中央基端側延在部は、前記長手方向中心線を基準にして対称配置された一又は複数の第３溶接点において前記ロードビーム基板及び前記弾性板の双方に溶接され、
前記中央基端側延在部と前記一対の移行部との間は、平面視において基端側へ開く凹状とされており、
前記凹状の先端側は前記荷重曲げ中心線上に位置していることを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記荷重曲げ中心線より基端側に位置し且つ平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム基板に固着された平衡質量体を備えていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記平衡質量体は磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部において曲げられていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１】
磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドを支持するヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に溶接されるフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、本体領域と、前記本体領域の幅方向両側から先端側へ延び、両者の間に先端側へ開く凹部を画する一対の支持片であって、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして対称とされた一対の支持片とを有し、
前記磁気ヘッドサスペンションは前記一対の支持片に両持ち支持された弾性板を備え、
前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点において溶接される第１及び第２支持部当接領域と、前記凹部内において前記ロードビーム部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域と前記第１及び第２支持部当接領域との間をそれぞれ連結する第１及び第２延在領域とを有し、前記第１及び第２延在領域が磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形することで前記荷重曲げ部として作用するように構成され、
前記ロードビーム部当接領域のうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分が、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第１溶接点において、前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板及び前記フレクシャ部を形成するフレクシャ基板の双方に溶接されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記弾性板の前記ロードビーム部当接領域は、前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関し前記第１及び第２延在領域に対応した中央領域と、前記中央領域から先端側へ延びる先端領域とを有し、
前記一対の第１溶接点は前記先端領域に位置していることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム基板に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域から先端側へ延びる一対の支持片と、前記一対の支持片の自由端部に連結され、前記磁気ヘッドが搭載される前記ヘッド搭載領域と、前記ロードビーム部当接領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の拡幅領域とを有し、
前記弾性板は、前記一対の拡幅領域と当接し得るように前記ロードビーム部当接領域の前記先端領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の外方延在領域を有しており、
前記一対の外方延在領域及び前記一対の拡幅領域は、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第２溶接点において互いに溶接されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記フレクシャ基板は、前記支持部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接される支持部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域の幅方向両側から基端側へ延びて前記支持部当接領域に連結される一対のブリッジ領域であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対のブリッジ領域とを有し、
前記フレクシャ基板における前記ロードビーム部当接領域の基端側は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央において前記荷重曲げ中心線より基端側へ延びる中央基端側延在部と、前記一対のブリッジ領域にそれぞれつながるように磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる一対の移行部であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対の移行部とを有し、
前記中央基端側延在部は、前記長手方向中心線を基準にして対称配置された一又は複数の第３溶接点において前記ロードビーム基板及び前記弾性板の双方に溶接され、
前記中央基端側延在部と前記一対の移行部との間は、平面視において基端側へ開く凹状とされており、
前記凹状の先端側は前記荷重曲げ中心線上に位置していることを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記荷重曲げ中心線より基端側に位置し且つ平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム基板に固着された平衡質量体を備えていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記平衡質量体は磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部において曲げられていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２００９−２５９３３８（Ｐ２００９−２５９３３８Ａ）
【公開日】平成２１年１１月５日（２００９．１１．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１０７４６５（Ｐ２００８−１０７４６５）
【出願日】平成２０年４月１７日（２００８．４．１７）
【出願人】（０００１７５７２２）サンコール株式会社 (96)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１１月５日（２００９．１１．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年４月１７日（２００８．４．１７）
【出願人】（０００１７５７２２）サンコール株式会社 (96)
【Ｆターム（参考）】
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