磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録媒体製造方法
【課題】記録密度を向上させることができるとともに、サイドイレーズ現象を十分に抑制することができる磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録媒体製造方法を提供すること。
【解決手段】パターンドメディアの記録層を、保磁力の大きい第１磁性記録層１０ｄと、保磁力の小さい第２磁性記録層１０ｅとを基板１０ａ上に順に積層するとともに、第２磁性記録層１０ｅの半径方向の辺を、第１磁性記録層１０ｄの半径方向の辺よりも短い形状にする。
【解決手段】パターンドメディアの記録層を、保磁力の大きい第１磁性記録層１０ｄと、保磁力の小さい第２磁性記録層１０ｅとを基板１０ａ上に順に積層するとともに、第２磁性記録層１０ｅの半径方向の辺を、第１磁性記録層１０ｄの半径方向の辺よりも短い形状にする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直磁気記録用の磁気記録媒体、かかる磁気記録媒体を有する磁気記録装置、かかる磁気記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスクには、高密度に情報を記録することが可能である垂直磁気記録媒体が用いられている。また、最近では、記録密度のさらなる向上を目的として、パターンドメディアと呼ばれる垂直磁気記録媒体が研究されている。
【０００３】
パターンドメディアとは、微小な磁性粒子が非磁性体によって隔離されて配置されている媒体である。パターンドメディアには多数の磁性粒子を配置することが可能であり、多くの磁性粒子を配置するほど、記録密度を向上させることが可能になる。ただし、磁性粒子を多く配置させるほど、磁性粒子間の距離が短くなり、磁性粒子にライト処理を行う際に隣接磁性粒子の記録磁区が反転するなどのサイドイレーズ現象が発生しやすくなるという問題を招く。
【０００４】
サイドイレーズ現象を抑制する技術としては、２層構造の記録層を有するＥＣＣ（Exchange Coupled Composite）媒体と呼ばれる垂直磁気記録媒体が知られている。ＥＣＣ媒体では、印加磁界角度に対するスイッチング磁界の変化が緩やかになるため、磁性粒子の磁化反転を抑制することが可能になる。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−４８３４０号公報
【特許文献２】特開２００１−１４８１１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したパターンドメディアの各磁性粒子を、単にＥＣＣ媒体のような構造にしただけでは、サイドイレーズ現象を十分に抑制することができないという問題があった。サイドイレーズ現象が頻繁に発生すると、ビット誤り率（ＢＥＲ：Bit Error Rate）が高くなり、磁気記録媒体の品質が低下する。
【０００７】
開示の技術は、上述した従来技術による問題点を解消するためになされたものであり、記録密度を向上させることができるとともに、サイドイレーズ現象を十分に抑制することができる磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録媒体製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本願に開示する磁気記録媒体は、情報を記録する磁性粒子を非磁性体によって隔離して複数有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体であって、前記磁性粒子は、第１磁性記録層の上に第２磁性記録層を積層して形成され、前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを要件とする。
【０００９】
また、本願に開示する磁気記録媒体製造方法は、垂直磁気記録用の磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体製造方法であって、基板上に、軟磁性材料、非磁性材料、保磁力の大きい磁性材料、保磁力の小さい磁性材料を順に積層する積層ステップと、前記積層ステップにおいて積層された層のうち、前記保磁力の大きい磁性材料により形成された第１磁性記録層と、前記保磁力の小さい磁性材料により形成された第２磁性記録層との一部に非磁性材料を注入する第一の非磁性材料注入ステップと、前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短くなるように、前記第２磁性記録層の一部に非磁性材料を注入する第二の非磁性材料注入ステップとを含んだことを要件とする。
【００１０】
なお、本願に開示する磁気記録媒体および磁気記録媒体製造方法の構成要素、表現または構成要素の任意の組合せを、方法、装置、システム、コンピュータプログラム、記録媒体、データ構造などに適用したものも、他の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１１】
本願に開示した磁気記録媒体によれば、記録密度を向上させることができるとともに、サイドイレーズ現象を十分に抑制することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本願に開示する磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録媒体製造方法の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例により本願に開示する磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録媒体製造方法が限定されるものではない。
【実施例】
【００１３】
まず、本実施例に係る磁気記録媒体１０を含む磁気記録装置１の構成について説明する。図１は、磁気記録装置１の構成を示す図である。図１において、磁気記録媒体１０は、各種情報を高密度に記録する垂直磁気記録媒体であり、スピンドルモータ１１により回転駆動される。
【００１４】
磁気記録媒体１０の読み書きは、ヘッド支持機構であるアーム１２の一方の先端に設けられたヘッド１３によって行われる。ヘッド１３は、磁気記録媒体１０の回転によって生じる揚力によって、磁気記録媒体１０の表面からわずかに浮いた状態を維持して読み書きを実行する。また、アーム１２のもう一方の端に設けられたヘッド駆動機構であるボイスコイルモータ１４の駆動により、アーム１２が軸１５を中心とする円弧上を回動し、ヘッド１３が磁気記録媒体１０のトラック横断方向にシーク移動し、読み書きする対象のトラックを変更する。
【００１５】
次に、本実施例に係る磁気記録媒体１０の構造について説明する。なお、以下では、本実施例に係る磁気記録媒体１０の特徴を明らかにするために、まず、従来のパターンドメディアの構造、および、２層の記録層を有するパターンドメディアの構造について説明し、次に、本実施例に係る磁気記録媒体１０の構造について説明する。
【００１６】
図２−１および図２−２を用いて、従来のパターンドメディア２０の構造について説明する。図２−１は、従来のパターンドメディア２０の表面の一部を拡大した図（本明細書では、「上面図」という）を示す図である。図２−２は、図２−１に示したＡ−Ａ線の断面図を示す図である。図２−１では、縦軸方向を、パターンドメディア２０の円周方向（磁性粒子のビット長方向）とし、横軸方向を、パターンドメディア２０の半径方向（トラック横断方向）としている。
【００１７】
パターンドメディアとは、磁性粒子が規則的に配置されている垂直磁気記録媒体である。図２−１では、パターンドメディア２０が有する複数の磁性粒子のうち、一部の磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２１８を示している。各々の磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２１８間は、非磁性体により形成されている。また、図２−１に示すように、各々の磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２１８は、円周方向の辺Ｈ２１よりも、半径方向の辺Ｈ２２の方が長くなるように形成されている。一般に、パターンドメディアは、円周方向の辺よりも半径方向の辺の方が長くなるように形成されることが多い。また、図２−２に示すように、磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２１８は、所定の基板（例えば、ガラス基板など）２０ａ上に配置されている。
【００１８】
図２−１に示したようなパターンドメディア２０に対してライト処理を行うと、サイドイレーズ現象が発生しやすいという問題がある。例えば、図２−１に示したパターンドメディア２０において、ライト処理対象の磁性粒子が、磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２０６であるとする。かかる場合、ヘッド１３によって磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２０６に磁界が加えられる。このとき、ヘッド１３からの漏れ磁界によって、ライト処理対象でない磁性粒子Ｊ２０７〜Ｊ２１２が磁化反転するなどのサイドイレーズ現象が発生するおそれがある。
【００１９】
特に、磁性体の形状磁気異方性という性質により、磁性体は、形状の長い方向へ磁化反転しやすい。このため、円周方向の辺Ｈ２１よりも半径方向の辺Ｈ２２の方が長くなるように設計されているパターンドメディア２０では、各磁性粒子が磁化反転しやすいので、サイドイレーズ現象が発生しやすい。
【００２０】
図３を用いて具体的に説明する。図３は、磁性粒子の磁化反転を説明するための図である。図３は、図２−１に示した磁性粒子Ｊ２０７およびＪ２１３を示している。ここでは、磁性粒子Ｊ２０７が、ライト処理対象の磁性粒子であるものとする。かかる場合、ヘッド１３によって磁性粒子Ｊ２０７に磁界Ｍ１が加えられる。このとき、磁性粒子Ｊ２１３には、ヘッド１３からの漏れ磁界Ｍ２が加わる。前述したように、形状磁気異方性という性質により、磁性粒子Ｊ２１３は、辺が長い半径方向側に磁化反転しやすい。したがって、図３に示すように、磁性粒子Ｊ２１３は、漏れ磁界Ｍ２の影響を受けて磁化反転しやすい。このように、円周方向の辺よりも半径方向の辺の方が長い磁性粒子によって形成される従来のパターンドメディアには、サイドイレーズ現象が発生しやすいという問題があった。
【００２１】
続いて、図４−１および図４−２を用いて、２層の記録層を有するパターンドメディアの構造について説明する。図４−１は、２層の記録層を有するパターンドメディア３０の上面図を示す図である。図４−２は、図４−１に示したＢ−Ｂ線の断面図を示す図である。
【００２２】
図４−１に示したパターンドメディア３０は、図２−１に示したパターンドメディア２０と同様に、磁性粒子が規則的に配置されおり、各々の磁性粒子間は、非磁性体により形成されている。なお、図４−１では、パターンドメディア３０が有する複数の磁性粒子のうち、一部の磁性粒子Ｊ３０１〜Ｊ３１８を示している。
【００２３】
また、図４−２に示すように、パターンドメディア３０は、基板３０ａ上に、保磁力の大きい第１磁性記録層３０ｄと、保磁力の小さい第２磁性記録層３０ｅとが順に積層されて記録層が形成されている。第１磁性記録層３０ｄと第２磁性記録層３０ｅとは、ＥＣＣ媒体と同様に、非磁性中間層を介して積層されている。なお、パターンドメディア３０は、図４−２に示した層以外の層も有するが、図４−２では、図示を省略している。
【００２４】
図４−１および図４−２に示したようなパターンドメディア３０は、ＥＣＣ媒体と同様に、２層の記録層によって形成されているので、印加磁界角度に対するスイッチング磁界の変化が緩やかになる。このため、パターンドメディア３０は、パターンドメディア２０と比較すると、サイドイレーズ現象が発生しにくくなる。しかし、ＥＣＣ媒体構造であっても、サイドイレーズ現象を十分に抑制できるとは言えず、特に、記録密度をさらに向上させる上で、ＥＣＣ媒体によるサイドイレーズ現象の抑制効力は十分でなかった。
【００２５】
そこで、本実施例に係る磁気記録媒体１０では、パターンドメディアの記録層として、基板上に、保磁力の大きい第１磁性記録層と、保磁力の小さい第２磁性記録層とを順に積層するとともに、第２磁性記録層の半径方向の辺を、第１磁性記録層の半径方向の辺よりも短い形状にする。上述したように、磁性粒子には、長い形状方向へ磁化反転しやすい形状磁気異方性という性質があるので、第２磁性記録層の半径方向の辺を短くすることで、磁気粒子を半径方向に磁化反転しにくくすることができる。すなわち、本実施例に係る磁気記録媒体１０は、パターンドメディアを採用することで、記録密度を向上させることができるとともに、第２磁性記録層の半径方向の辺を短くすることで、サイドイレーズ現象を十分に抑制することができる。なお、磁気記録媒体１０は、図５−２に示した層以外の層も有するが、図５−２では、図示を省略している。
【００２６】
図５−１および図５−２を用いて、本実施例に係る磁気記録媒体１０の構造について説明する。図５−１は、本実施例に係る磁気記録媒体１０の上面図を示す図である。図５−２は、図５−１に示したＣ−Ｃ線の断面図を示す図である。
【００２７】
図５−１に示すように、磁気記録媒体１０は、従来のパターンドメディア２０と同様に、磁性粒子が規則的に配置されおり、各々の磁性粒子間は非磁性体により形成されている。また、図５−２に示すように、本実施例に係る磁気記録媒体１０は、第２磁性記録層１０ｅの半径方向の辺Ｈ１３が、第１磁性記録層１０ｄの半径方向の辺Ｈ１２よりも短い形状になる。これにより、磁気記録媒体１０では、漏れ磁界を与えられた磁性粒子を半径方向に磁化反転しにくくすることができる。
【００２８】
なお、磁気記録媒体１０において、第２磁性記録層１０ｅの半径方向の辺Ｈ１３と、円周方向の辺Ｈ１１とを等しい長さにすることが望ましい。これは、形状磁気異方性の性質により、半径方向の辺Ｈ１３と円周方向の辺Ｈ１１とが等しい長さの場合、磁化反転しやすい方向が、半径方向と、円周方向とで等しくなるためである。これにより、磁性粒子の磁化方向の安定度が増し、より磁化反転しにくくすることができる。
【００２９】
次に、本実施例に係る磁気記録媒体１０の製造方法について説明する。図６は、本実施例に係る磁気記録媒体１０の製造方法を説明するための図である。まず、基板１０ａ上に軟磁性層１０ｂ、中間層１０ｃ、第１磁性記録層１０ｄ、第２磁性記録層１０ｅ、保護膜１０ｆを製膜する（ステップＳ１）。例えば、製膜は、スパッタリング法を用いて行うことができる。
【００３０】
ここで、磁気記録媒体１０では、基板１０ａとして、ガラス基板を使用している。また、軟磁性層１０ｂとして、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｂ、Ｐｔのいずれかを含む合金を使用している。また、中間層１０ｃとして、Ｒｕ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｗのいずれかを含む合金を使用している。また、第１磁性記録層１０ｄとして、ＣｏＰｔ合金、ＦｅＰｔ合金、ＣｏＰｄ合金、もしくは、ＣｏＰｔ多層膜、ＣｏＰｄ多層膜を使用している。また、第２磁性記録層１０ｅとして、ＦｅＣｏ合金、ＦｅＣｏＮｉ合金、ＣｏＩｒ合金を使用している。
【００３１】
また、磁気記録媒体１０では、軟磁性層１０ｂの膜厚を１５［ｎｍ（ナノメートル）］とし、中間層１０ｃの膜厚を１〜３［ｎｍ］とし、第１磁性記録層１０ｄの膜厚を２［ｎｍ］以上とし、第２磁性記録層１０ｅの膜厚を１［ｎｍ］以上としている。
【００３２】
製膜後、真空中で、第１磁性記録層１０ｄおよび第２磁性記録層１０ｅにイオンを注入して、イオン注入部を非磁性体にする（ステップＳ２）。ここで、磁気記録媒体１０では、第１磁性記録層１０ｄの各磁性粒子の半径方向の辺が、円周方向の辺よりも長くなるようにイオン注入を行う。
【００３３】
続いて、真空中で、第２磁性記録層１０ｅにイオンを注入して、イオン注入部を非磁性体にする（ステップＳ３）。ここで、磁気記録媒体１０では、第２磁性記録層１０ｅの磁性粒子の円周方向の辺が、第１磁性記録層１０ｄの円周方向の辺と等しい長さであり、かつ、第２磁性記録層１０ｅの各磁性粒子の半径方向の辺が、第１磁性記録層１０ｄの半径方向の辺よりも短くなるようにイオン注入を行う。
【００３４】
続いて、第２磁性記録層１０ｅの表面に潤滑剤を塗布して、潤滑層１０ｇを製膜する（ステップＳ４）。このようにして製造された磁気記録媒体１０は、図６に示した磁性粒子Ｊ１０１のように、第１磁性記録層１０ｄと第２磁性記録層１０ｅとの断面形状が凸型となる。
【００３５】
なお、図６では、イオン注入によって第１磁性記録層１０ｄおよび第２磁性記録層１０ｅの一部を非磁性体にする例を示したが、他の手法によって、非磁性体にしてもよい。例えば、モールドで加圧することで、非磁性体を生成してもよい。
【００３６】
次に、本実施例に係る磁気記録媒体１０の効果について、従来の磁気記録媒体と比較して説明する。図７は、本実施例に係る磁気記録媒体１０の効果を説明するための図である。図７では、従来例として、図２に示したパターンドメディア２０を示し、比較例として、図４に示したパターンドメディア３０を示す。また、本実施例に係る磁気記録媒体１０として、円周方向の辺の長さと、半径方向の辺の長さとの比が異なる２つの磁気記録媒体１０（Ａ）および１０（Ｂ）を示す。それぞれの媒体の構造は以下の通りである。
【００３７】
パターンドメディア２０の構造については、記録層の円周方向の辺の長さと半径方向の辺の長さとの比を「１：３」とし、記録層の膜厚を６［ｎｍ］とした。また、パターンドメディア３０の構造については、第１磁性記録層および第２磁性記録層の円周方向の辺の長さと半径方向の辺の長さとの比を「１：３」とし、第１磁性記録層の膜厚を６［ｎｍ］とし、第２磁性記録層の膜厚を２［ｎｍ］とした。
【００３８】
また、磁気記録媒体１０（Ａ）および１０（Ｂ）の構造としては、各層の膜厚を、図６において説明した膜厚と同様とした。また、磁気記録媒体１０（Ａ）は、第２磁性記録層の円周方向の辺の長さと半径方向の辺の長さとの比を「１：２」とした。また、磁気記録媒体１０（Ｂ）は、第２磁性記録層の円周方向の辺の長さと半径方向の辺の長さとの比を「１：１」とした。
【００３９】
図７に示したグラフの横軸は、磁性粒子に対する印加磁界角度を示す。印加磁界角度とは、磁気記録媒体１０の表面に対する垂直方向を基準として、かかる基準に対するヘッド１３からの磁界の角度を示す。例えば、図３において、磁性粒子Ｊ２０７の表面に対する垂直方向を基準として、かかる基準に対する磁界Ｍ１の印加磁界角度は、０［°］である。
【００４０】
図７に示したグラフの縦軸は、磁性粒子の磁化方向が１８０［°］反転する磁界の強さ（以下、磁性粒子の磁化方向が１８０［°］反転する磁界の強さを「飽和磁界Ｈｓ」という）を示す。具体的には、図７に示したグラフの縦軸は、印加磁界角度０［°］における飽和磁界Ｈｓ（［０°］）を基準値「１」として、基準値「１」に対する印加磁界角度ｘ［°］における飽和磁界の割合である「Ｈｓ（ｘ［°］）／Ｈｓ（０［°］）」を示す。
【００４１】
すなわち、図７に示したパターンドメディア２０の例では、印加磁界角度３０［°］における飽和磁界Ｈｓ（３０［°］）は、印加磁界角度０［°］における飽和磁界Ｈｓ（０［°］）の６０［％］であることを示している。通常、ライト処理対象の磁性粒子に対しては、印加磁界角度０［°］で磁界が加えられるので、印加磁界角度３０［°］で加えられる磁界は、漏れ磁界を示している。すなわち、図７に示したパターンドメディア２０は、飽和磁界Ｈｓ（０［°］）の６０［％］の磁界の強さを有する漏れ磁界が印加磁界角度３０［°］で加えられると、磁性粒子の磁化方向が１８０［°］反転することを示している。
【００４２】
また、図７に示した磁気記録媒体１０（Ｂ）の例では、印加磁界角度３０［°］における飽和磁界Ｈｓ（３０［°］）は、印加磁界角度０［°］における飽和磁界Ｈｓ（０［°］）の８０［％］であることを示している。言い換えれば、飽和磁界Ｈｓ（０［°］）の８０［％］の磁界の強さを有する漏れ磁界が印加磁界角度３０［°］で加えられると、磁性粒子の磁化方向が１８０［°］反転することを示している。
【００４３】
このように、磁気記録媒体１０（Ｂ）は、パターンドメディア２０よりも、印加磁界角度に対する飽和磁界Ｈｓの変化が緩やかであり、磁性粒子が磁化反転しにくいことが分かる。すなわち、磁気記録媒体１０（Ｂ）は、パターンドメディア２０よりも、サイドイレーズ現象が発生しにくいことが分かる。同様に、図７に示すように、磁気記録媒体１０（Ｂ）は、パターンドメディア３０よりも、印加磁界角度に対する飽和磁界Ｈｓの変化が緩やかであり、サイドイレーズ現象が発生しにくいことが分かる。
【００４４】
また、図７に示すように、磁気記録媒体１０（Ｂ）は、磁気記録媒体１０（Ａ）よりも印加磁界角度に対する飽和磁界の変化が緩やかであるので、第２磁性記録層の半径方向の辺の長さを短くするほど、サイドイレーズ現象が発生しにくいことが分かる。
【００４５】
上述してきたように、本実施例に係る磁気記録媒体１０は、パターンドメディアの記録層として、基板１０ａ上に、保磁力の大きい第１磁性記録層と、保磁力の小さい第２磁性記録層とが順に積層され、第２磁性記録層の半径方向の辺が、第１磁性記録層の半径方向の辺よりも短い形状であるので、記録密度を向上させることができるとともに、サイドイレーズ現象を十分に抑制することができる。
【００４６】
なお、上記実施例では、パターンドメディアの記録層を、２層の記録層により積層する例を示したが、ディスクリートトラック媒体の記録層を、２層の記録層により積層して、表面側の第２磁性記録層の半径方向の辺を、基板側の第１磁性記録層の半径方向の辺よりも短くするようにしてもよい。これにより、ディスクリートトラック媒体においても、サイドイレーズ現象を、より抑制することができる。
【００４７】
以上の実施例を含む実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
【００４８】
（付記１）情報を記録する磁性粒子を非磁性体によって隔離して複数有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体であって、
前記磁性粒子は、第１磁性記録層の上に第２磁性記録層を積層して形成され、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする磁気記録媒体。
【００４９】
（付記２）前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さと、該第２磁性記録層の円周方向の辺の長さとが等しいことを特徴とする付記１に記載の磁気記録媒体。
【００５０】
（付記３）前記第１磁性記録層の円周方向の辺の長さが、該第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする付記１または２に記載の磁気記録媒体。
【００５１】
（付記４）前記第１磁性記録層は、ＣｏＰｔ合金、ＦｅＰｔ合金、ＣｏＰｄ合金、ＣｏＰｔ多層膜、または、ＣｏＰｄ多層膜のいずれかによって形成されることを特徴とする付記１〜３のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
【００５２】
（付記５）前記第２磁性記録層は、ＦｅＣｏ合金、ＦｅＣｏＮｉ合金、または、ＣｏＩｒ合金のいずれかによって形成されることを特徴とする付記１〜４のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
【００５３】
（付記６）情報を記録する磁性粒子を非磁性体によって隔離して複数有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体を有する磁気記録装置であって、
前記磁気記録媒体が有する磁性粒子は、第１磁性記録層の上に第２磁性記録層を積層して形成され、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする磁気記録装置。
【００５４】
（付記７）前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さと、該第２磁性記録層の円周方向の辺の長さとが等しいことを特徴とする付記６に記載の磁気記録装置。
【００５５】
（付記８）前記第１磁性記録層の円周方向の辺の長さが、該第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする付記６または７に記載の磁気記録装置。
【００５６】
（付記９）前記第１磁性記録層は、ＣｏＰｔ合金、ＦｅＰｔ合金、ＣｏＰｄ合金、ＣｏＰｔ多層膜、または、ＣｏＰｄ多層膜のいずれかによって形成されることを特徴とする付記６〜８のいずれか一つに記載の磁気記録装置。
【００５７】
（付記１０）前記第２磁性記録層は、ＦｅＣｏ合金、ＦｅＣｏＮｉ合金、または、ＣｏＩｒ合金のいずれかによって形成されることを特徴とする付記６〜９のいずれか一つに記載の磁気記録装置。
【００５８】
（付記１１）垂直磁気記録用の磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体製造方法であって、
基板上に、軟磁性材料、非磁性材料、保磁力の大きい磁性材料、保磁力の小さい磁性材料を順に積層する積層ステップと、
前記積層ステップにおいて積層された層のうち、前記保磁力の大きい磁性材料により形成された第１磁性記録層と、前記保磁力の小さい磁性材料により形成された第２磁性記録層との一部に非磁性材料を注入する第一の非磁性材料注入ステップと、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短くなるように、前記第２磁性記録層の一部に非磁性材料を注入する第二の非磁性材料注入ステップと
を含んだことを特徴とする磁気記録媒体製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】磁気記録装置の構成を示す図である。
【図２−１】従来のパターンドメディアの上面図を示す図である。
【図２−２】図２−１に示したＡ−Ａ線の断面図を示す図である。
【図３】磁性粒子の磁化反転を説明するための図である。
【図４−１】２層の記録層を有するパターンドメディアの上面図を示す図である。
【図４−２】図４−１に示したＢ−Ｂ線の断面図を示す図である。
【図５−１】本実施例に係る磁気記録媒体の上面図を示す図である。
【図５−２】図５−１に示したＣ−Ｃ線の断面図を示す図である。
【図６】本実施例に係る磁気記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図７】本実施例に係る磁気記録媒体の効果を説明するための図である。
【符号の説明】
【００６０】
１ 磁気記録装置
１０ 磁気記録媒体
１０ａ、３０ａ 基板
１０ｂ 軟磁性層
１０ｃ 中間層
１０ｄ、３０ｄ 第１磁性記録層
１０ｅ、３０ｅ 第２磁性記録層
１０ｆ 保護膜
１０ｇ 潤滑層
１１ スピンドルモータ
１２ アーム
１３ ヘッド
１４ ボイスコイルモータ
１５ 軸
２０、３０ パターンドメディア
【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直磁気記録用の磁気記録媒体、かかる磁気記録媒体を有する磁気記録装置、かかる磁気記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスクには、高密度に情報を記録することが可能である垂直磁気記録媒体が用いられている。また、最近では、記録密度のさらなる向上を目的として、パターンドメディアと呼ばれる垂直磁気記録媒体が研究されている。
【０００３】
パターンドメディアとは、微小な磁性粒子が非磁性体によって隔離されて配置されている媒体である。パターンドメディアには多数の磁性粒子を配置することが可能であり、多くの磁性粒子を配置するほど、記録密度を向上させることが可能になる。ただし、磁性粒子を多く配置させるほど、磁性粒子間の距離が短くなり、磁性粒子にライト処理を行う際に隣接磁性粒子の記録磁区が反転するなどのサイドイレーズ現象が発生しやすくなるという問題を招く。
【０００４】
サイドイレーズ現象を抑制する技術としては、２層構造の記録層を有するＥＣＣ（Exchange Coupled Composite）媒体と呼ばれる垂直磁気記録媒体が知られている。ＥＣＣ媒体では、印加磁界角度に対するスイッチング磁界の変化が緩やかになるため、磁性粒子の磁化反転を抑制することが可能になる。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−４８３４０号公報
【特許文献２】特開２００１−１４８１１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したパターンドメディアの各磁性粒子を、単にＥＣＣ媒体のような構造にしただけでは、サイドイレーズ現象を十分に抑制することができないという問題があった。サイドイレーズ現象が頻繁に発生すると、ビット誤り率（ＢＥＲ：Bit Error Rate）が高くなり、磁気記録媒体の品質が低下する。
【０００７】
開示の技術は、上述した従来技術による問題点を解消するためになされたものであり、記録密度を向上させることができるとともに、サイドイレーズ現象を十分に抑制することができる磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録媒体製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本願に開示する磁気記録媒体は、情報を記録する磁性粒子を非磁性体によって隔離して複数有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体であって、前記磁性粒子は、第１磁性記録層の上に第２磁性記録層を積層して形成され、前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを要件とする。
【０００９】
また、本願に開示する磁気記録媒体製造方法は、垂直磁気記録用の磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体製造方法であって、基板上に、軟磁性材料、非磁性材料、保磁力の大きい磁性材料、保磁力の小さい磁性材料を順に積層する積層ステップと、前記積層ステップにおいて積層された層のうち、前記保磁力の大きい磁性材料により形成された第１磁性記録層と、前記保磁力の小さい磁性材料により形成された第２磁性記録層との一部に非磁性材料を注入する第一の非磁性材料注入ステップと、前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短くなるように、前記第２磁性記録層の一部に非磁性材料を注入する第二の非磁性材料注入ステップとを含んだことを要件とする。
【００１０】
なお、本願に開示する磁気記録媒体および磁気記録媒体製造方法の構成要素、表現または構成要素の任意の組合せを、方法、装置、システム、コンピュータプログラム、記録媒体、データ構造などに適用したものも、他の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１１】
本願に開示した磁気記録媒体によれば、記録密度を向上させることができるとともに、サイドイレーズ現象を十分に抑制することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本願に開示する磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録媒体製造方法の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例により本願に開示する磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録媒体製造方法が限定されるものではない。
【実施例】
【００１３】
まず、本実施例に係る磁気記録媒体１０を含む磁気記録装置１の構成について説明する。図１は、磁気記録装置１の構成を示す図である。図１において、磁気記録媒体１０は、各種情報を高密度に記録する垂直磁気記録媒体であり、スピンドルモータ１１により回転駆動される。
【００１４】
磁気記録媒体１０の読み書きは、ヘッド支持機構であるアーム１２の一方の先端に設けられたヘッド１３によって行われる。ヘッド１３は、磁気記録媒体１０の回転によって生じる揚力によって、磁気記録媒体１０の表面からわずかに浮いた状態を維持して読み書きを実行する。また、アーム１２のもう一方の端に設けられたヘッド駆動機構であるボイスコイルモータ１４の駆動により、アーム１２が軸１５を中心とする円弧上を回動し、ヘッド１３が磁気記録媒体１０のトラック横断方向にシーク移動し、読み書きする対象のトラックを変更する。
【００１５】
次に、本実施例に係る磁気記録媒体１０の構造について説明する。なお、以下では、本実施例に係る磁気記録媒体１０の特徴を明らかにするために、まず、従来のパターンドメディアの構造、および、２層の記録層を有するパターンドメディアの構造について説明し、次に、本実施例に係る磁気記録媒体１０の構造について説明する。
【００１６】
図２−１および図２−２を用いて、従来のパターンドメディア２０の構造について説明する。図２−１は、従来のパターンドメディア２０の表面の一部を拡大した図（本明細書では、「上面図」という）を示す図である。図２−２は、図２−１に示したＡ−Ａ線の断面図を示す図である。図２−１では、縦軸方向を、パターンドメディア２０の円周方向（磁性粒子のビット長方向）とし、横軸方向を、パターンドメディア２０の半径方向（トラック横断方向）としている。
【００１７】
パターンドメディアとは、磁性粒子が規則的に配置されている垂直磁気記録媒体である。図２−１では、パターンドメディア２０が有する複数の磁性粒子のうち、一部の磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２１８を示している。各々の磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２１８間は、非磁性体により形成されている。また、図２−１に示すように、各々の磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２１８は、円周方向の辺Ｈ２１よりも、半径方向の辺Ｈ２２の方が長くなるように形成されている。一般に、パターンドメディアは、円周方向の辺よりも半径方向の辺の方が長くなるように形成されることが多い。また、図２−２に示すように、磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２１８は、所定の基板（例えば、ガラス基板など）２０ａ上に配置されている。
【００１８】
図２−１に示したようなパターンドメディア２０に対してライト処理を行うと、サイドイレーズ現象が発生しやすいという問題がある。例えば、図２−１に示したパターンドメディア２０において、ライト処理対象の磁性粒子が、磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２０６であるとする。かかる場合、ヘッド１３によって磁性粒子Ｊ２０１〜Ｊ２０６に磁界が加えられる。このとき、ヘッド１３からの漏れ磁界によって、ライト処理対象でない磁性粒子Ｊ２０７〜Ｊ２１２が磁化反転するなどのサイドイレーズ現象が発生するおそれがある。
【００１９】
特に、磁性体の形状磁気異方性という性質により、磁性体は、形状の長い方向へ磁化反転しやすい。このため、円周方向の辺Ｈ２１よりも半径方向の辺Ｈ２２の方が長くなるように設計されているパターンドメディア２０では、各磁性粒子が磁化反転しやすいので、サイドイレーズ現象が発生しやすい。
【００２０】
図３を用いて具体的に説明する。図３は、磁性粒子の磁化反転を説明するための図である。図３は、図２−１に示した磁性粒子Ｊ２０７およびＪ２１３を示している。ここでは、磁性粒子Ｊ２０７が、ライト処理対象の磁性粒子であるものとする。かかる場合、ヘッド１３によって磁性粒子Ｊ２０７に磁界Ｍ１が加えられる。このとき、磁性粒子Ｊ２１３には、ヘッド１３からの漏れ磁界Ｍ２が加わる。前述したように、形状磁気異方性という性質により、磁性粒子Ｊ２１３は、辺が長い半径方向側に磁化反転しやすい。したがって、図３に示すように、磁性粒子Ｊ２１３は、漏れ磁界Ｍ２の影響を受けて磁化反転しやすい。このように、円周方向の辺よりも半径方向の辺の方が長い磁性粒子によって形成される従来のパターンドメディアには、サイドイレーズ現象が発生しやすいという問題があった。
【００２１】
続いて、図４−１および図４−２を用いて、２層の記録層を有するパターンドメディアの構造について説明する。図４−１は、２層の記録層を有するパターンドメディア３０の上面図を示す図である。図４−２は、図４−１に示したＢ−Ｂ線の断面図を示す図である。
【００２２】
図４−１に示したパターンドメディア３０は、図２−１に示したパターンドメディア２０と同様に、磁性粒子が規則的に配置されおり、各々の磁性粒子間は、非磁性体により形成されている。なお、図４−１では、パターンドメディア３０が有する複数の磁性粒子のうち、一部の磁性粒子Ｊ３０１〜Ｊ３１８を示している。
【００２３】
また、図４−２に示すように、パターンドメディア３０は、基板３０ａ上に、保磁力の大きい第１磁性記録層３０ｄと、保磁力の小さい第２磁性記録層３０ｅとが順に積層されて記録層が形成されている。第１磁性記録層３０ｄと第２磁性記録層３０ｅとは、ＥＣＣ媒体と同様に、非磁性中間層を介して積層されている。なお、パターンドメディア３０は、図４−２に示した層以外の層も有するが、図４−２では、図示を省略している。
【００２４】
図４−１および図４−２に示したようなパターンドメディア３０は、ＥＣＣ媒体と同様に、２層の記録層によって形成されているので、印加磁界角度に対するスイッチング磁界の変化が緩やかになる。このため、パターンドメディア３０は、パターンドメディア２０と比較すると、サイドイレーズ現象が発生しにくくなる。しかし、ＥＣＣ媒体構造であっても、サイドイレーズ現象を十分に抑制できるとは言えず、特に、記録密度をさらに向上させる上で、ＥＣＣ媒体によるサイドイレーズ現象の抑制効力は十分でなかった。
【００２５】
そこで、本実施例に係る磁気記録媒体１０では、パターンドメディアの記録層として、基板上に、保磁力の大きい第１磁性記録層と、保磁力の小さい第２磁性記録層とを順に積層するとともに、第２磁性記録層の半径方向の辺を、第１磁性記録層の半径方向の辺よりも短い形状にする。上述したように、磁性粒子には、長い形状方向へ磁化反転しやすい形状磁気異方性という性質があるので、第２磁性記録層の半径方向の辺を短くすることで、磁気粒子を半径方向に磁化反転しにくくすることができる。すなわち、本実施例に係る磁気記録媒体１０は、パターンドメディアを採用することで、記録密度を向上させることができるとともに、第２磁性記録層の半径方向の辺を短くすることで、サイドイレーズ現象を十分に抑制することができる。なお、磁気記録媒体１０は、図５−２に示した層以外の層も有するが、図５−２では、図示を省略している。
【００２６】
図５−１および図５−２を用いて、本実施例に係る磁気記録媒体１０の構造について説明する。図５−１は、本実施例に係る磁気記録媒体１０の上面図を示す図である。図５−２は、図５−１に示したＣ−Ｃ線の断面図を示す図である。
【００２７】
図５−１に示すように、磁気記録媒体１０は、従来のパターンドメディア２０と同様に、磁性粒子が規則的に配置されおり、各々の磁性粒子間は非磁性体により形成されている。また、図５−２に示すように、本実施例に係る磁気記録媒体１０は、第２磁性記録層１０ｅの半径方向の辺Ｈ１３が、第１磁性記録層１０ｄの半径方向の辺Ｈ１２よりも短い形状になる。これにより、磁気記録媒体１０では、漏れ磁界を与えられた磁性粒子を半径方向に磁化反転しにくくすることができる。
【００２８】
なお、磁気記録媒体１０において、第２磁性記録層１０ｅの半径方向の辺Ｈ１３と、円周方向の辺Ｈ１１とを等しい長さにすることが望ましい。これは、形状磁気異方性の性質により、半径方向の辺Ｈ１３と円周方向の辺Ｈ１１とが等しい長さの場合、磁化反転しやすい方向が、半径方向と、円周方向とで等しくなるためである。これにより、磁性粒子の磁化方向の安定度が増し、より磁化反転しにくくすることができる。
【００２９】
次に、本実施例に係る磁気記録媒体１０の製造方法について説明する。図６は、本実施例に係る磁気記録媒体１０の製造方法を説明するための図である。まず、基板１０ａ上に軟磁性層１０ｂ、中間層１０ｃ、第１磁性記録層１０ｄ、第２磁性記録層１０ｅ、保護膜１０ｆを製膜する（ステップＳ１）。例えば、製膜は、スパッタリング法を用いて行うことができる。
【００３０】
ここで、磁気記録媒体１０では、基板１０ａとして、ガラス基板を使用している。また、軟磁性層１０ｂとして、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｂ、Ｐｔのいずれかを含む合金を使用している。また、中間層１０ｃとして、Ｒｕ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｗのいずれかを含む合金を使用している。また、第１磁性記録層１０ｄとして、ＣｏＰｔ合金、ＦｅＰｔ合金、ＣｏＰｄ合金、もしくは、ＣｏＰｔ多層膜、ＣｏＰｄ多層膜を使用している。また、第２磁性記録層１０ｅとして、ＦｅＣｏ合金、ＦｅＣｏＮｉ合金、ＣｏＩｒ合金を使用している。
【００３１】
また、磁気記録媒体１０では、軟磁性層１０ｂの膜厚を１５［ｎｍ（ナノメートル）］とし、中間層１０ｃの膜厚を１〜３［ｎｍ］とし、第１磁性記録層１０ｄの膜厚を２［ｎｍ］以上とし、第２磁性記録層１０ｅの膜厚を１［ｎｍ］以上としている。
【００３２】
製膜後、真空中で、第１磁性記録層１０ｄおよび第２磁性記録層１０ｅにイオンを注入して、イオン注入部を非磁性体にする（ステップＳ２）。ここで、磁気記録媒体１０では、第１磁性記録層１０ｄの各磁性粒子の半径方向の辺が、円周方向の辺よりも長くなるようにイオン注入を行う。
【００３３】
続いて、真空中で、第２磁性記録層１０ｅにイオンを注入して、イオン注入部を非磁性体にする（ステップＳ３）。ここで、磁気記録媒体１０では、第２磁性記録層１０ｅの磁性粒子の円周方向の辺が、第１磁性記録層１０ｄの円周方向の辺と等しい長さであり、かつ、第２磁性記録層１０ｅの各磁性粒子の半径方向の辺が、第１磁性記録層１０ｄの半径方向の辺よりも短くなるようにイオン注入を行う。
【００３４】
続いて、第２磁性記録層１０ｅの表面に潤滑剤を塗布して、潤滑層１０ｇを製膜する（ステップＳ４）。このようにして製造された磁気記録媒体１０は、図６に示した磁性粒子Ｊ１０１のように、第１磁性記録層１０ｄと第２磁性記録層１０ｅとの断面形状が凸型となる。
【００３５】
なお、図６では、イオン注入によって第１磁性記録層１０ｄおよび第２磁性記録層１０ｅの一部を非磁性体にする例を示したが、他の手法によって、非磁性体にしてもよい。例えば、モールドで加圧することで、非磁性体を生成してもよい。
【００３６】
次に、本実施例に係る磁気記録媒体１０の効果について、従来の磁気記録媒体と比較して説明する。図７は、本実施例に係る磁気記録媒体１０の効果を説明するための図である。図７では、従来例として、図２に示したパターンドメディア２０を示し、比較例として、図４に示したパターンドメディア３０を示す。また、本実施例に係る磁気記録媒体１０として、円周方向の辺の長さと、半径方向の辺の長さとの比が異なる２つの磁気記録媒体１０（Ａ）および１０（Ｂ）を示す。それぞれの媒体の構造は以下の通りである。
【００３７】
パターンドメディア２０の構造については、記録層の円周方向の辺の長さと半径方向の辺の長さとの比を「１：３」とし、記録層の膜厚を６［ｎｍ］とした。また、パターンドメディア３０の構造については、第１磁性記録層および第２磁性記録層の円周方向の辺の長さと半径方向の辺の長さとの比を「１：３」とし、第１磁性記録層の膜厚を６［ｎｍ］とし、第２磁性記録層の膜厚を２［ｎｍ］とした。
【００３８】
また、磁気記録媒体１０（Ａ）および１０（Ｂ）の構造としては、各層の膜厚を、図６において説明した膜厚と同様とした。また、磁気記録媒体１０（Ａ）は、第２磁性記録層の円周方向の辺の長さと半径方向の辺の長さとの比を「１：２」とした。また、磁気記録媒体１０（Ｂ）は、第２磁性記録層の円周方向の辺の長さと半径方向の辺の長さとの比を「１：１」とした。
【００３９】
図７に示したグラフの横軸は、磁性粒子に対する印加磁界角度を示す。印加磁界角度とは、磁気記録媒体１０の表面に対する垂直方向を基準として、かかる基準に対するヘッド１３からの磁界の角度を示す。例えば、図３において、磁性粒子Ｊ２０７の表面に対する垂直方向を基準として、かかる基準に対する磁界Ｍ１の印加磁界角度は、０［°］である。
【００４０】
図７に示したグラフの縦軸は、磁性粒子の磁化方向が１８０［°］反転する磁界の強さ（以下、磁性粒子の磁化方向が１８０［°］反転する磁界の強さを「飽和磁界Ｈｓ」という）を示す。具体的には、図７に示したグラフの縦軸は、印加磁界角度０［°］における飽和磁界Ｈｓ（［０°］）を基準値「１」として、基準値「１」に対する印加磁界角度ｘ［°］における飽和磁界の割合である「Ｈｓ（ｘ［°］）／Ｈｓ（０［°］）」を示す。
【００４１】
すなわち、図７に示したパターンドメディア２０の例では、印加磁界角度３０［°］における飽和磁界Ｈｓ（３０［°］）は、印加磁界角度０［°］における飽和磁界Ｈｓ（０［°］）の６０［％］であることを示している。通常、ライト処理対象の磁性粒子に対しては、印加磁界角度０［°］で磁界が加えられるので、印加磁界角度３０［°］で加えられる磁界は、漏れ磁界を示している。すなわち、図７に示したパターンドメディア２０は、飽和磁界Ｈｓ（０［°］）の６０［％］の磁界の強さを有する漏れ磁界が印加磁界角度３０［°］で加えられると、磁性粒子の磁化方向が１８０［°］反転することを示している。
【００４２】
また、図７に示した磁気記録媒体１０（Ｂ）の例では、印加磁界角度３０［°］における飽和磁界Ｈｓ（３０［°］）は、印加磁界角度０［°］における飽和磁界Ｈｓ（０［°］）の８０［％］であることを示している。言い換えれば、飽和磁界Ｈｓ（０［°］）の８０［％］の磁界の強さを有する漏れ磁界が印加磁界角度３０［°］で加えられると、磁性粒子の磁化方向が１８０［°］反転することを示している。
【００４３】
このように、磁気記録媒体１０（Ｂ）は、パターンドメディア２０よりも、印加磁界角度に対する飽和磁界Ｈｓの変化が緩やかであり、磁性粒子が磁化反転しにくいことが分かる。すなわち、磁気記録媒体１０（Ｂ）は、パターンドメディア２０よりも、サイドイレーズ現象が発生しにくいことが分かる。同様に、図７に示すように、磁気記録媒体１０（Ｂ）は、パターンドメディア３０よりも、印加磁界角度に対する飽和磁界Ｈｓの変化が緩やかであり、サイドイレーズ現象が発生しにくいことが分かる。
【００４４】
また、図７に示すように、磁気記録媒体１０（Ｂ）は、磁気記録媒体１０（Ａ）よりも印加磁界角度に対する飽和磁界の変化が緩やかであるので、第２磁性記録層の半径方向の辺の長さを短くするほど、サイドイレーズ現象が発生しにくいことが分かる。
【００４５】
上述してきたように、本実施例に係る磁気記録媒体１０は、パターンドメディアの記録層として、基板１０ａ上に、保磁力の大きい第１磁性記録層と、保磁力の小さい第２磁性記録層とが順に積層され、第２磁性記録層の半径方向の辺が、第１磁性記録層の半径方向の辺よりも短い形状であるので、記録密度を向上させることができるとともに、サイドイレーズ現象を十分に抑制することができる。
【００４６】
なお、上記実施例では、パターンドメディアの記録層を、２層の記録層により積層する例を示したが、ディスクリートトラック媒体の記録層を、２層の記録層により積層して、表面側の第２磁性記録層の半径方向の辺を、基板側の第１磁性記録層の半径方向の辺よりも短くするようにしてもよい。これにより、ディスクリートトラック媒体においても、サイドイレーズ現象を、より抑制することができる。
【００４７】
以上の実施例を含む実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
【００４８】
（付記１）情報を記録する磁性粒子を非磁性体によって隔離して複数有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体であって、
前記磁性粒子は、第１磁性記録層の上に第２磁性記録層を積層して形成され、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする磁気記録媒体。
【００４９】
（付記２）前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さと、該第２磁性記録層の円周方向の辺の長さとが等しいことを特徴とする付記１に記載の磁気記録媒体。
【００５０】
（付記３）前記第１磁性記録層の円周方向の辺の長さが、該第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする付記１または２に記載の磁気記録媒体。
【００５１】
（付記４）前記第１磁性記録層は、ＣｏＰｔ合金、ＦｅＰｔ合金、ＣｏＰｄ合金、ＣｏＰｔ多層膜、または、ＣｏＰｄ多層膜のいずれかによって形成されることを特徴とする付記１〜３のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
【００５２】
（付記５）前記第２磁性記録層は、ＦｅＣｏ合金、ＦｅＣｏＮｉ合金、または、ＣｏＩｒ合金のいずれかによって形成されることを特徴とする付記１〜４のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
【００５３】
（付記６）情報を記録する磁性粒子を非磁性体によって隔離して複数有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体を有する磁気記録装置であって、
前記磁気記録媒体が有する磁性粒子は、第１磁性記録層の上に第２磁性記録層を積層して形成され、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする磁気記録装置。
【００５４】
（付記７）前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さと、該第２磁性記録層の円周方向の辺の長さとが等しいことを特徴とする付記６に記載の磁気記録装置。
【００５５】
（付記８）前記第１磁性記録層の円周方向の辺の長さが、該第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする付記６または７に記載の磁気記録装置。
【００５６】
（付記９）前記第１磁性記録層は、ＣｏＰｔ合金、ＦｅＰｔ合金、ＣｏＰｄ合金、ＣｏＰｔ多層膜、または、ＣｏＰｄ多層膜のいずれかによって形成されることを特徴とする付記６〜８のいずれか一つに記載の磁気記録装置。
【００５７】
（付記１０）前記第２磁性記録層は、ＦｅＣｏ合金、ＦｅＣｏＮｉ合金、または、ＣｏＩｒ合金のいずれかによって形成されることを特徴とする付記６〜９のいずれか一つに記載の磁気記録装置。
【００５８】
（付記１１）垂直磁気記録用の磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体製造方法であって、
基板上に、軟磁性材料、非磁性材料、保磁力の大きい磁性材料、保磁力の小さい磁性材料を順に積層する積層ステップと、
前記積層ステップにおいて積層された層のうち、前記保磁力の大きい磁性材料により形成された第１磁性記録層と、前記保磁力の小さい磁性材料により形成された第２磁性記録層との一部に非磁性材料を注入する第一の非磁性材料注入ステップと、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短くなるように、前記第２磁性記録層の一部に非磁性材料を注入する第二の非磁性材料注入ステップと
を含んだことを特徴とする磁気記録媒体製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】磁気記録装置の構成を示す図である。
【図２−１】従来のパターンドメディアの上面図を示す図である。
【図２−２】図２−１に示したＡ−Ａ線の断面図を示す図である。
【図３】磁性粒子の磁化反転を説明するための図である。
【図４−１】２層の記録層を有するパターンドメディアの上面図を示す図である。
【図４−２】図４−１に示したＢ−Ｂ線の断面図を示す図である。
【図５−１】本実施例に係る磁気記録媒体の上面図を示す図である。
【図５−２】図５−１に示したＣ−Ｃ線の断面図を示す図である。
【図６】本実施例に係る磁気記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図７】本実施例に係る磁気記録媒体の効果を説明するための図である。
【符号の説明】
【００６０】
１ 磁気記録装置
１０ 磁気記録媒体
１０ａ、３０ａ 基板
１０ｂ 軟磁性層
１０ｃ 中間層
１０ｄ、３０ｄ 第１磁性記録層
１０ｅ、３０ｅ 第２磁性記録層
１０ｆ 保護膜
１０ｇ 潤滑層
１１ スピンドルモータ
１２ アーム
１３ ヘッド
１４ ボイスコイルモータ
１５ 軸
２０、３０ パターンドメディア
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報を記録する磁性粒子を非磁性体によって隔離して複数有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体であって、
前記磁性粒子は、第１磁性記録層の上に第２磁性記録層を積層して形成され、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さと、該第２磁性記録層の円周方向の辺の長さとが等しいことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
前記第１磁性記録層の円周方向の辺の長さが、該第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
前記第１磁性記録層は、ＣｏＰｔ合金、ＦｅＰｔ合金、ＣｏＰｄ合金、ＣｏＰｔ多層膜、または、ＣｏＰｄ多層膜のいずれかによって形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
前記第２磁性記録層は、ＦｅＣｏ合金、ＦｅＣｏＮｉ合金、または、ＣｏＩｒ合金のいずれかによって形成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
【請求項６】
情報を記録する磁性粒子を非磁性体によって隔離して複数有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体を有する磁気記録装置であって、
前記磁気記録媒体が有する磁性粒子は、第１磁性記録層の上に第２磁性記録層を積層して形成され、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする磁気記録装置。
【請求項７】
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さと、該第２磁性記録層の円周方向の辺の長さとが等しいことを特徴とする請求項６に記載の磁気記録装置。
【請求項８】
前記第１磁性記録層は、ＣｏＰｔ合金、ＦｅＰｔ合金、ＣｏＰｄ合金、ＣｏＰｔ多層膜、または、ＣｏＰｄ多層膜のいずれかによって形成されることを特徴とする請求項６または７に記載の磁気記録装置。
【請求項９】
前記第２磁性記録層は、ＦｅＣｏ合金、ＦｅＣｏＮｉ合金、または、ＣｏＩｒ合金のいずれかによって形成されることを特徴とする請求項６〜８のいずれか一つに記載の磁気記録装置。
【請求項１０】
垂直磁気記録用の磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体製造方法であって、
基板上に、軟磁性材料、非磁性材料、保磁力の大きい磁性材料、保磁力の小さい磁性材料を順に積層する積層ステップと、
前記積層ステップにおいて積層された層のうち、前記保磁力の大きい磁性材料により形成された第１磁性記録層と、前記保磁力の小さい磁性材料により形成された第２磁性記録層との一部に非磁性材料を注入する第一の非磁性材料注入ステップと、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短くなるように、前記第２磁性記録層の一部に非磁性材料を注入する第二の非磁性材料注入ステップと
を含んだことを特徴とする磁気記録媒体製造方法。
【請求項１】
情報を記録する磁性粒子を非磁性体によって隔離して複数有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体であって、
前記磁性粒子は、第１磁性記録層の上に第２磁性記録層を積層して形成され、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さと、該第２磁性記録層の円周方向の辺の長さとが等しいことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
前記第１磁性記録層の円周方向の辺の長さが、該第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
前記第１磁性記録層は、ＣｏＰｔ合金、ＦｅＰｔ合金、ＣｏＰｄ合金、ＣｏＰｔ多層膜、または、ＣｏＰｄ多層膜のいずれかによって形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
前記第２磁性記録層は、ＦｅＣｏ合金、ＦｅＣｏＮｉ合金、または、ＣｏＩｒ合金のいずれかによって形成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
【請求項６】
情報を記録する磁性粒子を非磁性体によって隔離して複数有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体を有する磁気記録装置であって、
前記磁気記録媒体が有する磁性粒子は、第１磁性記録層の上に第２磁性記録層を積層して形成され、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短いことを特徴とする磁気記録装置。
【請求項７】
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さと、該第２磁性記録層の円周方向の辺の長さとが等しいことを特徴とする請求項６に記載の磁気記録装置。
【請求項８】
前記第１磁性記録層は、ＣｏＰｔ合金、ＦｅＰｔ合金、ＣｏＰｄ合金、ＣｏＰｔ多層膜、または、ＣｏＰｄ多層膜のいずれかによって形成されることを特徴とする請求項６または７に記載の磁気記録装置。
【請求項９】
前記第２磁性記録層は、ＦｅＣｏ合金、ＦｅＣｏＮｉ合金、または、ＣｏＩｒ合金のいずれかによって形成されることを特徴とする請求項６〜８のいずれか一つに記載の磁気記録装置。
【請求項１０】
垂直磁気記録用の磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体製造方法であって、
基板上に、軟磁性材料、非磁性材料、保磁力の大きい磁性材料、保磁力の小さい磁性材料を順に積層する積層ステップと、
前記積層ステップにおいて積層された層のうち、前記保磁力の大きい磁性材料により形成された第１磁性記録層と、前記保磁力の小さい磁性材料により形成された第２磁性記録層との一部に非磁性材料を注入する第一の非磁性材料注入ステップと、
前記第２磁性記録層の半径方向の辺の長さが、前記第１磁性記録層の半径方向の辺の長さよりも短くなるように、前記第２磁性記録層の一部に非磁性材料を注入する第二の非磁性材料注入ステップと
を含んだことを特徴とする磁気記録媒体製造方法。
【図１】
【図２−１】
【図２−２】
【図３】
【図４−１】
【図４−２】
【図５−１】
【図５−２】
【図６】
【図７】
【図２−１】
【図２−２】
【図３】
【図４−１】
【図４−２】
【図５−１】
【図５−２】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００９−２８３０８６（Ｐ２００９−２８３０８６Ａ）
【公開日】平成２１年１２月３日（２００９．１２．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１３５６７８（Ｐ２００８−１３５６７８）
【出願日】平成２０年５月２３日（２００８．５．２３）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１２月３日（２００９．１２．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年５月２３日（２００８．５．２３）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]