透明基板、透明基板の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び画像形成装置
【課題】 発光素子から発光された光の取出し効率を向上し、さらに、形成されるマイクロレンズの発光素子に対する位置精度を向上した透明基板、透明基板の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 ガラス基板３０の光取出し面３０ｂに第２整合半径Ｒ２の凹部４０を形成し、同凹部４０内にレジスト等によって隔壁４１を形成した。そして、この隔壁４１に、第２整合半径Ｒ２よりも小さい第１整合半径Ｒ１の内径を有する円形孔４２を形成した後に、同円形孔４２内にマイクロレンズ４３を形成した形成の自由度の高いレジスト等によって隔壁４１を形成し、その円形孔４２にマイクロレンズ４３を形成することで、凹部４０の半径の大きさによることなく、第１整合半径Ｒ１を有したマイクロレンズ４３を正確に形成することができる。
【解決手段】 ガラス基板３０の光取出し面３０ｂに第２整合半径Ｒ２の凹部４０を形成し、同凹部４０内にレジスト等によって隔壁４１を形成した。そして、この隔壁４１に、第２整合半径Ｒ２よりも小さい第１整合半径Ｒ１の内径を有する円形孔４２を形成した後に、同円形孔４２内にマイクロレンズ４３を形成した形成の自由度の高いレジスト等によって隔壁４１を形成し、その円形孔４２にマイクロレンズ４３を形成することで、凹部４０の半径の大きさによることなく、第１整合半径Ｒ１を有したマイクロレンズ４３を正確に形成することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明基板、透明基板の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子写真方式を用いた画像形成装置には、像担持体としての感光ドラムを露光して潜像を形成する電気光学装置としての露光ヘッドが利用されている。近年では、この露光ヘッドの薄型化と軽量化を図るために、露光ヘッドの発光源として発光素子としての有機エレクトロルミネッセンス素子（有機ＥＬ素子）を用いるものが提案されている。
【０００３】
なかでも、こうした有機ＥＬ素子が、構成材料の選択幅を広くできる利便性から、この種の露光ヘッドにおいては、透明基板の一側面（発光素子形成面）上に有機ＥＬ層を形成し、同有機ＥＬ層において、発光した光を発光素子形成面と相対向する他側面（光取出し面）から取り出す、いわゆるボトムエミッション構造が採用されている。
【０００４】
ボトムエミッション構造では、光取出し面と有機ＥＬ層との間に、同有機ＥＬ層を発光させるための各種配線等が形成される。このため、有機ＥＬ素子の開口率が低下し、露光ヘッドの光取出し効率を低下させる問題があった。
【０００５】
そこで、有機ＥＬ素子を備えた露光ヘッドでは、こうした光の取出し効率を向上するために、有機ＥＬ層から発光された光を集光して結像するレンズ、いわゆるマイクロレンズを光取出し面上に設ける提案がなされている（例えば、特許文献１）。特許文献１では、光取出し面に光吸収性樹脂を塗布してパターニングを行い、有機ＥＬ素子と相対向する位置に、同光吸収性樹脂を内側壁とする孔を設けている。そして、同孔内に紫外線硬化性樹脂を噴射して、有機ＥＬ素子と相対向する位置にマイクロレンズを形成している。
【特許文献１】特開平２００３−２９１４０４号広報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、発光素子形成面上に有機ＥＬ素子を形成し、光取出し面上にマイクロレンズを形成するため、以下の問題を生じる。
すなわち、マイクロレンズは、常に透明基板の厚さに相対する距離だけ有機ＥＬ素子（有機ＥＬ層）から離間して形成される。換言すれば、有機ＥＬ素子に対するマイクロレンズの開口角が、常に透明基板の厚さ分だけ小さくなり、マイクロレンズによる光の光取出し効率が低下する。
【０００７】
このため、光取出し効率を確保するために、透明基板の厚さを薄くすることが考えられるが、このようにした場合、透明基板の機械的強度が不足し有機ＥＬ素子の形成時や露光ヘッドの組立て時等に、破損等を招く虞がある。
【０００８】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、発光素子から発光された光の取出し効率を向上し、さらに形成されるマイクロレンズの発光素子に対する位置精度を向上した透明基板、透明基板の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び画像形成装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の透明基板は、光源から照射される光を、光入射面側から入射し、光取出し面側に設けたマイクロレンズを介して出射する透明基板において、前記光取出し面側に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成するとともに、同凹部内に前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を設け、その位置決め部内に前記マイクロレンズを形成した。
【００１０】
本発明の透明基板によれば、マイクロレンズは、同マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部内に設けられるため、マイクロレンズの形成の作業が容易となり製造工程の負荷を軽減することができる。さらに、凹部を形成した分だけ、マイクロレンズを光入射面側に形成することができ、光入射面に対するマイクロレンズの開口角を大きくすることができる。その結果、光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。また、凹部を形成した分だけ、凹部以外の透明基板の厚さを厚くすることによって、同透明基板の機械的強度の劣化を補うことができる。さらに、マイクロレンズは、位置決め部によって光源に対して正確に位置決めされることで、より光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００１１】
この透明基板において、前記位置決め部は、前記光源に相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を備え、同円形孔内に同マイクロレンズを形成した。
【００１２】
この透明基板によれば、位置決め部の円形孔がマイクロレンズの直径と相対する内径を備えるため、光取出し面に形成する凹部のサイズによらずに、正確にマイクロレンズが形成される。従って、マイクロレンズは、より正確に発光素子に対して位置決めされるので、発光素子から発光された光の利用効率をより向上することができる。
【００１３】
この透明基板において、前記マイクロレンズは、凸形状のレンズである。
【００１４】
この透明基板によれば、マイクロレンズが凸形状のレンズで形成されるため、光入射面から入射した光をマイクロレンズによって集光する効率を向上することができる。
【００１５】
本発明の透明基板の製造方法は、光源から照射される光を、光入射面側から入射し、光取出し面側に設けられるマイクロレンズを介して出射する透明基板の製造方法において、前記光取出し面に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成し、前記凹部内に、前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を形成し、液体噴射装置からレンズ形成樹脂の液滴を前記環状の位置決め部内に噴出した後に、同位置決め部内において、同レンズ形成樹脂を固化させて前記マイクロレンズを形成する。
【００１６】
本発明の透明基板の製造方法によれば、マイクロレンズを、同マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部内に形成するため、マイクロレンズの形成の作業が容易となり製造工程の負荷を軽減することができる。さらに、位置決め部によってマイクロレンズを位置決めさせることで、凹部の大きさによることなく、凹部内にマイクロレンズを正確に形成することができる。従って、マイクロレンズを光源に対して正確に位置決めして形成できるので、形成される透明基板は、より光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００１７】
この透明基板の製造方法において、前記位置決め部の表面に前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する表面処理をした後に、前記液体噴射装置から同液滴を同位置決め部内に噴射する。
【００１８】
この透明基板の製造方法によれば、位置決め部の表面に、例えば撥液性材料を塗付、又
はＣＦ４プラズマ処理等の表面処理を行う。これによって、位置決め部内に噴射される液滴は、位置決め部の表面によって撥液されるので、液滴は自身の表面張力によってその表面を曲面形状に形成する。従って、この液滴が固化されて形成されるレンズの表面は、より曲面形状となるので集光性が向上する。即ち、形成される透明基板は、より光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００１９】
この透明基板の製造方法において、前記位置決め部は、前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する撥液性部材から構成した。
【００２０】
この透明基板の製造方法によれば、位置決め部は、例えば、フッ素系樹脂等の撥液性部材から構成される。これによって、位置決め部内に噴射される液滴は、位置決め部の表面によって撥液されるので、液滴は自身の表面張力によってその表面を曲面形状に形成する。従って、この液滴が固化されて形成されるレンズの表面は、より曲面形状となるので集光性が向上する。即ち、形成される透明基板は、より光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００２１】
本発明の電気光学装置は、透明基板の発光素子形成面に形成された発光素子から発光された光を、同発光素子形成面と相対向する光取出し面側に設けられたマイクロレンズを介して出射する電気光学装置において、前記光取出し面側に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成するとともに、同凹部内に前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を設け、その位置決め部内に前記マイクロレンズを形成した。
【００２２】
本発明の電気光学装置によれば、マイクロレンズは、同マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部内に設けられるため、マイクロレンズの取付けの作業が容易となる。さらに、凹部を形成した分だけ、マイクロレンズを発光素子形成面側に形成することができ、発光素子形成面に対するマイクロレンズの開口角を大きくすることができる。その結果、発光素子形成面から入射した光の利用効率を向上することができる。また、凹部を形成した分だけ、凹部以外の透明基板の厚さを厚くすることによって、同透明基板の機械的強度の劣化を補うことができる。さらに、凹部内に設けられるマイクロレンズは、位置決め部によって位置決めされることで、光源に対して正確に位置決めされるので、この電気光学装置は、より発光素子形成面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００２３】
この電気光学装置において、前記位置決め部は、前記発光素子に相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を備え、同円形孔内に同マイクロレンズを形成した。
【００２４】
この電気光学装置によれば、位置決め部の円形孔がマイクロレンズの直径と相対する内径を備えるため、光取出し面に形成する凹部のサイズによらずに、正確にマイクロレンズが形成される。従って、マイクロレンズはより正確に発光素子に対して位置決めされるので、発光素子面から入射した光の利用効率をより向上することができる。
【００２５】
この電気光学装置において、前記発光素子は、前記光取出し面側に形成した透明電極と、前記透明電極と相対して形成した背面電極と、前記透明電極と前記背面電極との間に形成した発光層とを備えたエレクトロルミネッセンス素子である。
【００２６】
この電気光学装置によれば、エレクトロルミネッセンス素子を備えた電気光学装置の光の利用効率を向上することができる。
【００２７】
この電気光学装置において、前記発光層は、有機材料で形成され、前記エレクトロルミネッセンス素子は、有機エレクトロルミネッセンス素子である。
【００２８】
この電気光学装置によれば、有機エレクトロルミネッセンス素子を備えた電気光学装置の光の利用効率を向上することができる。
【００２９】
この電気光学装置において、複数の前記発光素子を前記発光素子形成面の一方向に沿って配列された前記凹部内にそれぞれ形成した。
【００３０】
この電気光学装置によれば、一方向に沿って配列された発光素子の各々に対応して形成されるマイクロレンズが、発光素子から発光された光の利用効率を向上することができる。
【００３１】
この電気光学装置において、前記マイクロレンズは、凸形状のレンズであって、前記発光素子から発光された光を集光して前記光取出し面から出射する。
【００３２】
この電気光学装置によれば、マイクロレンズが凸形状のレンズで形成されるため、集光機構などを介することなく、透明基板に形成したマイクロレンズによって集光することができる。従って、発光素子から発光された光の集光する効率を向上することができる。
【００３３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、透明基板の発光素子形成面に形成された発光素子から発光された光を、同発光素子形成面と相対向する光取出し面側に設けられるマイクロレンズを介して出射する電気光学装置の製造方法において、前記光取出し面に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成し、前記凹部内に、前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を形成し、液体噴射装置からレンズ形成樹脂の液滴を前記環状の位置決め部内に噴出した後に、同位置決め部内において、同レンズ形成樹脂を固化させて前記マイクロレンズを形成する。
【００３４】
本発明の電気光学装置の製造方法によれば、マイクロレンズを、同マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部内に形成するため、マイクロレンズの形成の作業が容易となり製造工程の負荷を軽減することができる。さらに、位置決め部によって位置決めさせることで、凹部の大きさによることなく、凹部内にマイクロレンズを正確に形成することができる。従って、マイクロレンズを光源に対して正確に位置決めして形成できるので、電気光学装置は、より光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００３５】
この電気光学装置の製造方法において、前記位置決め部に、前記発光素子と相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を形成し、前記円形孔内に前記液体噴射装置から液滴を噴出することによって前記マイクロレンズを形成する。
【００３６】
この電気光学装置の製造方法によれば、マイクロレンズは、液体噴射装置の円形孔に噴射する液体によって形成されるため、例えば、レプリカ法等によって形成したマイクロレンズを凹部内取付ける場合に比べ、その製造工程等を軽減することができる。しかも、円形孔のサイズに相対するマイクロレンズを凹部内に確実に形成することができる。その結果、発光素子から発光された光の利用効率と電気光学装置の生産性を向上することができる。
【００３７】
この電気光学装置の製造方法において、前記位置決め部の表面に前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する表面処理をした後に、前記液体噴射装置から同液滴を同位置決め部内に噴射する。
【００３８】
この電気光学装置の製造方法によれば、位置決め部の表面に、例えば撥液性材料を塗付、又はＣＦ４プラズマ処理等の表面処理を行う。これによって、位置決め部内に噴射され
る液滴は、位置決め部の表面によって撥液されるので、液滴は自身の表面張力によってその表面を曲面形状に形成する。従って、この液滴が固化されて形成されるレンズの表面は、より曲面形状となるので集光性が向上する。即ち、本発明の電気光学装置は、発光素子から発光された光の利用効率をより向上することができる。
【００３９】
この電気光学装置の製造方法において、前記位置決め部は、前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する撥液性部材から構成した。
【００４０】
この電気光学装置の製造方法によれば、位置決め部は、例えば、フッ素系樹脂等の撥液性部材から構成される。これによって、位置決め部内に噴射される液滴は、位置決め部の表面によって撥液されるので、液滴は自身の表面張力によってその表面を曲面形状に形成する。従って、この液滴が固化されて形成されるレンズの表面は、より曲面形状となるので集光性が向上する。即ち、本発明の電気光学装置は、発光素子から発光された光の利用効率をより向上することができる。
【００４１】
本発明の画像成形装置は、帯電手段によって帯電された像担持体の外周面を露光して潜像を形成する露光手段と、前記潜像に対して着色粒子を供給して顕像を現像する現像手段と、前記顕像を転写媒体に転写する転写手段とを備えた画像形成装置において、前記露光手段は、上記する電気光学装置を備えた。
【００４２】
本発明の画像成形装置によれば、帯電した像担持体を露光する露光手段が上記電気光学装置を備えるようになる。従って、画像形成装置の露光における光の利用効率を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図１０に従って説明する。図１は、画像形成装置としての電子写真方式プリンタを示す概略側断面図である。
（電子写真方式プリンタ）
図１に示すように、電子写真方式プリンタ１０（以下単に、プリンタ１０という。）は、箱体状に形成される筐体１１を備えている。その筐体１１内には、駆動ローラ１２、従動ローラ１３及びテンションローラ１４が設けられ、各ローラ１２〜１４に対して転写媒体としての中間転写ベルト１５が張設されている。そして、駆動ローラ１２の回転によって、中間転写ベルト１５は、図１における矢印方向に循環駆動可能に備えられている。
【００４４】
中間転写ベルト１５の上方には、４体の像担持体としての感光ドラム１６が、中間転写ベルト１５の張設方向（副走査方向Ｙ）に回転可能に併設されている。その感光ドラム１６の外周面には、光導電性を有する感光層１６ａ（図４参照）が形成されている。感光層１６ａは、暗中でプラス又はマイナスの電荷を帯電し、所定の波長領域からなる光を照射されると、照射された部位の電荷が消失されるようになっている。すなわち、電子写真方式プリンタ１０は、これら４体の感光ドラム１６によって構成されるタンデム式のプリンタである。
【００４５】
各感光ドラム１６の周囲には、それぞれ帯電手段としての帯電ローラ１７、露光手段を構成する電気光学装置としての有機エレクロトルミネッセンスアレイ露光ヘッド２０（以下単に、露光ヘッド２０という。）、現像手段としてのトナーカートリッジ２１、転写手段を構成する一次転写ローラ２２及びクリーニング手段２３が配設されている。
【００４６】
帯電ローラ１７は、感光ドラム１６に密着する半導電性のゴムローラである。この帯電ローラ１７に直流電圧を印加して感光ドラム１６を回転すると、感光ドラム１６の感光層１６ａが、全周面にわたり所定の帯電電位に帯電するようになっている。
【００４７】
露光ヘッド２０は、所定の波長領域の光を出射する光源であって、図２に示すように、長尺板状に形成されている。その露光ヘッド２０は、その長手方向を感光ドラム１６の軸方向（図１において紙面に直交する方向：主走査方向Ｘ）と平行にして、感光層１６ａから所定の距離だけ離間した位置に位置決めされている。そして、露光ヘッド２０が印刷データに基づく光を鉛直方向Ｚ（図１参照）に出射して感光ドラム１６が回転方向Ｒｏに回転すると、感光層１６ａが、所定の波長領域の光に露光される。すると、感光層１６ａは、露光された部位（露光スポット）の電荷を消失して、その外周面に静電的な画像（静電潜像）を形成する。ちなみに、この露光ヘッド２０の露光する光の波長領域は、感光層１６ａの分光感度と整合した波長領域である。つまり、露光ヘッド２０の露光する光の発光エネルギーのピーク波長は、前記感光層１６ａの分光感度のピーク波長と略一致するようになっている。
【００４８】
トナーカートリッジ２１は、箱体形状に形成されて、その内部に直径１０μｍ程度の着色粒子としてのトナーＴを収容する。なお、本実施形態における４体のトナーカートリッジ２１には、それぞれ対応する４色（黒、シアン、マゼンタ及びイエロ）のトナーＴが収容されている。そのトナーカートリッジ２１には、感光ドラム１６側から順に、現像ローラ２１ａと供給ローラ２１ｂが備えられている。供給ローラ２１ｂは、回転することによって、トナーＴを現像ローラ２１ａまで搬送するようになっている。現像ローラ２１ａは、供給ローラ２１ｂとの摩擦等によって、同供給ローラ２１ｂの搬送したトナーＴを帯電させるとともに、帯電したトナーＴを同現像ローラ２１ａの外周面に均一に付着するようになっている。
【００４９】
そして、感光ドラム１６に前記帯電電位と略等しいバイアス電位を印加した状態で、供給ローラ２１ｂ及び現像ローラ２１ａを回転する。すると、感光ドラム１６は、前記露光スポットと現像ローラ２１ａ（トナーＴ）との間に、前記バイアス電位に相対する静電吸着力を付与する。静電吸着力を受けたトナーＴは、同現像ローラ２１ａの外周面から前記露光スポットに移動して吸着する。これによって、各感光ドラム１６（各感光層１６ａ）の外周面には、それぞれ静電潜像に対応した単色の可視像（顕像）が形成される（現像される）。
【００５０】
中間転写ベルト１５の内側面１５ａであって前記各感光ドラム１６と対峙する位置には、それぞれ一次転写ローラ２２が設けられている。一次転写ローラ２２は、導電性ローラであって、その外周面が中間転写ベルト１５の内側面１５ａに密着しながら回転する。この一次転写ローラ２２に直流電圧を印加して感光ドラム１６及び中間転写ベルト１５を回転すると、感光層１６ａに吸着したトナーＴが、一次転写ローラ２２側への静電吸着力よって中間転写ベルト１５の外側面１５ｂに順次移動して吸着するようになっている。すなわち、一次転写ローラ２２は、感光ドラム１６に形成した顕像を中間転写ベルト１５の外側面１５ｂに一次転写する。そして、中間転写ベルト１５の外側面１５ｂは、各感光ドラム１６と一次転写ローラ２２によって、単色からなる顕像の一次転写を４回繰り返し、これらの顕像を重ね合わせることによってフルカラーの画像（トナー像）を得る。
【００５１】
クリーニング手段２３は、図示しないＬＥＤ等の光源とゴムブレードを備え、前記一次転写後の感光層１６ａに光を照射して帯電した感光層１６ａを除電するようになっている。そして、クリーニング手段２３は、除電した感光層１６ａに残留するトナーＴをゴムブレードによって機械的に除去する。
【００５２】
中間転写ベルト１５の下側には、記録用紙Ｐを収容した記録用紙カセット２４が配設されている。その記録用紙カセット２４の上側には、記録用紙Ｐを中間転写ベルト１５側に給紙する給紙ローラ２５が配設されている。その給紙ローラ２５の上側にあって駆動ロー
ラ１２と相対向する位置には、転写手段を構成する二次転写ローラ２６が配設されている。二次転写ローラ２６は、前記各一次転写ローラ２２と同じく導電性ローラであって、記録用紙Ｐの裏面を押圧し、同記録用紙Ｐの表面を中間転写ベルト１５の外側面１５ｂに接触させている。そして、この二次転写ローラ２６に直流電圧を印加して中間転写ベルト１５を回転すると、中間転写ベルト１５の外側面１５ｂに吸着したトナーＴが、記録用紙Ｐの表面上に順次移動して吸着する。すなわち、二次転写ローラ２６は、中間転写ベルト１５の外側面１５ｂに形成されたトナー像を記録用紙Ｐの表面上に二次転写する。
【００５３】
二次転写ローラ２６の上側には、熱源を内蔵するヒートローラ２７ａと同ヒートローラ２７ａを押圧する押圧ローラ２７ｂが配設されている。そして、二次転写後の記録用紙Ｐがヒートローラ２７ａと押圧ローラ２７ｂとの間に搬送されると、記録用紙Ｐ上に転写されたトナーＴが、加熱によって軟化し、記録用紙Ｐ内に浸透して固化する。これによって、記録用紙Ｐの表面にトナー像が定着する。トナー像を定着させた記録用紙Ｐは、排紙ローラ２８によって筐体１１の外側に排出されるようになっている。
【００５４】
従って、プリンタ１０は、帯電した感光層１６ａを露光ヘッド２０によって露光し、同感光層１６ａに静電潜像を形成する。次に、プリンタ１０は、感光層１６ａの静電潜像を現像して同感光層１６ａに単色の顕像を形成する。続いて、プリンタ１０は、感光層１６ａの顕像を中間転写ベルト１５上に順次一次転写して同中間転写ベルト１５上にフルカラーのトナー像を形成する。そして、プリンタ１０は、中間転写ベルト１５上のトナー像を記録用紙Ｐ上に二次転写し、加熱加圧によってトナー像を定着させて印刷を終了する。
【００５５】
次に、上記プリンタ１０に備えられた電気光学装置としての露光ヘッド２０について以下に説明する。図２及び図３は、それぞれ露光ヘッド２０を示す平面図及び正断面図である。図４は、図２に示す一点鎖線Ａ−Ａに沿った概略断面図である。
【００５６】
図２及び図３に示すように、露光ヘッド２０には、透明基板としてのガラス基板３０が備えられている。ガラス基板３０は、長尺状に形成された基板であって、その長手方向（主走査方向Ｘ）の幅が感光ドラム１６の軸方向の幅と略同じ大きさで形成されている。そして、本実施形態では、そのガラス基板３０について、上面（感光ドラム１６側と反対の面）を光入射面としての発光素子形成面３０ａとし、下面（感光ドラム１６側の面）を光取出し面３０ｂとしている。
【００５７】
まず、ガラス基板３０の発光素子形成面３０ａ側について以下に説明する。
図２及び３に示すように、ガラス基板３０の発光素子形成面３０ａには、千鳥格子状に２次元に配列された複数の画素形成領域３１が形成されている。各画素形成領域３１には、それぞれ薄膜トランジスタ３２（以下単に、ＴＦＴ３２という。）と光源としての発光素子３３とからなる画素３４が形成されている。ＴＦＴ３２は、印刷データに基づいて生成されたデータ信号によってオン状態となり、そのオン状態に基づいて、発光素子３３を発光するようになっている。
【００５８】
図４に示すように、ＴＦＴ３２は、その最下層にチャンネル膜Ｂを備えている。チャンネル膜Ｂは、発光素子形成面３０ａ上に形成される島状のｐ型ポリシリコン膜であって、図４における左右両側には、活性化した図示しないｎ型領域（ソース領域及びドレイン領域）を備えている。つまり、ＴＦＴ３２は、いわゆるポリシリコン形ＴＦＴである。
【００５９】
チャンネル膜Ｂの上側中央位置には、発光素子形成面３０ａ側から順に、ゲート絶縁膜Ｄ０、ゲート電極Ｐｇ及びゲート配線Ｍ１が形成されている。ゲート絶縁膜Ｄ０は、シリコン酸化膜等の光透過性を有する絶縁膜であって、発光素子形成面３０ａの略全面に堆積されている。ゲート電極Ｐｇは、タンタル等の低抵抗金属膜であって、チャンネル膜Ｂの
略中央位置に形成されている。ゲート配線Ｍ１は、ＩＴＯ等の光透過性を有する透明導電膜であって、ゲート電極Ｐｇと図示しないデータ線駆動回路とを電気的に接続している。そして、データ線駆動回路がゲート配線Ｍ１を介してゲート電極Ｐｇにデータ信号を入力すると、ＴＦＴ３２は、そのデータ信号に基づいたオン状態となる。
【００６０】
チャンネル膜Ｂであって前記ソース領域及びドレイン領域の上側には、鉛直方向Ｚに沿って上側に延びるソースコンタクトＳｃ及びドレインコンタクトＤｃが形成されている。各コンタクトＳｃ，Ｄｃは、チャンネル膜Ｂとのコンタクト抵抗を低くする金属シリサイド等の金属膜で形成されている。そして、これら各コンタクトＳｃ，Ｄｃ及びゲート電極Ｐｇ（ゲート配線Ｍ１）は、シリコン酸化膜等からなる第１層間絶縁膜Ｄ１によってそれぞれ電気的に絶縁されている。
【００６１】
各コンタクトＳｃ，コンタクトＤｃの上側には、それぞれアルミニウム等の低抵抗金属膜からなる電源線Ｍ２ｓ及び陽極線Ｍ２ｄが形成されている。電源線Ｍ２ｓは、ソースコンタクトＳｃと図示しない駆動電源とを電気的に接続している。陽極線Ｍ２ｄは、ドレインコンタクトＤｃと発光素子３３とを電気的に接続している。これら電源線Ｍ２ｓ及び陽極線Ｍ２ｄは、シリコン酸化膜等からなる第２層間絶縁膜Ｄ２によってそれぞれ電気的に絶縁されている。そして、ＴＦＴ３２がデータ信号に基づいたオン状態となると、そのデータ信号に応じた駆動電流が、電源線Ｍ２ｓ（駆動電源）から陽極線Ｍ２ｄ（発光素子３３）に供給される。
【００６２】
図４に示すように、第２層間絶縁膜Ｄ２の上側には、発光素子３３が形成されている。その発光素子３３の最下層には、透明電極としての陽極Ｐｃが形成されている。陽極Ｐｃは、ＩＴＯ等の光透過性を有する透明導電膜であって、その一端が陽極線Ｍ２ｄに接続されている。その陽極Ｐｃの上側外周には、同陽極Ｐｃを囲むように第３層間絶縁膜Ｄ３が堆積されている。第３層間絶縁膜Ｄ３は、感光性ポリイミドやアクリル等の樹脂膜で形成され、各発光素子３３の陽極Ｐｃを電気的に絶縁している。また、第３層間絶縁膜Ｄ３は、陽極Ｐｃの上側を略円形孔状に開放して、その内周面からなる隔壁Ｄ３ａを形成している。その隔壁Ｄ３ａの陽極Ｐｃ側の内径は、後述する第１整合半径Ｒ１によって形成されている。
【００６３】
陽極Ｐｃの上側にあって隔壁Ｄ３ａの内側には、有機材料からなる有機エレクトロルミネッセンス層（有機ＥＬ層）Ｏｅが形成されている。有機ＥＬ層Ｏｅは、正孔輸送層と発光層の２層からなる有機化合物層である。その有機ＥＬ層Ｏｅの上側には、アルミニウム等の光反射性を有する金属膜からなる背面電極としての陰極Ｐａが形成されている。陰極Ｐａは、発光素子形成面３０ａ側全面を覆うように形成され、各画素３４が共有することによって各発光素子３３に共通する電位を供給するようになっている。
【００６４】
すなわち、発光素子３３は、これら陽極Ｐｃ、有機ＥＬ層Ｏｅ及び陰極Ｐａによって形成される有機エレクトロルミネッセンス素子（有機ＥＬ素子）であって、その発光面（有機ＥＬ層Ｏｅ）の内径が第１整合半径Ｒ１で形成されている。
【００６５】
陰極Ｐａの上側には、樹脂等のコーティング材で形成され、各種金属膜や有機ＥＬ層Ｏｅの酸化等を防止するための封止部Ｐ１が形成されている。
そして、データ信号に応じた駆動電流が陽極線Ｍ２ｄに供給されると、有機ＥＬ層Ｏｅは、その駆動電流に応じた輝度で発光する。この際、有機ＥＬ層Ｏｅから陰極Ｐａ側（図４における上側）に向かって発光された光は、同陰極Ｐａによって反射される。そのため、有機ＥＬ層Ｏｅから発光された光は、その殆どが、陽極Ｐｃ、第２層間絶縁膜Ｄ２、第１層間絶縁膜Ｄ１、ゲート絶縁膜Ｄ０及びガラス基板３０を通過して光取出し面３０ｂ側（感光ドラム１６側）に照射される。
【００６６】
次に、ガラス基板３０の光取出し面３０ｂ側について以下に説明する。
図３に示すように、ガラス基板３０の光取出し面３０ｂには、各発光素子３３と相対向する位置に凹部４０が形成されている。凹部４０は、光取出し面３０ｂから鉛直方向Ｚ上方（感光ドラム１６側）に向かって開口された円形孔であって、その中心軸が有機ＥＬ層Ｏｅの中心軸上に位置するように形成されている。また、凹部４０は、その深さが距離Ｈｄ（図４参照）で形成され、かつ内径が有機ＥＬ層Ｏｅの第１整合半径Ｒ１よりも大きい第２整合半径Ｒ２で形成されている。
【００６７】
各凹部４０の底面４０ａには、位置決め部として円環状の隔壁４１が形成されている。隔壁４１は、その中心部に円形孔４２が形成されている。円形孔４２は、その中心軸が有機ＥＬ層Ｏｅの中心軸上に位置するように形成され、その内径が有機ＥＬ層Ｏｅの内径と同じ第１整合半径Ｒ１で形成されている。そして、各凹部４０内であって、各円形孔４２内には、それぞれマイクロレンズ４３が形成されている。マイクロレンズ４３は、有機ＥＬ層Ｏｅ（図４参照）の発光波長に対して十分な透過率を有する凸形状のレンズである。
【００６８】
マイクロレンズ４３は、図４に示すように、鉛直方向Ｚに沿った光軸Ａを有する軸対象のレンズであって、同光軸Ａ方向から見て有機ＥＬ層Ｏｅと相対向する位置に形成されている。また、マイクロレンズ４３の開口径は、隔壁４１の円形孔４２（有機ＥＬ層Ｏｅ）の内径、すなわち第１整合半径Ｒ１と同じ大きさで形成される。従って、凹部４０は、マイクロレンズ４３の直径よりも大きく形成され、隔壁４１の円形孔４２はマイクロレンズ４３の直径と同じ大きさに形成されている。これによって、マイクロレンズ４３の周辺部における結像性能を劣化させることなく、有機ＥＬ層Ｏｅから発光された光を集光して光取出し面３０ｂ側に出射できるようになっている。さらにまた、マイクロレンズ４３は、図４に示すように、その下側曲面（出射面４３ａ）の頂点と感光ドラム１６の感光層１６ａとの間の距離を、マイクロレンズ４３の像側焦点距離Ｈｆにしている。つまり、マイクロレンズ４３は、有機ＥＬ層Ｏｅから光軸Ａに沿って発光された光線（平行光線束Ｌ１）と光軸Ａとの交点（像側焦点Ｆ）を感光層１６ａ上に位置させるようになっている。これによって、マイクロレンズ４３から出射された光は、感光層１６ａに、所望するサイズの露光スポットを形成するようになっている。
【００６９】
そして、マイクロレンズ４３の出射面４３ａは、凹部４０の底面４０ａから曲面形状に形成されている。つまり、マイクロレンズ４３は、光取出し面３０ｂから、距離Ｈｄ分だけ有機ＥＬ層Ｏｅ側に近接されている。
【００７０】
従って、図５に示すように、光軸Ａ上の有機ＥＬ層Ｏｅからマイクロレンズ４３の直径に対して張る角度、すなわち開口角θ１は、同マイクロレンズ４３を光取出し面３０ｂ上に形成したとき（図５に示す２点鎖線４３ｉ）の開口角θ２に比べ、距離Ｈｄ分だけ増加する。そして、有機ＥＬ層Ｏｅから所定の波長領域の光が発光されると、マイクロレンズ４３は、その開口角θ１に相対する光量の光を集光し、感光層１６ａ上に出射して同感光層１６ａを露光する。その結果、マイクロレンズ４３は、その開口角θ１を増加した分だけ、感光層１６ａを露光するための光量を増加する。
【００７１】
（露光ヘッドの製造方法）
次に、露光ヘッド２０の製造方法について以下に説明する。図６及び図７は、凹部４０の形成方法を説明する説明図である。
図６に示すように、まず、ガラス基板３０の光取出し面３０ｂ全面に、サンドブラスト用のマスク剤Ｍｋを塗布する。次に、同マスク剤Ｍｋに、前記光軸Ａを中心として、内径が第２整合半径Ｒ２となる円形孔Ｍｈをパターニングする。続いて、公知のサンドブラスト装置によって、無機酸化物等のサンドＳｂを光取出し面３０ｂに向かって吹きつけ、円
形孔Ｍｈ内の光取出し面３０ｂ（ガラス基板３０）を所定の深さ（距離Ｈｄ）まで削り取る。そして、光取出し面３０ｂ上からマスク剤Ｍｋを除去する。これによって、図７に示すように、光取出し面３０ｂに、内径が第２整合半径Ｒ２であって、深さが距離Ｈｄからなる円形孔（凹部４０）を形成する。
【００７２】
凹部４０を形成すると、続いて、発光素子形成面３０ａ上に画素３４を形成する。図８は、画素３４の形成方法を説明する説明図である。
まず、発光素子形成面３０ａ全面に、ジシラン等を原料ガスにするＣＶＤ法等によってアモルファスシリコン膜を堆積する。次に、エキシマレーザ等によって同アモルファスシリコン膜に紫外光を照射し、発光素子形成面３０ａ全面に結晶化したポリシリコン膜を形成する。続いて、フォトリソグラフィ法及びエッチング法等によって同ポリシリコン膜をパターニングし、各凹部４０に対応するチャンネル膜Ｂを形成する。
【００７３】
チャンネル膜Ｂを形成すると、シラン等を原料ガスにするＣＶＤ法等によってチャンネル膜Ｂ及び発光素子形成面３０ａの上側全面にシリコン酸化膜等を堆積してゲート絶縁膜Ｄ０を形成する。ゲート絶縁膜Ｄ０を形成すると、スパッタ法等によって同ゲート絶縁膜Ｄ０の上側全面にタンタル等の低抵抗金属膜を堆積し、同低抵抗金属膜をパターニングすることによって、ゲート絶縁膜Ｄ０の上側にゲート電極Ｐｇを形成する。ゲート電極Ｐｇを形成すると、同ゲート電極Ｐｇをマスクにしたイオンドーピング法によって、チャンネル膜Ｂにｎ型領域（ソース領域及びドレイン領域）を形成する。続いて、スパッタ法等によってゲート電極Ｐｇ及びゲート絶縁膜Ｄ０の上側全面にＩＴＯ等の光透過性を有する透明導電膜を堆積し、同透明導電膜をパターニングすることによって、ゲート電極Ｐｇの上側にゲート配線Ｍ１を形成する。
【００７４】
ゲート配線Ｍ１を形成すると、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）等を原料にするＣＶＤ法によってゲート配線Ｍ１及びゲート絶縁膜Ｄ０の上側全面にシリコン酸化膜等を堆積して第１層間絶縁膜Ｄ１を形成する。第１層間絶縁膜Ｄ１を形成すると、フォトリソグラフィ法やエッチング法等によって、ソース領域及びドレイン領域から鉛直方向Ｚに沿って第１層間絶縁膜Ｄ１の上側までを開放する一対の円形孔（コンタクトホールＨ１，Ｈ２）を形成する。コンタクトホールＨ１，Ｈ２を形成すると、スパッタ法等によって同コンタクトホールＨ１，Ｈ２内を金属シリサイド等で埋め込みながら第１層間絶縁膜Ｄ１の上側全面に金属膜を堆積する。そして、エッチング法等によって同コンタクトホールＨ１，Ｈ２内以外の金属膜を除去し、ソースコンタクトＳｃ及びドレインコンタクトＤｃを形成する。
【００７５】
各コンタクトＳｃ，Ｄｃを形成すると、スパッタ法等によって同コンタクトＳｃ，Ｄｃ及び第１層間絶縁膜Ｄ１の上側全面にアルミニウム等の金属膜を堆積し、同金属膜をパターニングして各コンタクトＳｃ，Ｄｃに接続する電源線Ｍ２ｓ及び陽極線Ｍ２ｄを形成する。次に、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）等を原料にするＣＶＤ法によって、これら電源線Ｍ２ｓ、陽極線Ｍ２ｄ及び第１層間絶縁膜Ｄ１の上側全面にシリコン酸化膜等を堆積して第２層間絶縁膜Ｄ２を形成する。続いて、フォトリソグラフィ法やエッチング法等によって、陽極線Ｍ２ｄの一部から鉛直方向Ｚに沿って第２層間絶縁膜Ｄ２の上側まで開放する円形孔（ビアホールＨｖ）を形成する。ビアホールＨｖを形成すると、スパッタ法等によって、同ビアホールＨｖ内を埋め込みながら第２層間絶縁膜Ｄ２の上側全面にＩＴＯ等の光透過性を有する透明導電膜を堆積する。そして、この透明導電膜をパターニングして、凹部４０と相対向する位置周辺にビアホールＨｖを介して陽極線Ｍ２ｄと接続する陽極Ｐｃを形成する。
【００７６】
陽極Ｐｃを形成すると、同陽極Ｐｃ上であって凹部４０と相対向する位置にレジスト等のマスクを形成して、同陽極Ｐｃ及び第２層間絶縁膜Ｄ２の上側全面に感光性ポリイミド
やアクリル等の樹脂膜を堆積する。そして、前記レジスト等を剥離して、第１整合半径Ｒ１を有する隔壁Ｄ３ａを備えた第３層間絶縁膜Ｄ３を形成する。次に、第３層間絶縁膜Ｄ３を形成すると、インクジェット法等によって、隔壁Ｄ３ａに囲まれた陽極Ｐｃ上に正孔輸送層の構成材料の液滴を噴射し、その構成材料を乾燥及び固化することによって正孔輸送層を形成する。さらに、インクジェット法等によって、同正孔輸送層上に発光層の構成材料の液滴を噴射し、その構成材料を乾燥及び固化することによって発光層を形成する。これによって、内径を第１整合半径Ｒ１にする正孔輸送層と発光層とを備えた有機ＥＬ層Ｏｅを形成する。
【００７７】
有機ＥＬ層Ｏｅを形成すると、スパッタ法等によって、同有機ＥＬ層Ｏｅ及び第３層間絶縁膜Ｄ３の上側全面にアルミニウム等の金属膜を堆積して陰極Ｐａを形成する。陰極Ｐａを形成すると、ＣＶＤ法等によって、陰極Ｐａの上側全面に樹脂等のコーティング材を堆積して封止部Ｐ１を形成する。これによって、図８に示すように、発光素子形成面３０ａ上であって凹部４０と相対向する位置に、発光素子３３を備えた画素３４を形成する。
【００７８】
画素３４を形成すると、続いて、凹部４０内にマイクロレンズ４３を形成する。図９及び図１０は、マイクロレンズ４３の形成方法を説明する説明図である。
まず、隔壁４１を形成する。図９に示すように、凹部４０内に、その底面４０ａの全体にレジスト等によって形成層５０を形成する。次に、形成層５０及び発光素子形成面３０ａの上側全体に、樹脂又は金属等からなるマスク５１を形成する。マスク５１には、各凹部４０に対応する露光用円形孔５２がそれぞれ貫通形成されている。露光用円形孔５２は、その内径が第１整合半径Ｒ１にて形成されていて、その中心軸が有機ＥＬ層Ｏｅの中心軸と一致するようになっている。そして、露光用円形孔５２を介して形成層５０を露光し、エッチングして同形成層５０に有機ＥＬ層Ｏｅに相対向する位置に第１整合半径Ｒ１の前記円形孔４２を形成する。これによって、各凹部４０内には、各形成層５０によって、円形孔４２を備えた隔壁４１がそれぞれ形成される。そして、マスク５１は、隔壁４１が形成されると、形成層５０から除去される。
【００７９】
次に、このように形成された隔壁４１の円形孔４２内に、液体噴射装置によってマイクロレンズ４３を形成する。以下、マイクロレンズ４３を形成するための液体噴射装置の構成について説明する。
【００８０】
図１０に示すように、マイクロレンズ４３を形成する際には、ガラス基板３０の光取出し面３０ｂの上側に、液体噴射装置を構成する液体噴射ヘッド５５が配置される。液体噴射ヘッド５５は、その基体５６には、その下側（光取出し面３０ｂ側）にノズルプレート５７が設けられている。ノズルプレート５７のノズル形成面５７ａ（光取出し面３０ｂと相対向する面）には、複数のノズルＮが鉛直方向Ｚに沿って形成されている。各ノズルＮは、基体５６に形成された複数の供給室５８にそれぞれ連通し、図示しない収容タンクから各供給室５８を介して、紫外線硬化性樹脂Ｐｕがそれぞれ供給されるようになっている。基体５６の上側には、各供給室５８に相対向するように振動板５９が配設されている。振動板５９は、鉛直方向Ｚに沿って往復振動して供給室５８内の容積を拡大縮小するようになっている。振動板５９の上側であって各供給室５８と相対向する位置には、それぞれ鉛直方向Ｚに沿って伸縮動して振動板５９を振動させる圧電素子６０が配設されている。
【００８１】
圧電素子６０は、図示しない駆動回路から入力される駆動信号に応じて伸縮動し、振動板５９を介して供給室５８の容積を拡大縮小する。そして、供給室５８の容積を縮小することで、縮小した容積分の紫外線硬化性樹脂Ｐｕを、各ノズルＮから液滴Ｄｓとして噴射させ、反対に、供給室５８の容積を拡大することで、拡大した容積分の紫外線硬化性樹脂Ｐｕを前記収容タンクから供給室５８内に供給させる。つまり、液体噴射ヘッド５５は、駆動信号に応じて、所定の容量の紫外線硬化性樹脂Ｐｕを各ノズルＮから噴射するように
なっている。そして、このように構成された液体噴射ヘッド５５に対して、ガラス基板３０は、光取出し面３０ｂをノズル形成面５７ａと平行にし、かつ各凹部４０内の隔壁４１の円形孔４２を、その中心軸がそれぞれノズルＮの中心軸と一致するように位置決めされる。
【００８２】
次に、上記した液体噴射装置によるマイクロレンズ４３の形成方法について説明する。
まず、液体噴射ヘッド５５にマイクロレンズ４３を形成するため駆動信号を駆動回路（図示しない）から入力する。そして、図１０に示すように、液体噴射ヘッド５５の各ノズルＮから液滴Ｄｓを、対応する凹部４０の隔壁４１の円形孔４２内に噴射させる。円形孔４２内に噴射された紫外線硬化性樹脂Ｐｕは、その表面張力等によって曲面を備えた凸形状に凝集する。
【００８３】
そして、円形孔４２内に所定の容量の紫外線硬化性樹脂Ｐｕを噴射すると、同円形孔４２内に向かって紫外光を照射し、円形孔４２内に凝集する紫外線硬化性樹脂Ｐｕを硬化する。これによって、開口径を第１整合半径Ｒ１として凸型状の出射面４３ａを備えるマイクロレンズ４３が、ガラス基板３０を介して発光素子３３（有機ＥＬ層Ｏｅ）に相対向して凹部４０内に形成される。
【００８４】
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）本実施形態によれば、ガラス基板３０の光取出し面３０ｂに、有機ＥＬ層Ｏｅの内径の第１整合半径Ｒ１より大きい幅を有するように第２整合半径Ｒ２の凹部４０を形成し、同凹部４０内にレジスト等によって隔壁４１を形成した。そして、この隔壁４１に、第２整合半径Ｒ２よりも小さい第１整合半径Ｒ１の内径を有する円形孔４２を形成した後に、同円形孔４２内にマイクロレンズ４３を形成した。このように、凹部４０内に形成の自由度の高いレジスト（形成層５０）等によって隔壁４１を形成し、その円形孔４２にマイクロレンズ４３を形成することで、凹部４０の半径の大きさによることなく、所望の開口径（第１整合半径Ｒ１）を有したマイクロレンズ４３を正確に形成することができる。換言すれば、ガラス基板３０に形成される凹部４０の大きさの制限を軽減することができるので、その製造工程の負荷を軽減することができる。この結果、信頼性の高い露光ヘッド２０を容易に製造することができ、この露光ヘッド２０を備えたプリンタ１０の信頼性を向上することができる。
【００８５】
（２）本実施形態では、隔壁４１の円形孔４２を発光素子３３に対して中心軸が一致するように形成し、その円形孔４２内にマイクロレンズ４３を形成した。隔壁４１は、レジスト（形成層５０）等の形成の自由度が高い部材から構成されるので、円形孔４２の加工が容易である。従って、ガラス基板３０に第１整合半径Ｒ１の内径を有する凹部４０を形成し、そこに直接にマイクロレンズ４３を形成する場合や、レプリカ法等によって形成されたマイクロレンズを凹部４０内に取付ける場合に比べて、容易かつ正確にマイクロレンズ４３を形成することができる。従って、発光素子３３に対するマイクロレンズ４３の位置精度を向上させることができ、露光ヘッド２０（プリンタ１０）は、感光層１６ａを露光するための光量のバラツキを低減して、かつ発光素子３３から発光された光の取出し効率を向上することができる。
【００８６】
（３）本実施形態によれば、ガラス基板３０に形成した凹部４０内の隔壁４１の円形孔４２にマイクロレンズ４３を形成した。そして、マイクロレンズ４３の開口角θ１が、同マイクロレンズ４３を光取出し面３０ｂ上に形成したときの開口角θ２に比べ、距離Ｈｄ分だけ増加するようにした。
【００８７】
従って、露光ヘッド２０（プリンタ１０）は、感光層１６ａを露光するための光量を距離Ｈｄ分だけ増加することができ、発光素子３３から発光された光の取出し効率を向上す
ることができる。
【００８８】
しかも、ガラス基板３０の厚さを薄くしないで凹部４０を形成し、その凹部４０内にマイクロレンズ４３を形成したので、その分だけガラス基板３０を厚くでき、ガラス基板３０の機械的強度を強く保つことができる。
【００８９】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、隔壁４１の形状を円環状に形成したが、これに限らず、マイクロレンズ４３の発光素子３３に対しての位置精度が確保できれば、適宜変更してもよい。
・上記実施形態では、透明基板をガラス基板３０として具体化したが、これに限らず、例えばポリイミド等のプラスチック基板であってもよく、有機ＥＬ層Ｏｅから発光された光を透過する透明基板であればよい。
・上記実施形態では、ガラス基板３０に画素３４を形成したが、この限りではなく、別途設けた透明基板に画素３４を形成した後、同透明基板をガラス基板３０に取付けてもよい。
・上記実施形態では、凹部４０の形状を円形孔として具体化したが、これに限らず、凹部４０内に隔壁４１を形成することができれば、その形状を適宜変更してもよい。
・上記実施形態では、マイクロレンズ４３を液体噴射装置によって形成する構成にしたが、これに限らず、例えばレプリカ法等によって形成したマイクロレンズ４３を凹部４０内の隔壁４１の円形孔４２に取付ける構成にしてもよい。
・上記実施形態では、凹部４０をサンドブラスト法によって形成した。これに限らず、凹部４０を形成する方法は、例えば、エキシマレーザやフェムト秒レーザ等によるレーザ加工であってもよく、発光素子３３と相対向する位置に凹部４０を形成できる方法であれば特に限定されるものではない。
・上記実施形態では、凹部４０を形成した後にサンドブラスト用のマスク剤Ｍｋを除去するようにした。これを変更して、同マスク剤Ｍｋを除去すること無く、光取出し面３０ｂ上に残す構成にしてもよい。
・上記実施形態では、隔壁４１の内径及びマイクロレンズ４３の開口径をそれぞれ第１整合半径Ｒ１に整合した。これに限らず、例えば各内径及び開口径が異なる大きさで形成されてもよく、マイクロレンズ４３の周辺部における結像性能を劣化させることなく、有機ＥＬ層Ｏｅから発光された光を集光して光取出し面３０ｂ側に所望するサイズの露光スポットを形成するものであればよい。
・上記実施形態では、マイクロレンズ４３を、紫外線硬化性樹脂Ｐｕの表面張力によって曲面形状を形成するようにした。これに限らず、例えば隔壁４１を、撥液性部材としてフッ素系樹脂等の撥液性を有するレジスト等によって形成し、円形孔４２内に噴射された紫外線硬化性樹脂Ｐｕが曲面形状を形成するようにしてもよい。また、例えば隔壁４１の表面に撥液性材料を塗付、又はＣＦ４プラズマ処理等の表面処理を行って円形孔４２内に噴射された紫外線硬化性樹脂Ｐｕが曲面形状を形成するようにしてもよい。
・上記実施形態では、マイクロレンズ４３を凸レンズとして具体化したが、これに限らず例えば凹レンズとして具体化してもよい。
・上記実施形態では、マイクロレンズ４３を紫外線硬化性樹脂Ｐｕによって形成する構成にしたが、これに限らず、熱硬化性樹脂等で形成してもよい。
・上記実施形態では、各画素３４に対してＴＦＴ３２を１個備える構成にしたが、これに限らず、例えば、２個以上備える構成にしてもよく、あるいはＴＦＴ３２をガラス基板３０に備えない構成にしてもよい。
・上記実施形態では、電気光学装置を露光ヘッド２０として具体化したが、これに限らず、例えば液晶パネルに装着されるバックライト等であってもよく、あるいは平面状の電子放出素子を備え、同素子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型ディスプレイ（ＦＥＤやＳＥＤ等）であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明を具体化した画像形成装置の構成を示す概略側断面図。
【図２】画像形成装置の露光ヘッドの構成を示す概略平面図。
【図３】同じく、露光ヘッドの構成を示す概略正断面図。
【図４】同じく、露光ヘッドの構成を示す拡大断面図。
【図５】同じく、露光ヘッドのマイクロレンズの作用を説明する断面図。
【図６】同じく、露光ヘッドの製造工程を説明する説明図。
【図７】同じく、露光ヘッドの製造工程を説明する説明図。
【図８】同じく、露光ヘッドの製造工程を説明する説明図。
【図９】同じく、露光ヘッドの製造工程を説明する説明図。
【図１０】液体噴射装置によるマイクロレンズの形成方法を説明する説明図。
【符号の説明】
【００９１】
１０…画像形成装置としてのプリンタ、１５…転写媒体としての中間転写ベルト、１６…像担持体としての感光ドラム、１７…帯電手段としての帯電ローラ、２０…露光手段を構成する電気光学装置としての有機ＥＬアレイ露光ヘッド、２１…現像手段としてのトナーカートリッジ、２２…転写手段を構成する一転写ローラ、２６…転写手段を構成する二次転写ローラ、３０…透明基板としてのガラス基板、３０ａ…光入射面としての発光素子形成面、３０ｂ…光取出し面、３３…光源としての発光素子、４０…凹部、４１…位置決め部としての隔壁、４２…円形孔、４３…マイクロレンズ、４５…液体噴射装置を構成する液体噴射ヘッド、Ｄｓ…液滴、Ｏｅ…発光層及びＥＬ層としての有機ＥＬ層、Ｐａ…背面電極としての陰極、Ｐｃ…透明電極としての陽極、Ｒ１…マイクロレンズの直径を構成する第１整合半径、Ｒ２…幅としての第２整合半径、Ｔ…着色粒子としてのトナー、Ｘ…一方向としての主走査方向。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明基板、透明基板の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子写真方式を用いた画像形成装置には、像担持体としての感光ドラムを露光して潜像を形成する電気光学装置としての露光ヘッドが利用されている。近年では、この露光ヘッドの薄型化と軽量化を図るために、露光ヘッドの発光源として発光素子としての有機エレクトロルミネッセンス素子（有機ＥＬ素子）を用いるものが提案されている。
【０００３】
なかでも、こうした有機ＥＬ素子が、構成材料の選択幅を広くできる利便性から、この種の露光ヘッドにおいては、透明基板の一側面（発光素子形成面）上に有機ＥＬ層を形成し、同有機ＥＬ層において、発光した光を発光素子形成面と相対向する他側面（光取出し面）から取り出す、いわゆるボトムエミッション構造が採用されている。
【０００４】
ボトムエミッション構造では、光取出し面と有機ＥＬ層との間に、同有機ＥＬ層を発光させるための各種配線等が形成される。このため、有機ＥＬ素子の開口率が低下し、露光ヘッドの光取出し効率を低下させる問題があった。
【０００５】
そこで、有機ＥＬ素子を備えた露光ヘッドでは、こうした光の取出し効率を向上するために、有機ＥＬ層から発光された光を集光して結像するレンズ、いわゆるマイクロレンズを光取出し面上に設ける提案がなされている（例えば、特許文献１）。特許文献１では、光取出し面に光吸収性樹脂を塗布してパターニングを行い、有機ＥＬ素子と相対向する位置に、同光吸収性樹脂を内側壁とする孔を設けている。そして、同孔内に紫外線硬化性樹脂を噴射して、有機ＥＬ素子と相対向する位置にマイクロレンズを形成している。
【特許文献１】特開平２００３−２９１４０４号広報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、発光素子形成面上に有機ＥＬ素子を形成し、光取出し面上にマイクロレンズを形成するため、以下の問題を生じる。
すなわち、マイクロレンズは、常に透明基板の厚さに相対する距離だけ有機ＥＬ素子（有機ＥＬ層）から離間して形成される。換言すれば、有機ＥＬ素子に対するマイクロレンズの開口角が、常に透明基板の厚さ分だけ小さくなり、マイクロレンズによる光の光取出し効率が低下する。
【０００７】
このため、光取出し効率を確保するために、透明基板の厚さを薄くすることが考えられるが、このようにした場合、透明基板の機械的強度が不足し有機ＥＬ素子の形成時や露光ヘッドの組立て時等に、破損等を招く虞がある。
【０００８】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、発光素子から発光された光の取出し効率を向上し、さらに形成されるマイクロレンズの発光素子に対する位置精度を向上した透明基板、透明基板の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び画像形成装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の透明基板は、光源から照射される光を、光入射面側から入射し、光取出し面側に設けたマイクロレンズを介して出射する透明基板において、前記光取出し面側に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成するとともに、同凹部内に前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を設け、その位置決め部内に前記マイクロレンズを形成した。
【００１０】
本発明の透明基板によれば、マイクロレンズは、同マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部内に設けられるため、マイクロレンズの形成の作業が容易となり製造工程の負荷を軽減することができる。さらに、凹部を形成した分だけ、マイクロレンズを光入射面側に形成することができ、光入射面に対するマイクロレンズの開口角を大きくすることができる。その結果、光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。また、凹部を形成した分だけ、凹部以外の透明基板の厚さを厚くすることによって、同透明基板の機械的強度の劣化を補うことができる。さらに、マイクロレンズは、位置決め部によって光源に対して正確に位置決めされることで、より光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００１１】
この透明基板において、前記位置決め部は、前記光源に相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を備え、同円形孔内に同マイクロレンズを形成した。
【００１２】
この透明基板によれば、位置決め部の円形孔がマイクロレンズの直径と相対する内径を備えるため、光取出し面に形成する凹部のサイズによらずに、正確にマイクロレンズが形成される。従って、マイクロレンズは、より正確に発光素子に対して位置決めされるので、発光素子から発光された光の利用効率をより向上することができる。
【００１３】
この透明基板において、前記マイクロレンズは、凸形状のレンズである。
【００１４】
この透明基板によれば、マイクロレンズが凸形状のレンズで形成されるため、光入射面から入射した光をマイクロレンズによって集光する効率を向上することができる。
【００１５】
本発明の透明基板の製造方法は、光源から照射される光を、光入射面側から入射し、光取出し面側に設けられるマイクロレンズを介して出射する透明基板の製造方法において、前記光取出し面に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成し、前記凹部内に、前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を形成し、液体噴射装置からレンズ形成樹脂の液滴を前記環状の位置決め部内に噴出した後に、同位置決め部内において、同レンズ形成樹脂を固化させて前記マイクロレンズを形成する。
【００１６】
本発明の透明基板の製造方法によれば、マイクロレンズを、同マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部内に形成するため、マイクロレンズの形成の作業が容易となり製造工程の負荷を軽減することができる。さらに、位置決め部によってマイクロレンズを位置決めさせることで、凹部の大きさによることなく、凹部内にマイクロレンズを正確に形成することができる。従って、マイクロレンズを光源に対して正確に位置決めして形成できるので、形成される透明基板は、より光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００１７】
この透明基板の製造方法において、前記位置決め部の表面に前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する表面処理をした後に、前記液体噴射装置から同液滴を同位置決め部内に噴射する。
【００１８】
この透明基板の製造方法によれば、位置決め部の表面に、例えば撥液性材料を塗付、又
はＣＦ４プラズマ処理等の表面処理を行う。これによって、位置決め部内に噴射される液滴は、位置決め部の表面によって撥液されるので、液滴は自身の表面張力によってその表面を曲面形状に形成する。従って、この液滴が固化されて形成されるレンズの表面は、より曲面形状となるので集光性が向上する。即ち、形成される透明基板は、より光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００１９】
この透明基板の製造方法において、前記位置決め部は、前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する撥液性部材から構成した。
【００２０】
この透明基板の製造方法によれば、位置決め部は、例えば、フッ素系樹脂等の撥液性部材から構成される。これによって、位置決め部内に噴射される液滴は、位置決め部の表面によって撥液されるので、液滴は自身の表面張力によってその表面を曲面形状に形成する。従って、この液滴が固化されて形成されるレンズの表面は、より曲面形状となるので集光性が向上する。即ち、形成される透明基板は、より光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００２１】
本発明の電気光学装置は、透明基板の発光素子形成面に形成された発光素子から発光された光を、同発光素子形成面と相対向する光取出し面側に設けられたマイクロレンズを介して出射する電気光学装置において、前記光取出し面側に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成するとともに、同凹部内に前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を設け、その位置決め部内に前記マイクロレンズを形成した。
【００２２】
本発明の電気光学装置によれば、マイクロレンズは、同マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部内に設けられるため、マイクロレンズの取付けの作業が容易となる。さらに、凹部を形成した分だけ、マイクロレンズを発光素子形成面側に形成することができ、発光素子形成面に対するマイクロレンズの開口角を大きくすることができる。その結果、発光素子形成面から入射した光の利用効率を向上することができる。また、凹部を形成した分だけ、凹部以外の透明基板の厚さを厚くすることによって、同透明基板の機械的強度の劣化を補うことができる。さらに、凹部内に設けられるマイクロレンズは、位置決め部によって位置決めされることで、光源に対して正確に位置決めされるので、この電気光学装置は、より発光素子形成面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００２３】
この電気光学装置において、前記位置決め部は、前記発光素子に相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を備え、同円形孔内に同マイクロレンズを形成した。
【００２４】
この電気光学装置によれば、位置決め部の円形孔がマイクロレンズの直径と相対する内径を備えるため、光取出し面に形成する凹部のサイズによらずに、正確にマイクロレンズが形成される。従って、マイクロレンズはより正確に発光素子に対して位置決めされるので、発光素子面から入射した光の利用効率をより向上することができる。
【００２５】
この電気光学装置において、前記発光素子は、前記光取出し面側に形成した透明電極と、前記透明電極と相対して形成した背面電極と、前記透明電極と前記背面電極との間に形成した発光層とを備えたエレクトロルミネッセンス素子である。
【００２６】
この電気光学装置によれば、エレクトロルミネッセンス素子を備えた電気光学装置の光の利用効率を向上することができる。
【００２７】
この電気光学装置において、前記発光層は、有機材料で形成され、前記エレクトロルミネッセンス素子は、有機エレクトロルミネッセンス素子である。
【００２８】
この電気光学装置によれば、有機エレクトロルミネッセンス素子を備えた電気光学装置の光の利用効率を向上することができる。
【００２９】
この電気光学装置において、複数の前記発光素子を前記発光素子形成面の一方向に沿って配列された前記凹部内にそれぞれ形成した。
【００３０】
この電気光学装置によれば、一方向に沿って配列された発光素子の各々に対応して形成されるマイクロレンズが、発光素子から発光された光の利用効率を向上することができる。
【００３１】
この電気光学装置において、前記マイクロレンズは、凸形状のレンズであって、前記発光素子から発光された光を集光して前記光取出し面から出射する。
【００３２】
この電気光学装置によれば、マイクロレンズが凸形状のレンズで形成されるため、集光機構などを介することなく、透明基板に形成したマイクロレンズによって集光することができる。従って、発光素子から発光された光の集光する効率を向上することができる。
【００３３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、透明基板の発光素子形成面に形成された発光素子から発光された光を、同発光素子形成面と相対向する光取出し面側に設けられるマイクロレンズを介して出射する電気光学装置の製造方法において、前記光取出し面に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成し、前記凹部内に、前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を形成し、液体噴射装置からレンズ形成樹脂の液滴を前記環状の位置決め部内に噴出した後に、同位置決め部内において、同レンズ形成樹脂を固化させて前記マイクロレンズを形成する。
【００３４】
本発明の電気光学装置の製造方法によれば、マイクロレンズを、同マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部内に形成するため、マイクロレンズの形成の作業が容易となり製造工程の負荷を軽減することができる。さらに、位置決め部によって位置決めさせることで、凹部の大きさによることなく、凹部内にマイクロレンズを正確に形成することができる。従って、マイクロレンズを光源に対して正確に位置決めして形成できるので、電気光学装置は、より光入射面から入射した光の利用効率を向上することができる。
【００３５】
この電気光学装置の製造方法において、前記位置決め部に、前記発光素子と相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を形成し、前記円形孔内に前記液体噴射装置から液滴を噴出することによって前記マイクロレンズを形成する。
【００３６】
この電気光学装置の製造方法によれば、マイクロレンズは、液体噴射装置の円形孔に噴射する液体によって形成されるため、例えば、レプリカ法等によって形成したマイクロレンズを凹部内取付ける場合に比べ、その製造工程等を軽減することができる。しかも、円形孔のサイズに相対するマイクロレンズを凹部内に確実に形成することができる。その結果、発光素子から発光された光の利用効率と電気光学装置の生産性を向上することができる。
【００３７】
この電気光学装置の製造方法において、前記位置決め部の表面に前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する表面処理をした後に、前記液体噴射装置から同液滴を同位置決め部内に噴射する。
【００３８】
この電気光学装置の製造方法によれば、位置決め部の表面に、例えば撥液性材料を塗付、又はＣＦ４プラズマ処理等の表面処理を行う。これによって、位置決め部内に噴射され
る液滴は、位置決め部の表面によって撥液されるので、液滴は自身の表面張力によってその表面を曲面形状に形成する。従って、この液滴が固化されて形成されるレンズの表面は、より曲面形状となるので集光性が向上する。即ち、本発明の電気光学装置は、発光素子から発光された光の利用効率をより向上することができる。
【００３９】
この電気光学装置の製造方法において、前記位置決め部は、前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する撥液性部材から構成した。
【００４０】
この電気光学装置の製造方法によれば、位置決め部は、例えば、フッ素系樹脂等の撥液性部材から構成される。これによって、位置決め部内に噴射される液滴は、位置決め部の表面によって撥液されるので、液滴は自身の表面張力によってその表面を曲面形状に形成する。従って、この液滴が固化されて形成されるレンズの表面は、より曲面形状となるので集光性が向上する。即ち、本発明の電気光学装置は、発光素子から発光された光の利用効率をより向上することができる。
【００４１】
本発明の画像成形装置は、帯電手段によって帯電された像担持体の外周面を露光して潜像を形成する露光手段と、前記潜像に対して着色粒子を供給して顕像を現像する現像手段と、前記顕像を転写媒体に転写する転写手段とを備えた画像形成装置において、前記露光手段は、上記する電気光学装置を備えた。
【００４２】
本発明の画像成形装置によれば、帯電した像担持体を露光する露光手段が上記電気光学装置を備えるようになる。従って、画像形成装置の露光における光の利用効率を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図１０に従って説明する。図１は、画像形成装置としての電子写真方式プリンタを示す概略側断面図である。
（電子写真方式プリンタ）
図１に示すように、電子写真方式プリンタ１０（以下単に、プリンタ１０という。）は、箱体状に形成される筐体１１を備えている。その筐体１１内には、駆動ローラ１２、従動ローラ１３及びテンションローラ１４が設けられ、各ローラ１２〜１４に対して転写媒体としての中間転写ベルト１５が張設されている。そして、駆動ローラ１２の回転によって、中間転写ベルト１５は、図１における矢印方向に循環駆動可能に備えられている。
【００４４】
中間転写ベルト１５の上方には、４体の像担持体としての感光ドラム１６が、中間転写ベルト１５の張設方向（副走査方向Ｙ）に回転可能に併設されている。その感光ドラム１６の外周面には、光導電性を有する感光層１６ａ（図４参照）が形成されている。感光層１６ａは、暗中でプラス又はマイナスの電荷を帯電し、所定の波長領域からなる光を照射されると、照射された部位の電荷が消失されるようになっている。すなわち、電子写真方式プリンタ１０は、これら４体の感光ドラム１６によって構成されるタンデム式のプリンタである。
【００４５】
各感光ドラム１６の周囲には、それぞれ帯電手段としての帯電ローラ１７、露光手段を構成する電気光学装置としての有機エレクロトルミネッセンスアレイ露光ヘッド２０（以下単に、露光ヘッド２０という。）、現像手段としてのトナーカートリッジ２１、転写手段を構成する一次転写ローラ２２及びクリーニング手段２３が配設されている。
【００４６】
帯電ローラ１７は、感光ドラム１６に密着する半導電性のゴムローラである。この帯電ローラ１７に直流電圧を印加して感光ドラム１６を回転すると、感光ドラム１６の感光層１６ａが、全周面にわたり所定の帯電電位に帯電するようになっている。
【００４７】
露光ヘッド２０は、所定の波長領域の光を出射する光源であって、図２に示すように、長尺板状に形成されている。その露光ヘッド２０は、その長手方向を感光ドラム１６の軸方向（図１において紙面に直交する方向：主走査方向Ｘ）と平行にして、感光層１６ａから所定の距離だけ離間した位置に位置決めされている。そして、露光ヘッド２０が印刷データに基づく光を鉛直方向Ｚ（図１参照）に出射して感光ドラム１６が回転方向Ｒｏに回転すると、感光層１６ａが、所定の波長領域の光に露光される。すると、感光層１６ａは、露光された部位（露光スポット）の電荷を消失して、その外周面に静電的な画像（静電潜像）を形成する。ちなみに、この露光ヘッド２０の露光する光の波長領域は、感光層１６ａの分光感度と整合した波長領域である。つまり、露光ヘッド２０の露光する光の発光エネルギーのピーク波長は、前記感光層１６ａの分光感度のピーク波長と略一致するようになっている。
【００４８】
トナーカートリッジ２１は、箱体形状に形成されて、その内部に直径１０μｍ程度の着色粒子としてのトナーＴを収容する。なお、本実施形態における４体のトナーカートリッジ２１には、それぞれ対応する４色（黒、シアン、マゼンタ及びイエロ）のトナーＴが収容されている。そのトナーカートリッジ２１には、感光ドラム１６側から順に、現像ローラ２１ａと供給ローラ２１ｂが備えられている。供給ローラ２１ｂは、回転することによって、トナーＴを現像ローラ２１ａまで搬送するようになっている。現像ローラ２１ａは、供給ローラ２１ｂとの摩擦等によって、同供給ローラ２１ｂの搬送したトナーＴを帯電させるとともに、帯電したトナーＴを同現像ローラ２１ａの外周面に均一に付着するようになっている。
【００４９】
そして、感光ドラム１６に前記帯電電位と略等しいバイアス電位を印加した状態で、供給ローラ２１ｂ及び現像ローラ２１ａを回転する。すると、感光ドラム１６は、前記露光スポットと現像ローラ２１ａ（トナーＴ）との間に、前記バイアス電位に相対する静電吸着力を付与する。静電吸着力を受けたトナーＴは、同現像ローラ２１ａの外周面から前記露光スポットに移動して吸着する。これによって、各感光ドラム１６（各感光層１６ａ）の外周面には、それぞれ静電潜像に対応した単色の可視像（顕像）が形成される（現像される）。
【００５０】
中間転写ベルト１５の内側面１５ａであって前記各感光ドラム１６と対峙する位置には、それぞれ一次転写ローラ２２が設けられている。一次転写ローラ２２は、導電性ローラであって、その外周面が中間転写ベルト１５の内側面１５ａに密着しながら回転する。この一次転写ローラ２２に直流電圧を印加して感光ドラム１６及び中間転写ベルト１５を回転すると、感光層１６ａに吸着したトナーＴが、一次転写ローラ２２側への静電吸着力よって中間転写ベルト１５の外側面１５ｂに順次移動して吸着するようになっている。すなわち、一次転写ローラ２２は、感光ドラム１６に形成した顕像を中間転写ベルト１５の外側面１５ｂに一次転写する。そして、中間転写ベルト１５の外側面１５ｂは、各感光ドラム１６と一次転写ローラ２２によって、単色からなる顕像の一次転写を４回繰り返し、これらの顕像を重ね合わせることによってフルカラーの画像（トナー像）を得る。
【００５１】
クリーニング手段２３は、図示しないＬＥＤ等の光源とゴムブレードを備え、前記一次転写後の感光層１６ａに光を照射して帯電した感光層１６ａを除電するようになっている。そして、クリーニング手段２３は、除電した感光層１６ａに残留するトナーＴをゴムブレードによって機械的に除去する。
【００５２】
中間転写ベルト１５の下側には、記録用紙Ｐを収容した記録用紙カセット２４が配設されている。その記録用紙カセット２４の上側には、記録用紙Ｐを中間転写ベルト１５側に給紙する給紙ローラ２５が配設されている。その給紙ローラ２５の上側にあって駆動ロー
ラ１２と相対向する位置には、転写手段を構成する二次転写ローラ２６が配設されている。二次転写ローラ２６は、前記各一次転写ローラ２２と同じく導電性ローラであって、記録用紙Ｐの裏面を押圧し、同記録用紙Ｐの表面を中間転写ベルト１５の外側面１５ｂに接触させている。そして、この二次転写ローラ２６に直流電圧を印加して中間転写ベルト１５を回転すると、中間転写ベルト１５の外側面１５ｂに吸着したトナーＴが、記録用紙Ｐの表面上に順次移動して吸着する。すなわち、二次転写ローラ２６は、中間転写ベルト１５の外側面１５ｂに形成されたトナー像を記録用紙Ｐの表面上に二次転写する。
【００５３】
二次転写ローラ２６の上側には、熱源を内蔵するヒートローラ２７ａと同ヒートローラ２７ａを押圧する押圧ローラ２７ｂが配設されている。そして、二次転写後の記録用紙Ｐがヒートローラ２７ａと押圧ローラ２７ｂとの間に搬送されると、記録用紙Ｐ上に転写されたトナーＴが、加熱によって軟化し、記録用紙Ｐ内に浸透して固化する。これによって、記録用紙Ｐの表面にトナー像が定着する。トナー像を定着させた記録用紙Ｐは、排紙ローラ２８によって筐体１１の外側に排出されるようになっている。
【００５４】
従って、プリンタ１０は、帯電した感光層１６ａを露光ヘッド２０によって露光し、同感光層１６ａに静電潜像を形成する。次に、プリンタ１０は、感光層１６ａの静電潜像を現像して同感光層１６ａに単色の顕像を形成する。続いて、プリンタ１０は、感光層１６ａの顕像を中間転写ベルト１５上に順次一次転写して同中間転写ベルト１５上にフルカラーのトナー像を形成する。そして、プリンタ１０は、中間転写ベルト１５上のトナー像を記録用紙Ｐ上に二次転写し、加熱加圧によってトナー像を定着させて印刷を終了する。
【００５５】
次に、上記プリンタ１０に備えられた電気光学装置としての露光ヘッド２０について以下に説明する。図２及び図３は、それぞれ露光ヘッド２０を示す平面図及び正断面図である。図４は、図２に示す一点鎖線Ａ−Ａに沿った概略断面図である。
【００５６】
図２及び図３に示すように、露光ヘッド２０には、透明基板としてのガラス基板３０が備えられている。ガラス基板３０は、長尺状に形成された基板であって、その長手方向（主走査方向Ｘ）の幅が感光ドラム１６の軸方向の幅と略同じ大きさで形成されている。そして、本実施形態では、そのガラス基板３０について、上面（感光ドラム１６側と反対の面）を光入射面としての発光素子形成面３０ａとし、下面（感光ドラム１６側の面）を光取出し面３０ｂとしている。
【００５７】
まず、ガラス基板３０の発光素子形成面３０ａ側について以下に説明する。
図２及び３に示すように、ガラス基板３０の発光素子形成面３０ａには、千鳥格子状に２次元に配列された複数の画素形成領域３１が形成されている。各画素形成領域３１には、それぞれ薄膜トランジスタ３２（以下単に、ＴＦＴ３２という。）と光源としての発光素子３３とからなる画素３４が形成されている。ＴＦＴ３２は、印刷データに基づいて生成されたデータ信号によってオン状態となり、そのオン状態に基づいて、発光素子３３を発光するようになっている。
【００５８】
図４に示すように、ＴＦＴ３２は、その最下層にチャンネル膜Ｂを備えている。チャンネル膜Ｂは、発光素子形成面３０ａ上に形成される島状のｐ型ポリシリコン膜であって、図４における左右両側には、活性化した図示しないｎ型領域（ソース領域及びドレイン領域）を備えている。つまり、ＴＦＴ３２は、いわゆるポリシリコン形ＴＦＴである。
【００５９】
チャンネル膜Ｂの上側中央位置には、発光素子形成面３０ａ側から順に、ゲート絶縁膜Ｄ０、ゲート電極Ｐｇ及びゲート配線Ｍ１が形成されている。ゲート絶縁膜Ｄ０は、シリコン酸化膜等の光透過性を有する絶縁膜であって、発光素子形成面３０ａの略全面に堆積されている。ゲート電極Ｐｇは、タンタル等の低抵抗金属膜であって、チャンネル膜Ｂの
略中央位置に形成されている。ゲート配線Ｍ１は、ＩＴＯ等の光透過性を有する透明導電膜であって、ゲート電極Ｐｇと図示しないデータ線駆動回路とを電気的に接続している。そして、データ線駆動回路がゲート配線Ｍ１を介してゲート電極Ｐｇにデータ信号を入力すると、ＴＦＴ３２は、そのデータ信号に基づいたオン状態となる。
【００６０】
チャンネル膜Ｂであって前記ソース領域及びドレイン領域の上側には、鉛直方向Ｚに沿って上側に延びるソースコンタクトＳｃ及びドレインコンタクトＤｃが形成されている。各コンタクトＳｃ，Ｄｃは、チャンネル膜Ｂとのコンタクト抵抗を低くする金属シリサイド等の金属膜で形成されている。そして、これら各コンタクトＳｃ，Ｄｃ及びゲート電極Ｐｇ（ゲート配線Ｍ１）は、シリコン酸化膜等からなる第１層間絶縁膜Ｄ１によってそれぞれ電気的に絶縁されている。
【００６１】
各コンタクトＳｃ，コンタクトＤｃの上側には、それぞれアルミニウム等の低抵抗金属膜からなる電源線Ｍ２ｓ及び陽極線Ｍ２ｄが形成されている。電源線Ｍ２ｓは、ソースコンタクトＳｃと図示しない駆動電源とを電気的に接続している。陽極線Ｍ２ｄは、ドレインコンタクトＤｃと発光素子３３とを電気的に接続している。これら電源線Ｍ２ｓ及び陽極線Ｍ２ｄは、シリコン酸化膜等からなる第２層間絶縁膜Ｄ２によってそれぞれ電気的に絶縁されている。そして、ＴＦＴ３２がデータ信号に基づいたオン状態となると、そのデータ信号に応じた駆動電流が、電源線Ｍ２ｓ（駆動電源）から陽極線Ｍ２ｄ（発光素子３３）に供給される。
【００６２】
図４に示すように、第２層間絶縁膜Ｄ２の上側には、発光素子３３が形成されている。その発光素子３３の最下層には、透明電極としての陽極Ｐｃが形成されている。陽極Ｐｃは、ＩＴＯ等の光透過性を有する透明導電膜であって、その一端が陽極線Ｍ２ｄに接続されている。その陽極Ｐｃの上側外周には、同陽極Ｐｃを囲むように第３層間絶縁膜Ｄ３が堆積されている。第３層間絶縁膜Ｄ３は、感光性ポリイミドやアクリル等の樹脂膜で形成され、各発光素子３３の陽極Ｐｃを電気的に絶縁している。また、第３層間絶縁膜Ｄ３は、陽極Ｐｃの上側を略円形孔状に開放して、その内周面からなる隔壁Ｄ３ａを形成している。その隔壁Ｄ３ａの陽極Ｐｃ側の内径は、後述する第１整合半径Ｒ１によって形成されている。
【００６３】
陽極Ｐｃの上側にあって隔壁Ｄ３ａの内側には、有機材料からなる有機エレクトロルミネッセンス層（有機ＥＬ層）Ｏｅが形成されている。有機ＥＬ層Ｏｅは、正孔輸送層と発光層の２層からなる有機化合物層である。その有機ＥＬ層Ｏｅの上側には、アルミニウム等の光反射性を有する金属膜からなる背面電極としての陰極Ｐａが形成されている。陰極Ｐａは、発光素子形成面３０ａ側全面を覆うように形成され、各画素３４が共有することによって各発光素子３３に共通する電位を供給するようになっている。
【００６４】
すなわち、発光素子３３は、これら陽極Ｐｃ、有機ＥＬ層Ｏｅ及び陰極Ｐａによって形成される有機エレクトロルミネッセンス素子（有機ＥＬ素子）であって、その発光面（有機ＥＬ層Ｏｅ）の内径が第１整合半径Ｒ１で形成されている。
【００６５】
陰極Ｐａの上側には、樹脂等のコーティング材で形成され、各種金属膜や有機ＥＬ層Ｏｅの酸化等を防止するための封止部Ｐ１が形成されている。
そして、データ信号に応じた駆動電流が陽極線Ｍ２ｄに供給されると、有機ＥＬ層Ｏｅは、その駆動電流に応じた輝度で発光する。この際、有機ＥＬ層Ｏｅから陰極Ｐａ側（図４における上側）に向かって発光された光は、同陰極Ｐａによって反射される。そのため、有機ＥＬ層Ｏｅから発光された光は、その殆どが、陽極Ｐｃ、第２層間絶縁膜Ｄ２、第１層間絶縁膜Ｄ１、ゲート絶縁膜Ｄ０及びガラス基板３０を通過して光取出し面３０ｂ側（感光ドラム１６側）に照射される。
【００６６】
次に、ガラス基板３０の光取出し面３０ｂ側について以下に説明する。
図３に示すように、ガラス基板３０の光取出し面３０ｂには、各発光素子３３と相対向する位置に凹部４０が形成されている。凹部４０は、光取出し面３０ｂから鉛直方向Ｚ上方（感光ドラム１６側）に向かって開口された円形孔であって、その中心軸が有機ＥＬ層Ｏｅの中心軸上に位置するように形成されている。また、凹部４０は、その深さが距離Ｈｄ（図４参照）で形成され、かつ内径が有機ＥＬ層Ｏｅの第１整合半径Ｒ１よりも大きい第２整合半径Ｒ２で形成されている。
【００６７】
各凹部４０の底面４０ａには、位置決め部として円環状の隔壁４１が形成されている。隔壁４１は、その中心部に円形孔４２が形成されている。円形孔４２は、その中心軸が有機ＥＬ層Ｏｅの中心軸上に位置するように形成され、その内径が有機ＥＬ層Ｏｅの内径と同じ第１整合半径Ｒ１で形成されている。そして、各凹部４０内であって、各円形孔４２内には、それぞれマイクロレンズ４３が形成されている。マイクロレンズ４３は、有機ＥＬ層Ｏｅ（図４参照）の発光波長に対して十分な透過率を有する凸形状のレンズである。
【００６８】
マイクロレンズ４３は、図４に示すように、鉛直方向Ｚに沿った光軸Ａを有する軸対象のレンズであって、同光軸Ａ方向から見て有機ＥＬ層Ｏｅと相対向する位置に形成されている。また、マイクロレンズ４３の開口径は、隔壁４１の円形孔４２（有機ＥＬ層Ｏｅ）の内径、すなわち第１整合半径Ｒ１と同じ大きさで形成される。従って、凹部４０は、マイクロレンズ４３の直径よりも大きく形成され、隔壁４１の円形孔４２はマイクロレンズ４３の直径と同じ大きさに形成されている。これによって、マイクロレンズ４３の周辺部における結像性能を劣化させることなく、有機ＥＬ層Ｏｅから発光された光を集光して光取出し面３０ｂ側に出射できるようになっている。さらにまた、マイクロレンズ４３は、図４に示すように、その下側曲面（出射面４３ａ）の頂点と感光ドラム１６の感光層１６ａとの間の距離を、マイクロレンズ４３の像側焦点距離Ｈｆにしている。つまり、マイクロレンズ４３は、有機ＥＬ層Ｏｅから光軸Ａに沿って発光された光線（平行光線束Ｌ１）と光軸Ａとの交点（像側焦点Ｆ）を感光層１６ａ上に位置させるようになっている。これによって、マイクロレンズ４３から出射された光は、感光層１６ａに、所望するサイズの露光スポットを形成するようになっている。
【００６９】
そして、マイクロレンズ４３の出射面４３ａは、凹部４０の底面４０ａから曲面形状に形成されている。つまり、マイクロレンズ４３は、光取出し面３０ｂから、距離Ｈｄ分だけ有機ＥＬ層Ｏｅ側に近接されている。
【００７０】
従って、図５に示すように、光軸Ａ上の有機ＥＬ層Ｏｅからマイクロレンズ４３の直径に対して張る角度、すなわち開口角θ１は、同マイクロレンズ４３を光取出し面３０ｂ上に形成したとき（図５に示す２点鎖線４３ｉ）の開口角θ２に比べ、距離Ｈｄ分だけ増加する。そして、有機ＥＬ層Ｏｅから所定の波長領域の光が発光されると、マイクロレンズ４３は、その開口角θ１に相対する光量の光を集光し、感光層１６ａ上に出射して同感光層１６ａを露光する。その結果、マイクロレンズ４３は、その開口角θ１を増加した分だけ、感光層１６ａを露光するための光量を増加する。
【００７１】
（露光ヘッドの製造方法）
次に、露光ヘッド２０の製造方法について以下に説明する。図６及び図７は、凹部４０の形成方法を説明する説明図である。
図６に示すように、まず、ガラス基板３０の光取出し面３０ｂ全面に、サンドブラスト用のマスク剤Ｍｋを塗布する。次に、同マスク剤Ｍｋに、前記光軸Ａを中心として、内径が第２整合半径Ｒ２となる円形孔Ｍｈをパターニングする。続いて、公知のサンドブラスト装置によって、無機酸化物等のサンドＳｂを光取出し面３０ｂに向かって吹きつけ、円
形孔Ｍｈ内の光取出し面３０ｂ（ガラス基板３０）を所定の深さ（距離Ｈｄ）まで削り取る。そして、光取出し面３０ｂ上からマスク剤Ｍｋを除去する。これによって、図７に示すように、光取出し面３０ｂに、内径が第２整合半径Ｒ２であって、深さが距離Ｈｄからなる円形孔（凹部４０）を形成する。
【００７２】
凹部４０を形成すると、続いて、発光素子形成面３０ａ上に画素３４を形成する。図８は、画素３４の形成方法を説明する説明図である。
まず、発光素子形成面３０ａ全面に、ジシラン等を原料ガスにするＣＶＤ法等によってアモルファスシリコン膜を堆積する。次に、エキシマレーザ等によって同アモルファスシリコン膜に紫外光を照射し、発光素子形成面３０ａ全面に結晶化したポリシリコン膜を形成する。続いて、フォトリソグラフィ法及びエッチング法等によって同ポリシリコン膜をパターニングし、各凹部４０に対応するチャンネル膜Ｂを形成する。
【００７３】
チャンネル膜Ｂを形成すると、シラン等を原料ガスにするＣＶＤ法等によってチャンネル膜Ｂ及び発光素子形成面３０ａの上側全面にシリコン酸化膜等を堆積してゲート絶縁膜Ｄ０を形成する。ゲート絶縁膜Ｄ０を形成すると、スパッタ法等によって同ゲート絶縁膜Ｄ０の上側全面にタンタル等の低抵抗金属膜を堆積し、同低抵抗金属膜をパターニングすることによって、ゲート絶縁膜Ｄ０の上側にゲート電極Ｐｇを形成する。ゲート電極Ｐｇを形成すると、同ゲート電極Ｐｇをマスクにしたイオンドーピング法によって、チャンネル膜Ｂにｎ型領域（ソース領域及びドレイン領域）を形成する。続いて、スパッタ法等によってゲート電極Ｐｇ及びゲート絶縁膜Ｄ０の上側全面にＩＴＯ等の光透過性を有する透明導電膜を堆積し、同透明導電膜をパターニングすることによって、ゲート電極Ｐｇの上側にゲート配線Ｍ１を形成する。
【００７４】
ゲート配線Ｍ１を形成すると、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）等を原料にするＣＶＤ法によってゲート配線Ｍ１及びゲート絶縁膜Ｄ０の上側全面にシリコン酸化膜等を堆積して第１層間絶縁膜Ｄ１を形成する。第１層間絶縁膜Ｄ１を形成すると、フォトリソグラフィ法やエッチング法等によって、ソース領域及びドレイン領域から鉛直方向Ｚに沿って第１層間絶縁膜Ｄ１の上側までを開放する一対の円形孔（コンタクトホールＨ１，Ｈ２）を形成する。コンタクトホールＨ１，Ｈ２を形成すると、スパッタ法等によって同コンタクトホールＨ１，Ｈ２内を金属シリサイド等で埋め込みながら第１層間絶縁膜Ｄ１の上側全面に金属膜を堆積する。そして、エッチング法等によって同コンタクトホールＨ１，Ｈ２内以外の金属膜を除去し、ソースコンタクトＳｃ及びドレインコンタクトＤｃを形成する。
【００７５】
各コンタクトＳｃ，Ｄｃを形成すると、スパッタ法等によって同コンタクトＳｃ，Ｄｃ及び第１層間絶縁膜Ｄ１の上側全面にアルミニウム等の金属膜を堆積し、同金属膜をパターニングして各コンタクトＳｃ，Ｄｃに接続する電源線Ｍ２ｓ及び陽極線Ｍ２ｄを形成する。次に、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）等を原料にするＣＶＤ法によって、これら電源線Ｍ２ｓ、陽極線Ｍ２ｄ及び第１層間絶縁膜Ｄ１の上側全面にシリコン酸化膜等を堆積して第２層間絶縁膜Ｄ２を形成する。続いて、フォトリソグラフィ法やエッチング法等によって、陽極線Ｍ２ｄの一部から鉛直方向Ｚに沿って第２層間絶縁膜Ｄ２の上側まで開放する円形孔（ビアホールＨｖ）を形成する。ビアホールＨｖを形成すると、スパッタ法等によって、同ビアホールＨｖ内を埋め込みながら第２層間絶縁膜Ｄ２の上側全面にＩＴＯ等の光透過性を有する透明導電膜を堆積する。そして、この透明導電膜をパターニングして、凹部４０と相対向する位置周辺にビアホールＨｖを介して陽極線Ｍ２ｄと接続する陽極Ｐｃを形成する。
【００７６】
陽極Ｐｃを形成すると、同陽極Ｐｃ上であって凹部４０と相対向する位置にレジスト等のマスクを形成して、同陽極Ｐｃ及び第２層間絶縁膜Ｄ２の上側全面に感光性ポリイミド
やアクリル等の樹脂膜を堆積する。そして、前記レジスト等を剥離して、第１整合半径Ｒ１を有する隔壁Ｄ３ａを備えた第３層間絶縁膜Ｄ３を形成する。次に、第３層間絶縁膜Ｄ３を形成すると、インクジェット法等によって、隔壁Ｄ３ａに囲まれた陽極Ｐｃ上に正孔輸送層の構成材料の液滴を噴射し、その構成材料を乾燥及び固化することによって正孔輸送層を形成する。さらに、インクジェット法等によって、同正孔輸送層上に発光層の構成材料の液滴を噴射し、その構成材料を乾燥及び固化することによって発光層を形成する。これによって、内径を第１整合半径Ｒ１にする正孔輸送層と発光層とを備えた有機ＥＬ層Ｏｅを形成する。
【００７７】
有機ＥＬ層Ｏｅを形成すると、スパッタ法等によって、同有機ＥＬ層Ｏｅ及び第３層間絶縁膜Ｄ３の上側全面にアルミニウム等の金属膜を堆積して陰極Ｐａを形成する。陰極Ｐａを形成すると、ＣＶＤ法等によって、陰極Ｐａの上側全面に樹脂等のコーティング材を堆積して封止部Ｐ１を形成する。これによって、図８に示すように、発光素子形成面３０ａ上であって凹部４０と相対向する位置に、発光素子３３を備えた画素３４を形成する。
【００７８】
画素３４を形成すると、続いて、凹部４０内にマイクロレンズ４３を形成する。図９及び図１０は、マイクロレンズ４３の形成方法を説明する説明図である。
まず、隔壁４１を形成する。図９に示すように、凹部４０内に、その底面４０ａの全体にレジスト等によって形成層５０を形成する。次に、形成層５０及び発光素子形成面３０ａの上側全体に、樹脂又は金属等からなるマスク５１を形成する。マスク５１には、各凹部４０に対応する露光用円形孔５２がそれぞれ貫通形成されている。露光用円形孔５２は、その内径が第１整合半径Ｒ１にて形成されていて、その中心軸が有機ＥＬ層Ｏｅの中心軸と一致するようになっている。そして、露光用円形孔５２を介して形成層５０を露光し、エッチングして同形成層５０に有機ＥＬ層Ｏｅに相対向する位置に第１整合半径Ｒ１の前記円形孔４２を形成する。これによって、各凹部４０内には、各形成層５０によって、円形孔４２を備えた隔壁４１がそれぞれ形成される。そして、マスク５１は、隔壁４１が形成されると、形成層５０から除去される。
【００７９】
次に、このように形成された隔壁４１の円形孔４２内に、液体噴射装置によってマイクロレンズ４３を形成する。以下、マイクロレンズ４３を形成するための液体噴射装置の構成について説明する。
【００８０】
図１０に示すように、マイクロレンズ４３を形成する際には、ガラス基板３０の光取出し面３０ｂの上側に、液体噴射装置を構成する液体噴射ヘッド５５が配置される。液体噴射ヘッド５５は、その基体５６には、その下側（光取出し面３０ｂ側）にノズルプレート５７が設けられている。ノズルプレート５７のノズル形成面５７ａ（光取出し面３０ｂと相対向する面）には、複数のノズルＮが鉛直方向Ｚに沿って形成されている。各ノズルＮは、基体５６に形成された複数の供給室５８にそれぞれ連通し、図示しない収容タンクから各供給室５８を介して、紫外線硬化性樹脂Ｐｕがそれぞれ供給されるようになっている。基体５６の上側には、各供給室５８に相対向するように振動板５９が配設されている。振動板５９は、鉛直方向Ｚに沿って往復振動して供給室５８内の容積を拡大縮小するようになっている。振動板５９の上側であって各供給室５８と相対向する位置には、それぞれ鉛直方向Ｚに沿って伸縮動して振動板５９を振動させる圧電素子６０が配設されている。
【００８１】
圧電素子６０は、図示しない駆動回路から入力される駆動信号に応じて伸縮動し、振動板５９を介して供給室５８の容積を拡大縮小する。そして、供給室５８の容積を縮小することで、縮小した容積分の紫外線硬化性樹脂Ｐｕを、各ノズルＮから液滴Ｄｓとして噴射させ、反対に、供給室５８の容積を拡大することで、拡大した容積分の紫外線硬化性樹脂Ｐｕを前記収容タンクから供給室５８内に供給させる。つまり、液体噴射ヘッド５５は、駆動信号に応じて、所定の容量の紫外線硬化性樹脂Ｐｕを各ノズルＮから噴射するように
なっている。そして、このように構成された液体噴射ヘッド５５に対して、ガラス基板３０は、光取出し面３０ｂをノズル形成面５７ａと平行にし、かつ各凹部４０内の隔壁４１の円形孔４２を、その中心軸がそれぞれノズルＮの中心軸と一致するように位置決めされる。
【００８２】
次に、上記した液体噴射装置によるマイクロレンズ４３の形成方法について説明する。
まず、液体噴射ヘッド５５にマイクロレンズ４３を形成するため駆動信号を駆動回路（図示しない）から入力する。そして、図１０に示すように、液体噴射ヘッド５５の各ノズルＮから液滴Ｄｓを、対応する凹部４０の隔壁４１の円形孔４２内に噴射させる。円形孔４２内に噴射された紫外線硬化性樹脂Ｐｕは、その表面張力等によって曲面を備えた凸形状に凝集する。
【００８３】
そして、円形孔４２内に所定の容量の紫外線硬化性樹脂Ｐｕを噴射すると、同円形孔４２内に向かって紫外光を照射し、円形孔４２内に凝集する紫外線硬化性樹脂Ｐｕを硬化する。これによって、開口径を第１整合半径Ｒ１として凸型状の出射面４３ａを備えるマイクロレンズ４３が、ガラス基板３０を介して発光素子３３（有機ＥＬ層Ｏｅ）に相対向して凹部４０内に形成される。
【００８４】
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）本実施形態によれば、ガラス基板３０の光取出し面３０ｂに、有機ＥＬ層Ｏｅの内径の第１整合半径Ｒ１より大きい幅を有するように第２整合半径Ｒ２の凹部４０を形成し、同凹部４０内にレジスト等によって隔壁４１を形成した。そして、この隔壁４１に、第２整合半径Ｒ２よりも小さい第１整合半径Ｒ１の内径を有する円形孔４２を形成した後に、同円形孔４２内にマイクロレンズ４３を形成した。このように、凹部４０内に形成の自由度の高いレジスト（形成層５０）等によって隔壁４１を形成し、その円形孔４２にマイクロレンズ４３を形成することで、凹部４０の半径の大きさによることなく、所望の開口径（第１整合半径Ｒ１）を有したマイクロレンズ４３を正確に形成することができる。換言すれば、ガラス基板３０に形成される凹部４０の大きさの制限を軽減することができるので、その製造工程の負荷を軽減することができる。この結果、信頼性の高い露光ヘッド２０を容易に製造することができ、この露光ヘッド２０を備えたプリンタ１０の信頼性を向上することができる。
【００８５】
（２）本実施形態では、隔壁４１の円形孔４２を発光素子３３に対して中心軸が一致するように形成し、その円形孔４２内にマイクロレンズ４３を形成した。隔壁４１は、レジスト（形成層５０）等の形成の自由度が高い部材から構成されるので、円形孔４２の加工が容易である。従って、ガラス基板３０に第１整合半径Ｒ１の内径を有する凹部４０を形成し、そこに直接にマイクロレンズ４３を形成する場合や、レプリカ法等によって形成されたマイクロレンズを凹部４０内に取付ける場合に比べて、容易かつ正確にマイクロレンズ４３を形成することができる。従って、発光素子３３に対するマイクロレンズ４３の位置精度を向上させることができ、露光ヘッド２０（プリンタ１０）は、感光層１６ａを露光するための光量のバラツキを低減して、かつ発光素子３３から発光された光の取出し効率を向上することができる。
【００８６】
（３）本実施形態によれば、ガラス基板３０に形成した凹部４０内の隔壁４１の円形孔４２にマイクロレンズ４３を形成した。そして、マイクロレンズ４３の開口角θ１が、同マイクロレンズ４３を光取出し面３０ｂ上に形成したときの開口角θ２に比べ、距離Ｈｄ分だけ増加するようにした。
【００８７】
従って、露光ヘッド２０（プリンタ１０）は、感光層１６ａを露光するための光量を距離Ｈｄ分だけ増加することができ、発光素子３３から発光された光の取出し効率を向上す
ることができる。
【００８８】
しかも、ガラス基板３０の厚さを薄くしないで凹部４０を形成し、その凹部４０内にマイクロレンズ４３を形成したので、その分だけガラス基板３０を厚くでき、ガラス基板３０の機械的強度を強く保つことができる。
【００８９】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、隔壁４１の形状を円環状に形成したが、これに限らず、マイクロレンズ４３の発光素子３３に対しての位置精度が確保できれば、適宜変更してもよい。
・上記実施形態では、透明基板をガラス基板３０として具体化したが、これに限らず、例えばポリイミド等のプラスチック基板であってもよく、有機ＥＬ層Ｏｅから発光された光を透過する透明基板であればよい。
・上記実施形態では、ガラス基板３０に画素３４を形成したが、この限りではなく、別途設けた透明基板に画素３４を形成した後、同透明基板をガラス基板３０に取付けてもよい。
・上記実施形態では、凹部４０の形状を円形孔として具体化したが、これに限らず、凹部４０内に隔壁４１を形成することができれば、その形状を適宜変更してもよい。
・上記実施形態では、マイクロレンズ４３を液体噴射装置によって形成する構成にしたが、これに限らず、例えばレプリカ法等によって形成したマイクロレンズ４３を凹部４０内の隔壁４１の円形孔４２に取付ける構成にしてもよい。
・上記実施形態では、凹部４０をサンドブラスト法によって形成した。これに限らず、凹部４０を形成する方法は、例えば、エキシマレーザやフェムト秒レーザ等によるレーザ加工であってもよく、発光素子３３と相対向する位置に凹部４０を形成できる方法であれば特に限定されるものではない。
・上記実施形態では、凹部４０を形成した後にサンドブラスト用のマスク剤Ｍｋを除去するようにした。これを変更して、同マスク剤Ｍｋを除去すること無く、光取出し面３０ｂ上に残す構成にしてもよい。
・上記実施形態では、隔壁４１の内径及びマイクロレンズ４３の開口径をそれぞれ第１整合半径Ｒ１に整合した。これに限らず、例えば各内径及び開口径が異なる大きさで形成されてもよく、マイクロレンズ４３の周辺部における結像性能を劣化させることなく、有機ＥＬ層Ｏｅから発光された光を集光して光取出し面３０ｂ側に所望するサイズの露光スポットを形成するものであればよい。
・上記実施形態では、マイクロレンズ４３を、紫外線硬化性樹脂Ｐｕの表面張力によって曲面形状を形成するようにした。これに限らず、例えば隔壁４１を、撥液性部材としてフッ素系樹脂等の撥液性を有するレジスト等によって形成し、円形孔４２内に噴射された紫外線硬化性樹脂Ｐｕが曲面形状を形成するようにしてもよい。また、例えば隔壁４１の表面に撥液性材料を塗付、又はＣＦ４プラズマ処理等の表面処理を行って円形孔４２内に噴射された紫外線硬化性樹脂Ｐｕが曲面形状を形成するようにしてもよい。
・上記実施形態では、マイクロレンズ４３を凸レンズとして具体化したが、これに限らず例えば凹レンズとして具体化してもよい。
・上記実施形態では、マイクロレンズ４３を紫外線硬化性樹脂Ｐｕによって形成する構成にしたが、これに限らず、熱硬化性樹脂等で形成してもよい。
・上記実施形態では、各画素３４に対してＴＦＴ３２を１個備える構成にしたが、これに限らず、例えば、２個以上備える構成にしてもよく、あるいはＴＦＴ３２をガラス基板３０に備えない構成にしてもよい。
・上記実施形態では、電気光学装置を露光ヘッド２０として具体化したが、これに限らず、例えば液晶パネルに装着されるバックライト等であってもよく、あるいは平面状の電子放出素子を備え、同素子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型ディスプレイ（ＦＥＤやＳＥＤ等）であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明を具体化した画像形成装置の構成を示す概略側断面図。
【図２】画像形成装置の露光ヘッドの構成を示す概略平面図。
【図３】同じく、露光ヘッドの構成を示す概略正断面図。
【図４】同じく、露光ヘッドの構成を示す拡大断面図。
【図５】同じく、露光ヘッドのマイクロレンズの作用を説明する断面図。
【図６】同じく、露光ヘッドの製造工程を説明する説明図。
【図７】同じく、露光ヘッドの製造工程を説明する説明図。
【図８】同じく、露光ヘッドの製造工程を説明する説明図。
【図９】同じく、露光ヘッドの製造工程を説明する説明図。
【図１０】液体噴射装置によるマイクロレンズの形成方法を説明する説明図。
【符号の説明】
【００９１】
１０…画像形成装置としてのプリンタ、１５…転写媒体としての中間転写ベルト、１６…像担持体としての感光ドラム、１７…帯電手段としての帯電ローラ、２０…露光手段を構成する電気光学装置としての有機ＥＬアレイ露光ヘッド、２１…現像手段としてのトナーカートリッジ、２２…転写手段を構成する一転写ローラ、２６…転写手段を構成する二次転写ローラ、３０…透明基板としてのガラス基板、３０ａ…光入射面としての発光素子形成面、３０ｂ…光取出し面、３３…光源としての発光素子、４０…凹部、４１…位置決め部としての隔壁、４２…円形孔、４３…マイクロレンズ、４５…液体噴射装置を構成する液体噴射ヘッド、Ｄｓ…液滴、Ｏｅ…発光層及びＥＬ層としての有機ＥＬ層、Ｐａ…背面電極としての陰極、Ｐｃ…透明電極としての陽極、Ｒ１…マイクロレンズの直径を構成する第１整合半径、Ｒ２…幅としての第２整合半径、Ｔ…着色粒子としてのトナー、Ｘ…一方向としての主走査方向。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から照射される光を、光入射面側から入射し、光取出し面側に設けたマイクロレンズを介して出射する透明基板において、
前記光取出し面側に、
前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成するとともに、同凹部内に前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を設け、その位置決め部内に前記マイクロレンズを形成したことを特徴とする透明基板。
【請求項２】
請求項１に記載の透明基板において、
前記位置決め部は、前記光源に相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を備え、同円形孔内に同マイクロレンズを形成したことを特徴とする透明基板。
【請求項３】
請求項１又は２に記載する透明基板において、
前記マイクロレンズは、凸形状のレンズであることを特徴とする透明基板。
【請求項４】
光源から照射される光を、光入射面側から入射し、光取出し面側に設けられるマイクロレンズを介して出射する透明基板の製造方法において、
前記光取出し面に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成し、
前記凹部内に、前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を形成し、
液体噴射装置からレンズ形成樹脂の液滴を前記環状の位置決め部内に噴出した後に、同位置決め部内において、同レンズ形成樹脂を固化させて前記マイクロレンズを形成することを特徴とする透明基板の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の透明基板の製造方法において、
前記位置決め部の表面に前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する表面処理をした後に、前記液体噴射装置から同液滴を同位置決め部内に噴射することを特徴とする透明基板の製造方法。
【請求項６】
請求項４に記載の透明基板の製造方法において、
前記位置決め部は、前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する撥液性部材から構成したことを特徴とする透明基板の製造方法。
【請求項７】
透明基板の発光素子形成面に形成された発光素子から発光された光を、同発光素子形成面と相対向する光取出し面側に設けられたマイクロレンズを介して出射する電気光学装置において、
前記光取出し面側に、
前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成するとともに、同凹部内に前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を設け、その位置決め部内に前記マイクロレンズを形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項７に記載する電気光学装置において、
前記位置決め部は、前記発光素子に相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を備え、同円形孔内に同マイクロレンズを形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項７又は８に記載する電気光学装置において、
前記発光素子は、前記光取出し面側に形成した透明電極と、前記透明電極と相対して形成した背面電極と、前記透明電極と前記背面電極との間に形成した発光層とを備えたエレ
クトロルミネッセンス素子であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
請求項９に記載する電気光学装置において、
前記発光層は、有機材料で形成され、前記エレクトロルミネッセンス素子は、有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項７〜１０のいずれか１つに記載する電気光学装置において、
複数の前記発光素子を前記発光素子形成面の一方向に沿って配列された前記凹部内にそれぞれ形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項７〜１１のいずれか１つに記載する電気光学装置において、
前記マイクロレンズは、凸形状のレンズであって、前記発光素子から発光された光を集光して前記光取出し面から出射することを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
透明基板の発光素子形成面に形成された発光素子から発光された光を、同発光素子形成面と相対向する光取出し面側に設けられるマイクロレンズを介して出射する電気光学装置の製造方法において、
前記光取出し面に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成し、
前記凹部内に、前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を形成し、
液体噴射装置からレンズ形成樹脂の液滴を前記環状の位置決め部内に噴出した後に、同位置決め部内において、同レンズ形成樹脂を固化させて前記マイクロレンズを形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載する電気光学装置の製造方法において、
前記位置決め部に、前記発光素子と相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を形成し、
前記円形孔内に前記液体噴射装置から液滴を噴出することによって前記マイクロレンズを形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１３又は１４に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記位置決め部の表面に前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する表面処理をした後に、前記液体噴射装置から同液滴を同位置決め部内に噴射することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１６】
請求項１３又は１４に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記位置決め部は、前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する撥液性部材から構成したことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１７】
帯電手段によって帯電された像担持体の外周面を露光して潜像を形成する露光手段と、前記潜像に対して着色粒子を供給して顕像を現像する現像手段と、前記顕像を転写媒体に転写する転写手段とを備えた画像形成装置において、
前記露光手段は、請求項７〜１２のいずれか１つに記載する電気光学装置を備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項１】
光源から照射される光を、光入射面側から入射し、光取出し面側に設けたマイクロレンズを介して出射する透明基板において、
前記光取出し面側に、
前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成するとともに、同凹部内に前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を設け、その位置決め部内に前記マイクロレンズを形成したことを特徴とする透明基板。
【請求項２】
請求項１に記載の透明基板において、
前記位置決め部は、前記光源に相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を備え、同円形孔内に同マイクロレンズを形成したことを特徴とする透明基板。
【請求項３】
請求項１又は２に記載する透明基板において、
前記マイクロレンズは、凸形状のレンズであることを特徴とする透明基板。
【請求項４】
光源から照射される光を、光入射面側から入射し、光取出し面側に設けられるマイクロレンズを介して出射する透明基板の製造方法において、
前記光取出し面に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成し、
前記凹部内に、前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を形成し、
液体噴射装置からレンズ形成樹脂の液滴を前記環状の位置決め部内に噴出した後に、同位置決め部内において、同レンズ形成樹脂を固化させて前記マイクロレンズを形成することを特徴とする透明基板の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の透明基板の製造方法において、
前記位置決め部の表面に前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する表面処理をした後に、前記液体噴射装置から同液滴を同位置決め部内に噴射することを特徴とする透明基板の製造方法。
【請求項６】
請求項４に記載の透明基板の製造方法において、
前記位置決め部は、前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する撥液性部材から構成したことを特徴とする透明基板の製造方法。
【請求項７】
透明基板の発光素子形成面に形成された発光素子から発光された光を、同発光素子形成面と相対向する光取出し面側に設けられたマイクロレンズを介して出射する電気光学装置において、
前記光取出し面側に、
前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成するとともに、同凹部内に前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を設け、その位置決め部内に前記マイクロレンズを形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項７に記載する電気光学装置において、
前記位置決め部は、前記発光素子に相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を備え、同円形孔内に同マイクロレンズを形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項７又は８に記載する電気光学装置において、
前記発光素子は、前記光取出し面側に形成した透明電極と、前記透明電極と相対して形成した背面電極と、前記透明電極と前記背面電極との間に形成した発光層とを備えたエレ
クトロルミネッセンス素子であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
請求項９に記載する電気光学装置において、
前記発光層は、有機材料で形成され、前記エレクトロルミネッセンス素子は、有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項７〜１０のいずれか１つに記載する電気光学装置において、
複数の前記発光素子を前記発光素子形成面の一方向に沿って配列された前記凹部内にそれぞれ形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項７〜１１のいずれか１つに記載する電気光学装置において、
前記マイクロレンズは、凸形状のレンズであって、前記発光素子から発光された光を集光して前記光取出し面から出射することを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
透明基板の発光素子形成面に形成された発光素子から発光された光を、同発光素子形成面と相対向する光取出し面側に設けられるマイクロレンズを介して出射する電気光学装置の製造方法において、
前記光取出し面に、前記マイクロレンズの直径よりも大きい幅の凹部を形成し、
前記凹部内に、前記マイクロレンズを位置決めする環状の位置決め部を形成し、
液体噴射装置からレンズ形成樹脂の液滴を前記環状の位置決め部内に噴出した後に、同位置決め部内において、同レンズ形成樹脂を固化させて前記マイクロレンズを形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載する電気光学装置の製造方法において、
前記位置決め部に、前記発光素子と相対向する位置に、前記マイクロレンズの直径と相対する内径を有する円形孔を形成し、
前記円形孔内に前記液体噴射装置から液滴を噴出することによって前記マイクロレンズを形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１３又は１４に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記位置決め部の表面に前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する表面処理をした後に、前記液体噴射装置から同液滴を同位置決め部内に噴射することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１６】
請求項１３又は１４に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記位置決め部は、前記レンズ形成樹脂の前記液滴を撥液する撥液性部材から構成したことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１７】
帯電手段によって帯電された像担持体の外周面を露光して潜像を形成する露光手段と、前記潜像に対して着色粒子を供給して顕像を現像する現像手段と、前記顕像を転写媒体に転写する転写手段とを備えた画像形成装置において、
前記露光手段は、請求項７〜１２のいずれか１つに記載する電気光学装置を備えたことを特徴とする画像形成装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００６−１３４６２３（Ｐ２００６−１３４６２３Ａ）
【公開日】平成１８年５月２５日（２００６．５．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−３２０１５０（Ｐ２００４−３２０１５０）
【出願日】平成１６年１１月４日（２００４．１１．４）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年５月２５日（２００６．５．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年１１月４日（２００４．１１．４）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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