配線検査治具
【課題】比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブを正確に接触させることができる配線検査治具を提供する。
【解決手段】押圧部８０において基板位置決め板６０の縁部を押圧しつつ、当接部９０において基板位置決め板６０の縁部における調整用雄ネジ９１の当接位置を変位させることによって、プリント基板１０の位置決め用のガイドピン６１が固定された基板位置決め板６０をプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位させることができる。
【解決手段】押圧部８０において基板位置決め板６０の縁部を押圧しつつ、当接部９０において基板位置決め板６０の縁部における調整用雄ネジ９１の当接位置を変位させることによって、プリント基板１０の位置決め用のガイドピン６１が固定された基板位置決め板６０をプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位させることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に形成された配線の検査に用いられる配線検査治具に係り、特に、基板の電極にプローブを接触させて配線の導通や短絡、絶縁等の電気的検査を行うために用いられる配線検査治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を実装する前のプリント基板（ベアボード）の配線に生じた断線や短絡等の欠陥を検査する基板配線検査装置が知られている（下記特許文献１を参照）。基板配線検査装置は、基板の配線上のパッドにプローブを接触させて電気信号を供給し、パッド間の電気抵抗や静電容量を測定することにより配線の不良を検査する。
【０００３】
プリント基板（ベアボード）を基板配線検査装置に接続して導通、短絡、絶縁等の電気的検査を行う場合、通常は、プリント基板の配線パターンに合わせて作成された専用の治具が用いられる。この治具は、プリント基板上の配線パターンに合わせて配列された複数のプローブを保持したものであり、各プローブはケーブル線や中間基板などを介して基板配線検査装置のスキャナ（入力切替器）と電気的に接続される。治具の各プローブをプリント基板の配線に接触させることで、プリント基板の配線が基板検査システムに接続される。
【０００４】
上述した治具を用いて検査を行う方法では、プリント基板の配線に対して治具のプローブを正確に接触させる必要がある。通常、治具に対するプリント基板の位置合わせは、治具に立てられたガイドピンをプリント基板のガイド孔に挿入することによって行われている。更に微小な位置合わせが必要な場合は、プリント基板に予め付けられた複数の位置決めマークをカメラによって撮像し、その撮像画像に基づいてプリント基板の位置をアクチュエータにより微調整する方法などが用いられる（下記特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０６−０５８９７３号公報
【特許文献２】特開平０１−１８４４７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述のようにカメラを使ってアクチュエータにより微調整する方法は、構成が複雑になるためコスト高いという問題がある。また、プリント基板の製造上のばらつきによって比較的大きなズレを生じると、上述のような微調整では対応できない場合がある。
【０００７】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブを正確に接触させることができる配線検査治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の観点に係る配線検査治具は、検査対象の基板の配線と電気的に接触する複数のプローブを保持した治具本体と、前記基板を位置決めする位置決め手段が固定された基板位置決め板と、前記基板位置決め板を前記治具本体に固定する固定手段と、前記固定手段によって前記基板位置決め板を治具本体に固定する前に、前記治具本体に対する前記基板位置決め板の相対的な位置を調整する位置調整手段とを有する。前記位置調整手段は、前記治具本体に固定され、前記位置決め手段によって位置決めされた前記基板の配線形成面と平行な方向へ前記基板位置決め板の縁部の少なくとも１箇所を押圧する押圧手段と、前記治具本体に固定され、前記基板位置決め板の前記縁部の少なくとも１箇所に当接して前記押圧手段の押圧力を受け止めるとともに、前記当接位置を前記配線形成面と平行な方向に変位させることが可能な当接手段とを含む。
【０００９】
好適に、前記位置決め手段は、前記基板に形成された複数の孔に嵌合する複数のピンを含む。
【００１０】
好適に、前記治具本体は、一方の面に前記基板が載置され、他方の面に前記基板位置決め板が当接し、前記複数のピンを通す複数のピン貫通孔を有する基板載置板を含み、前記固定手段は、前記基板位置決め板を前記基板載置板に押し付けて固定する。
【００１１】
好適に、前記固定手段は、固定用雄ネジと、前記固定用雄ネジと螺合する雌ネジが形成され、前記基板位置決め板を間に挟んで前記基板載置板と対面する位置に配置された固定用雌ネジ形成部材とを含む。この場合、前記基板載置板及び前記基板位置決め板は、前記固定用雄ネジを貫通するネジ貫通孔をそれぞれ有してよい。また、前記固定用雄ネジは、前記基板載置板の前記ネジ貫通孔に比べて大径の頭部を有してよい。
【００１２】
好適に、上記配線検査治具は、前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部材の移動を案内するとともに、前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部材の回転を規制する回転規制手段を有する。
【００１３】
好適に、前記回転規制手段は、前記治具本体に固定され、前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部の移動方向と平行に延びる少なくとも１つの案内棒を含む。この場合、前記板状部材は、前記案内棒を貫通する案内棒貫通孔、或いは、前記固定用雌ネジ形成部の縁に設けられた凹部若しくは凸部と嵌合する嵌合部を有してよい。
【００１４】
好適に、前記当接手段は、調整用雄ネジと、前記調整用雄ネジと螺合する雌ネジが形成され、前記治具本体に固定される調整用雌ネジ形成部材とを含み、前記調整用雄ネジを前記調整用雌ネジ形成部材に対して回転させると、前記調整用雄ネジが前記基板の配線形成面と平行な方向へ変位し、前記調整用雄ネジの一端部が前記基板位置決め板の前記縁部と当接する。
【００１５】
好適に、上記配線検査治具は、前記治具本体に固定され、前記基板の配線に光線を照射する光線照射手段と、前記治具本体に固定され、前記光線照射手段により照射された前記光線が前記基板の配線において反射した光を受光する光受光手段と、前記光受光手段において受光された光の強度を検出する光検出手段とを有する。
【００１６】
本発明の第２の観点に係る配線検査装置は、本発明の第１の観点に係る上記配線検査治具と、上記配線検査治具において保持された複数のプローブにそれぞれ供給される検査用の電気信号を発生する回路と、前記複数のプローブのそれぞれから入力される電気信号を測定する回路とを備える。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブを正確に接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係る基板配線検査装置の構成の一例を示す図である。
【図２】プリント基板が載置される面に対して垂直な方向からみた配線検査治具の一例を示す図である。
【図３】図２のＡ−Ａ'線における断面を示す図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ'線における断面を示す図である。
【図５】配線検査治具の内側に位置する基板位置決め板を図２と同じ方向からみた図である。
【図６】基板位置決め板の適切な調整位置を把握するための構成の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１は、本発明の実施形態に係る基板配線検査装置の構成の一例を示す図である。
基板配線検査装置は、検査対象の基板１０に接触する複数の針状のプローブ２と、プローブ２を保持する配線検査治具２０と、配線検査治具２０で保持された複数のプローブ２と接触する複数のバネ付き電極３０４を備えた検査ヘッド部３０と、検査部４０を有する。
【００２０】
複数のプローブ２と配線検査治具２０と検査ヘッド部３０は、検査対象の基板１０に検査用の電気信号を供給するための信号経路を形成するブロックである。図１の例において、基板配線検査装置は、このブロック（複数のプローブ２、配線検査治具２０、検査ヘッド部３０）を２系統備えている。基板配線検査装置は、上下の２系統の信号経路によって基板１０の両面の検査を同時に行う。
【００２１】
検査部４０は、検査ヘッド部３０のバネ付き電極３０４（図３，図４）を介して複数のプローブ２に検査信号を供給する複数のポートを備える。検査部４０は、任意のポートから検査用の電気信号を供給し、２つのプローブ２に生じる電圧や電流、プローブ２の抵抗、プローブ２と基準電位との間の静電容量などを測定する。
【００２２】
例えば検査部４０は、図１に示すように、信号発生回路４１と、測定回路４２と、スキャナ回路４３と、制御装置４４を有する。
信号発生回路４１は、検査ヘッド部３０の複数のバネ付き電極３０４にそれぞれ供給される検査用の電気信号を発生する。
測定回路４２は、検査ヘッド部３０の各バネ付き電極３０４において入力される電気信号を測定する。例えば、測定回路４２は、２つのバネ付き電極３０４に接続された２つのポートの電圧値や電流値、交流信号の振幅等を測定する。
スキャナ回路４３は、信号発生回路４１及び測定回路４２につながる信号ラインと、検査ヘッド部３０の複数のバネ付き電極３０４につながる複数のポートとの接続を切り替える。
制御装置４４は、検査部４０の上述した各回路の動作を制御する装置であり、例えばコンピュータを含んで構成される。
【００２３】
図２〜図５は、本実施形態に係る配線検査治具２０の一例を示す図である。
図２は、プリント基板１０が載置される面に対して垂直な方向からみた配線検査治具２０の一例を示す図である。
図３，図４は、プリント基板１０が載置される面に対して平行な方向からみた配線検査治具２０の一例を示す図である。図３は図２のＡ−Ａ'線における断面図であり、図４はＢ−Ｂ'線における断面図である。
図５は、プリント基板１０の位置決め用のガイドピン６１が固定された板状部材（基板位置決め板６０）の位置を調整するための構成要素（押圧部８０，当接部９０）を図解した図であり、配線検査治具２０の内側に位置する基板位置決め板６０を図２と同じ方向からみた図である。
【００２４】
配線検査治具２０は、検査ヘッド部３０と検査対象物のプリント基板１０との間に介在し、プリント基板１０の配線パターンに合わせて配列された複数の針状のプローブ２を保持する。例えば配線検査治具２０は、図３に示すように、配線の幅や種類などに応じた様々な太さのプローブ２（２Ａ，２Ｂ）を保持する。各プローブ２は、一方の端部が検査ヘッド部３０のバネ付き電極３０４を介して検査部４０に接続され、他方の端部がプリント基板１０の配線に接触する。
【００２５】
検査ヘッド部３０は、配線検査治具２０に保持された複数のプローブ２をそれぞれ基板１０に向かって付勢する複数のバネ付き電極３０４を保持する。検査ヘッド部３０は、種々の基板の検査で使用できるように、通常の検査において使用されるよりも余裕を持たせた多数のバネ付き電極３０４を保持する。バネ付き電極３０４は、例えば図３に示すように棒状の金属製のバネを用いて構成される。バネ付き電極３０４の先端には、プローブ２と接触する電極が固定される。バネ付き電極３０４は、それぞれ図示しない配線によって検査部４０の検査用のポートに接続される。
【００２６】
検査ヘッド部３０は、バネ付き電極３０４を収容する複数の孔が一定間隔で均一に形成された２枚の板状部材３０１，３０２を有する。板状部材３０１，３０２は、面を重ねるように配置されており、両者の間には複数のバネ３０３が設けられている。板状部材３０１の上側の面に配線検査治具２０を押し付けると、バネ３０３の反発力によって配線検査治具２０が押し返されるため、配線検査治具２０と板状部材３０１とが適度な接触圧で密着する。
【００２７】
配線検査治具２０は、それぞれの面が向かい合うように平行に配置された複数の板状部材（２０１〜２０７）と、これらを支える複数の支柱２１０を有する。プリント基板１０が板状部材２０１の外側の面に載置され、板状部材２０７の外側の面が検査ヘッド部３０に装着される。板状部材２０１と板状部材２０７の間には、板状部材２０２〜２０６が配置される。
板状部材（２０１〜２０７）と支柱２１０を含むブロックは、本発明における治具本体の一例である。
板状部材２０１は、本発明における基板載置板の一例である。
以下、板状部材２０１を「基板載置板２０１」と記す場合がある。
【００２８】
図３，図４の例において、基板載置板２０１は、２枚の板状部材２１Ａ，２１Ｂを貼り合わせて形成される。プリント基板１０が載置される側の板状部材２１Ａには、この載置面より外側にネジの頭部が突出しないようにするための座グリが形成される。
【００２９】
支柱２１０は、板状部材２０２〜２０６を貫通し、ネジ等で両端の板状部材２０１，２０７に固定される。図２における基板載置板２０１の四隅のネジ２９は、支柱２１０と基板載置板２０１とを固定するためのものである。板状部材２０１〜２０７の各隙間には図示しないスペーサが挿入され、これにより隙間の間隔が固定される。
【００３０】
板状部材２０１〜２０７は、プローブ２を挿通させるための孔をそれぞれ備える。プローブ２がこれらの孔を貫通することによって、図３に示すように、プローブ２の一端とプリント基板１０の配線との接触位置、並びに、プローブ２の他端と検査ヘッド部３０のバネ付き電極３０４との接触位置が固定される。また、配線検査治具２０の中間部分におけるプローブ２の位置が固定されるため、プローブ２同士の接触が防止される。
【００３１】
配線検査治具２０は、プリント基板１０の位置決めに用いる複数のガイドピン６１（図２の例では４本）が固定された板状部材６０を有する。
板状部材６０は、本発明における基板位置決め板の一例である。
ガイドピン６１は、本発明の位置決め手段に含まれる複数のピンの一例である。
以下、板状部材６０を「基板位置決め板６０」と記す場合がある。
【００３２】
プリント基板１０を基板載置板２０１に載置する場合、図２〜４に示すように、プリント基板１０の位置決め用の孔にガイドピン６１を嵌合させる。これにより、板状部材（２０１〜２０７）に保持されたプローブ２とプリント基板１０との相対的な位置関係が定まる。
【００３３】
基板位置決め板６０は、図３，図４に示すように、基板載置板２０１の内側の面（プリント基板１０が載置される面と反対の面）と当接する位置に配置される。基板位置決め板６０に固定された各ガイドピン６１は、基板載置板２０１に形成されたピン貫通孔を通って、基板載置板２０１の外側の面（プリント基板１０が載置される面）に突き出る。後述する位置調整手段によって基板位置決め板６０の位置がプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位しても、ガイドピン６１とそのピン貫通孔とが当たらないようにするため、ピン貫通孔はガイドピン６１に比べて十分大きな径で形成される。
【００３４】
配線検査治具２０は、この基板位置決め板６０を基板載置板２０１の内側の面に押し付けて固定するための構成要素として、固定用雄ネジ７１と固定用雌ネジ形成部材７０を有する。
固定用雄ネジ７１及び固定用雌ネジ形成部材７０を含むブロックは、本発明における固定手段の一例である。
固定用雄ネジ７１は、本発明における固定用雄ネジの一例である。
固定用雌ネジ形成部材７０は、本発明における固定用雌ネジ形成部材の一例である。
【００３５】
固定用雌ネジ形成部材７０は、図３，図４において示すように、基板位置決め板６０を間に挟んで基板載置板２０１と対面する位置に配置される。すなわち、基板位置決め板６０が固定用雌ネジ形成部材７０と基板載置板２０１との間に挟まれる。固定用雌ネジ形成部材７０の中央部には、固定用雄ネジ７１と螺合する雌ネジが形成される。基板載置板２０１と基板位置決め板６０には、固定用雄ネジ７１を貫通させるためのネジ貫通孔がそれぞれ形成される。固定用雄ネジ７１の先端は、基板載置板２０１の外側の面からネジ貫通孔を通って基板位置決め板６０に到達し、固定用雌ネジ形成部材７０の雌ネジと螺合する。固定用雄ネジ７１の頭部は基板載置板２０１のネジ貫通孔にくらべて径が大きいため、ネジ貫通孔を通らず、基板載置板２０１の外側の面に留まる。固定用雄ネジ７１を回転させて固定用雌ネジ形成部材７０の雌ネジに進入させていくと、固定用雌ネジ形成部材７０と基板載置板２０１との間隔が狭まっていき、基板位置決め板６０は基板載置板２０１と固定用雌ネジ形成部材７０の間に挟まれて固定される。
【００３６】
後述する位置調整手段によって基板位置決め板６０の位置がプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位しても、固定用雄ネジ７１とこれを貫通する基板位置決め板６０のネジ貫通孔とが当たらないようするため、基板位置決め板６０のネジ貫通孔は固定用雄ネジ７１に比べて十分大きな径で形成される。
【００３７】
固定用雄ネジ７１を締めて基板位置決め板６０を固定する場合、固定用雄ネジ７１の回転に応じて固定用雌ネジ形成部材７０にも回転力が伝わる。固定用雌ネジ形成部材７０が回転すると、これに当接する基板位置決め板６０にも回転力が伝わってしまい、基板位置決め板６０がもとの位置からずれてしまう。配線検査治具２０は、このような固定用雌ネジ形成部材７０の回転を規制する構成要素として、図４に示すように、複数（図の例では１つの固定用雌ネジ形成部材７０に対して２本）の案内棒１０１を有する。
案内棒１０１は、本発明における案内棒の一例である。
【００３８】
案内棒１０１は、一方の端がネジ１０２によって基板載置板２０１に固定され、他方の端が不図示のネジによって板状部材２０７に固定される。案内棒１０１は、固定用雄ネジ７１の回転に応じた固定用雌ネジ形成部材７０の移動方向、すなわち、板状部材２０１〜２０７の面と垂直な方向に延びて配置される。固定用雌ネジ形成部材７０は、固定用雄ネジ７１を通すネジ貫通孔の両側に、この案内棒１０１を貫通するための孔（案内棒貫通孔）を備える。２本の案内棒１０１が固定用雌ネジ形成部材７０の案内棒貫通孔を通っているため、固定用雌ネジ形成部材７０は図３の縦方向（固定用雄ネジ７１の回転に応じた固定用雌ネジ形成部材７０の移動方向）には動くが、固定用雄ネジ７１ととも回転することはない。すなわち、固定用雄ネジ７１を回転させて雌ネジに進入させる際、その回転力が固定用雌ネジ形成部材７０にも伝わるが、治具本体に固定された案内棒１０１が固定用雌ネジ形成部材７０の案内棒貫通孔を通っているため、固定用雌ネジ形成部材７０の回転が規制される。固定用雌ネジ形成部材７０が回転しないので、基板位置決め板６０の位置ずれが防止される。
【００３９】
なお、後述する位置調整手段によって基板位置決め板６０の位置がプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位しても、案内棒１０１とこれを貫通する基板位置決め板６０の貫通孔とが当たらないようするため、基板位置決め板６０に形成される案内棒１０１の貫通孔は案内棒１０１に比べて十分大きな径で形成される。
【００４０】
また、配線検査治具２０は、図２〜図５の例において、基板位置決め板６０を治具本体に固定する手段としての固定用雄ネジ７１及び固定用雌ネジ形成部材７０を２組備えており、それぞれの固定用雌ネジ形成部材７０について回転規制手段としての案内棒１０１を備えている。
【００４１】
次に、基板位置決め板６０の位置を調整する手段について説明する。
本実施形態に係る配線検査治具２０は、上述した固定手段（固定用雄ネジ７１，固定用雌ネジ形成部材７０）によって基板位置決め板６０を治具本体（板状部材２０１〜２０７等）に固定する前に、治具本体に対する基板位置決め板６０の相対的な位置を調整するための構成要素として、押圧部８０と当接部９０を有する。
押圧部８０は、本発明における押圧手段の一例である。
当接部９０は、本発明における当接手段の一例である。
【００４２】
図５の例において、配線検査治具２０は、基板位置決め板６０の縁に沿って配置された３つの押圧部８０と３つの当接部９０を有する。
長方形状の基板位置決め板６０における２つの長辺のうち、一方の長辺の両隅において２つの押圧部８０が基板位置決め板６０の縁を押圧し、他方の長辺の両隅において２つの当接部９０が基板位置決め板６０の縁に当接する。
また、長方形状の基板位置決め板６０における２つの短辺のうち、一方の短辺の中央部において１つの押圧部８０が基板位置決め板６０の縁を押圧し、他方の短辺の中央部において１つの当接部９０が基板位置決め板６０の縁に当接する。
【００４３】
押圧部８０は、ガイドピン６１により位置決めされたプリント基板１０の配線形成面と平行な方向（図３，図４における水平方向）へ、基板位置決め板６０の縁部を押圧する。押圧部８０は、例えば図３〜図５に示すように、基板位置決め板６０の縁部を押圧する押圧ピン８１と、押圧ピン８１の移動を案内する押圧ピン案内部８２を含む。押圧ピン案内部８２は、押圧ピン８１を付勢するバネ等の付勢手段を備えており、２本のネジ８４によって基板載置板２０１に固定される。
【００４４】
当接部９０は、基板位置決め板６０の縁部に当接して押圧部８０の押圧力を受け止めるとともに、その当接位置をプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位させることができる。当接部９０は、例えば図３〜図５に示すように、調整用雄ネジ９１と、この調整用雄ネジ９１に螺合する雌ネジが形成された調整用雌ネジ形成部材９２を含む。調整用雌ネジ形成部材９２は、２本のネジ９３によって基板載置板２０１に固定される。
【００４５】
調整用雄ネジ９１を調整用雌ネジ形成部材９２に対して回転させると、調整用雄ネジ９１がプリント基板１０の配線形成面と平行な方向へ変位し、その調整用雄ネジ９１の先端部が基板位置決め板６０の縁部と当接する。
【００４６】
ここで、上述した構成を有する配線検査治具２０においてプリント基板１０の位置を微調整する方法について説明する。
【００４７】
プリント基板１０の位置を微調整する際には、まず、２つの固定用雄ネジ７１を緩めて、基板位置決め板６０の固定を解除する。
【００４８】
次いで、３つの調整用雄ネジ９１を適宜回転させて、プリント基板１０の配線形成面と平行な方向における基板位置決め板６０の位置を調整する。図５において基板位置決め板６０の短辺に当接する調整用雄ネジ９１を回転させることにより、基板位置決め板６０を図の横方向に移動させることができる。また、図５において基板位置決め板６０の長辺に当接する２つの調整用雄ネジ９１を回転させることにより、基板位置決め板６０を図の縦方向に移動させることができる。また、長辺に当接する２つの調整用雄ネジ９１の変位量を異ならせることで、基板位置決め板６０を右回転又は左回転させることができる。
【００４９】
基板位置決め板６０を所望の位置に変位させた後、２つの固定用雄ネジ７１を締めて、基板位置決め板６０を治具本体に固定する。
【００５０】
以上説明したように、本実施形態に係る配線検査治具２０によれば、押圧部８０において基板位置決め板６０の縁部を押圧しつつ、当接部９０において基板位置決め板６０の縁部における調整用雄ネジ９１の当接位置を変位させることによって、プリント基板１０の位置決め用のガイドピン６１が固定された基板位置決め板６０をプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位させることができる。これにより、撮像カメラやアクチュエータ等を必要としない簡易な構成でありながら、治具本体に対するプリント基板１０の位置を細かく調整することができる。
【００５１】
また、本実施形態によれば、２つ調整用雄ネジ９１の平行な方向における変位量を異ならせることによって、縦や横への平行移動だけでなく、水平面内での回転も可能になるため、製造ばらつきに伴うプリント基板１０のあらゆる種類の位置ずれに対して幅広く対応することができる。
【００５２】
更に、本実施形態によれば、固定用雌ネジ形成部材７０に案内棒１０１を挿通させることによって、固定用雄ネジ７１の回転に伴う固定用雌ネジ形成部材７０の移動を案内しつつ、固定用雌ネジ形成部材７０の回転を規制することができる。従って、固定用雄ネジ７１を締めて基板位置決め板６０を治具本体の基板載置板２０１に固定する際に、基板位置決め板６０が調整位置からずれる（回転する）ことを効果的に防止できる。
【００５３】
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば次に述べるような種々のバリエーションを含んでいる。
【００５４】
上述した実施形態における押圧部８０，当接部９０の数や配置は一例であり、本発明はこれに限定されない。すなわち、押圧部８０，当接部９０の数は２個以下でも４個以上でもよく、各押圧部８０による押圧位置や各当接部９０による当接位置は基板位置決め板６０の外形に応じて任意に選択した位置でよい。また、押圧部８０と当接部９０の数が異なっていてもよい。
【００５５】
上述した実施形態では、押圧部８０の押圧ピン８１が基板位置決め板６０の縁部を直接押圧しているが、本発明の他の実施形態では、押圧ピン８１が適当な中間部材を介して基板位置決め板６０の縁部を押圧してもよい。同様に、上述した実施形態では、当接部９０の調整用雄ネジ９１が基板位置決め板６０の縁部に直接当接しているが、本発明の他の実施形態では、調整用雄ネジ９１が適当な中間部材を介して基板位置決め板６０の縁部と当接してもよい。
【００５６】
上述した実施形態では、基板位置決め板６０の縁部との当接位置が変位する機構としてネジ（調整用雄ネジ９１）を用いる例を挙げているが、本発明はこれに限定されない。すなわち、本発明の他の実施形態では、微小な変位量を調整可能な他の種々の機構を採用してよい。
また、例えばマイクロメータなど、回転角に応じた直線方向の変位量を読み取ることができる機構を当接手段として用いることにより、基板位置決め板６０の調整後の位置を数値的に把握できるようにしてもよい。
【００５７】
上述した実施形態では、固定手段として固定用雄ネジ７１と固定用雌ネジ形成部材７０を例に挙げているが、本発明はこれに限定されない。本発明の他の実施形態では、例えば基板位置決め板６０と基板載置板２０１の縁をバイス等の器具で挟んで固定してもよい。
【００５８】
上述した実施形態では、固定用雌ネジ形成部材７０の回転を防止するために案内棒１０１を固定用雌ネジ形成部材７０に挿通させているが、本発明はこれに限定されない。本発明の他の実施形態では、固定用雌ネジ形成部材７０の縁に任意形状の凹部又は凸部を設けるとともに、これに適合した形状を持つ嵌合部を案内棒１０１に設け、固定用雌ネジ形成部材７０の凹部又は凸部を案内棒１０１の嵌合部に嵌め合わせた状態で、固定用雌ネジ形成部材７０を案内棒１０１に沿ってスライドさせるようにしてもよい。この場合も、固定用雄ネジ７１の変位方向に沿った固定用雌ネジ形成部材７０の移動を案内しつつ、固定用雌ネジ形成部材７０の回転を規制することができる。
【００５９】
上述した実施形態では、位置決め手段として複数のガイドピン６１が設けられているが、本発明はこれに限定されない。すなわち、基板載置板２０１におけるプリント基板１０の載置位置（特に平面上の位置）を固定する他の種々の機構をガイドピンの替わりに設けて良い。
【００６０】
上述した実施形態では、基板位置決め板６０の位置の調整を行う場合、例えば、位置調整用に準備されたプリント基板１０の配線に対してプローブ２を実際に当てて、プローブ２の尖端が当たることにより生じる打痕の位置を観察することにより、基板位置決め板６
０を変位させるべき方向とその量が把握される。しかしながら、この方法では、適切な位置に調整されるまで何度もプローブ２を当てて打痕の位置を観察する必要があり、作業の工程が多くなるとともに、位置調整用に余分なプリント基板１０が必要となる。
そこで、本発明の他の実施形態では、プローブ２を実際に当てることなく基板位置決め板６０の適切な調整位置を把握できる手段を設けてよい。
【００６１】
図６は、基板位置決め板６０の適切な調整位置を把握するための構成の一例を示す図である。
図６の例に示す配線検査治具２０は、光源部５１と、光源部５１において発生したレーザ等の光線をプリント基板１０の配線１１に向けて先端部から照射する光ファイバＦＢ１と、光ファイバＦＢ１の先端部から照射された光線が配線１１において反射した光を先端部において受光する複数の光ファイバＦＢ２と、光ファイバＦＢ２において受光された光の強度を検出する光検出部５２と有する。
光ファイバＦＢ１は、本発明における光線照射手段の一例である。
光ファイバＦＢ２は、本発明における光受光手段の一例である。
光検出部４２は、本発明における光検出手段の一例である。
【００６２】
配線検査治具２０は、図６に示す光線照射用の構成要素（光ファイバＦＢ１，ＦＢ２、光検出部５２）を複数セット有する。例えば、プリント基板１１は、対角の２つの位置に位置調整用の配線１１を備えており、配線検査治具２０は、それぞれの配線１１に対して図６に示す光線照射用の構成要素を備える。光源部５１は、光線を照射する複数の光ファイバＦＢ１に１つずつ設けてもよいし、１つの光源部５１の光線を複数の光ファイバＦＢ１に分配してもよい。
【００６３】
光ファイバＦＢ１と光ファイバＦＢ２は、例えば１本のケーブルに束ねられており、適当な被覆材料によって被覆される。このケーブルにおいて、光線照射用の光ファイバＦＢ１が中心に配置され、その周囲に複数（例えば６本）の光ファイバＦＢ２が配置される。光ファイバＦＢ１，光ファイバＦＢ２を束ねたケーブルは、基板載置板２０１に固定される。
【００６４】
光検出部５２は、複数の光ファイバＦＢ２において受光した光の強度をそれぞれ検出して出力するとともに、各光ファイバＦＢ２の光強度を加算した全体の光強度を出力する。
【００６５】
光検出部５２の出力は、例えばデジタルデータとしてコンピュータに随時取り込まれて、ディスプレイ上にその光強度を示す情報が表示される。ディスプレイ上には、各光ファイバＦＢ２の光強度とそれらを加算した全体の光強度が、例えばバーグラフや色の濃淡などによって視覚的に表示される。
【００６６】
プリント基板１０の配線１１は、例えば光ファイバＦＢ１から照射される光線のスポット径と同程度の大きさの円形状を有している。光ファイバＦＢ１の光線の中心が配線１１の中心と一致している場合、配線１１から反射されて各光ファイバＦＢ２の先端部に受光される光の強度の合計が最大となり、また、各光ファイバＦＢ２に受光される光の強度がほぼ等しくなる。
一方、光ファイバＦＢ１の光線の中心が配線１１の中心からずれている場合、そのずれの方向に応じて各光ファイバＦＢ２の光強度がばらつく。すなわち、配線１１の中心から比較的近い位置にある光ファイバＦＢ２の光強度が相対的に大きくなり、配線１１の中心から比較的遠い位置にある光ファイバＦＢ２の光強度が相対的に小さくなる。
【００６７】
基板載置板２０１には、図６に示すように光ファイバＦＢ１，ＦＢ２を束ねたケーブルが複数箇所に固定されており、プリント基板１０上の複数の位置に形成された配線１１に対して光線が照射される。作業者は、この複数の位置において合計の光強度がそれぞれ最大となり、かつ、各光ファイバＦＢ２の光強度がほぼ等しくなるように、ディスプレイ上で視覚的に表された光検強度の情報を見ながら基板位置決め板６０の位置を調整する。
【００６８】
このように、プリント基板１０上の複数の位置における反射光の強度に応じて基板載置板２０１の位置を調整する方法によれば、打痕の位置を観察する方法に比べてより簡単に基板載置板２０１の位置を調整することができる。
【００６９】
また、本発明の他の実施形態では、上述のようにして基板配線からの反射光の強度を検出する替わりに、プリント基板１０の位置合わせ用の目印をカメラで撮影してディスプレイに表示してもよい。例えば、プリント基板１０に形成された複数の位置合わせ用目印と対応する基板載置板２０１の複数の箇所に光ファイバの先端を固定し、各光ファイバの他方の先端をカメラに装着して、各位置合わせ用目印の映像をディスプレイに表示させる。作業者は、ディスプレイに映し出される位置合わせ用の目印を見ながら、それぞれがディスプレイ上の所定の領域に位置するように基板位置決め板６０の位置を調整する。このような方法でも、打痕の位置を観察する方法に比べて簡単に基板載置板２０１の位置を調整できる。
【００７０】
なお、上述した実施形態では、検査対象としてプリント基板を例に挙げているが、本発明はこれに限定されない。例えば、半導体パッケージ、ＩＣサブストレート、ＩＣプローブヘッド、液晶モジュール、プラズマディスプレイの電極板、ガラス基板、電子部品実装用のフィルムキャリアなど、配線が形成され得る種々の基板の配線検査用治具に本発明は適用可能である。
【符号の説明】
【００７１】
２，２Ａ，２Ｂ…プローブ、１０…基板、１１…基板位置調整用の配線、２０…配線検査治具、３０…検査ヘッド部、４０…検査部、４１…信号発生回路、４２…測定回路、４３…スキャナ回路、４４…制御装置、５１…光源部、５２…光検出部、６０…基板位置決め板、６１…ガイドピン、７０…固定用雌ネジ形成部材、７１…固定用雄ネジ、８０…押圧部、８１…押圧ピン、８２…押圧ピン案内部、９０…当接部、９１…調節用雄ネジ、９２…調節用雌ネジ形成部材、１０１…案内棒、２０１…基板載置板、２０１Ａ，２０１Ｂ，２０１〜２０７，３０１，３０２…板状部材、２１０…支柱、３０３…バネ、３０４…バネ付き電極、２９，８４，９３，１０２…ネジ、ＦＢ１，ＦＢ２…光ファイバ。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に形成された配線の検査に用いられる配線検査治具に係り、特に、基板の電極にプローブを接触させて配線の導通や短絡、絶縁等の電気的検査を行うために用いられる配線検査治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を実装する前のプリント基板（ベアボード）の配線に生じた断線や短絡等の欠陥を検査する基板配線検査装置が知られている（下記特許文献１を参照）。基板配線検査装置は、基板の配線上のパッドにプローブを接触させて電気信号を供給し、パッド間の電気抵抗や静電容量を測定することにより配線の不良を検査する。
【０００３】
プリント基板（ベアボード）を基板配線検査装置に接続して導通、短絡、絶縁等の電気的検査を行う場合、通常は、プリント基板の配線パターンに合わせて作成された専用の治具が用いられる。この治具は、プリント基板上の配線パターンに合わせて配列された複数のプローブを保持したものであり、各プローブはケーブル線や中間基板などを介して基板配線検査装置のスキャナ（入力切替器）と電気的に接続される。治具の各プローブをプリント基板の配線に接触させることで、プリント基板の配線が基板検査システムに接続される。
【０００４】
上述した治具を用いて検査を行う方法では、プリント基板の配線に対して治具のプローブを正確に接触させる必要がある。通常、治具に対するプリント基板の位置合わせは、治具に立てられたガイドピンをプリント基板のガイド孔に挿入することによって行われている。更に微小な位置合わせが必要な場合は、プリント基板に予め付けられた複数の位置決めマークをカメラによって撮像し、その撮像画像に基づいてプリント基板の位置をアクチュエータにより微調整する方法などが用いられる（下記特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０６−０５８９７３号公報
【特許文献２】特開平０１−１８４４７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述のようにカメラを使ってアクチュエータにより微調整する方法は、構成が複雑になるためコスト高いという問題がある。また、プリント基板の製造上のばらつきによって比較的大きなズレを生じると、上述のような微調整では対応できない場合がある。
【０００７】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブを正確に接触させることができる配線検査治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の観点に係る配線検査治具は、検査対象の基板の配線と電気的に接触する複数のプローブを保持した治具本体と、前記基板を位置決めする位置決め手段が固定された基板位置決め板と、前記基板位置決め板を前記治具本体に固定する固定手段と、前記固定手段によって前記基板位置決め板を治具本体に固定する前に、前記治具本体に対する前記基板位置決め板の相対的な位置を調整する位置調整手段とを有する。前記位置調整手段は、前記治具本体に固定され、前記位置決め手段によって位置決めされた前記基板の配線形成面と平行な方向へ前記基板位置決め板の縁部の少なくとも１箇所を押圧する押圧手段と、前記治具本体に固定され、前記基板位置決め板の前記縁部の少なくとも１箇所に当接して前記押圧手段の押圧力を受け止めるとともに、前記当接位置を前記配線形成面と平行な方向に変位させることが可能な当接手段とを含む。
【０００９】
好適に、前記位置決め手段は、前記基板に形成された複数の孔に嵌合する複数のピンを含む。
【００１０】
好適に、前記治具本体は、一方の面に前記基板が載置され、他方の面に前記基板位置決め板が当接し、前記複数のピンを通す複数のピン貫通孔を有する基板載置板を含み、前記固定手段は、前記基板位置決め板を前記基板載置板に押し付けて固定する。
【００１１】
好適に、前記固定手段は、固定用雄ネジと、前記固定用雄ネジと螺合する雌ネジが形成され、前記基板位置決め板を間に挟んで前記基板載置板と対面する位置に配置された固定用雌ネジ形成部材とを含む。この場合、前記基板載置板及び前記基板位置決め板は、前記固定用雄ネジを貫通するネジ貫通孔をそれぞれ有してよい。また、前記固定用雄ネジは、前記基板載置板の前記ネジ貫通孔に比べて大径の頭部を有してよい。
【００１２】
好適に、上記配線検査治具は、前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部材の移動を案内するとともに、前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部材の回転を規制する回転規制手段を有する。
【００１３】
好適に、前記回転規制手段は、前記治具本体に固定され、前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部の移動方向と平行に延びる少なくとも１つの案内棒を含む。この場合、前記板状部材は、前記案内棒を貫通する案内棒貫通孔、或いは、前記固定用雌ネジ形成部の縁に設けられた凹部若しくは凸部と嵌合する嵌合部を有してよい。
【００１４】
好適に、前記当接手段は、調整用雄ネジと、前記調整用雄ネジと螺合する雌ネジが形成され、前記治具本体に固定される調整用雌ネジ形成部材とを含み、前記調整用雄ネジを前記調整用雌ネジ形成部材に対して回転させると、前記調整用雄ネジが前記基板の配線形成面と平行な方向へ変位し、前記調整用雄ネジの一端部が前記基板位置決め板の前記縁部と当接する。
【００１５】
好適に、上記配線検査治具は、前記治具本体に固定され、前記基板の配線に光線を照射する光線照射手段と、前記治具本体に固定され、前記光線照射手段により照射された前記光線が前記基板の配線において反射した光を受光する光受光手段と、前記光受光手段において受光された光の強度を検出する光検出手段とを有する。
【００１６】
本発明の第２の観点に係る配線検査装置は、本発明の第１の観点に係る上記配線検査治具と、上記配線検査治具において保持された複数のプローブにそれぞれ供給される検査用の電気信号を発生する回路と、前記複数のプローブのそれぞれから入力される電気信号を測定する回路とを備える。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブを正確に接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係る基板配線検査装置の構成の一例を示す図である。
【図２】プリント基板が載置される面に対して垂直な方向からみた配線検査治具の一例を示す図である。
【図３】図２のＡ−Ａ'線における断面を示す図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ'線における断面を示す図である。
【図５】配線検査治具の内側に位置する基板位置決め板を図２と同じ方向からみた図である。
【図６】基板位置決め板の適切な調整位置を把握するための構成の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１は、本発明の実施形態に係る基板配線検査装置の構成の一例を示す図である。
基板配線検査装置は、検査対象の基板１０に接触する複数の針状のプローブ２と、プローブ２を保持する配線検査治具２０と、配線検査治具２０で保持された複数のプローブ２と接触する複数のバネ付き電極３０４を備えた検査ヘッド部３０と、検査部４０を有する。
【００２０】
複数のプローブ２と配線検査治具２０と検査ヘッド部３０は、検査対象の基板１０に検査用の電気信号を供給するための信号経路を形成するブロックである。図１の例において、基板配線検査装置は、このブロック（複数のプローブ２、配線検査治具２０、検査ヘッド部３０）を２系統備えている。基板配線検査装置は、上下の２系統の信号経路によって基板１０の両面の検査を同時に行う。
【００２１】
検査部４０は、検査ヘッド部３０のバネ付き電極３０４（図３，図４）を介して複数のプローブ２に検査信号を供給する複数のポートを備える。検査部４０は、任意のポートから検査用の電気信号を供給し、２つのプローブ２に生じる電圧や電流、プローブ２の抵抗、プローブ２と基準電位との間の静電容量などを測定する。
【００２２】
例えば検査部４０は、図１に示すように、信号発生回路４１と、測定回路４２と、スキャナ回路４３と、制御装置４４を有する。
信号発生回路４１は、検査ヘッド部３０の複数のバネ付き電極３０４にそれぞれ供給される検査用の電気信号を発生する。
測定回路４２は、検査ヘッド部３０の各バネ付き電極３０４において入力される電気信号を測定する。例えば、測定回路４２は、２つのバネ付き電極３０４に接続された２つのポートの電圧値や電流値、交流信号の振幅等を測定する。
スキャナ回路４３は、信号発生回路４１及び測定回路４２につながる信号ラインと、検査ヘッド部３０の複数のバネ付き電極３０４につながる複数のポートとの接続を切り替える。
制御装置４４は、検査部４０の上述した各回路の動作を制御する装置であり、例えばコンピュータを含んで構成される。
【００２３】
図２〜図５は、本実施形態に係る配線検査治具２０の一例を示す図である。
図２は、プリント基板１０が載置される面に対して垂直な方向からみた配線検査治具２０の一例を示す図である。
図３，図４は、プリント基板１０が載置される面に対して平行な方向からみた配線検査治具２０の一例を示す図である。図３は図２のＡ−Ａ'線における断面図であり、図４はＢ−Ｂ'線における断面図である。
図５は、プリント基板１０の位置決め用のガイドピン６１が固定された板状部材（基板位置決め板６０）の位置を調整するための構成要素（押圧部８０，当接部９０）を図解した図であり、配線検査治具２０の内側に位置する基板位置決め板６０を図２と同じ方向からみた図である。
【００２４】
配線検査治具２０は、検査ヘッド部３０と検査対象物のプリント基板１０との間に介在し、プリント基板１０の配線パターンに合わせて配列された複数の針状のプローブ２を保持する。例えば配線検査治具２０は、図３に示すように、配線の幅や種類などに応じた様々な太さのプローブ２（２Ａ，２Ｂ）を保持する。各プローブ２は、一方の端部が検査ヘッド部３０のバネ付き電極３０４を介して検査部４０に接続され、他方の端部がプリント基板１０の配線に接触する。
【００２５】
検査ヘッド部３０は、配線検査治具２０に保持された複数のプローブ２をそれぞれ基板１０に向かって付勢する複数のバネ付き電極３０４を保持する。検査ヘッド部３０は、種々の基板の検査で使用できるように、通常の検査において使用されるよりも余裕を持たせた多数のバネ付き電極３０４を保持する。バネ付き電極３０４は、例えば図３に示すように棒状の金属製のバネを用いて構成される。バネ付き電極３０４の先端には、プローブ２と接触する電極が固定される。バネ付き電極３０４は、それぞれ図示しない配線によって検査部４０の検査用のポートに接続される。
【００２６】
検査ヘッド部３０は、バネ付き電極３０４を収容する複数の孔が一定間隔で均一に形成された２枚の板状部材３０１，３０２を有する。板状部材３０１，３０２は、面を重ねるように配置されており、両者の間には複数のバネ３０３が設けられている。板状部材３０１の上側の面に配線検査治具２０を押し付けると、バネ３０３の反発力によって配線検査治具２０が押し返されるため、配線検査治具２０と板状部材３０１とが適度な接触圧で密着する。
【００２７】
配線検査治具２０は、それぞれの面が向かい合うように平行に配置された複数の板状部材（２０１〜２０７）と、これらを支える複数の支柱２１０を有する。プリント基板１０が板状部材２０１の外側の面に載置され、板状部材２０７の外側の面が検査ヘッド部３０に装着される。板状部材２０１と板状部材２０７の間には、板状部材２０２〜２０６が配置される。
板状部材（２０１〜２０７）と支柱２１０を含むブロックは、本発明における治具本体の一例である。
板状部材２０１は、本発明における基板載置板の一例である。
以下、板状部材２０１を「基板載置板２０１」と記す場合がある。
【００２８】
図３，図４の例において、基板載置板２０１は、２枚の板状部材２１Ａ，２１Ｂを貼り合わせて形成される。プリント基板１０が載置される側の板状部材２１Ａには、この載置面より外側にネジの頭部が突出しないようにするための座グリが形成される。
【００２９】
支柱２１０は、板状部材２０２〜２０６を貫通し、ネジ等で両端の板状部材２０１，２０７に固定される。図２における基板載置板２０１の四隅のネジ２９は、支柱２１０と基板載置板２０１とを固定するためのものである。板状部材２０１〜２０７の各隙間には図示しないスペーサが挿入され、これにより隙間の間隔が固定される。
【００３０】
板状部材２０１〜２０７は、プローブ２を挿通させるための孔をそれぞれ備える。プローブ２がこれらの孔を貫通することによって、図３に示すように、プローブ２の一端とプリント基板１０の配線との接触位置、並びに、プローブ２の他端と検査ヘッド部３０のバネ付き電極３０４との接触位置が固定される。また、配線検査治具２０の中間部分におけるプローブ２の位置が固定されるため、プローブ２同士の接触が防止される。
【００３１】
配線検査治具２０は、プリント基板１０の位置決めに用いる複数のガイドピン６１（図２の例では４本）が固定された板状部材６０を有する。
板状部材６０は、本発明における基板位置決め板の一例である。
ガイドピン６１は、本発明の位置決め手段に含まれる複数のピンの一例である。
以下、板状部材６０を「基板位置決め板６０」と記す場合がある。
【００３２】
プリント基板１０を基板載置板２０１に載置する場合、図２〜４に示すように、プリント基板１０の位置決め用の孔にガイドピン６１を嵌合させる。これにより、板状部材（２０１〜２０７）に保持されたプローブ２とプリント基板１０との相対的な位置関係が定まる。
【００３３】
基板位置決め板６０は、図３，図４に示すように、基板載置板２０１の内側の面（プリント基板１０が載置される面と反対の面）と当接する位置に配置される。基板位置決め板６０に固定された各ガイドピン６１は、基板載置板２０１に形成されたピン貫通孔を通って、基板載置板２０１の外側の面（プリント基板１０が載置される面）に突き出る。後述する位置調整手段によって基板位置決め板６０の位置がプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位しても、ガイドピン６１とそのピン貫通孔とが当たらないようにするため、ピン貫通孔はガイドピン６１に比べて十分大きな径で形成される。
【００３４】
配線検査治具２０は、この基板位置決め板６０を基板載置板２０１の内側の面に押し付けて固定するための構成要素として、固定用雄ネジ７１と固定用雌ネジ形成部材７０を有する。
固定用雄ネジ７１及び固定用雌ネジ形成部材７０を含むブロックは、本発明における固定手段の一例である。
固定用雄ネジ７１は、本発明における固定用雄ネジの一例である。
固定用雌ネジ形成部材７０は、本発明における固定用雌ネジ形成部材の一例である。
【００３５】
固定用雌ネジ形成部材７０は、図３，図４において示すように、基板位置決め板６０を間に挟んで基板載置板２０１と対面する位置に配置される。すなわち、基板位置決め板６０が固定用雌ネジ形成部材７０と基板載置板２０１との間に挟まれる。固定用雌ネジ形成部材７０の中央部には、固定用雄ネジ７１と螺合する雌ネジが形成される。基板載置板２０１と基板位置決め板６０には、固定用雄ネジ７１を貫通させるためのネジ貫通孔がそれぞれ形成される。固定用雄ネジ７１の先端は、基板載置板２０１の外側の面からネジ貫通孔を通って基板位置決め板６０に到達し、固定用雌ネジ形成部材７０の雌ネジと螺合する。固定用雄ネジ７１の頭部は基板載置板２０１のネジ貫通孔にくらべて径が大きいため、ネジ貫通孔を通らず、基板載置板２０１の外側の面に留まる。固定用雄ネジ７１を回転させて固定用雌ネジ形成部材７０の雌ネジに進入させていくと、固定用雌ネジ形成部材７０と基板載置板２０１との間隔が狭まっていき、基板位置決め板６０は基板載置板２０１と固定用雌ネジ形成部材７０の間に挟まれて固定される。
【００３６】
後述する位置調整手段によって基板位置決め板６０の位置がプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位しても、固定用雄ネジ７１とこれを貫通する基板位置決め板６０のネジ貫通孔とが当たらないようするため、基板位置決め板６０のネジ貫通孔は固定用雄ネジ７１に比べて十分大きな径で形成される。
【００３７】
固定用雄ネジ７１を締めて基板位置決め板６０を固定する場合、固定用雄ネジ７１の回転に応じて固定用雌ネジ形成部材７０にも回転力が伝わる。固定用雌ネジ形成部材７０が回転すると、これに当接する基板位置決め板６０にも回転力が伝わってしまい、基板位置決め板６０がもとの位置からずれてしまう。配線検査治具２０は、このような固定用雌ネジ形成部材７０の回転を規制する構成要素として、図４に示すように、複数（図の例では１つの固定用雌ネジ形成部材７０に対して２本）の案内棒１０１を有する。
案内棒１０１は、本発明における案内棒の一例である。
【００３８】
案内棒１０１は、一方の端がネジ１０２によって基板載置板２０１に固定され、他方の端が不図示のネジによって板状部材２０７に固定される。案内棒１０１は、固定用雄ネジ７１の回転に応じた固定用雌ネジ形成部材７０の移動方向、すなわち、板状部材２０１〜２０７の面と垂直な方向に延びて配置される。固定用雌ネジ形成部材７０は、固定用雄ネジ７１を通すネジ貫通孔の両側に、この案内棒１０１を貫通するための孔（案内棒貫通孔）を備える。２本の案内棒１０１が固定用雌ネジ形成部材７０の案内棒貫通孔を通っているため、固定用雌ネジ形成部材７０は図３の縦方向（固定用雄ネジ７１の回転に応じた固定用雌ネジ形成部材７０の移動方向）には動くが、固定用雄ネジ７１ととも回転することはない。すなわち、固定用雄ネジ７１を回転させて雌ネジに進入させる際、その回転力が固定用雌ネジ形成部材７０にも伝わるが、治具本体に固定された案内棒１０１が固定用雌ネジ形成部材７０の案内棒貫通孔を通っているため、固定用雌ネジ形成部材７０の回転が規制される。固定用雌ネジ形成部材７０が回転しないので、基板位置決め板６０の位置ずれが防止される。
【００３９】
なお、後述する位置調整手段によって基板位置決め板６０の位置がプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位しても、案内棒１０１とこれを貫通する基板位置決め板６０の貫通孔とが当たらないようするため、基板位置決め板６０に形成される案内棒１０１の貫通孔は案内棒１０１に比べて十分大きな径で形成される。
【００４０】
また、配線検査治具２０は、図２〜図５の例において、基板位置決め板６０を治具本体に固定する手段としての固定用雄ネジ７１及び固定用雌ネジ形成部材７０を２組備えており、それぞれの固定用雌ネジ形成部材７０について回転規制手段としての案内棒１０１を備えている。
【００４１】
次に、基板位置決め板６０の位置を調整する手段について説明する。
本実施形態に係る配線検査治具２０は、上述した固定手段（固定用雄ネジ７１，固定用雌ネジ形成部材７０）によって基板位置決め板６０を治具本体（板状部材２０１〜２０７等）に固定する前に、治具本体に対する基板位置決め板６０の相対的な位置を調整するための構成要素として、押圧部８０と当接部９０を有する。
押圧部８０は、本発明における押圧手段の一例である。
当接部９０は、本発明における当接手段の一例である。
【００４２】
図５の例において、配線検査治具２０は、基板位置決め板６０の縁に沿って配置された３つの押圧部８０と３つの当接部９０を有する。
長方形状の基板位置決め板６０における２つの長辺のうち、一方の長辺の両隅において２つの押圧部８０が基板位置決め板６０の縁を押圧し、他方の長辺の両隅において２つの当接部９０が基板位置決め板６０の縁に当接する。
また、長方形状の基板位置決め板６０における２つの短辺のうち、一方の短辺の中央部において１つの押圧部８０が基板位置決め板６０の縁を押圧し、他方の短辺の中央部において１つの当接部９０が基板位置決め板６０の縁に当接する。
【００４３】
押圧部８０は、ガイドピン６１により位置決めされたプリント基板１０の配線形成面と平行な方向（図３，図４における水平方向）へ、基板位置決め板６０の縁部を押圧する。押圧部８０は、例えば図３〜図５に示すように、基板位置決め板６０の縁部を押圧する押圧ピン８１と、押圧ピン８１の移動を案内する押圧ピン案内部８２を含む。押圧ピン案内部８２は、押圧ピン８１を付勢するバネ等の付勢手段を備えており、２本のネジ８４によって基板載置板２０１に固定される。
【００４４】
当接部９０は、基板位置決め板６０の縁部に当接して押圧部８０の押圧力を受け止めるとともに、その当接位置をプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位させることができる。当接部９０は、例えば図３〜図５に示すように、調整用雄ネジ９１と、この調整用雄ネジ９１に螺合する雌ネジが形成された調整用雌ネジ形成部材９２を含む。調整用雌ネジ形成部材９２は、２本のネジ９３によって基板載置板２０１に固定される。
【００４５】
調整用雄ネジ９１を調整用雌ネジ形成部材９２に対して回転させると、調整用雄ネジ９１がプリント基板１０の配線形成面と平行な方向へ変位し、その調整用雄ネジ９１の先端部が基板位置決め板６０の縁部と当接する。
【００４６】
ここで、上述した構成を有する配線検査治具２０においてプリント基板１０の位置を微調整する方法について説明する。
【００４７】
プリント基板１０の位置を微調整する際には、まず、２つの固定用雄ネジ７１を緩めて、基板位置決め板６０の固定を解除する。
【００４８】
次いで、３つの調整用雄ネジ９１を適宜回転させて、プリント基板１０の配線形成面と平行な方向における基板位置決め板６０の位置を調整する。図５において基板位置決め板６０の短辺に当接する調整用雄ネジ９１を回転させることにより、基板位置決め板６０を図の横方向に移動させることができる。また、図５において基板位置決め板６０の長辺に当接する２つの調整用雄ネジ９１を回転させることにより、基板位置決め板６０を図の縦方向に移動させることができる。また、長辺に当接する２つの調整用雄ネジ９１の変位量を異ならせることで、基板位置決め板６０を右回転又は左回転させることができる。
【００４９】
基板位置決め板６０を所望の位置に変位させた後、２つの固定用雄ネジ７１を締めて、基板位置決め板６０を治具本体に固定する。
【００５０】
以上説明したように、本実施形態に係る配線検査治具２０によれば、押圧部８０において基板位置決め板６０の縁部を押圧しつつ、当接部９０において基板位置決め板６０の縁部における調整用雄ネジ９１の当接位置を変位させることによって、プリント基板１０の位置決め用のガイドピン６１が固定された基板位置決め板６０をプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位させることができる。これにより、撮像カメラやアクチュエータ等を必要としない簡易な構成でありながら、治具本体に対するプリント基板１０の位置を細かく調整することができる。
【００５１】
また、本実施形態によれば、２つ調整用雄ネジ９１の平行な方向における変位量を異ならせることによって、縦や横への平行移動だけでなく、水平面内での回転も可能になるため、製造ばらつきに伴うプリント基板１０のあらゆる種類の位置ずれに対して幅広く対応することができる。
【００５２】
更に、本実施形態によれば、固定用雌ネジ形成部材７０に案内棒１０１を挿通させることによって、固定用雄ネジ７１の回転に伴う固定用雌ネジ形成部材７０の移動を案内しつつ、固定用雌ネジ形成部材７０の回転を規制することができる。従って、固定用雄ネジ７１を締めて基板位置決め板６０を治具本体の基板載置板２０１に固定する際に、基板位置決め板６０が調整位置からずれる（回転する）ことを効果的に防止できる。
【００５３】
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば次に述べるような種々のバリエーションを含んでいる。
【００５４】
上述した実施形態における押圧部８０，当接部９０の数や配置は一例であり、本発明はこれに限定されない。すなわち、押圧部８０，当接部９０の数は２個以下でも４個以上でもよく、各押圧部８０による押圧位置や各当接部９０による当接位置は基板位置決め板６０の外形に応じて任意に選択した位置でよい。また、押圧部８０と当接部９０の数が異なっていてもよい。
【００５５】
上述した実施形態では、押圧部８０の押圧ピン８１が基板位置決め板６０の縁部を直接押圧しているが、本発明の他の実施形態では、押圧ピン８１が適当な中間部材を介して基板位置決め板６０の縁部を押圧してもよい。同様に、上述した実施形態では、当接部９０の調整用雄ネジ９１が基板位置決め板６０の縁部に直接当接しているが、本発明の他の実施形態では、調整用雄ネジ９１が適当な中間部材を介して基板位置決め板６０の縁部と当接してもよい。
【００５６】
上述した実施形態では、基板位置決め板６０の縁部との当接位置が変位する機構としてネジ（調整用雄ネジ９１）を用いる例を挙げているが、本発明はこれに限定されない。すなわち、本発明の他の実施形態では、微小な変位量を調整可能な他の種々の機構を採用してよい。
また、例えばマイクロメータなど、回転角に応じた直線方向の変位量を読み取ることができる機構を当接手段として用いることにより、基板位置決め板６０の調整後の位置を数値的に把握できるようにしてもよい。
【００５７】
上述した実施形態では、固定手段として固定用雄ネジ７１と固定用雌ネジ形成部材７０を例に挙げているが、本発明はこれに限定されない。本発明の他の実施形態では、例えば基板位置決め板６０と基板載置板２０１の縁をバイス等の器具で挟んで固定してもよい。
【００５８】
上述した実施形態では、固定用雌ネジ形成部材７０の回転を防止するために案内棒１０１を固定用雌ネジ形成部材７０に挿通させているが、本発明はこれに限定されない。本発明の他の実施形態では、固定用雌ネジ形成部材７０の縁に任意形状の凹部又は凸部を設けるとともに、これに適合した形状を持つ嵌合部を案内棒１０１に設け、固定用雌ネジ形成部材７０の凹部又は凸部を案内棒１０１の嵌合部に嵌め合わせた状態で、固定用雌ネジ形成部材７０を案内棒１０１に沿ってスライドさせるようにしてもよい。この場合も、固定用雄ネジ７１の変位方向に沿った固定用雌ネジ形成部材７０の移動を案内しつつ、固定用雌ネジ形成部材７０の回転を規制することができる。
【００５９】
上述した実施形態では、位置決め手段として複数のガイドピン６１が設けられているが、本発明はこれに限定されない。すなわち、基板載置板２０１におけるプリント基板１０の載置位置（特に平面上の位置）を固定する他の種々の機構をガイドピンの替わりに設けて良い。
【００６０】
上述した実施形態では、基板位置決め板６０の位置の調整を行う場合、例えば、位置調整用に準備されたプリント基板１０の配線に対してプローブ２を実際に当てて、プローブ２の尖端が当たることにより生じる打痕の位置を観察することにより、基板位置決め板６
０を変位させるべき方向とその量が把握される。しかしながら、この方法では、適切な位置に調整されるまで何度もプローブ２を当てて打痕の位置を観察する必要があり、作業の工程が多くなるとともに、位置調整用に余分なプリント基板１０が必要となる。
そこで、本発明の他の実施形態では、プローブ２を実際に当てることなく基板位置決め板６０の適切な調整位置を把握できる手段を設けてよい。
【００６１】
図６は、基板位置決め板６０の適切な調整位置を把握するための構成の一例を示す図である。
図６の例に示す配線検査治具２０は、光源部５１と、光源部５１において発生したレーザ等の光線をプリント基板１０の配線１１に向けて先端部から照射する光ファイバＦＢ１と、光ファイバＦＢ１の先端部から照射された光線が配線１１において反射した光を先端部において受光する複数の光ファイバＦＢ２と、光ファイバＦＢ２において受光された光の強度を検出する光検出部５２と有する。
光ファイバＦＢ１は、本発明における光線照射手段の一例である。
光ファイバＦＢ２は、本発明における光受光手段の一例である。
光検出部４２は、本発明における光検出手段の一例である。
【００６２】
配線検査治具２０は、図６に示す光線照射用の構成要素（光ファイバＦＢ１，ＦＢ２、光検出部５２）を複数セット有する。例えば、プリント基板１１は、対角の２つの位置に位置調整用の配線１１を備えており、配線検査治具２０は、それぞれの配線１１に対して図６に示す光線照射用の構成要素を備える。光源部５１は、光線を照射する複数の光ファイバＦＢ１に１つずつ設けてもよいし、１つの光源部５１の光線を複数の光ファイバＦＢ１に分配してもよい。
【００６３】
光ファイバＦＢ１と光ファイバＦＢ２は、例えば１本のケーブルに束ねられており、適当な被覆材料によって被覆される。このケーブルにおいて、光線照射用の光ファイバＦＢ１が中心に配置され、その周囲に複数（例えば６本）の光ファイバＦＢ２が配置される。光ファイバＦＢ１，光ファイバＦＢ２を束ねたケーブルは、基板載置板２０１に固定される。
【００６４】
光検出部５２は、複数の光ファイバＦＢ２において受光した光の強度をそれぞれ検出して出力するとともに、各光ファイバＦＢ２の光強度を加算した全体の光強度を出力する。
【００６５】
光検出部５２の出力は、例えばデジタルデータとしてコンピュータに随時取り込まれて、ディスプレイ上にその光強度を示す情報が表示される。ディスプレイ上には、各光ファイバＦＢ２の光強度とそれらを加算した全体の光強度が、例えばバーグラフや色の濃淡などによって視覚的に表示される。
【００６６】
プリント基板１０の配線１１は、例えば光ファイバＦＢ１から照射される光線のスポット径と同程度の大きさの円形状を有している。光ファイバＦＢ１の光線の中心が配線１１の中心と一致している場合、配線１１から反射されて各光ファイバＦＢ２の先端部に受光される光の強度の合計が最大となり、また、各光ファイバＦＢ２に受光される光の強度がほぼ等しくなる。
一方、光ファイバＦＢ１の光線の中心が配線１１の中心からずれている場合、そのずれの方向に応じて各光ファイバＦＢ２の光強度がばらつく。すなわち、配線１１の中心から比較的近い位置にある光ファイバＦＢ２の光強度が相対的に大きくなり、配線１１の中心から比較的遠い位置にある光ファイバＦＢ２の光強度が相対的に小さくなる。
【００６７】
基板載置板２０１には、図６に示すように光ファイバＦＢ１，ＦＢ２を束ねたケーブルが複数箇所に固定されており、プリント基板１０上の複数の位置に形成された配線１１に対して光線が照射される。作業者は、この複数の位置において合計の光強度がそれぞれ最大となり、かつ、各光ファイバＦＢ２の光強度がほぼ等しくなるように、ディスプレイ上で視覚的に表された光検強度の情報を見ながら基板位置決め板６０の位置を調整する。
【００６８】
このように、プリント基板１０上の複数の位置における反射光の強度に応じて基板載置板２０１の位置を調整する方法によれば、打痕の位置を観察する方法に比べてより簡単に基板載置板２０１の位置を調整することができる。
【００６９】
また、本発明の他の実施形態では、上述のようにして基板配線からの反射光の強度を検出する替わりに、プリント基板１０の位置合わせ用の目印をカメラで撮影してディスプレイに表示してもよい。例えば、プリント基板１０に形成された複数の位置合わせ用目印と対応する基板載置板２０１の複数の箇所に光ファイバの先端を固定し、各光ファイバの他方の先端をカメラに装着して、各位置合わせ用目印の映像をディスプレイに表示させる。作業者は、ディスプレイに映し出される位置合わせ用の目印を見ながら、それぞれがディスプレイ上の所定の領域に位置するように基板位置決め板６０の位置を調整する。このような方法でも、打痕の位置を観察する方法に比べて簡単に基板載置板２０１の位置を調整できる。
【００７０】
なお、上述した実施形態では、検査対象としてプリント基板を例に挙げているが、本発明はこれに限定されない。例えば、半導体パッケージ、ＩＣサブストレート、ＩＣプローブヘッド、液晶モジュール、プラズマディスプレイの電極板、ガラス基板、電子部品実装用のフィルムキャリアなど、配線が形成され得る種々の基板の配線検査用治具に本発明は適用可能である。
【符号の説明】
【００７１】
２，２Ａ，２Ｂ…プローブ、１０…基板、１１…基板位置調整用の配線、２０…配線検査治具、３０…検査ヘッド部、４０…検査部、４１…信号発生回路、４２…測定回路、４３…スキャナ回路、４４…制御装置、５１…光源部、５２…光検出部、６０…基板位置決め板、６１…ガイドピン、７０…固定用雌ネジ形成部材、７１…固定用雄ネジ、８０…押圧部、８１…押圧ピン、８２…押圧ピン案内部、９０…当接部、９１…調節用雄ネジ、９２…調節用雌ネジ形成部材、１０１…案内棒、２０１…基板載置板、２０１Ａ，２０１Ｂ，２０１〜２０７，３０１，３０２…板状部材、２１０…支柱、３０３…バネ、３０４…バネ付き電極、２９，８４，９３，１０２…ネジ、ＦＢ１，ＦＢ２…光ファイバ。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の基板の配線と電気的に接触する複数のプローブを保持した治具本体と、
前記基板を位置決めする位置決め手段が固定された基板位置決め板と、
前記基板位置決め板を前記治具本体に固定する固定手段と、
前記固定手段によって前記基板位置決め板を治具本体に固定する前に、前記治具本体に対する前記基板位置決め板の相対的な位置を調整する位置調整手段と、
を有し、
前記位置調整手段は、
前記治具本体に固定され、前記位置決め手段によって位置決めされた前記基板の配線形成面と平行な方向へ前記基板位置決め板の縁部の少なくとも１箇所を押圧する押圧手段と、
前記治具本体に固定され、前記基板位置決め板の前記縁部の少なくとも１箇所に当接して前記押圧手段の押圧力を受け止めるとともに、前記当接位置を前記配線形成面と平行な方向に変位させることが可能な当接手段と、
を含む、
配線検査治具。
【請求項２】
前記位置決め手段は、前記基板に形成された複数の孔に嵌合する複数のピンを含む、
請求項１に記載の配線検査治具。
【請求項３】
前記治具本体は、一方の面に前記基板が載置され、他方の面に前記基板位置決め板が当接し、前記複数のピンを通す複数のピン貫通孔を有する基板載置板を含み、
前記固定手段は、前記基板位置決め板を前記基板載置板に押し付けて固定する、
請求項２に記載の配線検査治具。
【請求項４】
前記固定手段は、
固定用雄ネジと、
前記固定用雄ネジと螺合する雌ネジが形成され、前記基板位置決め板を間に挟んで前記基板載置板と対面する位置に配置された固定用雌ネジ形成部材と、
を含み、
前記基板載置板及び前記基板位置決め板は、前記固定用雄ネジを貫通するネジ貫通孔をそれぞれ有し、
前記固定用雄ネジは、前記基板載置板の前記ネジ貫通孔に比べて大径の頭部を有する、
請求項３に記載の配線検査治具。
【請求項５】
前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部材の移動を案内するとともに、前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部材の回転を規制する回転規制手段を有する、
請求項４に記載の配線検査治具。
【請求項６】
前記回転規制手段は、前記治具本体に固定され、前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部の移動方向と平行に延びる少なくとも１つの案内棒を含み、
前記板状部材は、
前記案内棒を貫通する案内棒貫通孔を有する、
又は、
前記固定用雌ネジ形成部の縁に設けられた凹部若しくは凸部と嵌合する嵌合部を有する、
請求項５に記載の配線検査治具。
【請求項７】
前記当接手段は、
調整用雄ネジと、
前記調整用雄ネジと螺合する雌ネジが形成され、前記治具本体に固定される調整用雌ネジ形成部材と、
を含み、
前記調整用雄ネジを前記調整用雌ネジ形成部材に対して回転させると、前記調整用雄ネジが前記基板の配線形成面と平行な方向へ変位し、前記調整用雄ネジの一端部が前記基板位置決め板の前記縁部と当接する、
請求項１乃至６の何れか一項に記載の配線検査治具。
【請求項８】
前記治具本体に固定され、前記基板の配線に光線を照射する光線照射手段と、
前記治具本体に固定され、前記光線照射手段により照射された前記光線が前記基板の配線において反射した光を受光する光受光手段と、
前記光受光手段において受光された光の強度を検出する光検出手段と
を有する請求項１乃至７の何れか一項に記載の配線検査治具。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れか一項に記載の配線検査治具と、
前記配線検査治具において保持された複数のプローブにそれぞれ供給される検査用の電気信号を発生する回路と、
前記複数のプローブのそれぞれから入力される電気信号を測定する回路と、
を備える配線検査装置。
【請求項１】
検査対象の基板の配線と電気的に接触する複数のプローブを保持した治具本体と、
前記基板を位置決めする位置決め手段が固定された基板位置決め板と、
前記基板位置決め板を前記治具本体に固定する固定手段と、
前記固定手段によって前記基板位置決め板を治具本体に固定する前に、前記治具本体に対する前記基板位置決め板の相対的な位置を調整する位置調整手段と、
を有し、
前記位置調整手段は、
前記治具本体に固定され、前記位置決め手段によって位置決めされた前記基板の配線形成面と平行な方向へ前記基板位置決め板の縁部の少なくとも１箇所を押圧する押圧手段と、
前記治具本体に固定され、前記基板位置決め板の前記縁部の少なくとも１箇所に当接して前記押圧手段の押圧力を受け止めるとともに、前記当接位置を前記配線形成面と平行な方向に変位させることが可能な当接手段と、
を含む、
配線検査治具。
【請求項２】
前記位置決め手段は、前記基板に形成された複数の孔に嵌合する複数のピンを含む、
請求項１に記載の配線検査治具。
【請求項３】
前記治具本体は、一方の面に前記基板が載置され、他方の面に前記基板位置決め板が当接し、前記複数のピンを通す複数のピン貫通孔を有する基板載置板を含み、
前記固定手段は、前記基板位置決め板を前記基板載置板に押し付けて固定する、
請求項２に記載の配線検査治具。
【請求項４】
前記固定手段は、
固定用雄ネジと、
前記固定用雄ネジと螺合する雌ネジが形成され、前記基板位置決め板を間に挟んで前記基板載置板と対面する位置に配置された固定用雌ネジ形成部材と、
を含み、
前記基板載置板及び前記基板位置決め板は、前記固定用雄ネジを貫通するネジ貫通孔をそれぞれ有し、
前記固定用雄ネジは、前記基板載置板の前記ネジ貫通孔に比べて大径の頭部を有する、
請求項３に記載の配線検査治具。
【請求項５】
前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部材の移動を案内するとともに、前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部材の回転を規制する回転規制手段を有する、
請求項４に記載の配線検査治具。
【請求項６】
前記回転規制手段は、前記治具本体に固定され、前記固定用雄ネジの回転に応じた前記固定用雌ネジ形成部の移動方向と平行に延びる少なくとも１つの案内棒を含み、
前記板状部材は、
前記案内棒を貫通する案内棒貫通孔を有する、
又は、
前記固定用雌ネジ形成部の縁に設けられた凹部若しくは凸部と嵌合する嵌合部を有する、
請求項５に記載の配線検査治具。
【請求項７】
前記当接手段は、
調整用雄ネジと、
前記調整用雄ネジと螺合する雌ネジが形成され、前記治具本体に固定される調整用雌ネジ形成部材と、
を含み、
前記調整用雄ネジを前記調整用雌ネジ形成部材に対して回転させると、前記調整用雄ネジが前記基板の配線形成面と平行な方向へ変位し、前記調整用雄ネジの一端部が前記基板位置決め板の前記縁部と当接する、
請求項１乃至６の何れか一項に記載の配線検査治具。
【請求項８】
前記治具本体に固定され、前記基板の配線に光線を照射する光線照射手段と、
前記治具本体に固定され、前記光線照射手段により照射された前記光線が前記基板の配線において反射した光を受光する光受光手段と、
前記光受光手段において受光された光の強度を検出する光検出手段と
を有する請求項１乃至７の何れか一項に記載の配線検査治具。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れか一項に記載の配線検査治具と、
前記配線検査治具において保持された複数のプローブにそれぞれ供給される検査用の電気信号を発生する回路と、
前記複数のプローブのそれぞれから入力される電気信号を測定する回路と、
を備える配線検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１３−６８５３０（Ｐ２０１３−６８５３０Ａ）
【公開日】平成２５年４月１８日（２０１３．４．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２０７４３９（Ｐ２０１１−２０７４３９）
【出願日】平成２３年９月２２日（２０１１．９．２２）
【出願人】（３０９０４３２１８）ガーディアンジャパン株式会社 (9)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月１８日（２０１３．４．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月２２日（２０１１．９．２２）
【出願人】（３０９０４３２１８）ガーディアンジャパン株式会社 (9)
【Ｆターム（参考）】
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