【課題】簡便で且つ簡素に形成された基準基板を利用することによって行う基板検査治具の位置合わせ方法の提供。
【解決手段】検査対象となる基板の一方面に設定される複数の検査点と夫々導通接触する複数の第一接触部を有する第一基板検査用治具と、該基板の他方面に設定される複数の検査点と夫々導通接触する複数の第二接触部を有する第二基板検査用治具を備える基板検査装置において、第一接続手段５の第一接続部５１と基準基板ＳＷの一方の面に設定された第二基準部ＳＷ２に当接させた後、第二接続手段７の第二接続部７１が基準基板ＳＷの他方の面に設定された第一基準部ＳＷ１と当接するように位置合わせを行う。第二基準部ＳＷ２は、第二配線部ＳＷ５、孔部ＳＷ３と第一配線部ＳＷ４を介して第一基準部ＳＷ１と電気的に接続されているので、電源手段からの電気信号を判定手段が検出することで位置合わせを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥候補を適切に絞り込むことができ、後の欠陥部を特定する工程において、欠陥部を特定する作業時間を短縮する。
【解決手段】検査装置１００は、配線６と電気的に接触する複数のプローブ５と正極及び負極を有し、配線６間の電気特性値を測定する複数の電気特性測定器１と、複数のプローブ５と正極または負極との接続を切り換える切換部２と、切換部２を制御する制御部３とを備えており、制御部３は、複数のプローブ５をプローブ群に分割して電気特性測定器１により測定し、電気特性測定器１で測定される電気特性値に基づき、分割されたプローブ群間で配線６間の良否を判別し、不良があると判別された場合、プローブ群に異なる電気特性測定器１を接続するよう切換部２を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、さらに検査時間の短縮でき、且つ検査回数を低減できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、基板７上の複数の配線６と電気的に接触する複数のプローブ５と、正極及び負極を有し配線６間の電気特性値を測定する電気特性測定器１と、温度または赤外線により基板７の欠陥部を検出する赤外線カメラ８と、電気特性測定結果に基づき配線６間に係る電気特性の良否を判別して欠陥部の候補を絞り込み、絞り込んだ欠陥部の候補を含むプローブ群に関する赤外線カメラ８の検出結果に基づき欠陥部を特定する制御部３とを備えた。制御部３は、複数のプローブ５を２つのプローブ群に分割し、分割後のプローブ群間における電気特性測定を行い、分割されたプローブ群間に欠陥があると判定された場合には、分割されたプローブ群間については接続及び電気特性測定を行わない。 （もっと読む）

【課題】 製造コストが安く、検査対象基板の電気的な導通状態を判定する判定部と検査プローブとの接続、切断の各作業を単純にすることができる基板検査装置を提供すること。
【解決手段】 中継基板２１およびワイヤーケーブル１９等を介して、判定部７ａに接続された検査プローブ１７をプリント基板３の電気的接点３ａに当接させてプリント基板３の導通の状態を判定部７ａで判定する。中継基板２１は、ワイヤーケーブル１９に対応するプローブ側端子３１と、電気接触子４５に対応する判定部側端子３３とを備える。電気接触子４５の先端部と中継基板２１の各判定部側端子３３とを接離自在に当接させて検査プローブ１７と判定部７ａとを電気的に接続する。中継基板２１を、貫通孔１１ａを備えた枠状のベースプレート１１の上面に固定して、プローブ側端子３１を貫通孔１１ａの内部側に位置させ、判定部側端子３３を貫通孔１１ａの外部側に位置させた。 （もっと読む）

【課題】各配線パターンに対する電位差の付与及び付与解除の際の配線パターンに接触される接触ピン等の静電容量を考慮して、複数の配線パターンに対する電気特性検査の順番を決定することができ、しかも検査結果の信頼性を低下させることなく、検査速度の向上が図れる基板検査装置を提供する。
【解決手段】この基板検査装置１では、複数の電気特性検査のうちの付与電位差値が所定の基準レベル未満である電気特性検査では、複数の配線パターンのうちの、配線パターンに接触されている接触ピンの数が多いものから順に注目配線パターンに設定され、複数の電気特性検査のうちの付与電位差値が所定の基準レベル以上である電気特性検査では、複数の配線パターンのうちの、配線パターンに接触されている接触ピンの数が少ないものから順に注目配線パターンに設定される。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上させる。
【解決手段】導体パターンを有する基板に電子部品が搭載された回路基板１００における複数の接触点に対してプロービングされたプローブ２１を介して入出力する電気信号Ｓに基づいて電子部品の良否を判定する検査処理を実行すると共に、検査処理において電子部品が不良と判定したときにはプロービングの再実行後に検査処理を再実行する制御部１８を備え、制御部１８は、検査処理を再実行する際に、直前の検査処理において不良と判定したときの不良の内容が予め決められた特定の内容に該当する電子部品だけを対象として電子部品の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブを正確に接触させることができる配線検査治具を提供する。
【解決手段】押圧部８０において基板位置決め板６０の縁部を押圧しつつ、当接部９０において基板位置決め板６０の縁部における調整用雄ネジ９１の当接位置を変位させることによって、プリント基板１０の位置決め用のガイドピン６１が固定された基板位置決め板６０をプリント基板１０の配線形成面と平行な方向に変位させることができる。 （もっと読む）

【課題】ユニット保持部によってプローブユニットが保持されていない状態においても、移動機構によるユニット保持部の移動に際して生じる位置ずれをキャンセル可能な補正情報を取得する。
【解決手段】移動制御情報Ｄｐに従って移動機構を制御して、位置特定用マーク６ｍが設けられたテストヘッド保持部６を「第２の撮像処理」の実行位置に移動させると共に（ステップ５６（５６ａ））、カメラ５を制御して、テストヘッド保持部６を撮像して撮像データＤ２を出力する「第２の撮像処理」を実行させ（ステップ５７）、かつ、撮像データＤ２に基づいて特定されるマーク６ｍの位置と「保持部マーク位置情報」に基づいて特定されるマーク６ｍの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、「プロービング処理」において使用する移動制御情報Ｄｐを補正するための補正情報Ｄｒとして取得して記憶部に記憶させる（ステップ５８，５９）。 （もっと読む）

【課題】プローブに接続されているケーブルの誤接続に起因して誤った検査結果が出続ける事態を防止する。
【解決手段】複数の導体パターン（１０２ａ〜１０２ｃ）上に規定された各接触点（Ｐ１〜Ｐ４４）にプロービングされた各プローブを介して入出力する電気信号に基づいて、各接触点間の導通状態の良否を判定する第１検査および各導体パターン間の絶縁状態の良否を判定する第２検査を実行する検査部を備え、検査部は、第１検査および第２検査の双方において不良と判定した不良導体パターンが複数存在し、かつ１つの不良導体パターン上における各接触点の中に他の接触点との間の導通状態が不良と判定した不良接触点が存在する不良導体パターンが複数存在するときには、各不良導体パターンの不良接触点にプロービングされているプローブに付された識別情報同士が予め決められた条件を満たすときに報知処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】所望の検査点に各検査用プローブを正確に接触させ得る補正情報を取得する。
【解決手段】補正情報取得処理における位置ずれ状態特定処理において、直線Ｌ１に沿って配設された検査用プローブＰのプロービングによって形成された打痕Ｍ１〜Ｍ９のうちの打痕Ｍ２〜Ｍ９を直線近似した近似直線Ｌａ１と、直線Ｌ２に沿って配設された検査用プローブＰのプロービングによって形成された打痕Ｍ２２〜Ｍ２６，Ｍ１のうちの打痕Ｍ２２〜Ｍ２６を直線近似した近似直線Ｌａ２とが交差する交点Ｃａ１を特定して、直線Ｌ１，Ｌ２とが交差する交点Ｃ１を特定可能に記憶部に記憶された基準位置情報と、特定した交点Ｃａ１の位置情報とに基づいて位置ずれ量および位置ずれ方向を特定する。 （もっと読む）

【課題】コンタクトチェックに要する時間を短縮する。
【解決手段】処理部１０は、検査対象体２１〜２５の電極２１ａ，・・，２５ａとこれに接触させられている端子対３１，・・，３９との間の接触状態を検査する際に、電圧検出用ライン４ａ，４ｂを電圧検出部６から切り離す共に電流供給用ライン３ａ，３ｂに電圧検出部６を接続し、電圧検出用ライン４ａ，４ｂおよび中継ライン７を介して端子対３１，・・，３９を直列接続し、端子対３１，・・，３９の一端に配置されている電流供給端子Ｈｃを電流供給用ライン３ａに、他端に配置されている電圧検出端子Ｈｐを電流供給用ライン３ｂに接続させ、直列接続された各端子対３１，・・，３９に検査電流Ｉを供給したときの電流供給用ライン３ａ，３ｂ間の測定電圧と検査電流Ｉとに基づいて、直列接続された端子対３１，・・，３９と対応する電極２１ａ，・・，２５ａとの間の接触状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームの離間距離をより広げられるようにする。
【解決手段】４端子対法による計測を行うため、電流プローブＰ１，Ｐ２および電圧プローブＰ３，Ｐ４の測定部２０に至る電気配線に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を用い、同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の外部導体Ｓ同士を導通手段７０を介して相互に接続し、可動アーム３１，３２のＸ−Ｙ方向の動きに追従して伸縮するパンタグラフ構造の伸縮手段６０を介して可動アーム３１，３２の間のほぼ中間位置に支持される同軸ケーブル保持手段５０により同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を束ねた状態で保持し、同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各内部導体ＩＬをそれぞれ変形可能な例えば板バネ８１からなる電気的中継手段８０を介して対応するプローブＰ１〜Ｐ４に接続する。 （もっと読む）

【課題】再検査処理の要否を容易に判定すると共に、必要と判定された検査対象体についての再検査処理を容易に実行する。
【解決手段】回路基板についての検査処理を実行する検査部１２と、基板を基板保持部１５ａによって保持して、搬入位置Ｐ１、検査処理位置Ｐ５および搬出位置Ｐ７等に搬送する搬送機構１５と、検査部１２および搬送機構１５を制御する制御部とを備え、検査処理において不良と検査された基板についての再検査処理の要否を判定する判定処理を実行する判定部（カメラ１３および制御部）を備え、制御部は、不良と検査された基板を位置Ｐ６に搬送させて判定処理を実行し、再検査処理を要すると判定したときに、その基板を保持している保持部１５ａからの基板の搬出、およびその保持部１５ａに対する他の基板の搬入を規制する搬出搬入規制処理を実行した後に、その基板を位置Ｐ５に搬送させて再検査処理を実行させる。 （もっと読む）

【課題】プローブを各電極に同時に接触させることが困難な検査対象部品等についての検査を可能とする。
【解決手段】回路基板２の任意の２点間の電気的特性値Ｄｍを測定する測定部５と、この電気的特性値Ｄｍに基づいて２点間に実装されたコンデンサ１１〜１７を検査する処理部６とを備え、一方の電極１３ａがアナログスイッチ１８の一方の入出力電極１８ａに接続され、かつ他方の電極１３ｂが導体パターン３２に接続された第１部品としてのコンデンサ１３の検査に際し、測定部５は、アナログスイッチ１８の他方の入出力電極１８ｂと導体パターン３２との２点間の電気的特性値Ｄｍを測定し、処理部６は、アナログスイッチ１８をオン状態に移行させたときに測定部５によって測定される電気的特性値Ｄｍである第１電気的特性値Ｄｍ１に基づいてコンデンサ１３の電気的特性値Ｄｍを算出し、この電気的特性値Ｄｍに基づいてコンデンサ１３を検査する。 （もっと読む）

【課題】短時間で容易に且つ高い精度で、基板の周辺部の残膜の検査ができる。
【解決手段】絶縁測定用プローブユニットは、基板表面の内側部と周辺部との間での絶縁状態を測定する。上記基板表面の周辺部と同じ形状に形成されて周辺部全体に面状に接触して全面導通する面プローブと、上記基板表面の内側部に接触するコンタクトプローブとを備え、上記面プローブが接触した上記基板表面の周辺部と、上記コンタクトプローブが接触した上記基板表面の内側部との間の絶縁状態を測定する。搬送機構、検査ステージ、測定回路ユニット、昇降機構等を備えた絶縁測定装置に、上記絶縁測定用プローブユニットを組み込んだ。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上させる。
【解決手段】一方の面に形成されているフィデューシャルマーク１０２ａの撮像結果および他方の面に形成されているフィデューシャルマーク１０３ａの撮像結果に基づいてプロービング位置を補正しつつ検査用プローブをそれぞれプロービングさせる第１プロービング機構および第２プロービング機構と、各検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて電気的検査を実行する検査部と、一方の面におけるパターン形成領域２０１ａと他方の面におけるパターン形成領域２０２ａとの相対的な位置ずれ量Ｇｒ１ｘ，Ｇｒ１ｙを特定する処理を実行する処理部と、位置ずれ量Ｇｒ１ｘ，Ｇｒ１ｙと基準値とを比較して回路基板１００の良否を判定する判定部とを備え、処理部は、撮像結果に基づいて測定した第１基準パターンおよび第２基準パターンの各測定位置に基づいて位置ずれ量Ｇｒ１ｘ，Ｇｒ１ｙを特定する。 （もっと読む）

【課題】検査用プローブ同士を接続するケーブル、プローブ保持部および検査用プローブの破損を防止する。
【解決手段】プローブ保持部１３ａ，１３ｂによって保持されている検査用プローブ４１を基板１００にプロービングさせるプロービング部３と、プロービング部３を制御する制御部と、各検査用プローブ４１を介して入出力する電気信号に基づいて電気的検査を実行する検査部と、各検査用プローブ４１間の第１距離Ｌｍ１が第１上限距離Ｌａ１以上となる状態および各検査用プローブ４１間の第２距離Ｌｍ２が第２上限距離Ｌａ２以上となる状態（離反状態）を検出する検出部とを備え、制御部は、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂを基板１００の表面に沿って移動させる際に、検出部による離反状態の検出結果に基づいてプロービング部３を制御して、第１距離Ｌｍ１が第１上限距離Ｌａ１未満でかつ第２距離Ｌｍ２が第２上限距離Ｌａ２未満となる状態を維持させる。 （もっと読む）

【課題】隣接する一対の枝配線間の短絡を確実に検査する。
【解決手段】一対の検査枝配線１３，１４の両側の枝配線１２，１５を補助枝配線として規定したときに、一方の検査枝配線１４および補助枝配線１２，１５のうちのこの検査枝配線１４側の補助枝配線１５で構成される電流供給枝配線の組にランド２４，２５から検査電流Ｉを供給する電流供給部２と、他方の検査枝配線１３および補助枝配線１２，１５のうちのこの検査枝配線１３側の補助枝配線１２で構成される電圧検出枝配線の組のランド２２，２３間に発生する電圧Ｖを測定する電圧測定部３と、この電圧Ｖと判定データＤｒｅｆで示される判定範囲とを比較して一対の検査枝配線１３，１４間の短絡の有無を検査する処理部５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】荷重点である変位出力端側に応答特性に優れた拡大移動量を付与して電気計測プローブをＺ軸方向に迅速に移動させることができる変位拡大機構および基板検査装置の提供。
【解決手段】基台部１２と、力点として作用させる当接部２５を備えて伸縮制御を自在に配設される伸縮体２２と、該伸縮体２２側からの押圧力を受けて変位出力端５７側に対しＺ軸方向への変位量を拡大して伝達すべく、基台部１２を含む必要箇所に介在させた各支点部１５を介して連結されるアーム体３２とで変位拡大機構１１を構成し、該変位拡大機構１１を具備させることで基板検査装置を形成した。これにより、電気計測プローブＰが取り付けられる変位出力端５７側に対しては、アーム体３２を介してＺ軸方向での拡大された非線形の変位量を平行リンクを介して線形の変位量として出力することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】 可撓性の薄板状の被処理物を載置台に確実に密接させることができるとともに、被処理物の載置台に対する正確な位置を認識することができ、さらに、部品点数を少なくして小型化することができる被処理物処理装置を提供すること。
【解決手段】 プリント基板６３を載置台６４に載置する。上側検査プローブ側部材６５は、載置台６４に対して近接または離間する方向に移動し、近接する方向に移動してプリント基板６３の電気的な導通の状態を検査する。プリント基板６３の載置台６４に対する位置を画像撮影装置２１で認識する。画像撮影装置２１により認識したプリント基板６３の位置に基づき、載置台６４上の所定の位置にプリント基板６３を移動させる。画像撮影装置２１によりプリント基板６３の位置を認識する際に、プリント基板６３を押圧子４５により直接押圧して載置台６３に密接させる。 （もっと読む）