開閉弁装置及び開閉弁装置の取り付け方法
【課題】設置作業の容易化を図った開閉弁装置及び開閉弁装置の取り付け方法を提供する。
【解決手段】開閉弁装置は、通路２と、この通路内の中途に設けられ、通路内を開閉する弁５と、弁５に取り付けられ、弁５を支持する弁軸６と、弁軸６を駆動するサーボモータ１１と、弁軸６に固定され弁５の全開全閉範囲を規制する回動体１４を設けた構造に於いて、弁本体と駆動部とを接続する雄ネジ８を取り外し、駆動部の取付位置を回転自在に設定可能とし、再設定位置で雄ネジ８を取り付けると共に回動体１４の回動規制位置を再設定することにより、弁本体に対して駆動部の配置の自由性を向上させる。
【解決手段】開閉弁装置は、通路２と、この通路内の中途に設けられ、通路内を開閉する弁５と、弁５に取り付けられ、弁５を支持する弁軸６と、弁軸６を駆動するサーボモータ１１と、弁軸６に固定され弁５の全開全閉範囲を規制する回動体１４を設けた構造に於いて、弁本体と駆動部とを接続する雄ネジ８を取り外し、駆動部の取付位置を回転自在に設定可能とし、再設定位置で雄ネジ８を取り付けると共に回動体１４の回動規制位置を再設定することにより、弁本体に対して駆動部の配置の自由性を向上させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、開閉弁装置及び開閉弁装置の取り付け方法に係り、特に、設置作業の容易化を図った開閉弁装置及び開閉弁装置の取り付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、通路内を弁により開閉する開閉弁装置がある。
この開閉弁装置の弁は、回動自在な弁軸に支持され、前記弁軸は、ラックギヤ、歯車等の伝達手段を介して前記弁軸の長手方向に直交する方向に設けられた弁軸駆動手段により回動するようになっている。
弁軸駆動手段は、例えば、サーボモーターの回転を減速機を介して伝達手段に伝達されるようになっている。
上記開閉弁装置を通路に取り付けた場合、通路近傍に障害物となるものがなく、弁軸の長手方向に直交する方向に設けられた弁軸駆動手段の占有部位に支障を生じない場合は問題がない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、弁軸駆動手段の占有部位に障害物が生じた場合、上記開閉弁装置にあっては、サーボモーターの位置決め動作する時の基準位置を固定して設けているため、開閉弁装置の側では対応できず、通路近傍の支障を生じていた障害物を移動しなければならず、設置作業に支障を来すという問題点があった。
【０００４】
本発明は、上記問題点を考慮してなされた開閉弁装置及び開閉弁装置の取り付け方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の開閉弁装置は、通路と、この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、この第１の回動体に設けられた係止部材と、前記覆い体に設けられたベースと、このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものである。
【０００６】
また、請求項２記載の開閉弁装置は、請求項１記載の開閉弁装置において、伝達手段は、回転軸に設けた第１のハイポイドギヤ、弁軸に設けた前記第１のハイポイドギヤに噛み合う第２のハイポイドギヤである。
【０００７】
また、請求項３記載の開閉弁装置の取り付け方法は、通路と、この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、この第１の回動体に設けられた係止部材と、前記覆い体に設けられたベースと、このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を反時計回りに９０°回転させ、前記弁を反時計回りに９０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第４の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御するものである。
【０００８】
また、請求項４記載の開閉弁装置の取り付け方法は、通路と、この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、この第１の回動体に設けられた係止部材と、前記覆い体に設けられたベースと、このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を時計回りに９０°回転させ、前記弁を時計回りに９０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第２の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御するものである。
【０００９】
また、請求項５記載の開閉弁装置の取り付け方法は、通路と、この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、この第１の回動体に設けられた係止部材と、前記覆い体に設けられたベースと、このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を時計回りに１８０°回転させ、前記弁を時計回りに１８０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第３の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御するするものである。
【００１０】
また、請求項６記載の開閉弁装置の取り付け方法は、通路と、この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、この第１の回動体に設けられた係止部材と、前記覆い体に設けられたベースと、このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を反時計回りに１８０°回転させ、前記弁を反時計回りに１８０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第３の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御するものである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の開閉弁装置によれば、雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置されているため、通路の近傍にある障害物がある場合に対応して、弁軸の長手方向に直交する方向に位置する回転する回転軸を有する減速機、この減速機の駆動源であるサーボモータの位置を４方向に移動できると共に、制御手段により弁の開閉を制御することができる。
例えば、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を反時計回りに９０°回転させ、前記弁を反時計回りに９０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第４の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御することができる。
また、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を時計回りに９０°回転させ、弁を時計回りに９０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第２の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御することができる。
また、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を時計回りに１８０°回転させ、弁を時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第３の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動さ
また、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を反時計回りに１８０°回転させ、弁を反時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第３の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るようにサーボモーターを制御することができる。
【００１２】
また、請求項３記載の開閉弁装置の取り付け方法によれば、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を反時計回りに９０°回転させ、弁を反時計回りに９０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第４の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るようにサーボモーターを制御することができる。
【００１３】
また、請求項４記載の開閉弁装置の取り付け方法によれば、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を時計回りに９０°回転させ、弁を時計回りに９０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第２の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るようにサーボモーターを制御することができる。
【００１４】
また、請求項５記載の開閉弁装置の取り付け方法によれば、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を時計回りに１８０°回転させ、弁を時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第３の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るようにサーボモーターを制御することができる。
【００１５】
また、請求項６記載の開閉弁装置の取り付け方法によれば、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を反時計回りに１８０°回転させ、弁を反時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第３の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るようにサーボモーターを制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の一実施例の開閉弁装置の概略的平面図である。
【図２】図２は、図１の開閉弁装置の概略的斜視図である。
【図３】図３は、図１の矢印Ａ方向から見た概略的図である。
【図４】図４は、図３の４−４線による概略的断面図である。
【図５】図５は、図３の開閉弁装置から、カバーを取り外し、伝達手段を示す概略的一部断面図である。
【図６】図６は、図５の矢印Ｃ方向から見た概略的図である。
【図７】図７は、図６の作動状態を示す概略的図である。
【図８】図８は、図１の開閉弁装置が障害物のために取り付けられない状態を示す概略的平面図である。
【図９】図９は、図８の開閉弁装置の減速機、サーボモータを移動させた状態の概略的平面図である。
【図１０】図１０は、図９の一部を拡大して示す概略的一部拡大平面図である。
【図１１】図１１は、図１０の開閉弁装置の概略的斜視図である。
【図１２】図１２〜図１５は、図８の開閉弁装置の減速機、サーボモータを移動させる一態様を示すもので、図１２は、図６のベースを時計回りに９０°回転させた状態の概略的図である。
【図１３】図１３は、図１２の雄ネジ体を取り外し、取り外した雄ネジ体を第４の雌ねじ部に係止する前の状態を示す概略的図である。
【図１４】図１４は、図１３の弁を反時計回りに９０°回転させた状態の概略的図である。
【図１５】図１５は、図１４の弁の作動状態の概略的図である。
【図１６】図１６〜図１９は、図８の開閉弁装置の減速機、サーボモータを移動させる一態様を示すもので、図１６は、図６のベースを反時計回りに９０°回転させた状態の概略的図である。
【図１７】図１７は、図１６の雄ネジ体を取り外し、取り外した雄ネジ体を第２の雌ねじ部に係止する前の状態であって、図１６の弁を時計回りに９０°回転させた状態の概略的図である。
【図１８】図１８は、図１７の取り外した雄ネジ体を第２の雌ねじ部に係止させた状態の概略的図である。
【図１９】図１９は、図１８の弁の作動状態の概略的図である。
【図２０】図２０〜図２３は、図８（ベースは、図６の状態）の開閉弁装置の減速機、サーボモータを移動させる一態様を示すもので、図２０は、図６のベースを反時計回りに１８０°回転させた状態の概略的図である。
【図２１】図２１は、図２０の雄ネジ体を取り外し、取り外した雄ネジ体を第３の雌ねじ部に係止する前の状態であって、図２０の弁を時計回りに１８０°回転させた状態の概略的図である。
【図２２】図２２は、図２１の取り外した雄ネジ体を第３の雌ねじ部に係止させた状態の概略的図である。
【図２３】図２３は、図２２の弁の作動状態の概略的図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の一実施例の開閉弁装置及び開閉弁装置の取り付け方法を図面を参照して説明する。
図１に示すＫは、開閉弁装置で、開閉弁装置Ｋは、例えば、真空ラインにおいて、流体の供給及び停止を連続して行うガス導入弁または排気弁として流体の供給経路に介装して使用されるものである。弁５は、例えば、バタフライ弁で、弁の周囲には、シール部材としてＯリング１が装着されている。
【００１８】
２は通路で、通路２は、第１の通路２１、第２の通路２２で構成され、通路２と開閉弁装置Ｋとは、第１の通路２１のフランジ部２１ａと第２の通路２２のフランジ部２２ａとの間に開閉弁装置Ｋの環状部３を介在させ、ボルト、ナットによる締結手段４で接続されている。３ａは、環状部３を支持する支持部で、支持部３ａと環状部３とは、一体となっている。
弁５は、通路２内の中途に設けられ、通路２内を開閉するもので、弁５の形状は、例えば、略円盤形状となっている。弁５は、弁５に取り付けられた弁軸６により支持されるようになっている。
【００１９】
図５に示す７は、弁軸６の弁５より遠い側の弁軸６を覆う覆い体で、７ａは、覆い体７の取り付けベースで、覆い体７と支持部３ａとは、雄ネジ８で連結されるようになっている。
また、 図５に示す１１は、覆い体７の外側に設けられたサーボモーター、１２は、サーボモーター１１の回転を減速させる減速機で、減速機１２は、サーボモーター１１と同様、覆い体７の外側に設けられている。減速機１２の回転軸１２ａは、弁軸６の長手方向に直交する方向に回転するようになっている。
減速機１２の回転軸１２ａは、伝達手段により弁軸６に伝達される。伝達手段は、例えば、回転軸１２ａに設けた第１のハイポイドギヤ１３ａ、弁軸６に設けた第１のハイポイドギヤ１３ａに噛み合う第２のハイポイドギヤ１３ｂである。
【００２０】
また、 図６に示す１４は、弁軸６の弁５より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体で、１４ａは、第１の回動体に設けられた係止部材である。また、１５は、弁軸６の弁５より遠い側の端部に取り付けられた第２の回動体で、第２の回動体１５には、第１、第２のスリット１５ａ、１５ｂが設けられている。また、１６はフォトセンサーで 、フォトセンサー１６は、弁５が通路２内を全閉している状態(図６参照)を第１のスリット１５ａを介して検知するようにしている。
そして、 図６に示す雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させ、サーボモーター１１を係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材１４ａが雄ネジ体１７から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）(図７参照)るようにサーボモーター１１を制御するようにしている。
なお、係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接させる第１の回動は、サーボモーター１１が位置決め動作する時の基準位置（原点）を求める動作で、例えば、係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接した位置を原点とし、サーボモーター１１を制御手段１００（図２参照）により制御するようにしている。第１の回動においては、弁５が通路２内を全閉(図６参照)、第２の回動においては、弁５が通路２内を全開(図７参照)となるように調整している。
【００２１】
また、図５に示す１８は、覆い体７に設けられたベースで、上述した雄ネジ体１７は、ベース１８に着脱自在に取り付けられ、係止部材１４ａの動きを規制するものである。
雄ネジ体１７は、ベース１８に設けられた４個の雌ネジ部の一に螺合することにより取り付けられている。
この４個の雌ネジ部は、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄで構成されると共に、同一円周上に等間隔(９０°)に配置され、図６においては、第１の雌ネジ部１８ａに雄ネジ体１７が螺合している。
なお、図５に示す１９、２０は軸受けであり、２１はカバーである。
【００２２】
（図６の状態から、ベース１８を時計回りに９０°回転する場合）
図８に示すように、通路２の近傍に障害物２００があり、この障害物２００を移動させなければ、開閉弁装置Ｋを通路２に取り付けることができない場合がある。
このような場合、本実施例の開閉弁装置Ｋ（開閉弁装置の取り付け方法）においては、サーボモーター１１等を移動させることにより、障害物２００を移動させないで開閉弁装置Ｋを通路２に取り付けることができる（図９〜図１１参照）。
即ち、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合、先ず、雄ネジ８を取り外して、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとの連結状態を解くと共に、フォトセンサ１６をベース１８から取り外し、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１７ａに係止させた状態（図６のフォトセンサ１６をベース１８から取り外した状態）から、ベース１８と共に、サーボモータ１１及び減速機１２を弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させ（図１２参照）、その後、 雄ネジ体１７を第１の雌ネジ部１８ａから外し（図１３参照）、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、弁５を反時計回りに９０°回転させ、弁５を反時計回りに９０°回転前又は回転後、雄ネジ体１７を第４の雌ネジ部１８ｄに係止させる（図１４参照）。
係止後、フォトセンサ１６をベース１８に取り付けると共に、雄ネジ８により、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとを連結する。連結後、制御手段１００により、サーボモーター１１を係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という。図１４参照）、その後、係止部材１４ａが雄ネジ体１７から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という。図１５参照）るようにサーボモーター１１を制御するようにしている。
【００２３】
（図６の状態から、ベース１８を反時計回りに９０°回転する場合）
また、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させた状態（図６の状態）から、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合（図１６〜図１９参照）、上述の実施例と同様に、雄ネジ８を取り外して、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとの連結状態を解くと共に、フォトセンサ１６をベース１８から取り外し、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１７ａに係止させた状態から、ベース１８と共に、サーボモータ１１及び減速機１２を弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させ（図１６参照）、その後、 雄ネジ体１７を第１の雌ネジ部１８ａから外し（図１７参照）、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、弁５を時計回りに９０°回転させ（図１８参照）、弁５を時計回りに９０°回転前又は回転後、雄ネジ体１７を第２の雌ネジ部１８ｂに係止させ（係止後、フォトセンサ１６をベース１８に取り付けると共に、雄ネジ８により、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとを連結する。）、制御手段１００により、サーボモーター１１を係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という。図１８参照）、その後、係止部材１４ａが雄ネジ体１７から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という。図１９参照）るようにサーボモーター１１を制御するようにしている。
【００２４】
（図６の状態から、ベース１８を反時計回りに１８０°回転する場合）
また、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させた状態（図６の状態）から、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合（図２０〜図２３参照）、上述の実施例と同様に、雄ネジ８を取り外して、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとの連結状態を解くと共に、フォトセンサ１６をベース１８から取り外し、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１７ａに係止させた状態から、ベース１８と共に、サーボモータ１１及び減速機１２を弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させ（図２０参照）、その後、雄ネジ体１７を第１の雌ネジ部１８ａから外し、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、弁５を時計回りに１８０°回転させ（図２１参照）、弁５を時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体１７を第３の雌ネジ部１８ｃに係止させ（係止後、フォトセンサ１６をベース１８に取り付けると共に、雄ネジ８により、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとを連結する。）、制御手段１００により、サーボモーター１１を係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という。図２２参照）、その後、係止部材１４ａが雄ネジ体１７から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という。図２３参照）るようにサーボモーター１１を制御するようにしている。
【００２５】
（図６の状態から、ベース１８を時計回りに１８０°回転する場合）
なお、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させた状態から、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させた状態から、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合（図２０〜図２３参照）と同様であるので、その説明を図２０〜図２３を使って以下説明する。
雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させた状態（図６の状態）から、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合、上述の実施例と同様に、雄ネジ８を取り外して、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとの連結状態を解くと共に、フォトセンサ１６をベース１８から取り外し、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１７ａに係止させた状態から、ベース１８と共に、サーボモータ１１及び減速機１２を弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させ（図２０参照）、その後、雄ネジ体１７を第１の雌ネジ部１８ａから外し、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、弁５を反時計回りに１８０°回転させ（図２１参照）、弁５を反時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体１７を第３の雌ネジ部１８ｃに係止させ（係止後、フォトセンサ１６をベース１８に取り付けると共に、雄ネジ８により、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとを連結する。）、制御手段１００により、サーボモーター１１を係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という。図２２参照）、その後、係止部材１４ａが雄ネジ体１７から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という。図２３参照）るようにサーボモーター１１を制御するようにしている。
【符号の説明】
【００２６】
Ｋ 開閉弁装置
２ 通路
５ 弁
６ 弁軸
７ 覆い体
１１ サーボモーター
１２ 減速機
１２ａ 減速機の回転軸
１４ 第１の回動体
１４ａ 係止部材
１７ 雄ネジ体
１８ａ 第１の雌ネジ部
１８ｂ 第２の雌ネジ部
１８ｃ 第３の雌ネジ部
１８ｄ 第４の雌ネジ部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、開閉弁装置及び開閉弁装置の取り付け方法に係り、特に、設置作業の容易化を図った開閉弁装置及び開閉弁装置の取り付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、通路内を弁により開閉する開閉弁装置がある。
この開閉弁装置の弁は、回動自在な弁軸に支持され、前記弁軸は、ラックギヤ、歯車等の伝達手段を介して前記弁軸の長手方向に直交する方向に設けられた弁軸駆動手段により回動するようになっている。
弁軸駆動手段は、例えば、サーボモーターの回転を減速機を介して伝達手段に伝達されるようになっている。
上記開閉弁装置を通路に取り付けた場合、通路近傍に障害物となるものがなく、弁軸の長手方向に直交する方向に設けられた弁軸駆動手段の占有部位に支障を生じない場合は問題がない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、弁軸駆動手段の占有部位に障害物が生じた場合、上記開閉弁装置にあっては、サーボモーターの位置決め動作する時の基準位置を固定して設けているため、開閉弁装置の側では対応できず、通路近傍の支障を生じていた障害物を移動しなければならず、設置作業に支障を来すという問題点があった。
【０００４】
本発明は、上記問題点を考慮してなされた開閉弁装置及び開閉弁装置の取り付け方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の開閉弁装置は、通路と、この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、この第１の回動体に設けられた係止部材と、前記覆い体に設けられたベースと、このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものである。
【０００６】
また、請求項２記載の開閉弁装置は、請求項１記載の開閉弁装置において、伝達手段は、回転軸に設けた第１のハイポイドギヤ、弁軸に設けた前記第１のハイポイドギヤに噛み合う第２のハイポイドギヤである。
【０００７】
また、請求項３記載の開閉弁装置の取り付け方法は、通路と、この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、この第１の回動体に設けられた係止部材と、前記覆い体に設けられたベースと、このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を反時計回りに９０°回転させ、前記弁を反時計回りに９０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第４の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御するものである。
【０００８】
また、請求項４記載の開閉弁装置の取り付け方法は、通路と、この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、この第１の回動体に設けられた係止部材と、前記覆い体に設けられたベースと、このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を時計回りに９０°回転させ、前記弁を時計回りに９０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第２の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御するものである。
【０００９】
また、請求項５記載の開閉弁装置の取り付け方法は、通路と、この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、この第１の回動体に設けられた係止部材と、前記覆い体に設けられたベースと、このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を時計回りに１８０°回転させ、前記弁を時計回りに１８０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第３の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御するするものである。
【００１０】
また、請求項６記載の開閉弁装置の取り付け方法は、通路と、この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、この第１の回動体に設けられた係止部材と、前記覆い体に設けられたベースと、このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を反時計回りに１８０°回転させ、前記弁を反時計回りに１８０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第３の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御するものである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の開閉弁装置によれば、雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、ベースに４個形成され、この４個の雌ネジ部は、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置されているため、通路の近傍にある障害物がある場合に対応して、弁軸の長手方向に直交する方向に位置する回転する回転軸を有する減速機、この減速機の駆動源であるサーボモータの位置を４方向に移動できると共に、制御手段により弁の開閉を制御することができる。
例えば、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を反時計回りに９０°回転させ、前記弁を反時計回りに９０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第４の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御することができる。
また、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を時計回りに９０°回転させ、弁を時計回りに９０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第２の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御することができる。
また、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を時計回りに１８０°回転させ、弁を時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第３の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動さ
また、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を反時計回りに１８０°回転させ、弁を反時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第３の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るようにサーボモーターを制御することができる。
【００１２】
また、請求項３記載の開閉弁装置の取り付け方法によれば、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を反時計回りに９０°回転させ、弁を反時計回りに９０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第４の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るようにサーボモーターを制御することができる。
【００１３】
また、請求項４記載の開閉弁装置の取り付け方法によれば、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を時計回りに９０°回転させ、弁を時計回りに９０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第２の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るようにサーボモーターを制御することができる。
【００１４】
また、請求項５記載の開閉弁装置の取り付け方法によれば、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を時計回りに１８０°回転させ、弁を時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第３の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るようにサーボモーターを制御することができる。
【００１５】
また、請求項６記載の開閉弁装置の取り付け方法によれば、雄ネジ体に第１の雌ネジ部に係止させた状態から、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ及び減速機を移動させたい場合、ベースと共に、サーボモータ及び減速機を弁軸の弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させ、その後、 雄ネジ体を第１の雌ネジ部から外し、弁軸の弁より遠い側の端部から見て、弁を反時計回りに１８０°回転させ、弁を反時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体を第３の雌ネジ部に係止させ、制御手段により、サーボモーターを係止部材に雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材が雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るようにサーボモーターを制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の一実施例の開閉弁装置の概略的平面図である。
【図２】図２は、図１の開閉弁装置の概略的斜視図である。
【図３】図３は、図１の矢印Ａ方向から見た概略的図である。
【図４】図４は、図３の４−４線による概略的断面図である。
【図５】図５は、図３の開閉弁装置から、カバーを取り外し、伝達手段を示す概略的一部断面図である。
【図６】図６は、図５の矢印Ｃ方向から見た概略的図である。
【図７】図７は、図６の作動状態を示す概略的図である。
【図８】図８は、図１の開閉弁装置が障害物のために取り付けられない状態を示す概略的平面図である。
【図９】図９は、図８の開閉弁装置の減速機、サーボモータを移動させた状態の概略的平面図である。
【図１０】図１０は、図９の一部を拡大して示す概略的一部拡大平面図である。
【図１１】図１１は、図１０の開閉弁装置の概略的斜視図である。
【図１２】図１２〜図１５は、図８の開閉弁装置の減速機、サーボモータを移動させる一態様を示すもので、図１２は、図６のベースを時計回りに９０°回転させた状態の概略的図である。
【図１３】図１３は、図１２の雄ネジ体を取り外し、取り外した雄ネジ体を第４の雌ねじ部に係止する前の状態を示す概略的図である。
【図１４】図１４は、図１３の弁を反時計回りに９０°回転させた状態の概略的図である。
【図１５】図１５は、図１４の弁の作動状態の概略的図である。
【図１６】図１６〜図１９は、図８の開閉弁装置の減速機、サーボモータを移動させる一態様を示すもので、図１６は、図６のベースを反時計回りに９０°回転させた状態の概略的図である。
【図１７】図１７は、図１６の雄ネジ体を取り外し、取り外した雄ネジ体を第２の雌ねじ部に係止する前の状態であって、図１６の弁を時計回りに９０°回転させた状態の概略的図である。
【図１８】図１８は、図１７の取り外した雄ネジ体を第２の雌ねじ部に係止させた状態の概略的図である。
【図１９】図１９は、図１８の弁の作動状態の概略的図である。
【図２０】図２０〜図２３は、図８（ベースは、図６の状態）の開閉弁装置の減速機、サーボモータを移動させる一態様を示すもので、図２０は、図６のベースを反時計回りに１８０°回転させた状態の概略的図である。
【図２１】図２１は、図２０の雄ネジ体を取り外し、取り外した雄ネジ体を第３の雌ねじ部に係止する前の状態であって、図２０の弁を時計回りに１８０°回転させた状態の概略的図である。
【図２２】図２２は、図２１の取り外した雄ネジ体を第３の雌ねじ部に係止させた状態の概略的図である。
【図２３】図２３は、図２２の弁の作動状態の概略的図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の一実施例の開閉弁装置及び開閉弁装置の取り付け方法を図面を参照して説明する。
図１に示すＫは、開閉弁装置で、開閉弁装置Ｋは、例えば、真空ラインにおいて、流体の供給及び停止を連続して行うガス導入弁または排気弁として流体の供給経路に介装して使用されるものである。弁５は、例えば、バタフライ弁で、弁の周囲には、シール部材としてＯリング１が装着されている。
【００１８】
２は通路で、通路２は、第１の通路２１、第２の通路２２で構成され、通路２と開閉弁装置Ｋとは、第１の通路２１のフランジ部２１ａと第２の通路２２のフランジ部２２ａとの間に開閉弁装置Ｋの環状部３を介在させ、ボルト、ナットによる締結手段４で接続されている。３ａは、環状部３を支持する支持部で、支持部３ａと環状部３とは、一体となっている。
弁５は、通路２内の中途に設けられ、通路２内を開閉するもので、弁５の形状は、例えば、略円盤形状となっている。弁５は、弁５に取り付けられた弁軸６により支持されるようになっている。
【００１９】
図５に示す７は、弁軸６の弁５より遠い側の弁軸６を覆う覆い体で、７ａは、覆い体７の取り付けベースで、覆い体７と支持部３ａとは、雄ネジ８で連結されるようになっている。
また、 図５に示す１１は、覆い体７の外側に設けられたサーボモーター、１２は、サーボモーター１１の回転を減速させる減速機で、減速機１２は、サーボモーター１１と同様、覆い体７の外側に設けられている。減速機１２の回転軸１２ａは、弁軸６の長手方向に直交する方向に回転するようになっている。
減速機１２の回転軸１２ａは、伝達手段により弁軸６に伝達される。伝達手段は、例えば、回転軸１２ａに設けた第１のハイポイドギヤ１３ａ、弁軸６に設けた第１のハイポイドギヤ１３ａに噛み合う第２のハイポイドギヤ１３ｂである。
【００２０】
また、 図６に示す１４は、弁軸６の弁５より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体で、１４ａは、第１の回動体に設けられた係止部材である。また、１５は、弁軸６の弁５より遠い側の端部に取り付けられた第２の回動体で、第２の回動体１５には、第１、第２のスリット１５ａ、１５ｂが設けられている。また、１６はフォトセンサーで 、フォトセンサー１６は、弁５が通路２内を全閉している状態(図６参照)を第１のスリット１５ａを介して検知するようにしている。
そして、 図６に示す雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させ、サーボモーター１１を係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、係止部材１４ａが雄ネジ体１７から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）(図７参照)るようにサーボモーター１１を制御するようにしている。
なお、係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接させる第１の回動は、サーボモーター１１が位置決め動作する時の基準位置（原点）を求める動作で、例えば、係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接した位置を原点とし、サーボモーター１１を制御手段１００（図２参照）により制御するようにしている。第１の回動においては、弁５が通路２内を全閉(図６参照)、第２の回動においては、弁５が通路２内を全開(図７参照)となるように調整している。
【００２１】
また、図５に示す１８は、覆い体７に設けられたベースで、上述した雄ネジ体１７は、ベース１８に着脱自在に取り付けられ、係止部材１４ａの動きを規制するものである。
雄ネジ体１７は、ベース１８に設けられた４個の雌ネジ部の一に螺合することにより取り付けられている。
この４個の雌ネジ部は、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄで構成されると共に、同一円周上に等間隔(９０°)に配置され、図６においては、第１の雌ネジ部１８ａに雄ネジ体１７が螺合している。
なお、図５に示す１９、２０は軸受けであり、２１はカバーである。
【００２２】
（図６の状態から、ベース１８を時計回りに９０°回転する場合）
図８に示すように、通路２の近傍に障害物２００があり、この障害物２００を移動させなければ、開閉弁装置Ｋを通路２に取り付けることができない場合がある。
このような場合、本実施例の開閉弁装置Ｋ（開閉弁装置の取り付け方法）においては、サーボモーター１１等を移動させることにより、障害物２００を移動させないで開閉弁装置Ｋを通路２に取り付けることができる（図９〜図１１参照）。
即ち、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合、先ず、雄ネジ８を取り外して、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとの連結状態を解くと共に、フォトセンサ１６をベース１８から取り外し、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１７ａに係止させた状態（図６のフォトセンサ１６をベース１８から取り外した状態）から、ベース１８と共に、サーボモータ１１及び減速機１２を弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させ（図１２参照）、その後、 雄ネジ体１７を第１の雌ネジ部１８ａから外し（図１３参照）、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、弁５を反時計回りに９０°回転させ、弁５を反時計回りに９０°回転前又は回転後、雄ネジ体１７を第４の雌ネジ部１８ｄに係止させる（図１４参照）。
係止後、フォトセンサ１６をベース１８に取り付けると共に、雄ネジ８により、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとを連結する。連結後、制御手段１００により、サーボモーター１１を係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という。図１４参照）、その後、係止部材１４ａが雄ネジ体１７から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という。図１５参照）るようにサーボモーター１１を制御するようにしている。
【００２３】
（図６の状態から、ベース１８を反時計回りに９０°回転する場合）
また、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させた状態（図６の状態）から、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合（図１６〜図１９参照）、上述の実施例と同様に、雄ネジ８を取り外して、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとの連結状態を解くと共に、フォトセンサ１６をベース１８から取り外し、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１７ａに係止させた状態から、ベース１８と共に、サーボモータ１１及び減速機１２を弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させ（図１６参照）、その後、 雄ネジ体１７を第１の雌ネジ部１８ａから外し（図１７参照）、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、弁５を時計回りに９０°回転させ（図１８参照）、弁５を時計回りに９０°回転前又は回転後、雄ネジ体１７を第２の雌ネジ部１８ｂに係止させ（係止後、フォトセンサ１６をベース１８に取り付けると共に、雄ネジ８により、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとを連結する。）、制御手段１００により、サーボモーター１１を係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という。図１８参照）、その後、係止部材１４ａが雄ネジ体１７から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という。図１９参照）るようにサーボモーター１１を制御するようにしている。
【００２４】
（図６の状態から、ベース１８を反時計回りに１８０°回転する場合）
また、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させた状態（図６の状態）から、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合（図２０〜図２３参照）、上述の実施例と同様に、雄ネジ８を取り外して、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとの連結状態を解くと共に、フォトセンサ１６をベース１８から取り外し、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１７ａに係止させた状態から、ベース１８と共に、サーボモータ１１及び減速機１２を弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させ（図２０参照）、その後、雄ネジ体１７を第１の雌ネジ部１８ａから外し、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、弁５を時計回りに１８０°回転させ（図２１参照）、弁５を時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体１７を第３の雌ネジ部１８ｃに係止させ（係止後、フォトセンサ１６をベース１８に取り付けると共に、雄ネジ８により、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとを連結する。）、制御手段１００により、サーボモーター１１を係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という。図２２参照）、その後、係止部材１４ａが雄ネジ体１７から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という。図２３参照）るようにサーボモーター１１を制御するようにしている。
【００２５】
（図６の状態から、ベース１８を時計回りに１８０°回転する場合）
なお、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させた状態から、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させた状態から、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合（図２０〜図２３参照）と同様であるので、その説明を図２０〜図２３を使って以下説明する。
雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１８ａに係止させた状態（図６の状態）から、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置にサーボモータ１１及び減速機１２を移動させたい場合、上述の実施例と同様に、雄ネジ８を取り外して、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとの連結状態を解くと共に、フォトセンサ１６をベース１８から取り外し、雄ネジ体１７に第１の雌ネジ部１７ａに係止させた状態から、ベース１８と共に、サーボモータ１１及び減速機１２を弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させ（図２０参照）、その後、雄ネジ体１７を第１の雌ネジ部１８ａから外し、弁軸６の弁５より遠い側の端部から見て、弁５を反時計回りに１８０°回転させ（図２１参照）、弁５を反時計回りに１８０°回転前又は回転後、雄ネジ体１７を第３の雌ネジ部１８ｃに係止させ（係止後、フォトセンサ１６をベース１８に取り付けると共に、雄ネジ８により、覆い体７の取り付けベース７ａと支持部３ａとを連結する。）、制御手段１００により、サーボモーター１１を係止部材１４ａに雄ネジ体１７を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という。図２２参照）、その後、係止部材１４ａが雄ネジ体１７から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という。図２３参照）るようにサーボモーター１１を制御するようにしている。
【符号の説明】
【００２６】
Ｋ 開閉弁装置
２ 通路
５ 弁
６ 弁軸
７ 覆い体
１１ サーボモーター
１２ 減速機
１２ａ 減速機の回転軸
１４ 第１の回動体
１４ａ 係止部材
１７ 雄ネジ体
１８ａ 第１の雌ネジ部
１８ｂ 第２の雌ネジ部
１８ｃ 第３の雌ネジ部
１８ｄ 第４の雌ネジ部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
通路と、
この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、
この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、
前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、
前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、
前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、
前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、
この第１の回動体に設けられた係止部材と、
前記覆い体に設けられたベースと、
このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、
前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、
この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、
前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整される
ことを特徴とする開閉弁装置。
【請求項２】
伝達手段は、回転軸に設けた第１のハイポイドギヤ、弁軸に設けた前記第１のハイポイドギヤに噛み合う第２のハイポイドギヤである
ことを特徴とする請求項１記載の開閉弁装置。
【請求項３】
通路と、
この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、
この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、
前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、
前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、
前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、
前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、
この第１の回動体に設けられた係止部材と、
前記覆い体に設けられたベースと、
このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、
前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、
この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、
前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を反時計回りに９０°回転させ、前記弁を反時計回りに９０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第４の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する
ことを特徴とする開閉弁装置の取り付け方法。
【請求項４】
通路と、
この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、
この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、
前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、
前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、
前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、
前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、
この第１の回動体に設けられた係止部材と、
前記覆い体に設けられたベースと、
このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、
前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、
この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、
前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を時計回りに９０°回転させ、前記弁を時計回りに９０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第２の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する
ことを特徴とする開閉弁装置の取り付け方法。
【請求項５】
通路と、
この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、
この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、
前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、
前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、
前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、
前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、
この第１の回動体に設けられた係止部材と、
前記覆い体に設けられたベースと、
このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、
前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、
この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、
前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を時計回りに１８０°回転させ、前記弁を時計回りに１８０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第３の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する
ことを特徴とする開閉弁装置の取り付け方法。
【請求項６】
通路と、
この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、
この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、
前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、
前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、
前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、
前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、
この第１の回動体に設けられた係止部材と、
前記覆い体に設けられたベースと、
このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、
前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、
この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、
前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を反時計回りに１８０°回転させ、前記弁を反時計回りに１８０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第３の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する
ことを特徴とする開閉弁装置の取り付け方法。
【請求項１】
通路と、
この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、
この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、
前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、
前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、
前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、
前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、
この第１の回動体に設けられた係止部材と、
前記覆い体に設けられたベースと、
このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、
前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、
この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、
前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整される
ことを特徴とする開閉弁装置。
【請求項２】
伝達手段は、回転軸に設けた第１のハイポイドギヤ、弁軸に設けた前記第１のハイポイドギヤに噛み合う第２のハイポイドギヤである
ことを特徴とする請求項１記載の開閉弁装置。
【請求項３】
通路と、
この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、
この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、
前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、
前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、
前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、
前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、
この第１の回動体に設けられた係止部材と、
前記覆い体に設けられたベースと、
このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、
前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、
この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、
前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに９０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を反時計回りに９０°回転させ、前記弁を反時計回りに９０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第４の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する
ことを特徴とする開閉弁装置の取り付け方法。
【請求項４】
通路と、
この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、
この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、
前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、
前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、
前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、
前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、
この第１の回動体に設けられた係止部材と、
前記覆い体に設けられたベースと、
このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、
前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、
この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、
前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに９０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を時計回りに９０°回転させ、前記弁を時計回りに９０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第２の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する
ことを特徴とする開閉弁装置の取り付け方法。
【請求項５】
通路と、
この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、
この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、
前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、
前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、
前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、
前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、
この第１の回動体に設けられた係止部材と、
前記覆い体に設けられたベースと、
このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、
前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、
この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、
前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、反時計回りに１８０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を時計回りに１８０°回転させ、前記弁を時計回りに１８０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第３の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する
ことを特徴とする開閉弁装置の取り付け方法。
【請求項６】
通路と、
この通路内の中途に設けられ、前記通路内を開閉する弁と、
この弁に取り付けられ、前記弁を支持する弁軸と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の前記弁軸を覆う覆い体と、
前記覆い体の外側に設けられたサーボモーターと、
前記覆い体の外側に設けられ、前記サーボモーターの回転を減速させる減速機と、
前記弁軸の長手方向に直交する方向に回転する前記減速機の回転軸と、
前記減速機の回転軸を前記弁軸に伝達する伝達手段と、
前記弁軸の前記弁より遠い側の端部に取り付けられた第１の回動体と、
この第１の回動体に設けられた係止部材と、
前記覆い体に設けられたベースと、
このベースに着脱自在に取り付けられ、前記係止部材の動きを規制する雄ネジ体とを備え、
前記雄ネジ体が取り付けられる雌ネジ部は、前記ベースに４個形成され、
この４個の雌ネジ部は、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに、第１、第２、第３、第４の雌ネジ部で構成されると共に、同一円周上に等間隔に配置され、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させ、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する制御手段を設け、
前記第１の回動において、前記弁が前記通路内を全閉、前記第２の回動において、前記弁が前記通路内を全開となるように調整されるものであり、
前記雄ネジ体に前記第１の雌ネジ部に係止させた状態から、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させた位置に前記サーボモータ及び前記減速機を移動させたい場合、ベースと共に、前記サーボモータ及び前記減速機を前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、時計回りに１８０°回転させ、その後、 前記雄ネジ体を前記第１の雌ネジ部から外し、前記弁軸の前記弁より遠い側の端部から見て、前記弁を反時計回りに１８０°回転させ、前記弁を反時計回りに１８０°回転前又は回転後、前記雄ネジ体を前記第３の雌ネジ部に係止させ、前記制御手段により、前記サーボモーターを前記係止部材に前記雄ネジ体を当接する方向に回動させ（「第１の回動」という）、その後、前記係止部材が前記雄ネジ体から遠ざかる方向に９０°回動させ（「第２の回動」という）るように前記サーボモーターを制御する
ことを特徴とする開閉弁装置の取り付け方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【公開番号】特開２０１３−１９４３４（Ｐ２０１３−１９４３４Ａ）
【公開日】平成２５年１月３１日（２０１３．１．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１５１６１７（Ｐ２０１１−１５１６１７）
【出願日】平成２３年７月８日（２０１１．７．８）
【出願人】（５００２１９２１６）株式会社フジ・テクノロジー (1)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年１月３１日（２０１３．１．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年７月８日（２０１１．７．８）
【出願人】（５００２１９２１６）株式会社フジ・テクノロジー (1)
【Ｆターム（参考）】
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