【課題】流量制御弁のガタつき防止の構造を簡略し、少ない制御流量を維持でき、さらに小型化を図ることができる流量制御弁を提供する。
【解決手段】回動シャフト８の周囲に設けられ、回動シャフト８と一体に電磁力により回転する回転体６を備える。回動シャフト８の一端部側の雌ねじ部９３に螺合し、回動シャフト８の回転に基いて回動シャフト８の軸方向に沿って移動することにより、流体が通過する開口部を開閉する弁体９を備える。回動シャフト８の他端部側に設けられ、回動シャフト８を回転自在に支持するとともに、回動シャフト８の他端部側に向う移動を規制する軸支持部材１４を備える。弁体９を回動シャフト８の軸方向に沿って回動シャフト８の他端部側に付勢する圧縮コイルばね１０を備える。 （もっと読む）

【課題】主弁体の開弁直後のチャタリングを防止し、主弁を開閉制御する制御時間を短縮でき、細かい流量制御が可能な電動弁を提供する。
【解決手段】弁ハウジング４と、弁ハウジング４に移動可能に支持されメインポートの弁座部５ｄを開閉する主弁２の主弁体２０と、弁ハウジング４に移動可能に支持され主弁体に形成されたパイロットポートの弁座部２１ａを開閉するパイロット弁３のパイロット弁体１３ａとを有し、パイロット弁体と、主弁体とを開閉駆動する電動モータＭを備える電動弁１は、電動モータの回転をパイロット弁体１３ａに伝達するパイロット弁ねじ送り機構１４と、電動モータの回転を主弁体２０に伝達する主弁ねじ送り機構１７と、を備え、パイロット弁ねじ送り機構のロータの１回転当たりの移動量を、主弁ねじ送り機構のロータの１回転当たりの移動量より大きく設定している。 （もっと読む）

【解決手段】２つのフラップのための単一の制御手段９と、２つのフラップの１つを通路の１つの開位置と閉位置の一方から他方に一時的な位相のずれをもって旋回駆動する駆動手段１２、１３、５０とを備える三方弁において、駆動手段の各々のための最大変位終端ストッパと、フラップの全閉位置に対応する第２の駆動手段の終端ストッパ３１と、第２の駆動手段１２、５０がその終端ストッパ３１にあるときに第１の駆動手段の位置を超えて配置される第１の駆動手段の終端ストッパと、第１及び第２の駆動手段を基準作動中の単一の制御手段に連結する機構とを備えることを特徴とする。
【効果】通路を開閉する複数の弁体部、又は、駆動機構部に発生する駆動不具合を単一の検出器を用いて検出可能とする。 （もっと読む）

【課題】設置作業の容易化を図った開閉弁装置及び開閉弁装置の取り付け方法を提供する。
【解決手段】開閉弁装置は、通路２と、この通路内の中途に設けられ、通路内を開閉する弁５と、弁５に取り付けられ、弁５を支持する弁軸６と、弁軸６を駆動するサーボモータ１１と、弁軸６に固定され弁５の全開全閉範囲を規制する回動体１４を設けた構造に於いて、弁本体と駆動部とを接続する雄ネジ８を取り外し、駆動部の取付位置を回転自在に設定可能とし、再設定位置で雄ネジ８を取り付けると共に回動体１４の回動規制位置を再設定することにより、弁本体に対して駆動部の配置の自由性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でありながら、モータによる電動操作と手動操作を好適に切替可能な電動バルブアクチュエータを提供する。
【解決手段】 手動モードから電動モードへの切替を行う場合には、切替モータ３３の作用により、クラッチキー３４をダイレクトドライブモータ１２側に移動させる。これにより、ダイレクトドライブモータ１２の駆動により回転軸１３が回転する。一方、電動モードから手動モードへの切替を行う場合には、切替ハンドル３１を操作して、クラッチキー３４をハンドホイール１６側に移動させる。これにより、回転軸１３とハンドホイール１６とが係合する。この状態においては、電源２７からダイレクトドライブモータ１２への電源の供給が停止される。そして、この状態において、オペレータがハンドホイールを回転させることにより、回転軸１３が回転する。 （もっと読む）

【課題】地震検知機能を有しないガス遮断弁を組み込んだ既存のガス機器に、部品交換のみで地震検知機能を付与することが可能な技術を提供する。
【解決手段】ガス遮断弁２は、弁体１６，１８と、弁体付勢部材と、アーマチュア２８と、コア３０と、コイル３２を備えるて具現化される。ガス遮断弁２内のコイル３２への通電経路に配置された接点部材と、接点部材を付勢する接点付勢部材を備えている。接点部材は導電部材と重量部材を備えている。そのガス遮断弁２では、接点付勢部材が接点部材を付勢することで前記コイル３２への通電が確保されている。ガス遮断弁２では、地震の発生時に前記接点部材が振動して、接点部材が接点付勢部材による付勢に抗して移動することで、コイルへの通電が遮断されガス通路を閉弁する。 （もっと読む）

【課題】弁体の周縁にシールリングが装着されている弁装置において、閉弁時のシールリングと通路の壁との衝突による磨耗の進行、および、衝突後のシールリングと通路の壁との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制する。
【解決手段】弁装置の制御手段は、閉弁モードにおける回転角の全範囲において、弁体の回転数が開弁モードにおける回転数よりも小さくなるように電動機への通電を制御する。これにより、閉弁モードにおいて、シールリングが壁に衝突する際の回転数が開弁モードにおける回転数よりも小さくなる。このため、衝突による衝撃を緩和することができる。また、衝突後も回転数が小さいので、シールリングは、弁体の周縁において緩やかに縮まりながら弾性変形することができる。このため、衝突後の摺動摩擦を緩和することができる。 （もっと読む）

【課題】一次側の流体圧力の変動が大きい場合でも一つの弁で対応可能な弁装置を提供する。
【解決手段】円筒状の外筒３およびこの外筒３に内装される円筒状の内筒１０を有し、外筒３の側面部には内外に貫通する外筒側開口４が形成され、この外筒側開口４は外部流路３１と接続可能であり、内筒１０の内側には流体が流通する内部流路１１が形成され側面部には内外に貫通する内筒側開口１３が周方向に複数形成され、これら内筒側開口１３はそれぞれ開口面積が異なり、内筒１０の周方向の回転により複数ある内筒側開口１３の一つが外筒側開口４に重なり内部流路１１と外部流路３１が連通して流体が流通可能な流体流路３３が形成され、内筒側開口１３各々において流体流路３３の形成が可能であり、それら流体流路３３の切り替えが可能とされている弁２と、内筒１０を回転させる回転制御部２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】電動弁の入力トルクに対応して軸方向へ変位するウォーム軸の変位量を、簡易な手法で且つ高精度に検出するウォーム軸の変位量検出方法を提案する。
【解決手段】ウォーム軸２１の軸方向変位に追従して回転する回転軸７１の端面の中心位置に取り付けられた磁石７２と、該回転軸７１の端面中心位置から径方向へ離間した位置に配置した磁場センサ７３を用い、ウォーム軸２１の軸方向変位に追従して回転軸７１が回転するとき、該回転軸７１の回転に伴う磁場センサの感知信号の大きさの変化に基づいて回転軸７１の回転角を取得し、該回転角に対応するウォーム軸２１の変位量を検出する。 （もっと読む）

【課題】従来技術に比べ、構造的に簡単で信頼性が高く、組み付け工程を有効に減らして、工程コストを下げることができる電動弁及びその止め装置を提供すること。
【解決手段】本発明の電動弁の止め装置は、内外で嵌り合いつつ螺合するバネレール３３とスライドリング３４とを含み、バネレール３３は上ストッパー部３３ａと下ストッパー部３３ｃとを備える。電動弁のネジシャフト２３に合うナット３２をさらに含み、ナット３２は径方向に延び出した段差面を備える。前記段差面以下のナット３２は、電動弁の弁座１２に固定接続されるとともに、係合リミット面を備える。バネレール３３は段差面以上のナット３２に外嵌される。下ストッパー部３３ｃは径方向に延びて、段差面に当接する位置決め部を形成し、位置決め部以下の下ストッパー部３３ｃは、ナット３２における係合リミット面に係合して位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】弁ハウジングの組立時に溶接等によるゆがみが生じても、弁体の切換動作に支障を来すことがないようにされた多方切換弁を提供する。
【構成】複数個の流体入出ポート１２、１３が形成された弁シート部２５を有する弁ハウジング２０と、前記弁シート部２５に接触しながら回動せしめられる弁体３０と、該弁体３０を回転駆動するアクチュエータ１５とを備え、前記弁ハウジング２０に流体導入ポート１１及び／又は流体導出ポート１４が形成されるとともに、前記弁体３０内に、前記流体導入ポート１１又は流体導出ポート１４と前記複数個の流体入出ポート１２、１３とを選択的に連通させるための通路３５が形成され、前記アクチュエータ１５により前記弁体３０を回動させて、前記流体導入ポート１１又は流体導出ポート１４と前記複数個の入出ポート１２、１３のいずれかとを前記弁体内通路３５を介して選択的に連通させることにより流路の切り換えを行なうようにされた多方切換弁であって、前記弁体３０が片持ち支持されてなる。 （もっと読む）

【課題】 ステータとロータシールとを備えた流路切り替えバルブ、特に２つのステータでロータシールの両面を液密に挟んだ構造からなる流路切り替えバルブにおいて、小型かつ安定に流路の切り替えが可能な流路切り替えバルブ、およびそれを備えた流路切り替え装置を提供すること。
【解決手段】 ロータシールの外周部に歯車を設けた流路切り替えバルブ、および前記切り替えバルブと、駆動手段とロータシールの外周部に設けた歯車と噛合させて前記駆動手段からの動力を伝達する手段とを備えたロータシール回転手段と、を備えた流路切り替え装置により前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】回転体とそれを支持する部材との摺動抵抗を抑え、軸受等の部品の削減や部品の加工性向上などにより製造コストを抑えたリニアアクチュエータを提供すること。
【解決手段】ケース５２内に、駆動源としてのモータ１０と、該モータ１０の回転動力を直線動力に変換し被駆動体に伝達する直動変換機構とを備えるリニアアクチュエータ１において、前記直動変換機構は、前記モータ１０のロータ１４によって回転されるリードスクリュー１８と、該リードスクリュー１８に螺合し前記被駆動体と連繋されたキャリッジ２０と、該キャリッジ２０の回転を阻止する回転阻止部材３０、４０とを有し、前記ロータ１４とリードスクリュー１８は、一体的に形成されるとともに前記ケース５２に固定された固定軸１６に回転自在に支持されている。 （もっと読む）

【課題】回転体とそれを支持する部材との摺動抵抗を抑え、軸受等の部品の削減や部品の加工性向上などにより製造コストを抑えたリニアアクチュエータを提供すること。
【解決手段】駆動源としてのモータ１０と、モータ１０の回転動力を直線動力に変換し被駆動体に伝達する直動変換機構とを備えるリニアアクチュエータであって、直動変換機構は、モータ１０のロータ１４によって回転されるリードスクリュー１８と、リードスクリュー１８に螺合し被駆動体と連繋されたキャリッジ２０と、キャリッジ２０の回転を阻止する回転阻止部材（第一の回転阻止部材３０および第二の回転阻止部材４０）とを有し、ロータ１４とリードスクリュー１８は、それぞれ別々に固定軸１６に回転自在に支持されるとともに、両者の間には緩衝部材であるＯリング１６が介在されている。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、このバルブプレート１４を駆動するモーター１６とを備えている。モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上でバルブプレート１４に直接伝達される。この場合、モーター１６の回転力は、モーター１６の回転軸１６Ａに連結されて回転軸１６Ａと共に回転し回転軸１６Ａよりも大径に形成されたフランジ２０と、このフランジ２０及びバルブプレート１４に連結されてフランジ２０と共に回転する回転体２２と、この回転体２２をケーシング１２から離反するように付勢するスプリング２４を介して、バルブプレートに伝達される。フランジ２０は、中空部２０ａを有する。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、ケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４を駆動するモーター１６を備え、モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上で、回転軸１６Ａと共に回転するフランジ２０と、フランジ２０及びバルブプレート１４に連結される回転体２２を介してバルブプレート１４に直接伝達される。回転体２２は、本体部２２Ａと、本体部２２Ａから延びるシャフト部２２Ｂを有し、本体部２２Ａは、横方向においてはローラーベアリング２８を介して、上下方向においては本体部２２Ａの上下に配置された２つのスラストベアリング３０Ａ、３０Ｂを介して保持されることによりカバー２６内に回転自在に設置される。 （もっと読む）

【課題】カムが取り付けられたモータを上下方向へ高さ調整する際に、調整ネジにアクセスしやすくしたカム式制御弁を提供する。
【解決手段】流体流路２及び弁座３を有する弁箱４と、弁座３に当離座して流体流路２を開閉する弁体５と、弁体５を押し下げて弁座３に当接させる弁棒６と、弁棒６に作用して弁棒６を押し下げるカム７と、カム７を回転駆動するモータと、モータを保持するモータホルダ９と、弁箱４に固定されてモータホルダ９を上下に移動可能に支持する支持枠１０と、支持枠１０の上辺部からモータホルダ９を離間させる方向に付勢する弾性部材１１と、モータホルダ９を支持枠１０に吊り下げ状に支持してモータホルダ９の支持枠１０に対する高さを調整するための高さ調整ネジ１２であって、支持枠１０の上辺部に摺動可能に挿入されるとともにモータホルダ９に螺入された高さ調整ネジ１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】実開度変換特性の校正を現場で簡単に行えるようにする。
【解決手段】ストッパ４が閉方向回転規制部１−５に当接するまで駆動軸２−３を閉方向へ回転させ、その時のポテンショメータ２−４の出力を読み込む。次に、ストッパ４が開方向回転規制部１−６に当接するまで駆動軸２−３を開方向へ回転させ、その時のポテンショメータ２−４の出力を読み込む。この読み込んだ出力に基づいて実開度変換部２−５で使用する実開度変換テーブルＴＢ１を校正する。 （もっと読む）

【課題】実開度変換特性の校正を簡単に行えるようにする。
【解決手段】アクチュエータ２が組み付けられる弁本体１内の弁体１−２の動作開度範囲に対応する駆動軸２−３の回転角度範囲を動作角度範囲とし、この動作角度範囲の下限（最小動作制限位置）および上限（最大動作制限位置）への駆動軸２−３の回転角度の到達をリミットスイッチＬＳ１およびＬＳ２で検出し、その時のポテンショメータ２−４の出力に基づいて実開度変換部２−５で使用する実開度変換テーブルＴＢ１を校正する。この校正はアクチュエータ２単独の状態で行う。そして、アクチュエータ２を弁本体１に組み付けた状態で、ストッパ４が閉方向回転規制部１−５に当接するまで駆動軸２−３を閉方向へ回転させ、その時のポテンショメータ２−４の出力に基づいて実開度変換テーブルＴＢ１を再校正する。 （もっと読む）