Ｘ線検査装置
【課題】被検査物の大きさに応じてＸ線の漏洩を最適に防止することができるＸ線漏洩防止部材を備えたＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、ベルトコンベア８００によって搬送される被検査物９００に対してＸ線検査室３００内でＸ線を照射して検査が行われる。Ｘ線漏洩防止カーテン５００によりＸ線検査室３００へ被検査物９００を搬入出する開口部からＸ線の漏洩が防止される。また、Ｘ線漏洩防止カーテンは、互いに独立して回動可能な複数の棒部材にそれぞれ取り付けられる複数のカーテンにより開口部を遮蔽し、ベルトコンベア８００の搬送面へ近づくに連れて当該カーテンを回動させる力が小さくなるよう形成されたものである。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、ベルトコンベア８００によって搬送される被検査物９００に対してＸ線検査室３００内でＸ線を照射して検査が行われる。Ｘ線漏洩防止カーテン５００によりＸ線検査室３００へ被検査物９００を搬入出する開口部からＸ線の漏洩が防止される。また、Ｘ線漏洩防止カーテンは、互いに独立して回動可能な複数の棒部材にそれぞれ取り付けられる複数のカーテンにより開口部を遮蔽し、ベルトコンベア８００の搬送面へ近づくに連れて当該カーテンを回動させる力が小さくなるよう形成されたものである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物にＸ線を照射し、被検査物内の異物を検出するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検査物内の異物を検出するためにＸ線検査装置等が使用されている。これらのＸ線検査装置に関して、日々研究開発が行われている。
【０００３】
特許文献１には、筐体の搬入口及び搬出口が開放される面積と時間を極力抑えてＸ線遮蔽性を向上させるＸ線異物検査装置について開示されている。また、簡素な構成とするとともに、清掃性を良好にするＸ線異物検査装置について開示されている。
【０００４】
特許文献１記載のＸ線異物検査装置においては、被検査物（Ｗ）が搬入される搬入口（４ａ）と、該被検査物が搬出される搬出口（４ｂ）とを有する遮蔽構造の筐体（３）と、筐体内を通過させるように被検査物を搬入口から搬出口まで搬送する搬送手段（６）と、筐体内にて搬送手段によって搬送されている被検査物にＸ線を照射するＸ線発生部（１１）と、筐体内にてＸ線発生部から照射されて被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出部（１２）と、筐体の搬入口及び搬出口のそれぞれに、Ｘ線の漏洩を防ぐために設けられているＸ線遮蔽部材とを備え、Ｘ線検出部からの検出結果に基づいて被検査物の品質を検査するＸ線検査装置（１）において、Ｘ線遮蔽部材として搬送手段の搬送方向Ｙに沿って並んだ複数の金属板（２２ａ，２２ｂ，２２ｃ）からなるＸ線遮蔽ユニット（２１）を備え、Ｘ線遮蔽ユニットは、複数の金属板がその上縁部（２３ａ，２３ｂ，２３ｃ）が互いに近接して吊り下げられ揺動可能であるとともに、複数の金属板の下縁部（２４ａ，２４ｂ，２４ｃ）と搬送手段の搬送面との間の距離が搬送手段の搬送方向（Ｙ）の下流側にある金属板ほど短く形成されているものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１２７６９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１記載のＸ線検査装置においては、図２に示すように、搬送面に最も近い金属板２２（２２Ｃ）が回動した際に、金属板２２（２２Ｃ）の両Ｚ方向の部分が、支軸２６の近傍まで回動し、Ｘ線検査室内のＸ線が漏洩しやすい状態が生じる。すなわち、被検査物の大きさに対して余分な領域の金属板２２（２２Ｃ）を回動させることとなる。その結果、Ｘ線検査室内のＸ線を漏洩させてしまう可能性が高く、好ましくない。さらに、軽量の被検査物に対しても、余分な領域の金属板２２（２２Ｃ）を回動させる必要があるので、被検査物の姿勢が安定しない可能性が高い。
【０００７】
本発明の目的は、被検査物の大きさに応じてＸ線の漏洩を最適に防止することができるＸ線漏洩防止部材を備えたＸ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）
本発明に係るＸ線検査装置は、搬送装置によって搬送される被検査物に対して検査室内でＸ線を照射して検査を行い、検査室へ被検査物を搬入出する開口部からＸ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止部材を含むＸ線検査装置であって、Ｘ線漏洩防止部材は、互いに独立して回動可能な複数の支持部材にそれぞれ取り付けられる複数の面部材により開口部を遮蔽し、搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材を回動させる力が小さくなるよう形成されたものである。
【０００９】
Ｘ線検査装置により搬送装置によって搬送された被検査物に対して検査室内でＸ線を照射して検査が行われる。Ｘ線漏洩防止部材により検査室へ被検査物を搬入出する開口部からＸ線の漏洩が防止される。また、Ｘ線漏洩防止部材は、互いに独立して回動可能な複数の支持部材にそれぞれ取り付けられる複数の面部材により開口部を遮蔽し、搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材を回動させる力が小さくなるよう形成されたものである。
【００１０】
一般に、被検査物が搬送装置によって搬送され、被検査物がＸ線漏洩防止部材に接触し、接触したＸ線漏洩防止部材が回動されて被検査物が検査室内に搬送される。この場合、Ｘ線漏洩防止部材の面部材が、搬送面に近づくに連れて当該面部材を回動させる力が小さくなるので、重量の軽い被検査物を安定して検査室内で検査することができる。
例えば、体積が小さく、かつ重量の軽い被検査物がＸ線漏洩防止部材を通過する際に、被検査物の姿勢が変化し、被検査物の姿勢が安定しない状態でＸ線検査を行うことを防止することができる。
また、体積が大きく、かつ重量の重い被検査物がＸ線漏洩防止部材を通過する際に、被検査物の体積に応じて複数の面部材の一部が回動するので、漏洩を最大限に防止しつつ、Ｘ線検査を行うことを防止することができる。
その結果、安定して、被検査物の検査を行うとともに、被検査物に応じてＸ線の漏洩を最適に防止することができる。
【００１１】
（２）
第２の発明に係るＸ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部材は、搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材の面積が小さくなるよう形成されたものである。
【００１２】
一般に、被検査物が搬送装置によって搬送され、被検査物がＸ線漏洩防止部材に接触し、接触したＸ線漏洩防止部材が回動されて被検査物が検査室内に搬送される。この場合、Ｘ線漏洩防止部材の面部材が、搬送面に近づくに連れて開口部を遮蔽する面積が小さくなるので、当該面部材および支持部材を回動させる力を小さくすることができ、被検査物の大きさに応じて最大限にＸ線の漏洩を最適に防止することができる。
【００１３】
（３）
第３の発明に係るＸ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部材は、搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材の高さが小さくなるよう形成されたものである。
【００１４】
一般に、被検査物が搬送装置によって搬送され、被検査物がＸ線漏洩防止部材に接触し、接触したＸ線漏洩防止部材が回動されて被検査物が検査室内に搬送される。この場合、Ｘ線漏洩防止部材の面部材が、搬送面に近づくに連れて開口部を遮蔽する面部材の高さが小さくなるので、当該面部材および支持部材を回動させる力を小さくすることができ、被検査物の大きさに応じてＸ線の漏洩を最適に防止することができる。
【００１５】
（４）
第４の発明に係るＸ線検査装置においては、複数の支持部材が、同軸を基準に回動可能に設けられ、かつ複数の面部材のそれぞれ略中央部に接続されたものである。
【００１６】
この場合、複数の支持部材が、同軸を基準に回動可能に設けられているので、回動部を開口部の上部に集約して配設することができ、構造を簡易化することができる。
その結果、Ｘ線検査装置のメンテナンス性および清掃性を高めることができる。また、面部材の中央部に支持部材が接続されるので、支持部材が面部材の中央部から偏芯して設けられた場合と比較して、より小さな力で、かつ安定して回動させることができる。
【００１７】
（５）
第５の発明に係るＸ線検査装置において、複数の面部材は、搬送装置の搬送面と垂直な略一平面を形成する。
【００１８】
この場合、Ｘ線漏洩防止部材の複数の面部材により、搬送装置の搬送面と垂直な略一平面が形成されるので、当該略一平面により開口部を確実に遮蔽することができ、Ｘ線の漏洩を確実に防止することができる。
【００１９】
（６）
第６の発明に係るＸ線検査装置において、複数の面部材は、鉛直方向に隣接する二つの面部材のうち一方が他方にオーバラップして設けられたものである。
【００２０】
この場合、複数の面部材は、鉛直方向に隣接する二つの面部材のうち一方が他方にオーバラップして設けられているので、面部材の隙間が存在する場合に生じるＸ線の漏洩を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係るＸ線検査装置の一例を示す模式的外観図
【図２】本発明に係るＸ線検査装置の内部構造の一例を示す模式図
【図３】Ｘ線検査装置において画像処理に関わる構成部を示すブロック図
【図４】Ｘ線漏洩防止カーテンの一例を示す模式的平面図
【図５】Ｘ線漏洩防止カーテンの一例を示す模式的側面図
【図６】Ｘ線漏洩防止カーテンの一例を示す模式的斜視図
【図７】図４および図５に示すＸ線漏洩防止カーテンの動作を説明するための模式図
【図８】Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例を示す模式的側面図
【図９】Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例を示す模式的平面図
【図１０】Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例を示す模式的図
【図１１】Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例を示す模式的斜視図
【図１２】図１０に示したＸ線漏洩防止カーテンの他の例を示す模式的図
【図１３】Ｘ線漏洩防止カーテンのさらに他の例を示す模式的側面図
【図１４】Ｘ線漏洩防止カーテンのさらに他の例を示す模式的側面図
【図１５】Ｘ線検査装置の寸法の一例を示す模式図
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明に係る実施の形態において図面を用いて説明する。
（一の実施の形態）
図１は、本発明に係るＸ線検査装置１００の一例を示す模式的外観図であり、図２は、本発明に係るＸ線検査装置１００の内部構造の一例を示す模式図である。
【００２３】
図１に示すように、Ｘ線検査装置１００には、内部にＸ線検査室３００が形成されている。また、Ｘ線検査室内には、Ｘ線照射装置２００が内蔵されており、図１に示すように、Ｘ線検査装置１００のＸ線検査室を貫通するように、ベルトコンベア８００が設けられている。
【００２４】
また、図１のＸ線検査室３００の開口部からＸ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止カーテン５００が設けられている。このＸ線漏洩防止カーテン５００については、後述する。
【００２５】
作業者は、図１に示すＸ線検査装置１００の入力表示部ＭＴを操作することによりＸ線検査装置１００を駆動させる。作業者は、ベルトコンベア８００に被検査物である被検査物９００（図２参照）を載置させて搬送させ、Ｘ線検査装置１００のＸ線検査室内において異物混入等がないか否かの検査を行う。以下、Ｘ線検査装置１００のＸ線検査室３００の内部構造について説明を行う。
【００２６】
図２に示すように、本発明に係るＸ線検査室３００は、主に、Ｘ線照射装置２００、ラインセンサ２２０、Ｘ線漏洩防止カーテン５００、案内ガイド７００およびベルトコンベア８００からなる。
【００２７】
Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線検査室３００の入口側に３セット設けられ、さらに出口側に３セット設けられる。Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線照射装置２００を中心に、左右対称に設けられる。当該Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、隣接するＸ線漏洩防止カーテン５００に対して該Ｘ線漏洩防止カーテン５００の鉛直方向の長さである１３０ｍｍ以上、搬送方向に離間して設けられる。それにより、Ｘ線漏洩防止カーテン５００が水平となる様に最大回動しても、隣接するＸ線漏洩防止カーテン５００に接触しない。なお、当該Ｘ線漏洩防止カーテン５００の構造詳細については、後述する。
【００２８】
また、ベルトコンベア８００は、無端状のベルトが一対のローラに巻回されて設けられ、ベルトコンベア８００の内部に、シンチレータおよびフォトダイオード素子からなるＸ線を検出するラインセンサ２２０が設けられている。
【００２９】
さらに、ベルトコンベア８００の上面には、案内ガイド７００が設けられる。この案内ガイド７００は、一対の部材から構成され、ベルトコンベア８００上を搬送される被検査物９００がベルトコンベア８００上から落下しないよう、すなわち、こぼれ落ちないように防止するためのものである。したがって、案内ガイド７００は、脱着可能に構成されており、被検査物９００が固形で安定搬送できる場合には、取り外して使用される。
【００３０】
次に、図２に示すように、ベルトコンベア８００上に被検査物９００が載せられる。そして、ベルトコンベア８００が駆動され、ベルトコンベア８００上に配設された案内ガイド７００によってベルトコンベア８００上からの落下が防止されつつ、被検査物９００は矢印Ｘ１の方向に移動する。そして、被検査物９００は、入口側の３セットのＸ線漏洩防止カーテン５００を順番に該一部のカーテンを押し上げ、Ｘ線検査室３００内に移動する。
【００３１】
次いで、被検査物９００に対して、Ｘ線照射装置２００からＸ線２１０が照射され、被検査物９００を透過したＸ線２１０がラインセンサ２２０に入射される。
【００３２】
続いて、Ｘ線検査が行われた被検査物９００は、出口側のＸ線漏洩防止カーテン５００の該一部のカーテンを押し上げ矢印Ｘ１の方向に移動し、Ｘ線検査室３００外に移動する。そして、被検査物９００は、案内ガイド７００によりベルトコンベア８００からこぼれることなく、次工程のベルトコンベアに搬送される。
【００３３】
なお、図２に示すように、入口側および出口側のそれぞれ３セットのＸ線漏洩防止カーテン５００は、相対的に矢印Ｘ１の方向と垂直な方向（水平方向）にずらして設けられる。それにより、Ｘ線照射装置２００からのＸ線２１０が、３セットのＸ線漏洩防止カーテン５００の隙間を通過してＸ線が漏洩することを防止できる。
【００３４】
続いて、図３は、Ｘ線検査装置１００において画像処理に関わる構成部を示すブロック図である。
【００３５】
図３に示すように、本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、画像処理に関わる構成部として、上述のラインセンサ２２０、Ａ／Ｄコンバータ２３０、検出機能処理部ＦＳ、処理後データ記憶部２６１、メモリ２７０および上述の入力表示部ＭＴを備える。
【００３６】
検出機能処理部ＦＳは、輝度毎データ取得部２４０、合算部２５０、重み付け変更部２６０、動作パラメータ記録部２８０、異物判断処理部２９０および表示データ作成部２９１を含む。
【００３７】
上記検出機能処理部ＦＳの各構成部は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）がＲＡＭ（Random
Access Memory）またはＲＯＭ（Read-Only Memory）に格納されている処理プログラムを実行することによって機能的に実現される。
このような処理プログラムは、当該処理プログラムが記録されたＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等の記録媒体からインストールすることが可能であるし、ネットワークを介してサーバからダウンロードすることも可能である。また、メモリ２７０および処理後データ記憶部２６１はハードディスクドライブ等からなる。
【００３８】
最初に、被検査物９００を透過したＸ線２１０がラインセンサ２２０に入射され、当該ラインセンサ２２０によりＸ線２１０に基づいてアナログデータである検出データＫＤａが生成される。この検出データＫＤａは、例えば４０９６階調（１２ビット）のデータである。その後、検出データＫＤａは、Ａ／Ｄコンバータ２３０によりデジタルデータである検出データＫＤｄに変換される。
【００３９】
検出データＫＤｄからの検出値に基づき輝度毎データ取得部２４０により輝度毎データＬＤ１が取得される。なお、輝度毎データＬＤ１は画像の１ライン分に相当するものである。そして、合算部２５０により複数の輝度毎データＬＤ１が合算されることにより、画像の全ライン分に相当する輝度毎データＬＤ２が生成される。
【００４０】
重み付け変更部２６０は、輝度毎データＬＤ２に基づき、輝度領域ＫＲＴと当該輝度領域ＫＲＴを除く輝度領域ＫＲとで、間引き率ＭＲを変更して間引き処理を行う。重み付け変更部２６０は、これらの輝度領域ＫＲＴ、ＫＲおよび間引き率ＭＲを用いて間引き処理を行うことで、輝度毎データＬＤ２の重み付けを変更する。
【００４１】
また、これらに伴って、重み付け変更部２６０は、変換曲線を用いて当該輝度毎データＬＤ２を２５６階調の輝度毎データＬＡに変換する。
【００４２】
重み付け変更部２６０により生成された輝度毎データＬＡは、処理後データとして処理後データ記憶部２６１に記憶されるとともに、異物判断処理部２９０に与えられる。
【００４３】
異物判断処理部２９０により輝度毎データＬＡに基づいて被検査物９００内に内容物が含まれているか否かの判別等の処理が行われる。当該判別結果によっては、警告装置（図示せず）により警告音が発せられる。
【００４４】
また、表示データ作成部２９１により輝度毎データＬＡに基づいて入力表示部ＭＴに表示するための表示データが作成される。この場合、重み付け変更部２６０によりヒストグラムが取得された後、当該ヒストグラムに基づいて目視に最も適したコントラストを有する画像が上記画像の中から選択される。そして、重み付け変更部２６０により選択された上記画像に係る表示データが入力表示部ＭＴに与えられる。当該表示データに係る画像が入力表示部ＭＴに表示される。
【００４５】
（Ｘ線漏洩防止カーテン）
続いて、図４はＸ線漏洩防止カーテン５００の一例を示す模式的平面図であり、図５はＸ線漏洩防止カーテン５００の一例を示す模式的側面図であり、図６はＸ線漏洩防止カーテン５００の一例を示す模式的斜視図である。なお、図６のＸ線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の裏面（搬送下流側）から矢視したものを示す。
【００４６】
図４、図５および図６に示すように、Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、下段カーテン５１０、中段カーテン５２０、上段カーテン５３０および軸６００からなる。
Ｘ線漏洩防止カーテン５００の全体幅は、４５０ｍｍであり、高さは、１３０ｍｍであり、厚みは、１．０ｍｍである。
【００４７】
下段カーテン５１０は、カーテン５１１，〜，５１８および棒部材６１１，〜，６１８からなり、中段カーテン５２０は、カーテン５２１，〜，５２４および棒部材６２１，〜，６２４からなり、上段カーテン５３０は、カーテン５３１，５３２からなる。
【００４８】
カーテン５３１，５３２が軸６００周りに回動可能に設けられ、カーテン５２１，〜，５２４が棒部材６２１，〜，６２４を介して軸６００周りに回動可能に設けられ、カーテン５１１，〜，５１８が棒部材６１１，〜，６１８を介して軸６００周りに回動可能に設けられる。
【００４９】
下段カーテン５１０は、それぞれ幅Ｂ５１０、高さＨ５１０からなり、中段カーテン５２０は、それぞれ幅Ｂ５２０、高さＨ５２０からなり、上段カーテン５３０は、それぞれ幅Ｂ５３０、高さＨ５３０からなる。
なお、本実施の形態においては、幅Ｂ５１０は、幅Ｂ５２０の約半分の値であり、幅Ｂ５２０は、幅Ｂ５３０の約半分の値である。なお、高さＨ５１０は、高さＨ５２０の約半分の値であり、高さＨ５２０は、高さＨ５３０の約半分の値である。
【００５０】
例えば、本実施の形態においては、幅Ｂ５１０は２０ｍｍであり、幅Ｂ５２０は４０ｍｍであり、幅Ｂ５３０は８０ｍｍである。また、高さＨ５１０は４０ｍｍであり、高さＨ５２０は、６０ｍｍであり、高さＨ５３０は、８０ｍｍである。したがって、実際のＸ線検査装置１００においては、図４〜図６に一部例示したように、下段カーテン５１０は、幅方向にカーテン５１１，〜，５１８が８枚ではなく、２４枚並列配置される。
【００５１】
例えば、本実施の形態においては、カーテンの厚みｔは、それぞれ１．０ｍｍのＳＵＳ（ステンレス鋼）３０４からなる。なお、カーテンは、一部タングステンを含有する材質から構成することもできる。
【００５２】
棒部材６１１，〜，６１８は、カーテン５１１，〜，５１８の中心上部に配設され、棒部材６２１，〜，６２４は、カーテン５２１，〜，５２４の中心上部に配設される。すなわち、カーテン５１１，〜，５１８が弱い力で回動するように配設されている。仮に棒部材６１１，〜，６１８をカーテン５１１，〜，５１８の中心から偏芯させて配設した場合、カーテン５１１，〜，５１８の回動が安定しない。なお、中心上部に限らず安定して回転することができる位置まで、棒部材の固定位置を偏芯させてもよいことは、言うまでもない。
【００５３】
（Ｘ線漏洩防止カーテンの動作）
次に、図７は、図４から図６に示すＸ線漏洩防止カーテン５００の動作を説明するための模式図である。
【００５４】
図７（ａ）に示すように、被検査物Ｂ１の高さＨ１は、下段カーテン５１０のカーテンの高さＨ５１０よりも低い（高さＨ１＞高さＨ５１０）。この場合、ベルトコンベア８００により被検査物Ｂ１が移送され、被検査物Ｂ１がＸ線漏洩防止カーテン５００に接触した場合、下段カーテン５１０の一部のみが棒部材６１０とともに、矢印Ｒの方向に回動する。
【００５５】
また、図７（ｂ）に示すように、被検査物Ｂ２の高さＨ２は、下段カーテン５１０のカーテンの高さＨ５１０よりも高く、中段カーテン５２０のカーテンの高さＨ５２０（高さＨ５１０を加算した値）よりも低い（高さＨ５１０＜高さＨ２＜高さＨ５１０＋Ｈ５２０）。この場合、ベルトコンベア８００により被検査物Ｂ２が移送され、被検査物Ｂ２がＸ線漏洩防止カーテン５００に接触した場合、下段カーテン５１０および中段カーテン５２０の一部が棒部材６１０および棒部材６２０とともに、矢印Ｒの方向に回動する。
【００５６】
さらに、図７（ｃ）に示すように、被検査物Ｂ３の高さＨ３は、下段カーテン５１０および中段カーテン５２０のカーテンの高さＨ５１０よりも高い（高さＨ５１０＋５２０＜高さＨ３＜高さＨ５１０＋Ｈ５２０＋Ｈ５３０）。この場合、ベルトコンベア８００により被検査物Ｂ３が移送され、被検査物Ｂ３がＸ線漏洩防止カーテン５００に接触した場合、下段カーテン５１０、中段カーテン５２０および上段カーテン５３０の一部が棒部材６１０，６２０とともに、矢印Ｒの方向に回動する。
【００５７】
よって、被検査物Ｂ１，〜，Ｂ３の大きさに応じて、下段カーテン５１０、中段カーテン５２０および上段カーテン５３０を回動させることができる。なお、幅方向に関しても、被検査物Ｂ１，〜，Ｂ３の幅方向のサイズに応じてカーテン５１４，５１５のみ、またはカーテン５１３，〜，５１６のみを回動させることができる。
【００５８】
（Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例）
図８は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の他の例を示す模式的側面図である。以下、図８に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ａが、図４〜図６に示したＸ線漏洩防止カーテン５００と相違する点について説明を行う。
【００５９】
図８に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ａは、下段カーテン５１０ａ、中段カーテン５２０ａ、上段カーテン５３０および軸６００からなる。
【００６０】
図８に示すように、下段カーテン５１０ａには、中段カーテン５２０ａとの隙間（約０．１〜約０．５ｍｍ程度）を覆うためのカバー部５１０ＣＶが設けられる。また、中段カーテン５２０ａには、上段カーテン５３０との隙間（約０．１〜約０．５ｍｍ程度）を覆うためのカバー部５２０ＣＶが設けられる。
【００６１】
なお、本実施の形態においては、下段カーテン５１０ａに中段カーテン５２０ａとの隙間をカバーするカバー部５１０ＣＶを設け、中段カーテン５２０ａに上段カーテン５３０との隙間をカバーするカバー部５２０ＣＶを設けることとしたが、これに限定されず、中段カーテン５２０ａまたは上段カーテン５３０に設けることもできる。
【００６２】
（Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例）
次に、図９は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の他の例を示す模式的平面図である。
【００６３】
図９に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ｂは、下段カーテン５１０ｂ、中段カーテン５２０ｂ、上段カーテン５３０ｂおよび軸６００からなる。
【００６４】
図９に示すように、下段カーテン５１０ｂは、カーテン５１１ｂ，５１２ｂ，５１３ｂおよび棒部材６１１ｂ，６１２ｂ，６１３ｂからなり、中段カーテン５２０ｂは、カーテン５２１ｂ，〜，５２６ｂおよび棒部材６２１ｂ，〜，６２６ｂからなり、上段カーテン５３０ｂは、カーテン５３１ｂ，〜，５４２ｂおよび棒部材６３１ｂ，〜，６４２ｂからなる。
【００６５】
棒部材６１１ｂ，６１２ｂ，６１３ｂは、カーテン５１１ｂ，５１２ｂ，５１３ｂの中心上部に配設され、棒部材６２１ｂ，〜，６２６ｂは、カーテン５２１ｂ，〜，５２６ｂの中心上部に配設され、棒部材６３１ｂ，〜，６４２ｂはカーテン５３１ｂ，〜，５４２ｂの中心上部に配設される。
【００６６】
棒部材６１１ｂは、カーテン５２１ｂ，５２２ｂの隙間およびカーテン５３２ｂ，５３３ｂの隙間を埋めるように配設され、棒部材６１２ｂは、カーテン５２３ｂ，５２４ｂの隙間およびカーテン５３６ｂ，５３７ｂの隙間を埋めるように配設され、棒部材６１３ｂは、カーテン５２５ｂ，５２６ｂの隙間およびカーテン５４０ｂ，５４１ｂの隙間を埋めるように配設される。
【００６７】
同様に、棒部材６２１ｂは、カーテン５３１ｂ，５３２ｂの隙間を埋めるように配設され、棒部材６２２ｂ，〜，６２６ｂは、それぞれカーテン５３３ｂ，〜，５４２ｂの隙間を埋めるように配設されている。なお、上記の隙間は、０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度の幅を有する。したがって、棒部材は、０．５ｍｍ以上の幅を有する。
【００６８】
また、下段カーテン５１０ｂのカーテンの高さＨ５１０ｂは、中段カーテン５２０ｂのカーテンの高さＨ５２０ｂ、および上段カーテン５３０ｂのカーテンの高さＨ５３０ｂよりも低い。また、中段カーテン５２０ｂのカーテンの高さＨ５２０ｂは、上段カーテン５３０ｂのカーテンの高さＨ５３０ｂよりも低い。
【００６９】
図９に示したＸ線漏洩防止カーテン５００ｂにおいては、下段カーテン５１０ｂの幅Ｂ５１０ｂは、中段カーテン５２０ｂの幅Ｂ５２０ｂの約２倍である。また、中段カーテン５２０ｂの幅Ｂ５２０ｂは、上段カーテン５３０ｂの幅Ｂ５３０ｂの約２倍である。
【００７０】
例えば、本実施の形態においては、幅Ｂ５１０ｂは８０ｍｍであり、幅Ｂ５２０ｂは４０ｍｍであり、幅Ｂ５３０ｂは２０ｍｍである。また、高さＨ５１０ｂは４０ｍｍであり、高さＨ５２０ｂは、６０ｍｍであり、高さＨ５３０ｂは、８０ｍｍである。したがって、実際のＸ線検査装置１００においては、図９に一部例示したように、下段カーテン５１０は、幅方向にカーテン５１１ｂ，〜，５１３ｂの３枚ではなく、６枚並列配置される。
【００７１】
この場合、図９に示したＸ線漏洩防止カーテン５００ｂでは、下段カーテン５１０ｂの棒部材６１１ｂにより、中段カーテン５２０ｂのカーテン５２１ｂ，５２２ｂの間の隙間を封止することができ、中段カーテン５２０ｂの棒部材６２１ｂにより上段カーテン５３０ｂのカーテン５３１ｂ，５３２ｂの間の隙間を封止することができる。
【００７２】
（Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例）
次に、図１０は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の他の例を示す模式的図であり、図１１は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の他の例を示す模式的斜視図である。図１０（ａ）はＸ線漏洩防止カーテン５００の模式的平面を示し、図１０（ｂ）は模式的下面を示す。
【００７３】
図１０および図１１に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ｃは、図９に示したＸ線漏洩防止カーテン５００ｂの複数のカーテン５１１ｂ，〜，５４２ｂを複数のカーテン５１１ｃ，〜，５４２ｃに代えたものである。
【００７４】
図１０（ａ）に示すように、Ｘ線漏洩防止カーテン５００ｃは、下段カーテン５１０ｃ、中段カーテン５２０ｃ、上段カーテン５３０ｃおよび軸６００からなる。
【００７５】
図１０（ａ）に示すように、下段カーテン５１０ｃは、カーテン５１１ｃ，５１２ｃ，５１３ｃおよび棒部材６１１ｃ，６１２ｃ，６１３ｃからなり、中段カーテン５２０ｃは、カーテン５２１ｃ，〜，５２６ｃおよび棒部材６２１ｃ，〜，６２６ｃからなり、上段カーテン５３０ｃは、カーテン５３１ｃ，〜，５４２ｃおよび棒部材６３１ｃ，〜，６４２ｃからなる。
【００７６】
また、図１０（ｂ）および図１１に示すように、棒部材６１１ｃには、カーテン５２１ｃとカーテン５２２ｃとの隙間（０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度）をカバーするカバー部６１１ＣＶが一体に形成されている。すなわち、カバー部６１１ＣＶは、カーテン５２１ｃとカーテン５２２ｃとの隙間Ｂ１２よりも幅広の幅Ｂ６２１で形成されている。
同様に、棒部材６１２ｃには、カーテン５２３ｃとカーテン５２４ｃとの隙間をカバーするカバー部６１２ＣＶが一体に形成されており、棒部材６１３ｃには、カーテン５２５ｃとカーテン５２６ｃとの隙間をカバーするカバー部６１３ＣＶが一体に形成されている。
【００７７】
また、図１０および図１１に示すように、棒部材６２１ｃには、カーテン５３１ｃとカーテン５３２ｃとの隙間をカバーするカバー部６２１ＣＶが一体に形成されている。同様に、棒部材６２２ｃ，〜，６２６ｃには、それぞれカーテン５３３ｃ，〜，５４２ｃとの隙間をカバーするカバー部６２２ＣＶ，〜，６２６ＣＶが一体に形成されている。
【００７８】
このＸ線漏洩防止カーテン５００ｃでは、下段カーテン５１０ｃの棒部材６１１ｃおよびカバー部６１１ＣＶ，〜，６１３ＣＶおよびカバー部６２１ＣＶ，〜，６２６ＣＶにより、中段カーテン５２０ｃのカーテン５２１ｃ，〜，５２６ｃの間の隙間および上段カーテン５３１ｃ，〜，５３６ｃの間の隙間を完全に封止することができる。
【００７９】
（Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例）
次に、図１２は、図１０に示したＸ線漏洩防止カーテン５００ｃの他の例を示す模式的図である。図１２（ａ）はＸ線漏洩防止カーテン５００ｄの模式的平面を示し、図１２（ｂ）は模式的下面を示す。
【００８０】
図１２に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ｄは、図１０に示したＸ線漏洩防止カーテン５００ｃの棒部材に一体に形成されたカバー部６１１ＣＶ，〜，６１３ＣＶ、６２１ＣＶ，〜，６２６ＣＶを、複数のカーテン５１１ｄ，〜，５４２ｄに設けたものである。
【００８１】
図１２（ａ）に示すように、Ｘ線漏洩防止カーテン５００ｄは、下段カーテン５１０ｄ、中段カーテン５２０ｄ、上段カーテン５３０ｄおよび軸６００からなる。
【００８２】
図１２（ａ）に示すように、下段カーテン５１０ｄは、カーテン５１１ｄ，５１２ｄ，５１３ｄおよび棒部材６１１ｄ，６１２ｄ，６１３ｄからなり、中段カーテン５２０ｄは、カーテン５２１ｄ，〜，５２６ｄおよび棒部材６２１ｄ，〜，６２６ｄからなり、上段カーテン５３０ｄは、カーテン５３１ｄ，〜，５４２ｄおよび棒部材６３１ｄ，〜，６４２ｄからなる。
【００８３】
また、図１２（ｂ）に示すように、カーテン５３１ｄには、カーテン５３２ｄと棒部材６２１ｄとの隙間をカバーするカバー部５３１ＣＶ１が一体に形成されている。
同様に、カーテン５３３ｄには、カーテン５３４ｄと棒部材６２２ｄとの隙間（０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度）をカバーするカバー部６２２ＣＶ１が一体に形成されており、カーテン５３２ｄおよびカーテン５２１ｄには、カーテン５３３ｄおよび棒部材６１１ｄと、カーテン５２２ｄおよび棒部材６１１ｄとの隙間をカバーするカバー部５３２ＣＶ１，５２１ＣＶ１が一体に形成されている。
【００８４】
また、図１２（ｂ）に示すように、カーテン５３４ｄには、カバー部５３４ＣＶ１が一体に形成され、カーテン５２２ｄには、カバー部５２２ＣＶ１が一体に形成され、カーテン５１１ｄには、カバー部５１１ＣＶ１が一体に形成されている。
同様に、カーテン５１２ｄ，５２３ｄ，〜，５２５ｄ，５３５ｄ，〜，５４１ｄには、カバー部５１２ＣＶ１，５２３ＣＶ１，〜，５２５ＣＶ１，５３５ＣＶ１，〜，５４１ＣＶ１が一体に形成されている。
【００８５】
このＸ線漏洩防止カーテン５００ｄでは、カバー部５１１ＣＶ１，５１２ＣＶ１，５２１ＣＶ１，〜，５２５ＣＶ１，５３１ＣＶ１，〜，５４１ＣＶ１により、各カーテンの間の隙間を完全に封止することができる。
【００８６】
また、上記実施の形態においては、片側にのみカバー部を設けることとしたが、これに限定されず、中央のカーテン５３６ｄ，５３７ｄから側方に向かってカバー部を設けてもよい。さらに一部のカーテンの両側にカバー部を設けることとしてもよい。
【００８７】
（Ｘ線漏洩防止カーテンのさらに他の例）
図１３は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００のさらに他の例を示す模式的側面図である。
【００８８】
図１３に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ｅは、下段カーテン５１０ｅおよび軸６００ａ、中段カーテン５２０ｅおよび軸６００ｂ、上段カーテン５３０ｅおよび軸６００ｃの３個のカーテンが隣接して設けられる。すなわち、３個のカーテンで１セットのＸ線漏洩防止カーテン５００ｅを構成する。
【００８９】
図１３に示すように、下段カーテン５１０ｅは、鉛直上方向に屈曲して設けられたカバー部５１０ＣＶ２を有する。また、中段カーテン５２０ｅは、鉛直上方向に屈曲して設けられたカバー部５２０ＣＶ２を有する。
【００９０】
このＸ線漏洩防止カーテン５００ｅでは、カバー部５１０ＣＶ２，カバー部５２０ＣＶ２により、鉛直上下方向に隣接する複数のカーテンの隙間（０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度）を封止することができる。
【００９１】
（Ｘ線漏洩防止カーテンのさらに他の例）
図１４は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００のさらに他の例を示す模式的側面図である。
【００９２】
図１４に示すように、Ｘ線漏洩防止カーテン５００ｆは、下段カーテン５１０ｆ、中段カーテン５２０ｆ、上段カーテン５３０ｆおよび軸６００からなる。
【００９３】
下段カーテン５１０ｆは、カーテン５１１ｆ，〜，５１８ｆおよび棒部材６１１ｆ，〜，６１８ｆからなり、中段カーテン５２０ｆは、カーテン５２１ｆ，〜，５２４ｆおよび棒部材６２１ｆ，〜，６２４ｆからなり、上段カーテン５３０ｆは、カーテン５３１ｆ，５３２ｆからなる。
【００９４】
棒部材６１１ｆ，〜，６１８ｆは、カーテン５１１ｆ，〜，５１８ｆの中心上部に配設され、棒部材６２１ｆ，〜，６２４ｆは、カーテン５２１ｆ，〜，５２４ｆの中心上部に配設される。すなわち、カーテン５１１ｆ，〜，５１８ｆ、５２１ｆ，〜，５２４ｆが弱い力で回動するように配設されている。仮に棒部材６２１ｆ，〜，６２４ｆをカーテン５２１ｆ，〜，５２４ｆの中心から偏芯させて配設した場合、カーテン５２１ｆ，〜，５２４ｆの回動が安定しない。なお、安定して回転することができる状態まで、偏芯させてもよいことは、言うまでもない。
【００９５】
カーテン５３１ｆ，５３２ｆが軸６００周りに回動可能に設けられ、カーテン５２１ｆ，〜，５２４ｆが棒部材６２１ｆ，〜，６２４ｆを介して軸６００周りに回動可能に設けられ、カーテン５１１ｆ，〜，５１８ｆが棒部材６１１ｆ，〜，６１８ｆを介して軸６００周りに回動可能に設けられる。
【００９６】
また、図１４に示すように、Ｘ線漏洩防止カーテン５００ｆの下段カーテン５１０ｆは、幅Ｂ５１１高さＨ５１０のカーテン５１１ｆ，５１８ｆ、幅Ｂ５１１とは異なる幅Ｂ５１２高さＨ５１０のカーテン５１２ｆ，５１７ｆ、幅Ｂ５１１，Ｂ５１２とは異なる幅Ｂ５１３高さＨ５１０のカーテン５１３ｆ，５１６ｆ、幅Ｂ５１１，〜，Ｂ５１３とは異なる幅Ｂ５１４高さＨ５１０のカーテン５１４ｆ，５１５ｆからなる。中段カーテン５２０ｆは、幅Ｂ５２１（Ｂ５２１＞Ｂ５１１）高さＨ５２０のカーテン５２１ｆ，５２４ｆ、幅Ｂ５２１とは異なる幅Ｂ５２２高さＨ５２０のカーテン５２２ｆ，５２３ｆからなる。さらに、上段カーテン５３０ｆは、幅Ｂ５３１（Ｂ５３１＞Ｂ５２１）高さＨ５３０のカーテン５３１ｆ，５３２ｆからなる。
【００９７】
この場合、Ｘ線漏洩防止カーテン５００ｆの鉛直下方側、すなわちベルトコンベア８００に近いほど、カーテン一枚あたりの面積が小さくなる。さらに、ベルトコンベア８００の中央部に近づくほどカーテン一枚あたりの面積が小さくなる。
【００９８】
その結果、ベルトコンベア８００に近く、ベルトコンベア８００の中央部に移送される小さな被検査物の場合であっても、Ｘ線検査室３００への搬入出を円滑に行わせることができる。
【００９９】
なお、本実施の形態においては、それぞれ０．５ｍｍのＳＵＳ（ステンレス鋼）３０４からなることとしているが、カーテンの面積を一定または上記のように変化させつつ、カーテン厚みｔを変化させて、ベルトコンベア８００に近い方、または該中央部に近づくにつれて、カーテン厚みｔを薄くすることもできる。
すなわち、カーテンの体積を、ベルトコンベア８００に近い方、または該中央部に近づくに連れて小さくすることもできる。
【０１００】
なお、Ｘ線検査装置１００において、被検査物の大きさがある一定の大きさに限定されている場合には、ベルトコンベア８００に近いほどカーテン一枚あたりの面積を大きくし、さらに、ベルトコンベア８００の中央部に近づくほどカーテン一枚あたりの面積を大きくすることもできる。
その結果、ある一定の大きさの被検査物が理想的なベルトコンベア８００の中央から、ずれてベルトコンベア８００上を搬送された場合であっても、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の回動面積を最小にできるので、Ｘ線漏洩を最大限防止することができる。
【０１０１】
また、上記の実施の形態においては、X線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線検査室３００の入口および出口のいずれにも３セット設けることとしているが、これに限定されず、１セット、２セット、４セット等任意のセット数を設けることができる。
【０１０２】
（Ｘ線検査装置の寸法について）
【０１０３】
以下、図を用いて当該Ｘ線漏洩防止カーテン５００，〜，５００ｆを備えることができるＸ線検査装置１００（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）の具体的な大きさについて説明を行う。図１５は、Ｘ線検査装置１００の寸法の一例を示す模式図である。
【０１０４】
Ｘ線検査装置の高さ：ＴＨ１＝１６４０ｍｍ（図１５（ａ）参照）
Ｘ線検査装置の幅（幅方向外側に突出するコンベア部分を除く）：ＷＬ１＝８００ｍｍ（図１５（ａ），（ｂ）参照）
Ｘ線検査装置の幅（幅方向外側に突出するコンベア部分を含む）：ＷＬ２＝１０００ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
搬送面までの高さ：ＴＨ２＝７５０ｍｍ（図１５（ａ）参照）
Ｘ線検査装置の奥行：ＢＬ１＝８５０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
ベルト幅：ＢＬ４＝４３０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
前面部からＸ線源までの距離：ＢＬ３＝２９０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
背面部からＸ線源までの距離：ＢＬ２＝５６０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
側面部（右側面部、左側面部）からＸ線源までの距離：ＷＬ３，ＷＬ４＝４００ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
天面部からＸ線源までの距離：ＴＨ３＝４００ｍｍ（図１５（ｃ）参照）
Ｘ線源から底面部までの距離：ＴＨ４＝３４０ｍｍ（図１５（ｃ）参照）
センサボックス中央部分の高さ：ＳＨ１＝８５ｍｍ（図１５（ｄ）参照）
センサボックス中央部分の幅：ＳＬ２＋ＳＬ３＝３６０ｍｍ（１８０ｍｍ＋１８０ｍｍ）（図１５（ｄ）参照）
センサボックスの側端部の幅：ＳＬ５＝６０ｍｍ（図１５（ｄ）参照）
センサボックスの側端部の外側部材の幅：ＳＬ４＝６０ｍｍ（図１５（ｄ）参照）
カーテン５００の間隔：ＷＬ５，ＷＬ６，ＷＬ７＝１３０ｍｍ（図１５（ｅ）参照）
装置中央から上部ローラまでの距離：ＷＬ８＝５００ｍｍ（上部ローラ間距離：１０００ｍｍ）
装置中央から下部ローラまでの距離：ＷＬ９＝２５０ｍｍ（下部ローラ間距離：５００ｍｍ）
搬送面からラインセンサまでの距離：ＴＨ６＝５０ｍｍ
ベルトの上面から下面までの距離：ＴＨ７＝１４０ｍｍ
Ｘ線遮蔽カーテンの鉛直方向長さ：ＴＨ１０＝１３０ｍｍ
搬入口および搬出口の高さ：ＴＨ８＝１５０ｍｍ
搬入口および搬出口の幅：ＷＬ１０＝４８０ｍｍ
また、Ｘ線検査装置１００の筺体（シールドボックス）は、厚みが約２ｍｍ〜約３ｍｍのＳＵＳ３０４が使用されている。
【０１０５】
以上のように、本実施の形態に係るＸ線検査装置１００は、被検査物９００がベルトコンベア８００によって搬送され、被検査物９００がＸ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆに接触し、接触したＸ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆが回動されて被検査物９００がＸ線検査室３００内に搬送される。
この場合、Ｘ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆのカーテンは、ベルトコンベア８００の搬送面に近づくに連れて当該カーテンを回動させる力が小さくなる。すなわち、カーテンの面積を小さくする、または１枚のカーテンの高さを低くすることで、カーテンの回動力を低下させることができる。その結果、被検査物９００に応じて、安定したＸ線検査を行うことができる。
また、重量の軽い被検査物９００がＸ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆを通過する際に、カーテンの重みで、被検査物９００の姿勢が変化し、被検査物９００の姿勢が安定していない状態でＸ線検査を行うことを防止することができる。
【０１０６】
また、Ｘ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｄ，５００ｆにおいては、複数の棒部材が、一つの軸６００を基準に回動可能に設けられているので、回動部を開口部の上部に集約して配設することができ、構造を簡易化することができる。その結果、Ｘ線検査装置１００の清掃性およびメンテナンス性を高めることができる。また、カーテンの中央部に棒部材が接続されるので、棒部材がカーテンの中央部から偏芯して設けられた場合と比較して、より小さな力で、かつ安定して回動させることができる。
【０１０７】
さらに、Ｘ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆを構成する複数のカーテンにより、ベルトコンベア８００の搬送面と略垂直な略一平面が形成されるので、当該略一平面により開口部を確実に遮蔽することができ、Ｘ線の漏洩を確実に防止することができる。
【０１０８】
また、図８に示すように、複数のカーテンが、鉛直方向に隣接する二つの面部材のうち一方が他方にオーバラップして設けられているので、Ｘ線の漏洩を確実に防止することができる。さらに、上記で説明したように、図１〜図１５における各Ｘ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆの特徴を組み合わせたＸ線漏洩防止カーテンを用いることもできる。
【０１０９】
本発明の好ましい一実施の形態は上記の通りであるが、本発明はそれらだけに制限されない。本発明の主旨と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【符号の説明】
【０１１０】
１００ Ｘ線検査装置
２００ Ｘ線照射装置
２２０ ラインセンサ
３００ Ｘ線検査室
５００ Ｘ線漏洩防止カーテン
６００ 軸
８００ ベルトコンベア
９００ 被検査物
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物にＸ線を照射し、被検査物内の異物を検出するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検査物内の異物を検出するためにＸ線検査装置等が使用されている。これらのＸ線検査装置に関して、日々研究開発が行われている。
【０００３】
特許文献１には、筐体の搬入口及び搬出口が開放される面積と時間を極力抑えてＸ線遮蔽性を向上させるＸ線異物検査装置について開示されている。また、簡素な構成とするとともに、清掃性を良好にするＸ線異物検査装置について開示されている。
【０００４】
特許文献１記載のＸ線異物検査装置においては、被検査物（Ｗ）が搬入される搬入口（４ａ）と、該被検査物が搬出される搬出口（４ｂ）とを有する遮蔽構造の筐体（３）と、筐体内を通過させるように被検査物を搬入口から搬出口まで搬送する搬送手段（６）と、筐体内にて搬送手段によって搬送されている被検査物にＸ線を照射するＸ線発生部（１１）と、筐体内にてＸ線発生部から照射されて被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出部（１２）と、筐体の搬入口及び搬出口のそれぞれに、Ｘ線の漏洩を防ぐために設けられているＸ線遮蔽部材とを備え、Ｘ線検出部からの検出結果に基づいて被検査物の品質を検査するＸ線検査装置（１）において、Ｘ線遮蔽部材として搬送手段の搬送方向Ｙに沿って並んだ複数の金属板（２２ａ，２２ｂ，２２ｃ）からなるＸ線遮蔽ユニット（２１）を備え、Ｘ線遮蔽ユニットは、複数の金属板がその上縁部（２３ａ，２３ｂ，２３ｃ）が互いに近接して吊り下げられ揺動可能であるとともに、複数の金属板の下縁部（２４ａ，２４ｂ，２４ｃ）と搬送手段の搬送面との間の距離が搬送手段の搬送方向（Ｙ）の下流側にある金属板ほど短く形成されているものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１２７６９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１記載のＸ線検査装置においては、図２に示すように、搬送面に最も近い金属板２２（２２Ｃ）が回動した際に、金属板２２（２２Ｃ）の両Ｚ方向の部分が、支軸２６の近傍まで回動し、Ｘ線検査室内のＸ線が漏洩しやすい状態が生じる。すなわち、被検査物の大きさに対して余分な領域の金属板２２（２２Ｃ）を回動させることとなる。その結果、Ｘ線検査室内のＸ線を漏洩させてしまう可能性が高く、好ましくない。さらに、軽量の被検査物に対しても、余分な領域の金属板２２（２２Ｃ）を回動させる必要があるので、被検査物の姿勢が安定しない可能性が高い。
【０００７】
本発明の目的は、被検査物の大きさに応じてＸ線の漏洩を最適に防止することができるＸ線漏洩防止部材を備えたＸ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）
本発明に係るＸ線検査装置は、搬送装置によって搬送される被検査物に対して検査室内でＸ線を照射して検査を行い、検査室へ被検査物を搬入出する開口部からＸ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止部材を含むＸ線検査装置であって、Ｘ線漏洩防止部材は、互いに独立して回動可能な複数の支持部材にそれぞれ取り付けられる複数の面部材により開口部を遮蔽し、搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材を回動させる力が小さくなるよう形成されたものである。
【０００９】
Ｘ線検査装置により搬送装置によって搬送された被検査物に対して検査室内でＸ線を照射して検査が行われる。Ｘ線漏洩防止部材により検査室へ被検査物を搬入出する開口部からＸ線の漏洩が防止される。また、Ｘ線漏洩防止部材は、互いに独立して回動可能な複数の支持部材にそれぞれ取り付けられる複数の面部材により開口部を遮蔽し、搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材を回動させる力が小さくなるよう形成されたものである。
【００１０】
一般に、被検査物が搬送装置によって搬送され、被検査物がＸ線漏洩防止部材に接触し、接触したＸ線漏洩防止部材が回動されて被検査物が検査室内に搬送される。この場合、Ｘ線漏洩防止部材の面部材が、搬送面に近づくに連れて当該面部材を回動させる力が小さくなるので、重量の軽い被検査物を安定して検査室内で検査することができる。
例えば、体積が小さく、かつ重量の軽い被検査物がＸ線漏洩防止部材を通過する際に、被検査物の姿勢が変化し、被検査物の姿勢が安定しない状態でＸ線検査を行うことを防止することができる。
また、体積が大きく、かつ重量の重い被検査物がＸ線漏洩防止部材を通過する際に、被検査物の体積に応じて複数の面部材の一部が回動するので、漏洩を最大限に防止しつつ、Ｘ線検査を行うことを防止することができる。
その結果、安定して、被検査物の検査を行うとともに、被検査物に応じてＸ線の漏洩を最適に防止することができる。
【００１１】
（２）
第２の発明に係るＸ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部材は、搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材の面積が小さくなるよう形成されたものである。
【００１２】
一般に、被検査物が搬送装置によって搬送され、被検査物がＸ線漏洩防止部材に接触し、接触したＸ線漏洩防止部材が回動されて被検査物が検査室内に搬送される。この場合、Ｘ線漏洩防止部材の面部材が、搬送面に近づくに連れて開口部を遮蔽する面積が小さくなるので、当該面部材および支持部材を回動させる力を小さくすることができ、被検査物の大きさに応じて最大限にＸ線の漏洩を最適に防止することができる。
【００１３】
（３）
第３の発明に係るＸ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部材は、搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材の高さが小さくなるよう形成されたものである。
【００１４】
一般に、被検査物が搬送装置によって搬送され、被検査物がＸ線漏洩防止部材に接触し、接触したＸ線漏洩防止部材が回動されて被検査物が検査室内に搬送される。この場合、Ｘ線漏洩防止部材の面部材が、搬送面に近づくに連れて開口部を遮蔽する面部材の高さが小さくなるので、当該面部材および支持部材を回動させる力を小さくすることができ、被検査物の大きさに応じてＸ線の漏洩を最適に防止することができる。
【００１５】
（４）
第４の発明に係るＸ線検査装置においては、複数の支持部材が、同軸を基準に回動可能に設けられ、かつ複数の面部材のそれぞれ略中央部に接続されたものである。
【００１６】
この場合、複数の支持部材が、同軸を基準に回動可能に設けられているので、回動部を開口部の上部に集約して配設することができ、構造を簡易化することができる。
その結果、Ｘ線検査装置のメンテナンス性および清掃性を高めることができる。また、面部材の中央部に支持部材が接続されるので、支持部材が面部材の中央部から偏芯して設けられた場合と比較して、より小さな力で、かつ安定して回動させることができる。
【００１７】
（５）
第５の発明に係るＸ線検査装置において、複数の面部材は、搬送装置の搬送面と垂直な略一平面を形成する。
【００１８】
この場合、Ｘ線漏洩防止部材の複数の面部材により、搬送装置の搬送面と垂直な略一平面が形成されるので、当該略一平面により開口部を確実に遮蔽することができ、Ｘ線の漏洩を確実に防止することができる。
【００１９】
（６）
第６の発明に係るＸ線検査装置において、複数の面部材は、鉛直方向に隣接する二つの面部材のうち一方が他方にオーバラップして設けられたものである。
【００２０】
この場合、複数の面部材は、鉛直方向に隣接する二つの面部材のうち一方が他方にオーバラップして設けられているので、面部材の隙間が存在する場合に生じるＸ線の漏洩を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係るＸ線検査装置の一例を示す模式的外観図
【図２】本発明に係るＸ線検査装置の内部構造の一例を示す模式図
【図３】Ｘ線検査装置において画像処理に関わる構成部を示すブロック図
【図４】Ｘ線漏洩防止カーテンの一例を示す模式的平面図
【図５】Ｘ線漏洩防止カーテンの一例を示す模式的側面図
【図６】Ｘ線漏洩防止カーテンの一例を示す模式的斜視図
【図７】図４および図５に示すＸ線漏洩防止カーテンの動作を説明するための模式図
【図８】Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例を示す模式的側面図
【図９】Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例を示す模式的平面図
【図１０】Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例を示す模式的図
【図１１】Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例を示す模式的斜視図
【図１２】図１０に示したＸ線漏洩防止カーテンの他の例を示す模式的図
【図１３】Ｘ線漏洩防止カーテンのさらに他の例を示す模式的側面図
【図１４】Ｘ線漏洩防止カーテンのさらに他の例を示す模式的側面図
【図１５】Ｘ線検査装置の寸法の一例を示す模式図
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明に係る実施の形態において図面を用いて説明する。
（一の実施の形態）
図１は、本発明に係るＸ線検査装置１００の一例を示す模式的外観図であり、図２は、本発明に係るＸ線検査装置１００の内部構造の一例を示す模式図である。
【００２３】
図１に示すように、Ｘ線検査装置１００には、内部にＸ線検査室３００が形成されている。また、Ｘ線検査室内には、Ｘ線照射装置２００が内蔵されており、図１に示すように、Ｘ線検査装置１００のＸ線検査室を貫通するように、ベルトコンベア８００が設けられている。
【００２４】
また、図１のＸ線検査室３００の開口部からＸ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止カーテン５００が設けられている。このＸ線漏洩防止カーテン５００については、後述する。
【００２５】
作業者は、図１に示すＸ線検査装置１００の入力表示部ＭＴを操作することによりＸ線検査装置１００を駆動させる。作業者は、ベルトコンベア８００に被検査物である被検査物９００（図２参照）を載置させて搬送させ、Ｘ線検査装置１００のＸ線検査室内において異物混入等がないか否かの検査を行う。以下、Ｘ線検査装置１００のＸ線検査室３００の内部構造について説明を行う。
【００２６】
図２に示すように、本発明に係るＸ線検査室３００は、主に、Ｘ線照射装置２００、ラインセンサ２２０、Ｘ線漏洩防止カーテン５００、案内ガイド７００およびベルトコンベア８００からなる。
【００２７】
Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線検査室３００の入口側に３セット設けられ、さらに出口側に３セット設けられる。Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線照射装置２００を中心に、左右対称に設けられる。当該Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、隣接するＸ線漏洩防止カーテン５００に対して該Ｘ線漏洩防止カーテン５００の鉛直方向の長さである１３０ｍｍ以上、搬送方向に離間して設けられる。それにより、Ｘ線漏洩防止カーテン５００が水平となる様に最大回動しても、隣接するＸ線漏洩防止カーテン５００に接触しない。なお、当該Ｘ線漏洩防止カーテン５００の構造詳細については、後述する。
【００２８】
また、ベルトコンベア８００は、無端状のベルトが一対のローラに巻回されて設けられ、ベルトコンベア８００の内部に、シンチレータおよびフォトダイオード素子からなるＸ線を検出するラインセンサ２２０が設けられている。
【００２９】
さらに、ベルトコンベア８００の上面には、案内ガイド７００が設けられる。この案内ガイド７００は、一対の部材から構成され、ベルトコンベア８００上を搬送される被検査物９００がベルトコンベア８００上から落下しないよう、すなわち、こぼれ落ちないように防止するためのものである。したがって、案内ガイド７００は、脱着可能に構成されており、被検査物９００が固形で安定搬送できる場合には、取り外して使用される。
【００３０】
次に、図２に示すように、ベルトコンベア８００上に被検査物９００が載せられる。そして、ベルトコンベア８００が駆動され、ベルトコンベア８００上に配設された案内ガイド７００によってベルトコンベア８００上からの落下が防止されつつ、被検査物９００は矢印Ｘ１の方向に移動する。そして、被検査物９００は、入口側の３セットのＸ線漏洩防止カーテン５００を順番に該一部のカーテンを押し上げ、Ｘ線検査室３００内に移動する。
【００３１】
次いで、被検査物９００に対して、Ｘ線照射装置２００からＸ線２１０が照射され、被検査物９００を透過したＸ線２１０がラインセンサ２２０に入射される。
【００３２】
続いて、Ｘ線検査が行われた被検査物９００は、出口側のＸ線漏洩防止カーテン５００の該一部のカーテンを押し上げ矢印Ｘ１の方向に移動し、Ｘ線検査室３００外に移動する。そして、被検査物９００は、案内ガイド７００によりベルトコンベア８００からこぼれることなく、次工程のベルトコンベアに搬送される。
【００３３】
なお、図２に示すように、入口側および出口側のそれぞれ３セットのＸ線漏洩防止カーテン５００は、相対的に矢印Ｘ１の方向と垂直な方向（水平方向）にずらして設けられる。それにより、Ｘ線照射装置２００からのＸ線２１０が、３セットのＸ線漏洩防止カーテン５００の隙間を通過してＸ線が漏洩することを防止できる。
【００３４】
続いて、図３は、Ｘ線検査装置１００において画像処理に関わる構成部を示すブロック図である。
【００３５】
図３に示すように、本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、画像処理に関わる構成部として、上述のラインセンサ２２０、Ａ／Ｄコンバータ２３０、検出機能処理部ＦＳ、処理後データ記憶部２６１、メモリ２７０および上述の入力表示部ＭＴを備える。
【００３６】
検出機能処理部ＦＳは、輝度毎データ取得部２４０、合算部２５０、重み付け変更部２６０、動作パラメータ記録部２８０、異物判断処理部２９０および表示データ作成部２９１を含む。
【００３７】
上記検出機能処理部ＦＳの各構成部は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）がＲＡＭ（Random
Access Memory）またはＲＯＭ（Read-Only Memory）に格納されている処理プログラムを実行することによって機能的に実現される。
このような処理プログラムは、当該処理プログラムが記録されたＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等の記録媒体からインストールすることが可能であるし、ネットワークを介してサーバからダウンロードすることも可能である。また、メモリ２７０および処理後データ記憶部２６１はハードディスクドライブ等からなる。
【００３８】
最初に、被検査物９００を透過したＸ線２１０がラインセンサ２２０に入射され、当該ラインセンサ２２０によりＸ線２１０に基づいてアナログデータである検出データＫＤａが生成される。この検出データＫＤａは、例えば４０９６階調（１２ビット）のデータである。その後、検出データＫＤａは、Ａ／Ｄコンバータ２３０によりデジタルデータである検出データＫＤｄに変換される。
【００３９】
検出データＫＤｄからの検出値に基づき輝度毎データ取得部２４０により輝度毎データＬＤ１が取得される。なお、輝度毎データＬＤ１は画像の１ライン分に相当するものである。そして、合算部２５０により複数の輝度毎データＬＤ１が合算されることにより、画像の全ライン分に相当する輝度毎データＬＤ２が生成される。
【００４０】
重み付け変更部２６０は、輝度毎データＬＤ２に基づき、輝度領域ＫＲＴと当該輝度領域ＫＲＴを除く輝度領域ＫＲとで、間引き率ＭＲを変更して間引き処理を行う。重み付け変更部２６０は、これらの輝度領域ＫＲＴ、ＫＲおよび間引き率ＭＲを用いて間引き処理を行うことで、輝度毎データＬＤ２の重み付けを変更する。
【００４１】
また、これらに伴って、重み付け変更部２６０は、変換曲線を用いて当該輝度毎データＬＤ２を２５６階調の輝度毎データＬＡに変換する。
【００４２】
重み付け変更部２６０により生成された輝度毎データＬＡは、処理後データとして処理後データ記憶部２６１に記憶されるとともに、異物判断処理部２９０に与えられる。
【００４３】
異物判断処理部２９０により輝度毎データＬＡに基づいて被検査物９００内に内容物が含まれているか否かの判別等の処理が行われる。当該判別結果によっては、警告装置（図示せず）により警告音が発せられる。
【００４４】
また、表示データ作成部２９１により輝度毎データＬＡに基づいて入力表示部ＭＴに表示するための表示データが作成される。この場合、重み付け変更部２６０によりヒストグラムが取得された後、当該ヒストグラムに基づいて目視に最も適したコントラストを有する画像が上記画像の中から選択される。そして、重み付け変更部２６０により選択された上記画像に係る表示データが入力表示部ＭＴに与えられる。当該表示データに係る画像が入力表示部ＭＴに表示される。
【００４５】
（Ｘ線漏洩防止カーテン）
続いて、図４はＸ線漏洩防止カーテン５００の一例を示す模式的平面図であり、図５はＸ線漏洩防止カーテン５００の一例を示す模式的側面図であり、図６はＸ線漏洩防止カーテン５００の一例を示す模式的斜視図である。なお、図６のＸ線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の裏面（搬送下流側）から矢視したものを示す。
【００４６】
図４、図５および図６に示すように、Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、下段カーテン５１０、中段カーテン５２０、上段カーテン５３０および軸６００からなる。
Ｘ線漏洩防止カーテン５００の全体幅は、４５０ｍｍであり、高さは、１３０ｍｍであり、厚みは、１．０ｍｍである。
【００４７】
下段カーテン５１０は、カーテン５１１，〜，５１８および棒部材６１１，〜，６１８からなり、中段カーテン５２０は、カーテン５２１，〜，５２４および棒部材６２１，〜，６２４からなり、上段カーテン５３０は、カーテン５３１，５３２からなる。
【００４８】
カーテン５３１，５３２が軸６００周りに回動可能に設けられ、カーテン５２１，〜，５２４が棒部材６２１，〜，６２４を介して軸６００周りに回動可能に設けられ、カーテン５１１，〜，５１８が棒部材６１１，〜，６１８を介して軸６００周りに回動可能に設けられる。
【００４９】
下段カーテン５１０は、それぞれ幅Ｂ５１０、高さＨ５１０からなり、中段カーテン５２０は、それぞれ幅Ｂ５２０、高さＨ５２０からなり、上段カーテン５３０は、それぞれ幅Ｂ５３０、高さＨ５３０からなる。
なお、本実施の形態においては、幅Ｂ５１０は、幅Ｂ５２０の約半分の値であり、幅Ｂ５２０は、幅Ｂ５３０の約半分の値である。なお、高さＨ５１０は、高さＨ５２０の約半分の値であり、高さＨ５２０は、高さＨ５３０の約半分の値である。
【００５０】
例えば、本実施の形態においては、幅Ｂ５１０は２０ｍｍであり、幅Ｂ５２０は４０ｍｍであり、幅Ｂ５３０は８０ｍｍである。また、高さＨ５１０は４０ｍｍであり、高さＨ５２０は、６０ｍｍであり、高さＨ５３０は、８０ｍｍである。したがって、実際のＸ線検査装置１００においては、図４〜図６に一部例示したように、下段カーテン５１０は、幅方向にカーテン５１１，〜，５１８が８枚ではなく、２４枚並列配置される。
【００５１】
例えば、本実施の形態においては、カーテンの厚みｔは、それぞれ１．０ｍｍのＳＵＳ（ステンレス鋼）３０４からなる。なお、カーテンは、一部タングステンを含有する材質から構成することもできる。
【００５２】
棒部材６１１，〜，６１８は、カーテン５１１，〜，５１８の中心上部に配設され、棒部材６２１，〜，６２４は、カーテン５２１，〜，５２４の中心上部に配設される。すなわち、カーテン５１１，〜，５１８が弱い力で回動するように配設されている。仮に棒部材６１１，〜，６１８をカーテン５１１，〜，５１８の中心から偏芯させて配設した場合、カーテン５１１，〜，５１８の回動が安定しない。なお、中心上部に限らず安定して回転することができる位置まで、棒部材の固定位置を偏芯させてもよいことは、言うまでもない。
【００５３】
（Ｘ線漏洩防止カーテンの動作）
次に、図７は、図４から図６に示すＸ線漏洩防止カーテン５００の動作を説明するための模式図である。
【００５４】
図７（ａ）に示すように、被検査物Ｂ１の高さＨ１は、下段カーテン５１０のカーテンの高さＨ５１０よりも低い（高さＨ１＞高さＨ５１０）。この場合、ベルトコンベア８００により被検査物Ｂ１が移送され、被検査物Ｂ１がＸ線漏洩防止カーテン５００に接触した場合、下段カーテン５１０の一部のみが棒部材６１０とともに、矢印Ｒの方向に回動する。
【００５５】
また、図７（ｂ）に示すように、被検査物Ｂ２の高さＨ２は、下段カーテン５１０のカーテンの高さＨ５１０よりも高く、中段カーテン５２０のカーテンの高さＨ５２０（高さＨ５１０を加算した値）よりも低い（高さＨ５１０＜高さＨ２＜高さＨ５１０＋Ｈ５２０）。この場合、ベルトコンベア８００により被検査物Ｂ２が移送され、被検査物Ｂ２がＸ線漏洩防止カーテン５００に接触した場合、下段カーテン５１０および中段カーテン５２０の一部が棒部材６１０および棒部材６２０とともに、矢印Ｒの方向に回動する。
【００５６】
さらに、図７（ｃ）に示すように、被検査物Ｂ３の高さＨ３は、下段カーテン５１０および中段カーテン５２０のカーテンの高さＨ５１０よりも高い（高さＨ５１０＋５２０＜高さＨ３＜高さＨ５１０＋Ｈ５２０＋Ｈ５３０）。この場合、ベルトコンベア８００により被検査物Ｂ３が移送され、被検査物Ｂ３がＸ線漏洩防止カーテン５００に接触した場合、下段カーテン５１０、中段カーテン５２０および上段カーテン５３０の一部が棒部材６１０，６２０とともに、矢印Ｒの方向に回動する。
【００５７】
よって、被検査物Ｂ１，〜，Ｂ３の大きさに応じて、下段カーテン５１０、中段カーテン５２０および上段カーテン５３０を回動させることができる。なお、幅方向に関しても、被検査物Ｂ１，〜，Ｂ３の幅方向のサイズに応じてカーテン５１４，５１５のみ、またはカーテン５１３，〜，５１６のみを回動させることができる。
【００５８】
（Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例）
図８は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の他の例を示す模式的側面図である。以下、図８に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ａが、図４〜図６に示したＸ線漏洩防止カーテン５００と相違する点について説明を行う。
【００５９】
図８に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ａは、下段カーテン５１０ａ、中段カーテン５２０ａ、上段カーテン５３０および軸６００からなる。
【００６０】
図８に示すように、下段カーテン５１０ａには、中段カーテン５２０ａとの隙間（約０．１〜約０．５ｍｍ程度）を覆うためのカバー部５１０ＣＶが設けられる。また、中段カーテン５２０ａには、上段カーテン５３０との隙間（約０．１〜約０．５ｍｍ程度）を覆うためのカバー部５２０ＣＶが設けられる。
【００６１】
なお、本実施の形態においては、下段カーテン５１０ａに中段カーテン５２０ａとの隙間をカバーするカバー部５１０ＣＶを設け、中段カーテン５２０ａに上段カーテン５３０との隙間をカバーするカバー部５２０ＣＶを設けることとしたが、これに限定されず、中段カーテン５２０ａまたは上段カーテン５３０に設けることもできる。
【００６２】
（Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例）
次に、図９は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の他の例を示す模式的平面図である。
【００６３】
図９に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ｂは、下段カーテン５１０ｂ、中段カーテン５２０ｂ、上段カーテン５３０ｂおよび軸６００からなる。
【００６４】
図９に示すように、下段カーテン５１０ｂは、カーテン５１１ｂ，５１２ｂ，５１３ｂおよび棒部材６１１ｂ，６１２ｂ，６１３ｂからなり、中段カーテン５２０ｂは、カーテン５２１ｂ，〜，５２６ｂおよび棒部材６２１ｂ，〜，６２６ｂからなり、上段カーテン５３０ｂは、カーテン５３１ｂ，〜，５４２ｂおよび棒部材６３１ｂ，〜，６４２ｂからなる。
【００６５】
棒部材６１１ｂ，６１２ｂ，６１３ｂは、カーテン５１１ｂ，５１２ｂ，５１３ｂの中心上部に配設され、棒部材６２１ｂ，〜，６２６ｂは、カーテン５２１ｂ，〜，５２６ｂの中心上部に配設され、棒部材６３１ｂ，〜，６４２ｂはカーテン５３１ｂ，〜，５４２ｂの中心上部に配設される。
【００６６】
棒部材６１１ｂは、カーテン５２１ｂ，５２２ｂの隙間およびカーテン５３２ｂ，５３３ｂの隙間を埋めるように配設され、棒部材６１２ｂは、カーテン５２３ｂ，５２４ｂの隙間およびカーテン５３６ｂ，５３７ｂの隙間を埋めるように配設され、棒部材６１３ｂは、カーテン５２５ｂ，５２６ｂの隙間およびカーテン５４０ｂ，５４１ｂの隙間を埋めるように配設される。
【００６７】
同様に、棒部材６２１ｂは、カーテン５３１ｂ，５３２ｂの隙間を埋めるように配設され、棒部材６２２ｂ，〜，６２６ｂは、それぞれカーテン５３３ｂ，〜，５４２ｂの隙間を埋めるように配設されている。なお、上記の隙間は、０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度の幅を有する。したがって、棒部材は、０．５ｍｍ以上の幅を有する。
【００６８】
また、下段カーテン５１０ｂのカーテンの高さＨ５１０ｂは、中段カーテン５２０ｂのカーテンの高さＨ５２０ｂ、および上段カーテン５３０ｂのカーテンの高さＨ５３０ｂよりも低い。また、中段カーテン５２０ｂのカーテンの高さＨ５２０ｂは、上段カーテン５３０ｂのカーテンの高さＨ５３０ｂよりも低い。
【００６９】
図９に示したＸ線漏洩防止カーテン５００ｂにおいては、下段カーテン５１０ｂの幅Ｂ５１０ｂは、中段カーテン５２０ｂの幅Ｂ５２０ｂの約２倍である。また、中段カーテン５２０ｂの幅Ｂ５２０ｂは、上段カーテン５３０ｂの幅Ｂ５３０ｂの約２倍である。
【００７０】
例えば、本実施の形態においては、幅Ｂ５１０ｂは８０ｍｍであり、幅Ｂ５２０ｂは４０ｍｍであり、幅Ｂ５３０ｂは２０ｍｍである。また、高さＨ５１０ｂは４０ｍｍであり、高さＨ５２０ｂは、６０ｍｍであり、高さＨ５３０ｂは、８０ｍｍである。したがって、実際のＸ線検査装置１００においては、図９に一部例示したように、下段カーテン５１０は、幅方向にカーテン５１１ｂ，〜，５１３ｂの３枚ではなく、６枚並列配置される。
【００７１】
この場合、図９に示したＸ線漏洩防止カーテン５００ｂでは、下段カーテン５１０ｂの棒部材６１１ｂにより、中段カーテン５２０ｂのカーテン５２１ｂ，５２２ｂの間の隙間を封止することができ、中段カーテン５２０ｂの棒部材６２１ｂにより上段カーテン５３０ｂのカーテン５３１ｂ，５３２ｂの間の隙間を封止することができる。
【００７２】
（Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例）
次に、図１０は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の他の例を示す模式的図であり、図１１は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の他の例を示す模式的斜視図である。図１０（ａ）はＸ線漏洩防止カーテン５００の模式的平面を示し、図１０（ｂ）は模式的下面を示す。
【００７３】
図１０および図１１に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ｃは、図９に示したＸ線漏洩防止カーテン５００ｂの複数のカーテン５１１ｂ，〜，５４２ｂを複数のカーテン５１１ｃ，〜，５４２ｃに代えたものである。
【００７４】
図１０（ａ）に示すように、Ｘ線漏洩防止カーテン５００ｃは、下段カーテン５１０ｃ、中段カーテン５２０ｃ、上段カーテン５３０ｃおよび軸６００からなる。
【００７５】
図１０（ａ）に示すように、下段カーテン５１０ｃは、カーテン５１１ｃ，５１２ｃ，５１３ｃおよび棒部材６１１ｃ，６１２ｃ，６１３ｃからなり、中段カーテン５２０ｃは、カーテン５２１ｃ，〜，５２６ｃおよび棒部材６２１ｃ，〜，６２６ｃからなり、上段カーテン５３０ｃは、カーテン５３１ｃ，〜，５４２ｃおよび棒部材６３１ｃ，〜，６４２ｃからなる。
【００７６】
また、図１０（ｂ）および図１１に示すように、棒部材６１１ｃには、カーテン５２１ｃとカーテン５２２ｃとの隙間（０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度）をカバーするカバー部６１１ＣＶが一体に形成されている。すなわち、カバー部６１１ＣＶは、カーテン５２１ｃとカーテン５２２ｃとの隙間Ｂ１２よりも幅広の幅Ｂ６２１で形成されている。
同様に、棒部材６１２ｃには、カーテン５２３ｃとカーテン５２４ｃとの隙間をカバーするカバー部６１２ＣＶが一体に形成されており、棒部材６１３ｃには、カーテン５２５ｃとカーテン５２６ｃとの隙間をカバーするカバー部６１３ＣＶが一体に形成されている。
【００７７】
また、図１０および図１１に示すように、棒部材６２１ｃには、カーテン５３１ｃとカーテン５３２ｃとの隙間をカバーするカバー部６２１ＣＶが一体に形成されている。同様に、棒部材６２２ｃ，〜，６２６ｃには、それぞれカーテン５３３ｃ，〜，５４２ｃとの隙間をカバーするカバー部６２２ＣＶ，〜，６２６ＣＶが一体に形成されている。
【００７８】
このＸ線漏洩防止カーテン５００ｃでは、下段カーテン５１０ｃの棒部材６１１ｃおよびカバー部６１１ＣＶ，〜，６１３ＣＶおよびカバー部６２１ＣＶ，〜，６２６ＣＶにより、中段カーテン５２０ｃのカーテン５２１ｃ，〜，５２６ｃの間の隙間および上段カーテン５３１ｃ，〜，５３６ｃの間の隙間を完全に封止することができる。
【００７９】
（Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例）
次に、図１２は、図１０に示したＸ線漏洩防止カーテン５００ｃの他の例を示す模式的図である。図１２（ａ）はＸ線漏洩防止カーテン５００ｄの模式的平面を示し、図１２（ｂ）は模式的下面を示す。
【００８０】
図１２に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ｄは、図１０に示したＸ線漏洩防止カーテン５００ｃの棒部材に一体に形成されたカバー部６１１ＣＶ，〜，６１３ＣＶ、６２１ＣＶ，〜，６２６ＣＶを、複数のカーテン５１１ｄ，〜，５４２ｄに設けたものである。
【００８１】
図１２（ａ）に示すように、Ｘ線漏洩防止カーテン５００ｄは、下段カーテン５１０ｄ、中段カーテン５２０ｄ、上段カーテン５３０ｄおよび軸６００からなる。
【００８２】
図１２（ａ）に示すように、下段カーテン５１０ｄは、カーテン５１１ｄ，５１２ｄ，５１３ｄおよび棒部材６１１ｄ，６１２ｄ，６１３ｄからなり、中段カーテン５２０ｄは、カーテン５２１ｄ，〜，５２６ｄおよび棒部材６２１ｄ，〜，６２６ｄからなり、上段カーテン５３０ｄは、カーテン５３１ｄ，〜，５４２ｄおよび棒部材６３１ｄ，〜，６４２ｄからなる。
【００８３】
また、図１２（ｂ）に示すように、カーテン５３１ｄには、カーテン５３２ｄと棒部材６２１ｄとの隙間をカバーするカバー部５３１ＣＶ１が一体に形成されている。
同様に、カーテン５３３ｄには、カーテン５３４ｄと棒部材６２２ｄとの隙間（０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度）をカバーするカバー部６２２ＣＶ１が一体に形成されており、カーテン５３２ｄおよびカーテン５２１ｄには、カーテン５３３ｄおよび棒部材６１１ｄと、カーテン５２２ｄおよび棒部材６１１ｄとの隙間をカバーするカバー部５３２ＣＶ１，５２１ＣＶ１が一体に形成されている。
【００８４】
また、図１２（ｂ）に示すように、カーテン５３４ｄには、カバー部５３４ＣＶ１が一体に形成され、カーテン５２２ｄには、カバー部５２２ＣＶ１が一体に形成され、カーテン５１１ｄには、カバー部５１１ＣＶ１が一体に形成されている。
同様に、カーテン５１２ｄ，５２３ｄ，〜，５２５ｄ，５３５ｄ，〜，５４１ｄには、カバー部５１２ＣＶ１，５２３ＣＶ１，〜，５２５ＣＶ１，５３５ＣＶ１，〜，５４１ＣＶ１が一体に形成されている。
【００８５】
このＸ線漏洩防止カーテン５００ｄでは、カバー部５１１ＣＶ１，５１２ＣＶ１，５２１ＣＶ１，〜，５２５ＣＶ１，５３１ＣＶ１，〜，５４１ＣＶ１により、各カーテンの間の隙間を完全に封止することができる。
【００８６】
また、上記実施の形態においては、片側にのみカバー部を設けることとしたが、これに限定されず、中央のカーテン５３６ｄ，５３７ｄから側方に向かってカバー部を設けてもよい。さらに一部のカーテンの両側にカバー部を設けることとしてもよい。
【００８７】
（Ｘ線漏洩防止カーテンのさらに他の例）
図１３は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００のさらに他の例を示す模式的側面図である。
【００８８】
図１３に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ｅは、下段カーテン５１０ｅおよび軸６００ａ、中段カーテン５２０ｅおよび軸６００ｂ、上段カーテン５３０ｅおよび軸６００ｃの３個のカーテンが隣接して設けられる。すなわち、３個のカーテンで１セットのＸ線漏洩防止カーテン５００ｅを構成する。
【００８９】
図１３に示すように、下段カーテン５１０ｅは、鉛直上方向に屈曲して設けられたカバー部５１０ＣＶ２を有する。また、中段カーテン５２０ｅは、鉛直上方向に屈曲して設けられたカバー部５２０ＣＶ２を有する。
【００９０】
このＸ線漏洩防止カーテン５００ｅでは、カバー部５１０ＣＶ２，カバー部５２０ＣＶ２により、鉛直上下方向に隣接する複数のカーテンの隙間（０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度）を封止することができる。
【００９１】
（Ｘ線漏洩防止カーテンのさらに他の例）
図１４は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００のさらに他の例を示す模式的側面図である。
【００９２】
図１４に示すように、Ｘ線漏洩防止カーテン５００ｆは、下段カーテン５１０ｆ、中段カーテン５２０ｆ、上段カーテン５３０ｆおよび軸６００からなる。
【００９３】
下段カーテン５１０ｆは、カーテン５１１ｆ，〜，５１８ｆおよび棒部材６１１ｆ，〜，６１８ｆからなり、中段カーテン５２０ｆは、カーテン５２１ｆ，〜，５２４ｆおよび棒部材６２１ｆ，〜，６２４ｆからなり、上段カーテン５３０ｆは、カーテン５３１ｆ，５３２ｆからなる。
【００９４】
棒部材６１１ｆ，〜，６１８ｆは、カーテン５１１ｆ，〜，５１８ｆの中心上部に配設され、棒部材６２１ｆ，〜，６２４ｆは、カーテン５２１ｆ，〜，５２４ｆの中心上部に配設される。すなわち、カーテン５１１ｆ，〜，５１８ｆ、５２１ｆ，〜，５２４ｆが弱い力で回動するように配設されている。仮に棒部材６２１ｆ，〜，６２４ｆをカーテン５２１ｆ，〜，５２４ｆの中心から偏芯させて配設した場合、カーテン５２１ｆ，〜，５２４ｆの回動が安定しない。なお、安定して回転することができる状態まで、偏芯させてもよいことは、言うまでもない。
【００９５】
カーテン５３１ｆ，５３２ｆが軸６００周りに回動可能に設けられ、カーテン５２１ｆ，〜，５２４ｆが棒部材６２１ｆ，〜，６２４ｆを介して軸６００周りに回動可能に設けられ、カーテン５１１ｆ，〜，５１８ｆが棒部材６１１ｆ，〜，６１８ｆを介して軸６００周りに回動可能に設けられる。
【００９６】
また、図１４に示すように、Ｘ線漏洩防止カーテン５００ｆの下段カーテン５１０ｆは、幅Ｂ５１１高さＨ５１０のカーテン５１１ｆ，５１８ｆ、幅Ｂ５１１とは異なる幅Ｂ５１２高さＨ５１０のカーテン５１２ｆ，５１７ｆ、幅Ｂ５１１，Ｂ５１２とは異なる幅Ｂ５１３高さＨ５１０のカーテン５１３ｆ，５１６ｆ、幅Ｂ５１１，〜，Ｂ５１３とは異なる幅Ｂ５１４高さＨ５１０のカーテン５１４ｆ，５１５ｆからなる。中段カーテン５２０ｆは、幅Ｂ５２１（Ｂ５２１＞Ｂ５１１）高さＨ５２０のカーテン５２１ｆ，５２４ｆ、幅Ｂ５２１とは異なる幅Ｂ５２２高さＨ５２０のカーテン５２２ｆ，５２３ｆからなる。さらに、上段カーテン５３０ｆは、幅Ｂ５３１（Ｂ５３１＞Ｂ５２１）高さＨ５３０のカーテン５３１ｆ，５３２ｆからなる。
【００９７】
この場合、Ｘ線漏洩防止カーテン５００ｆの鉛直下方側、すなわちベルトコンベア８００に近いほど、カーテン一枚あたりの面積が小さくなる。さらに、ベルトコンベア８００の中央部に近づくほどカーテン一枚あたりの面積が小さくなる。
【００９８】
その結果、ベルトコンベア８００に近く、ベルトコンベア８００の中央部に移送される小さな被検査物の場合であっても、Ｘ線検査室３００への搬入出を円滑に行わせることができる。
【００９９】
なお、本実施の形態においては、それぞれ０．５ｍｍのＳＵＳ（ステンレス鋼）３０４からなることとしているが、カーテンの面積を一定または上記のように変化させつつ、カーテン厚みｔを変化させて、ベルトコンベア８００に近い方、または該中央部に近づくにつれて、カーテン厚みｔを薄くすることもできる。
すなわち、カーテンの体積を、ベルトコンベア８００に近い方、または該中央部に近づくに連れて小さくすることもできる。
【０１００】
なお、Ｘ線検査装置１００において、被検査物の大きさがある一定の大きさに限定されている場合には、ベルトコンベア８００に近いほどカーテン一枚あたりの面積を大きくし、さらに、ベルトコンベア８００の中央部に近づくほどカーテン一枚あたりの面積を大きくすることもできる。
その結果、ある一定の大きさの被検査物が理想的なベルトコンベア８００の中央から、ずれてベルトコンベア８００上を搬送された場合であっても、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の回動面積を最小にできるので、Ｘ線漏洩を最大限防止することができる。
【０１０１】
また、上記の実施の形態においては、X線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線検査室３００の入口および出口のいずれにも３セット設けることとしているが、これに限定されず、１セット、２セット、４セット等任意のセット数を設けることができる。
【０１０２】
（Ｘ線検査装置の寸法について）
【０１０３】
以下、図を用いて当該Ｘ線漏洩防止カーテン５００，〜，５００ｆを備えることができるＸ線検査装置１００（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）の具体的な大きさについて説明を行う。図１５は、Ｘ線検査装置１００の寸法の一例を示す模式図である。
【０１０４】
Ｘ線検査装置の高さ：ＴＨ１＝１６４０ｍｍ（図１５（ａ）参照）
Ｘ線検査装置の幅（幅方向外側に突出するコンベア部分を除く）：ＷＬ１＝８００ｍｍ（図１５（ａ），（ｂ）参照）
Ｘ線検査装置の幅（幅方向外側に突出するコンベア部分を含む）：ＷＬ２＝１０００ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
搬送面までの高さ：ＴＨ２＝７５０ｍｍ（図１５（ａ）参照）
Ｘ線検査装置の奥行：ＢＬ１＝８５０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
ベルト幅：ＢＬ４＝４３０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
前面部からＸ線源までの距離：ＢＬ３＝２９０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
背面部からＸ線源までの距離：ＢＬ２＝５６０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
側面部（右側面部、左側面部）からＸ線源までの距離：ＷＬ３，ＷＬ４＝４００ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
天面部からＸ線源までの距離：ＴＨ３＝４００ｍｍ（図１５（ｃ）参照）
Ｘ線源から底面部までの距離：ＴＨ４＝３４０ｍｍ（図１５（ｃ）参照）
センサボックス中央部分の高さ：ＳＨ１＝８５ｍｍ（図１５（ｄ）参照）
センサボックス中央部分の幅：ＳＬ２＋ＳＬ３＝３６０ｍｍ（１８０ｍｍ＋１８０ｍｍ）（図１５（ｄ）参照）
センサボックスの側端部の幅：ＳＬ５＝６０ｍｍ（図１５（ｄ）参照）
センサボックスの側端部の外側部材の幅：ＳＬ４＝６０ｍｍ（図１５（ｄ）参照）
カーテン５００の間隔：ＷＬ５，ＷＬ６，ＷＬ７＝１３０ｍｍ（図１５（ｅ）参照）
装置中央から上部ローラまでの距離：ＷＬ８＝５００ｍｍ（上部ローラ間距離：１０００ｍｍ）
装置中央から下部ローラまでの距離：ＷＬ９＝２５０ｍｍ（下部ローラ間距離：５００ｍｍ）
搬送面からラインセンサまでの距離：ＴＨ６＝５０ｍｍ
ベルトの上面から下面までの距離：ＴＨ７＝１４０ｍｍ
Ｘ線遮蔽カーテンの鉛直方向長さ：ＴＨ１０＝１３０ｍｍ
搬入口および搬出口の高さ：ＴＨ８＝１５０ｍｍ
搬入口および搬出口の幅：ＷＬ１０＝４８０ｍｍ
また、Ｘ線検査装置１００の筺体（シールドボックス）は、厚みが約２ｍｍ〜約３ｍｍのＳＵＳ３０４が使用されている。
【０１０５】
以上のように、本実施の形態に係るＸ線検査装置１００は、被検査物９００がベルトコンベア８００によって搬送され、被検査物９００がＸ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆに接触し、接触したＸ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆが回動されて被検査物９００がＸ線検査室３００内に搬送される。
この場合、Ｘ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆのカーテンは、ベルトコンベア８００の搬送面に近づくに連れて当該カーテンを回動させる力が小さくなる。すなわち、カーテンの面積を小さくする、または１枚のカーテンの高さを低くすることで、カーテンの回動力を低下させることができる。その結果、被検査物９００に応じて、安定したＸ線検査を行うことができる。
また、重量の軽い被検査物９００がＸ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆを通過する際に、カーテンの重みで、被検査物９００の姿勢が変化し、被検査物９００の姿勢が安定していない状態でＸ線検査を行うことを防止することができる。
【０１０６】
また、Ｘ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｄ，５００ｆにおいては、複数の棒部材が、一つの軸６００を基準に回動可能に設けられているので、回動部を開口部の上部に集約して配設することができ、構造を簡易化することができる。その結果、Ｘ線検査装置１００の清掃性およびメンテナンス性を高めることができる。また、カーテンの中央部に棒部材が接続されるので、棒部材がカーテンの中央部から偏芯して設けられた場合と比較して、より小さな力で、かつ安定して回動させることができる。
【０１０７】
さらに、Ｘ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆを構成する複数のカーテンにより、ベルトコンベア８００の搬送面と略垂直な略一平面が形成されるので、当該略一平面により開口部を確実に遮蔽することができ、Ｘ線の漏洩を確実に防止することができる。
【０１０８】
また、図８に示すように、複数のカーテンが、鉛直方向に隣接する二つの面部材のうち一方が他方にオーバラップして設けられているので、Ｘ線の漏洩を確実に防止することができる。さらに、上記で説明したように、図１〜図１５における各Ｘ線漏洩防止カーテン５００，５００ａ，〜，５００ｆの特徴を組み合わせたＸ線漏洩防止カーテンを用いることもできる。
【０１０９】
本発明の好ましい一実施の形態は上記の通りであるが、本発明はそれらだけに制限されない。本発明の主旨と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【符号の説明】
【０１１０】
１００ Ｘ線検査装置
２００ Ｘ線照射装置
２２０ ラインセンサ
３００ Ｘ線検査室
５００ Ｘ線漏洩防止カーテン
６００ 軸
８００ ベルトコンベア
９００ 被検査物
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送装置によって搬送される被検査物に対して検査室内でＸ線を照射して検査を行い、前記検査室へ前記被検査物を搬入出する開口部から前記Ｘ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止部材を含むＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線漏洩防止部材は、
互いに独立して回動可能な複数の支持部材にそれぞれ取り付けられる複数の面部材により前記開口部を遮蔽し、前記搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材を回動させる力が小さくなるよう形成されたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記Ｘ線漏洩防止部材は、
前記搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材の面積が小さくなるよう形成されたことを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記Ｘ線漏洩防止部材は、
前記搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材の高さが小さくなるよう形成されたことを特徴とする請求項１または２記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記複数の支持部材は、同軸を基準に回動可能に設けられ、かつ前記複数の面部材のそれぞれ略中央部に接続されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記複数の面部材は、前記搬送装置の搬送面と垂直な略一平面を形成することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記複数の面部材は、鉛直方向に隣接する二つの面部材のうち一方が他方にオーバラップして設けられたことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項１】
搬送装置によって搬送される被検査物に対して検査室内でＸ線を照射して検査を行い、前記検査室へ前記被検査物を搬入出する開口部から前記Ｘ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止部材を含むＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線漏洩防止部材は、
互いに独立して回動可能な複数の支持部材にそれぞれ取り付けられる複数の面部材により前記開口部を遮蔽し、前記搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材を回動させる力が小さくなるよう形成されたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記Ｘ線漏洩防止部材は、
前記搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材の面積が小さくなるよう形成されたことを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記Ｘ線漏洩防止部材は、
前記搬送装置の搬送面へ近づくに連れて当該面部材の高さが小さくなるよう形成されたことを特徴とする請求項１または２記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記複数の支持部材は、同軸を基準に回動可能に設けられ、かつ前記複数の面部材のそれぞれ略中央部に接続されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記複数の面部材は、前記搬送装置の搬送面と垂直な略一平面を形成することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記複数の面部材は、鉛直方向に隣接する二つの面部材のうち一方が他方にオーバラップして設けられたことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２０１２−１４５３９６（Ｐ２０１２−１４５３９６Ａ）
【公開日】平成２４年８月２日（２０１２．８．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２９２４（Ｐ２０１１−２９２４）
【出願日】平成２３年１月１１日（２０１１．１．１１）
【出願人】（０００１４７８３３）株式会社イシダ (859)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年８月２日（２０１２．８．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１月１１日（２０１１．１．１１）
【出願人】（０００１４７８３３）株式会社イシダ (859)
【Ｆターム（参考）】
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