【課題】 半導体集積回路装置の製造において、二酸化ケイ素系材料層の被研磨面を研磨する場合の研磨速度のパターン依存性が少なく、凹部の研磨を抑制しながら凸部を優先的に研磨でき、極めて少ない研磨量で被研磨面を高平坦化することが可能な技術を提供する。
【解決手段】 半導体集積回路装置の製造において、被研磨面が二酸化ケイ素系材料層の被研磨面である場合に、被研磨面を研磨するための化学的機械的研磨剤として、酸化セリウム粒子、水ならびにグルコン酸および／またはグルコヘプトン酸を含有する研磨剤を使用する。 （もっと読む）

所定のパターンが形成される面を有する基板を与えること；該基板に加わる外力による該面の変形量を得るために、該基板を露光装置内に配置すること；該変形量および該基板のターゲットとなる平坦度に基づいて、該面のターゲットとなる面プロファイルを計算すること；および該基板を該露光装置内に配置した際に、該面を実質的に平坦にするために該面を加工することを含む方法によりフォトマスクが製造される。
（もっと読む）

【課題】 簡単な構成でシール性を確実にし、容易に確実にサンプルの圧損を測定可能なセラミックスハニカムフィルターの圧損測定方法及び測定装置の提供を目的とする。
【解決手段】 サンプルの圧損測定用ガスのガス源と、前記ガスが流通するガス孔１２が形成されたサンプルホルダー３と、前記ガス源と前記ガス孔１２とを接続するガス管１０と、前記ガスの流量を検出する流量測定装置２と、前記ガス孔１２を流通するガスの圧力を検出する圧力測定装置６と、前記ガス孔１２の周囲に配設した弾性材からなるシール材４とを具備した。 （もっと読む）

【課題】耐水性に優れた合わせガラスを得る。
【解決手段】ガラス板１１ａ、１１ｂと、ガラス板１１ａ、ｂ間に介在された、アセタール化度が６０〜８５モル％のポリビニルアセタール樹脂と、アルカリ金属塩および／またはアルカリ土類金属塩と、可塑剤と、を含んでなり、ポリビニルアセタール樹脂１００質量部に対し、可塑剤が３０質量部を超え、金属塩が０．００１〜１．０質量部、である遮音層２１からなる中間膜１２と、を備えた合わせガラス１０。 （もっと読む）

【課題】入射光の偏光方向によらず、印加電圧により屈折力を変化可能な液晶レンズおよびこの液晶レンズを用いた仮ヘッド装置を実現する。
【解決手段】本発明の液晶レンズは、少なくとも一方の対向面上に透明な等方性材料からなるフレネルレンズ面が設けられ、対向配置された透明基板と、この透明基板に挟持された、誘電異方性が正の、コレステリック液晶またはカイラル剤が添加されたネマチック液晶からなる液晶層とを備えている。
フレネルレンズ面の凸部の高さｄ［ｎｍ］、充填された液晶の液晶分子のねじれピッチＰ［ｎｍ］、２枚の透明基板間の距離Ｇ［ｎｍ］、を所定の値とし、液晶層に対して、外部から電圧を印加することにより、入射する直線偏光の偏光方向によらず屈折力を切替えることが可能な液晶レンズが、簡単な構成で実現される。 （もっと読む）

【課題】高い透明性を有し、基材との密着性及び耐擦傷性に優れ、特に長期に渡って、親水性、さらには親水性に伴う防曇性、流滴性、防汚性において優れた効果を有する塗膜を形成できる無機塗料組成物、親水性塗膜及び農業用フィルムの提供。
【解決手段】分散媒中における凝集粒子の、アスペクト比の平均が３〜２０であり、長軸方向の平均粒子径が１００〜５００ｎｍであり、かつ、短軸方向の平均粒子径が２〜１００ｎｍであるアルミナ粒子と、分散媒中における凝集粒子の平均粒子径が１５０ｎｍ以下であるシリカアルミナ複合粒子及び水を含有し、固形分濃度が０．１〜３０質量％である無機塗料組成物。 （もっと読む）

【課題】情報表示機能を付与した調光装置、間仕切り、天窓等の応用物品を提供する。
【解決手段】一対の透明板２３と、一対の透明板２３の間隙に複数の光学素子１を備える間仕切り壁２０であって、複数の光学素子１は、一対の透明板２３の間隙の同一平面上に配設され、かつ、透明状態と、当該透明状態のところに表示される情報表示状態とを電気的に制御可能な光学機能層を備え、透明状態は可視光線の波長域で６０％以上の全光線透過率であり、情報表示状態は、少なくとも２以上の表示状態を備えている （もっと読む）

【課題】 電力消費を低減することができ、待機時に異常が生じた場合に管理部門に迅速に異常が生じた旨を知らせることを可能にする情報表示装置を提供する。
【解決手段】 情報表示装置は、携帯電話網を介した通信を行う広域無線通信モジュール４０５と、ローカル通信によって他の情報表示装置と通信を行う狭域無線通信モジュール４０６と、広域無線通信モジュール４０５が受信した表示データにより駆動回路４０８に表示素子の表示を更新させるメインＣＰＵ３０１と、通信を行わない場合に広域無線通信モジュール４０５への電力供給を遮断する制御を行うサブＣＰＵ２０１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 自然環境下において微生物等により分解されやすく、潤滑寿命や酸化安定性に優れたグリース組成物の提供。
【解決手段】 ｔｅｒｔ−ブチルアルコールを有機配位子の少なくとも一部として有する複合金属シアン化物錯体触媒の存在下で、１〜１２個の水酸基を有する１種以上の開始剤の存在下、１種以上の炭素数３〜９の環状エステル化合物と１種以上の炭素数２〜２０のアルキレンオキシドとを共重合して得られるポリエステルエーテルポリオールおよび／またはポリエステルエーテルモノオール（ａ１）をグリース組成物の生分解性基油（Ａ）として用いる。 （もっと読む）

【課題】 フッ素基を持ち、開環メタセシス重合等の重合反応性に優れたノルボルネン化合物、およびその重合体を提供する。
【解決手段】 下式（１）で示される含フッ素重合用モノマー。
【化１】


ただし、式中のＲ^１およびＲ^２はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基であり、Ｒｆ^１、Ｒｆ^２、Ｒｆ^３およびＲｆ^４はそれぞれ独立にフッ素原子、または任意の場所に１つ以上のエーテル性酸素原子を含んでもよい炭素原子数１〜２０のポリフルオロアルキル基である。 （もっと読む）