【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できるターボ型真空ポンプで、回転体を高速且つ高精度に回転保持でき、安価にて製造できるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプの略全長に亘って延びる回転軸１と、ケーシング２内に回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された排気部１０と、回転軸１に回転駆動力を与えるモータ５１と回転軸１を回転自在に支承する軸受５３，５４，５５とを有した軸受モータ部５０を備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、該気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、下側回転側部材４３と回転軸１の端面１eとの間にスペーサ４６を設けた。 （もっと読む）

【課題】低水位において、水と共に空気を吸い込んでも安定的に水を排出することが可能な全周流型の水中ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプケーシング２３に設けられた複数のボリュート部７２のうち、一部のボリュート部７２に戻し部７９を備える。このことによって、羽根車２１によりポンプケーシング２３内で径方向の外方に向かって押し出された水の一部を、径方向の内方側へ戻し、羽根車２１と水との接触を増やし、羽根車２１の空転状態を回避する。 （もっと読む）

【課題】ハンドに保持された基板の平面の法線方向において、これを直接的に相手側の基板保持機構と授受できるようにする基板搬送装置用のハンドを提供すること。
【解決手段】ハンド１を、基部となるハンドベース４と、ハンドベース４に重なるように配置され、基板２を支持する揺動ハンド３と、ハンドベース４と揺動ハンド３との間にあって、揺動ハンド３をハンドベース４に対して傾斜及び平行移動可能に支持する揺動機構５と、から構成した。 （もっと読む）

【課題】立ち上がり配管（吐出し配管）に設けた逆止弁がごみによりその開閉機能が不十分となったり、ヘッダー管内にごみが堆積することのない逆止弁を提供すること。
【解決手段】弁箱２０内に回動自在な弁体２１を設け、ポンプ運転による吐出水の流入により開き、ポンプ停止による吐出水の停止により閉じる構造で、排水設備の立ち上がり配管１０２に設置された自閉式の逆止弁であって、弁箱内２０で且つ該弁体２１の回動範囲の外にごみ堆積スペース２６を設け、ごみ堆積スペースに連通する開口２７と連通するドレン管２９を設け、更に開口２７を閉じる蓋２８と、ドレン管を開閉する開閉弁３０を設け、弁体２１の閉止時にごみＧがごみ堆積スペース２６に滑り落ちるようにした。 （もっと読む）

【課題】限界電流を増加させ金属イオンの析出速度を向上させることができ、特に被めっき基板の表面に形成された深い穴や溝に対して、入り口の閉塞により内部に空隙が生じさせないで、内部を金属めっき膜で埋めるのに好適なめっき方法及びめっき装置を提供する。
【解決手段】めっき液２０に、被めっき基板１７とアノード１８を接触させ且つ対向させて配置し、めっき電源２１から電圧を印加し、該被めっき基板１７の表面に形成された該溝及び／又は穴を埋め込むめっき方法において、溝及び／又は穴の深さを代表長とした場合の、穴の内部におけるめっき液のレイリー数が、溝及び／又は穴の深さをＬ、幅Ｄとしたときに、そのアスペクト比をＡ（Ｌ／Ｄ）として９６．８×Ａ⁴以上、８．６４×１０⁵未満の値をとるように該めっき液に該被めっき基板の基板表面から基板裏面方向にかかる加速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】ポンプを設置した吸込水槽内に旋回流が生じてもポンプ性能への影響を抑え、ポンプに有害な渦を発生させることがなく、更に従来より低い水位まで運転できる流体の流れ方向変換装置を提供する。
【解決手段】本発明は、下向きにポンプ吸込口５１ａを有するポンプに用いられる流体の
流れ方向変換装置３であって、ポンプ吸込口５１ａの周囲を囲むように設置され、ポンプ
吸込口５１ａの周囲に流路を形成して流体の水平方向流れを下向き流れに変換する流れ方
向変換器４と、流れ方向変換器４内に設けられ、ポンプ吸込口５１ａにつながる水中渦を
防止するための水中渦防止装置７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】水力機械の内部流路のキャビテーションによる壊食が発生する場所及び壊食速度を簡便に予測することができる水力機械の壊食予測方法、及び壊食予測装置を提供すること。
【解決手段】ポンプ等の水力機械の内部流路にキャビテーションによって発生する壊食を予測する水力機械の壊食予測装置であって、実機水力機械或いはモデル水力機械の内流路１３の面にキャビテーションの衝撃荷重を電圧信号に変換する複数個の圧電素子１４を設置すると共に、該水力機械の所定位置に圧電素子１４が発する電圧信号を光に変換する発光素子１５を設置し、キャビテーション発生時に、発光素子１５が発する光をベルマウス２やポンプケーシング４に設けた観測窓５を通して計測し、内部流路１３のキャビテーションにより壊食が発生する領域及び／又は壊食量の予測をする壊食領域・壊食量予測手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】基板の一方の側の外周部をその元の面の角度を維持しながら研磨することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板装置は、基板Ｗを保持して回転させる基板保持機構１と、研磨具１０を基板Ｗの外周部に押圧して該外周部を研磨する研磨機構２と、基板Ｗの外周部を流体で支持する外周部支持機構３とを備える。外周部支持機構３は、基板の外周部とは反対側の基板の面、または基板の外周部と同じ側の基板の面を支持するように構成される。 （もっと読む）

【課題】ポンプの排気性能に悪影響を与えたり、ランニングコストを増大させたりすることなく、ポンプ内部を流れるプロセスガスの流量に合わせてパージ用の不活性ガスをポンプ内部に導入して、長期間安定して稼動できるようにする。
【解決手段】下流側最終段３４の吸気側の圧力を検出する圧力センサ４２と、下流側最終段３４の吸気側にパージ用の不活性ガスを導入する不活性ガス導入配管４４と、不活性ガス導入配管４４内に設置された弁体４６と、圧力センサ４２によって検出された圧力値に応じて弁体４６の開閉を制御する制御部４８を有する。 （もっと読む）

【課題】回転軸の環境温度を下げ、または回転軸に作用する応力を下げ、長期間安定した稼働を行うことができるターボ真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと、回転翼８０、２４と、該回転翼に対向するように配置された固定翼７１、２８とを有し、吸気部より吸い込まれた気体を排気する排気部５０と、２つの軸受３１、３３に回転可能に支持され、２つの軸受間の外側において回転翼を貫通し、回転翼を回転させる回転軸２１とを備え、回転軸には、第１の中空部分２２が軸方向に形成され、第１の中空部分に挿入され、回転翼と、回転軸の２つの軸受の少なくとも一方の少なくとも一部とを貫通するよう配置された第１の挿入軸３９であって、回転軸の材料より高い熱伝導性を有する材料からなる第１の挿入軸をさらに備えるターボ真空ポンプとする。 （もっと読む）