【課題】漏れ止め・芯出しの作用を前段ガイドベーンと次段中間ケーシングの接触部で行わせ、組立て時の芯出しと運転時（送液時）の芯出しができ、且つ液漏れ防止の信頼性も向上させることができる多段ポンプを提供すること。
【解決手段】ポンプケーシング内に羽根車１６とガイドベーン１５を収容する中間ケーシング１４を多段に配置し、多段の羽根車１６の回転により吸い込んだ液を順次昇圧して送液する多段ポンプにおいて、中間ケーシング１４と、ガイドベーン１５の材質を線膨張係数の異なる材料とし、前段中間ケーシング１４−１に環状凹溝１４ａを設けると共に、次段ガイドベーン１５には該環状凹溝１４ａに挿入する環状突起１５ａを設け、温度差により次段中間ケーシング１４−２のガイドベーン１５の環状突起１５ａの内径側面又は外径側面と前段中間ケーシング１４−１の環状凹溝１４ａ内面とで芯出しする。 （もっと読む）

【課題】回転体全体の固有振動数を高めて安定した高速回転が行え、高速回転を可能とすることにより、小型化、軽量化ができるターボ真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと、複数の回転翼７０、８０と複数の回転翼の各々に対向するように配置された固定翼７１とを有し、吸気部により吸い込まれた気体を排気する排気部５０と、複数の回転翼を回転させる回転軸２１とを備え、複数の回転翼が、吸い込んだ気体を軸方向に排気する、回転軸の吸気部側端面１５に固定された少なくとも１段の第１のタービン翼７０と、第１のタービン翼の後段に配置された第２のタービン翼８０であって、該第２のタービン翼を貫通する回転軸に固定された少なくとも１段の第２のタービン翼８０を含むターボ真空ポンプとする。 （もっと読む）

【課題】オーバーハングを行うことなく、半導体ウェハ等の研磨対象物を研磨面から安全に引き離して、研磨対象物の研磨面からのリフトオフを行うことができるようにする。
【解決手段】保持具１０１Ａによって保持した被研磨物の被研磨面を研磨面に押圧し、被研磨物と研磨面とを相対運動させながら、研磨面に液体を供給して被研磨面に対する処理を行い、前記処理を終了した後、研磨面に供給する液体の流量を減少させた状態で、保持具１０１Ａで被研磨物を吸引して研磨面から引き離し、被研磨物が研磨面から離れて保持具に吸着されたと判断した時に保持部を被研磨物と共に上昇させる。 （もっと読む）

【課題】回転体の変位を高周波数域まで精度良く検出し、高周波数域まで安定した磁気軸受制御が実現できる磁気軸受装置を提供すること。
【解決手段】電磁石２、３に発振器７で発生するキャリア周波数ｆｃで駆動されるＰＷＭ方式のドライバ４から励磁電流を供給し、回転体１を所定の位置に回転自在に浮上支持する磁気軸受装置において、ドライバ電源５に流れる電流ｉｅを電流検出手段１９で検出し、該検出信号をバンドパスフィルタ１１、復調手段１２、ゲイン調整手段１４を通して変位誤差信号ｖｅｒｒを得、変位誤差信号ｖｅｒｒを電流検出手段１７、１８で検出した励磁電流検出信号を加算手段８、バンドパスフィルタ９、復調手段１０、ゲイン調整手段１３を通して得られた変位情報信号ｖｄｉｓｐから減算手段１５で減算して変位誤差信号ｖｅｒｒを減算除去し、真の変位情報信号ｖｄｉｓｐ’を得、変位情報信号ｖｄｉｓｐ’をフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】低い始動電流で確実に始動することができるポンプ装置を提供する。
【解決手段】本発明のポンプ装置は、吸込水槽２０に配置される複数のポンプ１と、複数のポンプ１の運転を制御する制御部１０とを備える。複数のポンプ１は、それぞれ、水を移送する羽根車と、羽根車を回転させる電動機３とを備えており、制御部１０は、複数のポンプ１のうち少なくとも最後の１台を始動する前に、運転中のポンプの電動機３の回転速度または羽根車の翼角度を小さくさせるように動作する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ吐出部に波浪を伴う水面が形成されるポンプ設備において、簡単な構成で吐出管の吐出端部に取り付けたフラップ弁のバタつきを防止することができるポンプ設備、及びポンプ設備のフラップ弁のバタツキ防止方法を提供すること。
【解決手段】吐出端２２にフラップ弁２３による逆流防止機構を取付け大気開放管２６で大気に開放された吐出管２１を備えた立軸ポンプ１０と、波浪を伴う水面が形成される吐出水槽２００とを備え、立軸１０ポンプで吸込んだ水を吐出管２１を通して吐出端２２から吐出水槽２００内に吐き出すように構成されたポンプ設備において、大気開放管２６に気密性を有する閉塞弁２７を設け、立軸ポンプ１０の停止時に閉塞弁２７を閉じて吐出管２１内を大気から遮断する。 （もっと読む）

【課題】医薬品添加物、飲食物及び化粧品に応用できる産業上有用な、水溶液の状態で中性〜弱アルカリ性のｐＨ域である透明な水溶液、ゲル及びこれらの乾燥粉末のいずれかの状態のキトサン含有組成物、並びにその製造方法の提供。
【解決手段】キトサンに酸を加えて溶解しキトサン酸性水溶液を作製するＡ工程と、前記キトサン酸性水溶液に酸性高分子化合物を混合し、次いで、混合により生成した、水に不溶性のキトサンと酸性高分子化合物との塩から水溶性の塩を取り除くＢ工程と、前記水に不溶性のキトサンと酸性高分子化合物との塩を、直接又は乾燥固形化した後に弱塩基性溶液に溶解し、水溶液又はゲルの状態のキトサン含有組成物を得るＣ工程と、を有することを特徴とするキトサン含有組成物の製造方法。該製造方法により得られるキトサン含有組成物。 （もっと読む）

【課題】 産業廃棄物として処分されていた塩化銅含有エッチング廃液や電解銅箔メッキ浴の廃液などの銅を高濃度で含有する強酸性の廃液を、効率的かつ低いスラッジ発生量で処理して、酸化銅を沈殿物として回収するための方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 銅含有酸性廃液と酸化剤との混合液をアルカリ剤溶液に注加し、生成する固形物を取得することを特徴とする銅含有酸性廃液からの銅の回収方法およびこの方法に使用する銅含有酸性廃液からの銅の回収装置。 （もっと読む）

【課題】水中軸受の摩耗量の検出動作を繰り返し行うことができ、水中軸受の摩耗量を正確に検出することができる水中軸受の摩耗検出機構を備えた立軸ポンプを提供する。
【解決手段】本発明の立軸ポンプは、羽根車１０と、羽根車１０に連結された回転軸６と、羽根車１０および回転軸６を収容するポンプケーシング２と、回転軸６を回転自在に支持する水中軸受１２，１５と、回転軸６をその径方向に沿って押圧する少なくとも１つの押圧機構３０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ポンプ機場の躯体にフックを打ち込むことを不要とし、ポンプの分解作業を容易にして維持管理性を向上させることができる立軸ポンプを提供する。
【解決手段】本発明の立軸ポンプは、回転軸６と、回転軸６に連結された羽根車１０と、羽根車１０の回転を支持する水中軸受１２と、回転軸６および羽根車１０を収容するポンプケーシング２とを備え、ポンプケーシング２は、複数の分割体１ａ，１ｂ，３から構成され、これら分割体１ａ，１ｂ，３には、分割体の荷重を支持する荷重受け部２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃが設けられている。 （もっと読む）