【課題】ロータが高速回転時に安定して回転し、信頼性に優れた誘導型モータの回転力により比較的高速で回転する回転装置を提供すること。
【解決手段】ロータシャフト１１と、該ロータシャフト１１に固定されたモータロータコア１３ａと該モータロータコア１３ａ内に配置された導体と、該導体を集合接続するモータエンドリング１３ｂを具備する誘導型モータロータ１３とを備え、該ロータシャフト１１が誘導型モータの回転力により高速回転する回転装置であって、モータエンドリング１３ｂを覆う構造の部材（ロータスペーサ２０）を設けた。 （もっと読む）

【課題】Ｌｏｗ−ｋ膜等の絶縁膜に対するダメージが少なく、ディッシング、エロージョンが低減できる基板を電解研磨する方法を提供する。
【解決手段】バリア膜３と配線金属層４とを被加工面に有する基板１Ａ，１Ｂを陰極とし、当該被加工面と陽極との間に電圧を印加して、当該被加工面と当該被加工面に対向して接触する研磨パッドとを相対運動させることによってバリア膜３を除去する、基板を電解研磨する方法を採用する。 （もっと読む）

【課題】被研磨物の厚さの変化を研磨中に高い精度で監視しながら該被研磨物を研磨することができる研磨装置および研磨方法を提供する。
【解決手段】本発明の研磨装置は、研磨面１０ａを有する研磨パッド１０が貼付される研磨テーブル１２と、研磨テーブルを駆動するモータ３０と、被研磨物を有する基板Ｗを保持し、基板を研磨面１０ａへ押圧する保持機構１４と、研磨面の目立てを行うドレッサー２０と、被研磨物の研磨量を監視するモニタリング装置５３とを備える。モニタリング装置５３は、被研磨物を研磨しているときのモータ３０のトルク電流の積算値と、ドレッサー２０の累積使用時間とを変数として含むモデル式を用いて被研磨物の研磨量を算出する。 （もっと読む）

【課題】空気圧縮機の許容範囲を越える回転速度の上昇を抑制して故障など不具合の発生を効果的に防止できるようにする。
【解決手段】流水により回転速度を制御する速度制御機能を有していない水車１を回転するとともに該水車１で空気圧縮機３を回転させて圧縮空気を製造する水力コンプレッサ設備１０において、水車１の水入口５に設置した流量調節弁１１と、流量調節弁１１の開度を制御する制御手段２５とを備え、制御手段２５は、流量調節弁１１を開く際にその開度が経過時間に対して段階的に変化するように制御する。また、空気圧縮機３の回転速度を検出する回転計２３を備え、制御手段２５は、回転計２３で検出した空気圧縮機３の回転速度が許容回転速度の範囲外になった場合、流量調節弁１１の開度を調整することで、空気圧縮機３の回転速度を許容回転速度の範囲内に戻すように制御する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で、しかも、めっき電源を増やすことなく内部を流れる電流を制御して、アノードと対向して配置される基板の表面（被めっき面）に膜厚の面内均一性を向上させためっき膜を成膜できるようにする。
【解決手段】基板Ｗの被めっき面に対向してめっき液Ｑ中に配置される電気めっき用アノード３２であって、第１の不溶性材料から構成される第１の不溶性アノード３６と、第１の不溶性材料と酸素発生過電圧が異なる第２の不溶性材料から構成される第２の不溶性アノード３８とを、互いに導通させて平面状に配置した。 （もっと読む）

【課題】ディッシングやエロージョンなどの過剰研磨を防止しつつ、コンタクトプラグや配線形成領域以外の導電膜を迅速に除去することができる電解複合研磨方法を提供する。
【解決手段】電圧を高める工程では、接触面圧を０とした状態で、電圧を高めた場合に、電流密度が増加から減少に転じる第１変化点Ｃ電圧を閾値電圧とし、バリア膜を露出させた領域における電圧が、閾値電圧を超えるように、電圧を高めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 有機溶媒中の金属イオンを除去でき、再生可能なポリオレフィンを基材とする有機高分子材料とそれを用いた有機溶媒の処理方法を提供する。
【解決手段】 有機溶媒中の金属イオンを除去するポリオレフィンを基材とする有機高分子材料であって、該有機高分子材料が、前記ポリオレフィン基材の主鎖に直鎖ポリエーテルを含むグラフト側鎖を結合したものである有機高分子材料としたものであり、前記グラフト側鎖は、放射線グラフト重合により導入され、クロロメチルスチレンに分子量が１６０〜２０００の直鎖ポリエーテルが共有結合したものであり、ポリオレフィン基材の形状は、不織布、短繊維、ネット又は粒子のいずれかでよく、また、上記有機高分子材料に金属イオンを含む有機溶媒を通液して金属イオンを除去し、該金属イオンを捕捉した該有機高分子材料に水を通液して再生する有機溶媒の処理方法とした。 （もっと読む）

【課題】有機性廃水の生物処理においてリン回収を行い、余剰汚泥の発生量を低減できる回分式の有機性廃水の処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】リンを含有する有機性廃水を有機性廃水の曝気処理にて生成したリンを含有する活性汚泥を有する生物反応槽内に流入させる第１工程、生物反応槽内の活性汚泥を攪拌して嫌気性雰囲気で嫌気運転を行って活性汚泥からリン放出を行う第２工程、第２工程の後に、生物反応槽内を曝気する好気運転を行う第３工程、及び第３工程の後、活性汚泥を沈降させる静置運転を行った後、生物反応槽の上澄液の一部を引き抜き、処理水として排出する第４工程を有する回分式廃水処理方法であって、第２工程及び／又は第３工程及び／又は第４工程において生物反応槽の汚泥を引き抜き、汚泥の一部を液化処理し、液化処理した汚泥を第１工程及び／又は第２工程に流入させる有機性廃水の処理方法、装置。 （もっと読む）

【課題】流体を高圧で圧送することを含む、工業的な処理プロセス及び流体精製プロセスにおいて、プロセスにおけるトータル消費エネルギーを低減することができる動力回収システムを提供する。
【解決手段】供給された原水を加圧する高圧ポンプ５と、高圧ポンプ５から排出された高圧水を逆浸透膜１０で膜処理して処理水を生成する逆浸透膜カートリッジ８と、逆浸透膜１０で処理されないで逆浸透膜カートリッジ８から排出された濃縮水の圧力を利用して、供給された原水を加圧する容積形ピストンポンプ２３と、容積形ピストンポンプ２３により加圧された加圧水を昇圧して高圧ポンプ５から排出された高圧水に合流させる動力回収ポンプタービン１８とを備えた動力回収システムであって、動力回収ポンプタービン１８の動力源をシステム内で発生した圧力水とした。 （もっと読む）

【課題】主板の凹部に閉じ込められた空気を効率よく排出し、羽根車の機械的バランスを維持し、振動発生を抑制することができる汚水用ポンプの羽根車及び該羽根車を用いた汚水用ポンプを提供すること。
【解決手段】主板４と側板５の間に１枚の翼２を有する羽根車本体と、主板４の翼２の反対側である背面に軸方向に窪んだ凹部６を有し、該凹部６を蓋部材９で覆った構成の汚水用ポンプ羽根車であって、羽根車本体の主板４の外周縁部４ａ及び羽根車ボス１に凹部６内に連通する穴又は溝７、８を設けた。 （もっと読む）