【課題】配線金属層６６の凹部６７を解消することが可能な研磨方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗ表面の配線金属層６６に電解液５０を接触させて配線金属層６６に給電しつつ、基板Ｗ表面を研磨パッド１０１に押圧しながら基板Ｗと研磨パッド１０１とを相対移動させて、配線金属層６６の表面を研磨する電解複合研磨工程を有する研磨方法であって、電解複合研磨工程前、電解複合研磨工程中または電解複合研磨工程に続いて、配線金属層６６に電解液５０を接触させて配線金属層６６に給電しつつ、基板Ｗと研磨パッド１０１とを非接触状態に保持して、配線金属層６６の表面に保護膜７０を形成する保護膜形成工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】落水状態でのポンプ運転による事故を防ぎ、より経済的で、信頼性、安全性の高い横軸ポンプの運転制御装置、及び運転制御方法を提供すること。
【解決手段】ポンプインペラ２２が吸込水位より上方に位置し、ポンプ運転時には吸い上げ運転となる駆動機１３として内燃機関を用いる横軸ポンプ１０の運転制御装置において、内燃機関の負荷特性により、該内燃機関の運転負荷状態を判断する負荷状態判断手段と、横軸ポンプ１０を運転制御する運転制御手段とを備え、負荷状態判断手段で低負荷運転（落水状態での運転）を判断したとき、運転制御手段は横軸ポンプ１０の運転を停止させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、配線構造の欠陥検出において、欠陥部位と正常部位の階調差が大きく、白黒の濃淡の差が明確な試料面画像を取得し、欠陥の検出が容易な試料面観察方法を提供することを目的とする。
【解決手段】絶縁材料５２、６０と導電性材料５０、５２を含む配線が形成された試料面に電子ビーム１５を照射し、該試料面の構造情報を得た電子を検出することにより、試料面画像を取得して該試料面を観察する試料面観察方法であって、
前記試料面画像における前記絶縁材料と前記導電性材料との輝度を等しくした状態で、前記電子ビームを前記試料面に照射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吸気口における旋回流れを防止し、吸気口から確実に吸気を行うことができるとともに、吸込性能の低下や異物が引っかかるという問題点を解消することができ、安定して揚水運転を行うことができる立軸ポンプを提供する。
【解決手段】鉛直方向に配置され、軸周りに回転する回転軸２０と、回転軸２０の回転により回転し、水を吸い込み上方に流す羽根車２１と、羽根車２１の上流側に配置され、羽根車２１に向けて水を流す流路を形成する吸込管５と、羽根車２１の上流側の位置で吸込管５に設けられた吸気口６と、一端が吸気口６に連通し、他端が大気中に開口した吸気管４０とを備え、吸込管５は、吸気口６が設けられた位置において、流路断面の図心から流路壁面までの距離が一定でない断面形状を有し、吸気口６は、図心から流路壁面までの距離が最小となる位置よりも図心から離間した位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】面倒な配線工事を不要とし、施工性にすぐれた給水装置を提供するとともに、給水装置の制御盤を安価、省電力に構成するための検知回路等各種制御機器を提供すること。
【解決手段】ポンプ２と、該ポンプを駆動する電動機３と、該ポンプ吐出側の圧力を検出し、該圧力が所定の圧力になるようにポンプ２を運転制御する制御盤２０を備えた給水装置であって、制御盤２０と、ポンプ２の制御に用いられる、若しくは、給水装置の運転状況の表示や警報の発信に用いられる外部機器（流入電磁弁１２、水位検知器１０等）との間で、専用の信号線で両者間を結線することなく信号の送受信を行う送受信部４２、４４を備えた。 （もっと読む）

【課題】 リンの回収再利用を可能にすると共に、運転コストを低減させることができるメタン発酵消化液の廃液処理方法と装置を提供する。
【解決手段】 有機性残留物をメタン発酵処理した後に残留するメタン発酵消化液１を、順次固形物分離工程６、リン回収工程９及び窒素制御工程１２を経て廃液処理する際に、前記固形物分離工程６の前に、前記メタン発酵消化液１に酸又は酸及び繊維質、或いは、有機性残留物又は有機性残留物の有機酸発酵物２を添加する廃液処理方法したものであり、前記有機性残留物としては家畜排泄物、汚泥、食品加工残渣、生ゴミ等が含まれる。 （もっと読む）

【課題】多量の水が短時間に使用された場合でも、給水圧力の変動を抑えることができる可変速給水装置を提供する。
【解決手段】本発明の可変速給水装置は、ポンプ１Ａと、ポンプ１Ａを駆動するモータ２Ａと、モータ２Ａの回転速度を変える変速手段３と、変速手段３を介してポンプ１Ａの回転速度を変えることによりポンプ１Ａの吐き出し側の水圧を制御する制御部４とを備える。制御部４は、ポンプ１Ａの吐き出し側の水の流量が所定の値にまで低下したときにポンプ１Ａを停止させ、ポンプ１Ａの吐き出し側の水圧が予め設定された始動圧力にまで低下したときはポンプ１Ａを始動させ、さらに、予め設定された始動時刻において、ポンプ１Ａが停止している場合は、ポンプ１Ａを所定の回転速度で回転させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】めっき液の安定化を実現できるようにした基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板表面に無電解めっきを施すめっき処理槽１０と、めっき処理槽１０にめっき液を供給するめっき液供給槽１２と、めっき液供給槽１２内のめっき液を循環させるめっき液循環ライン２２と、めっき液供給槽１２内に配置されたｐＨ検出器３４の検出値を基にめっき液循環ライン２２から選択的に分岐して該めっき液循環ラインに合流するめっき液分岐循環ライン３０を有し、めっき液分岐循環ライン３０には、基板表面と同様な無電解めっき反応が生じる補助反応物を内部に有する補助反応ユニット３２が設置されている。 （もっと読む）

【課題】 接合表面部分の変態点を部分的に下げることで、高温での処理を回避し、あるいは金属部品全体の変形を防止することができるような拡散接合方法を提供する。
【解決手段】 この拡散接合方法は、金属素材どうしを接合する方法であって、金属素材の接合表面に変態点低下元素を添加する工程と、金属素材の接合表面どうしを密着させ、低下した変態点以上の温度において加圧して、拡散接合させる工程とを有する。これにより、金属素材の接合表面に変態点低下元素を添加することで接合表面近傍の変態点が局部的に低下するので、拡散接合工程において接合のための加熱温度を低下させるとともに、拡散接合の際の変形を表面近傍に限定し、母材の変形を抑制しつつ良好な接合を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】生産性の高いバッチ処理を採用して装置としての処理能力を高め、しかも、無電解めっき装置に適用した場合に、均一な膜厚のめっき膜を選択性よく形成できるようにする。
【解決手段】処理液を保持する処理槽１０と、複数枚の基板Ｗを保持して処理槽１０内の処理液Ｑ中に浸漬させる基板ホルダ１６と、処理槽１０内の処理液Ｑの温度を制御する温度制御部５２と、処理槽１０内の処理液Ｑを循環させる処理液循環系４０，４２，４４と、基板ホルダ１６を、複数枚の基板Ｗを保持したまま処理槽１０内の処理液Ｑ中で回転させる回転機構２６，２８，３０，３２を有する。 （もっと読む）