【課題】リソースの枯渇を防止することのできる情報処理システムを提供する。
【解決手段】情報処理システムは、情報を送信する送信装置及び情報を受信する受信装置を有し、前記送信装置は、情報を記憶する記憶部と、前記受信装置からの要求に応じて、前記受信装置のリソースの状態及び前記送信装置のリソースの状態に基づいて、前記受信装置に対する前記記憶部に記憶された情報の送信を制御する制御部と、前記制御部による制御に基づいて、前記受信装置に対して前記記憶部に記憶された情報を送信する送信部とを有し、前記受信装置は、前記送信部に対して前記記憶部に記憶された情報の送信を要求する送信要求部と、前記送信部から前記記憶部に記憶された情報を受信する受信部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 クリーニングするたびに行っていた成膜ガスノズルの交換の時期を延長させ、半導体製造装置のメンテナンス時コストを大幅に低減し、成膜ガスノズル交換に要していた時間をなくし、反応炉のダウンタイムを短縮する。
【解決手段】 第１のクリーニングステップでは、クリーニングガス供給口より不活性ガスを供給し、第２のクリーニングステップでは、各成膜ガスノズルより不活性ガスを供給し、第１のクリーニングステップで各成膜ガスノズル内に供給するクリーニングガスの流量および／または濃度が、第２のクリーニングステップでクリーニングガス供給口より反応炉内に供給するクリーニングガスの流量および／または濃度よりも小さくなるようにする。 （もっと読む）

【課題】使用場所が変わったり上位装置が変化したりした場合でも、予め設定された複数周波数チャネルの中から最適なものを迅速に選択できるようにした防災無線システムの受信装置を提供する。
【解決手段】受信装置１に、周波数チャネル絞り込み部８とデータ解析部９と受信チャネル確定部１０とを設け、周波数チャネル絞り込み部８において例えば検出値１５ａ〜１５ｇと予め設定した使用可否判定閾値１３ａ〜１３ｇとを比較して使用可能な周波数チャネルの絞り込みを行い、データ解析部９においてこの絞り込んだ周波数チャネルの中から予め設定した優先順位に従って受信チャネルを確定し、受信チャネル確定部１０によってデータ解析部で確定した一つの使用周波数チャネルを受信チャネルとするようにした。 （もっと読む）

【課題】液体原料を効率的に気化することができる半導体製造装置を提供する。
【解決手段】ウエハ１４を処理する処理室７０と、気化器８２により液体原料を気化して得られた気化ガスを、処理室７０内に供給する第１のガス供給管８０ａ、第１のキャリアガス供給管１００ａ及び第１のガス供給ノズル９６ａと、処理室７０内の雰囲気を排気する真空ポンプ１１４と、を有し、気化器８２は、液体原料を導入して当該液体原料を気化する気化室を少なくとも２以上備える。 （もっと読む）

【課題】周囲の隣接する８画素中に欠陥画素がある場合でも、正確にリアルタイムに、若しくは、少ない処理回数で補正が可能な画素欠陥補正装置を提供する。
【解決手段】固体撮像素子からの出力信号をデジタル信号に変換した所定の画素の映像データが有効画素であるか欠陥画素であるか判定する中央画素欠陥判定手段と、欠陥画素と判定された場合には、前記欠陥画素と判定された画素の上下左右斜め方向に隣接する８個の画素にが有効画素であるか欠陥画素かを判定する隣接画素欠陥判定手段と、前記隣接する８個の画素から、有効画素の映像データの平均値、中央値、若しくは最頻値のいずれか１つの値を補間値として算出する補間値算出手段と、算出された前記補間値によって前記欠陥画素を補正する。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ安価で正確に物体の姿勢を検出できる物体の向き検出システムを提供することを目的とする。
【解決手段】測定対象物３０の両面にはＲＦタグユニット２０ａ，２０ｂが取り付けられている。ＲＦタグユニット２０ａ，２０ｂは、それぞれＲＦタグ２１ａ，２１ｂと高透磁率シート２２ａ，２２ｂと電磁波遮断シート２３ａ，２３ｂとが順に積層されている。ＲＦタグリーダ１０の送信信号生成部１１で生成された送信信号は、アンテナ１３から電磁波として放射される。受信信号判定部１２は、ＲＦタグ２１ａ，２１ｂからの応答の有無に基づいて、測定対象物３０のいずれの面がＲＦタグリーダ１０のアンテナ１３側を向いているのか判定し、うつ伏せ状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】流量制御部のゼロ点の補正及び補正結果の確認を効率的に行う。
【解決手段】処理室と、処理室内に供給するガスの流量を調整する流量制御部と、流量制御部の動作を制御する制御部と、を備え、流量制御部は、補正処理開始要求を受信したらゼロ点を補正する補正処理を開始し、補正処理が完了したらゼロ点における流量を示す流量モニタ情報を送信し、制御部は、基板処理レシピを実行する前に補正処理開始要求を流量制御部に送信し、補正処理が完了したら流量モニタ情報を流量制御部から受信し、ゼロ点における流量が所定の範囲以内であれば補正処理が成功したと判定し、ゼロ点における流量が所定の範囲外でなければ補正処理が失敗したと判定する。 （もっと読む）

【課題】処理室内を撮影することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】ウエハ１を処理する処理室１４を構成したプロセスチューブ１３と、処理室１４内を加熱するヒータユニット４０と、処理室１４を閉塞するシールキャップ２５と、シールキャップ２５に支承された回転軸３０と、回転軸３０に立設されたボート３１とを備えている熱処理装置において、シールキャップ２５の周辺部に透明な石英によって形成された保護管７０を立設し、保護管７０内に内視鏡８０を下端部の開口から挿入し、カメラ９０をシールキャップ２５下面以下において内視鏡８０に光学的に連結する。 （もっと読む）

【課題】処理室内にＬ型ガスノズルを設けた縦型熱処理装置において、処理室を減圧した場合や、ガス圧力のかかるガス導入時においても、Ｌ型ガスノズルが処理室内側に引き込まれることを防止する縦型熱処理装置を提供する。
【解決手段】縦型熱処理装置を次のように構成する。すなわち、複数の基板を搭載したボートを収容し基板に熱処理を行う処理室と、処理室下部を水平方向に貫通する水平部と処理室内において垂直方向に延伸する垂直部とを有するＬ型ガス導入ノズルと、Ｌ型ガス導入ノズル垂直部とボートとの間に設けられるノズル押さえ部と、処理室内壁に設けられノズル押さえ部が取り付けられるノズル押さえ取付部とを有することを特徴とする縦型熱処理装置。 （もっと読む）

【課題】ケーブルの引出方向の変更が簡単且つ短時間で行えるようにしたライトアングルカメラヘッドを提供すること。
【解決手段】カメラヘッドハウジング１に対して回動可能にされているケーブルハウジング３を備え、このケーブルハウジング３にコネクタ４を介して接続されているケーブル５を備えたライトアングルカメラヘッドにおいて、カメラヘッドハウジング１内にある第３のリジッド基板部１３と、ケーブルハウジング３に取り付けられている第１のリジッド基板部１５の間の接続に、渦巻き状に緩く巻かれた第１のフレキシブル部１４を用いたもの。 （もっと読む）