【課題】温度制御管理に関する機能性が高く信頼性を向上させる。
【解決手段】反応管及び反応管内部のウェーハを加熱処理するためのヒータと、上記反応管の温度を測定して上記ヒータの温度を調節する温度調節用の複数の第１の温度センサと、上記反応管の温度を測定して上記反応管の温度を監視する監視用の複数の第２の温度センサと、上記複数の第１の温度センサのうちの任意の第１の温度センサが故障したときは、上記故障した任意の第１の温度センサにより測定される温度に代えて、上記複数の第２の温度センサのうち上記任意の第１の温度センサの近傍に設けられた第２の温度センサにより測定される温度に応じて、上記ヒータヘの電力供給の制御を継続させる制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】待機中の基板収容器内の基板に対し、基板表面へのパーティクルの付着等の問題を抑制することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を複数収容した基板収容器を複数載置する載置台と、前記載置台に載置された基板収容器の蓋を開閉する蓋開閉部と、蓋を開けられた基板収容器内の基板の有無又は位置を確認する基板確認を行う基板確認部と、基板収容器内の基板を処理室へ搬送する基板搬送機構と、前記基板搬送機構により搬送された前記処理室内の基板に対して処理を行う基板処理部とを備えた基板処理装置において、前記載置台に載置された第１の基板収容器内の基板を対象として基板処理中に、第２の基板収容器が前記載置台に載置された場合、前記第２の基板収容器の蓋を開けて、前記第２の基板収容器内の基板に対して前記基板確認部による基板確認を行った後に、前記第２の基板収容器の蓋を閉じる。 （もっと読む）

【課題】復調器による復調結果の誤り率の測定や復調性能の評価を、ＢＥＲ測定器や変調器等の測定環境を用意することなく実施可能にする。
【解決手段】ＰＣ２０に、試験用の変調データを変調した変調信号のデータである判定用ｗａｖデータを記憶する判定用ｗａｖ記憶部２１ａと、試験用の変調データを変調した変調信号に対して外乱を加えた信号のデータである評価用ｗａｖデータを記憶する評価用ｗａｖ記憶部２１ｂと、復調器３０に対するデータ入出力を行う入出力部２６と、復調器３０によるｗａｖデータ（判定用ｗａｖデータ又は評価用ｗａｖデータ）の復調結果についてＢＥＲ値を測定する測定処理部２３と、判定用ｗａｖデータに係るＢＥＲ値に基づいて復調器３０の装置状況を判定する判定処理部２４と、評価用ｗａｖデータに係るＢＥＲ値に復調器３０の復調性能を評価する評価処理部２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】閾値電圧が上昇するのを防止または抑制でき、フラットバンド電圧が低下するのを防止または抑制できる半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１０上に形成されたゲート絶縁膜３０と、ゲート絶縁膜上に形成されたＴｉＮ膜４１と、ＴｉＮ膜４１上に形成されたＴｉＡｌＮ膜４３と、ＴｉＡｌＮ膜４３上に形成されたシリコン膜４５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板の温度均一性を向上させつつ、基板を高速に昇温する。
【解決手段】処理室内に設けられた第２基板支持部の上方に、処理室内に搬入された前記基板を第１基板支持部により第２基板支持部から離して支持させ、ガス供給部により処理室内にガスを供給させ、処理室内の圧力を基板の搬入時の圧力より高めさせた状態で、加熱部により基板を昇温させ、所定時間経過した後に、第１基板支持部から第２基板支持部へと基板を移載させ、加熱部により基板を加熱させながら基板を処理させる。 （もっと読む）

【課題】 ユーザに対する半導体製造装置のトレーニングの実施を効率的に行う半導体製造装置のトレーニングシステムを提供する。
【解決手段】 装置トレーニングサーバ１とユーザ端末３とを回線５を介して接続し、装置トレーニングサーバ１ではプログラム記憶手段が半導体製造装置に関するシミュレーションを行うプログラムを記憶し、条件データ受信手段がユーザ端末３によりユーザから受け付けられて回線５を介して送信される半導体製造装置に関するシミュレーションの条件データを受信し、プログラム実行手段が受信した条件データに基づいてプログラム記憶手段に記憶されたプログラムを実行し、結果データ送信手段が実行したプログラムにより行われるシミュレーションの結果データを回線５を介してユーザ端末３に対して送信する。 （もっと読む）

【課題】被写体の照度が低い特定の監視環境下において、テレビカメラ内部補正機能によるノイズ成分の増加に起因して発生する圧縮画像の劣化を抑え、画質劣化の少ない画像を提供する。
【解決手段】画像符号化装置にテレビカメラからのAGC補正処理の有無を知らせる補正情報を受取って、当該フレーム画像が被写体照度が低く不明瞭な画像である場合には、符号化処理における予測を選択する選択部の制御を変更し、フレーム間で符号化情報（主にノイズ成分）が伝播しないイントラ予測を強制的に選択し、受信側で送信されてきたノイズ成分の蓄積による復号画像に画質劣化を避けるようにすることにより、画質劣化の低減を行う。 （もっと読む）

【課題】送信するデータの偏りによって生じる送信出力の偏りを是正し、常時平均電力を一定に保つ手段を提供することにある。
【解決手段】変調ベースバンド部１０４は、現在のタイムスロットが送信側の制御用物理チャネルか否か判定する。送信側の制御用物理チャネルである場合には、変調ベースバンド部１０４は、利得調整器１０３にその旨を通知する。利得調整器１０３は制御用物理チャネル時には乗算係数を変化させることで、直交変調器９０６に入力される信号の振幅を一定のレベルに調整する。 （もっと読む）

【課題】稼働系と待機系で映像取得に時間ズレがあっても、映像再生された映像では稼働系と待機系で同期が取られているようにした冗長構成による番組再生システムを提供すること。
【解決手段】デコーダ２、３は、ＬＡＮ(映像ＬＡＮ)を介して送出サーバ４、５にアクセスし、これらに録画・録音してある映像や音の映像取得を行い、映像Ａと映像Ｂの映像素材として同時に再生し、何等かの障害発生時、映像Ａから映像Ｂに切り替えることにより映像の連続性が保たれるようにした番組再生システムにおいて、デコーダ２、３による映像Ａと映像Ｂの映像取得に時間ズレが生じた場合、映像取得が遅れた方の映像について映像再取得を行うようにしたもの。 （もっと読む）

【課題】処理経過時間毎に異常範囲設定したグラフと比較して異常検知することにより、設定値とは無関係にモニタ値が一定ではないデータの異常を検知する基板処理装置を提供する。
【解決手段】本願発明の基板処理装置は、複数のステップから構成される各種レシピをファイルとして少なくとも格納する記憶部と、少なくとも前記ファイルのパラメータ編集を行うための操作画面を表示する表示部と、該表示部等を介して入力された指示データや前記レシピ編集時におけるパラメータ設定値を入力する入力部とを少なくとも備えた操作部と、各ステップにおいて、前記パラメータ設定値、ステップ終了条件、異常監視条件のそれぞれが指定される所定のレシピを実行する制御部とを有する。 （もっと読む）