【課題】ボートへ移載済みのウェハに対して温度インタロック制御を行うことにより、熱ストレスを少なくして製品歩留りの高い半導体基板を製造する。
【解決手段】温度制御ゾーン２が複数のゾーン（Ｕ，ＣＵ，ＣＬ，Ｌ）に分散された複数のヒータによって加熱される加熱炉１へ、複数枚のウェハ４を載置したボート３を挿入する挿入工程と、挿入工程に続いて加熱炉１においてウェハ４に所定の処理を施す処理工程と、処理工程に続いて加熱炉１よりボート３を引き出す引出工程と、引出工程に続いてウェハ４を冷却する冷却工程とを含む。そして、挿入工程及び引出工程において、温度制御ゾーン２における複数のゾーンに温度傾斜が生じるように、非接触温度センサでウェハ４の温度監視を行いながら複数のヒータの加熱制御を行う。これによってウェハ４の熱ストレスは防止される。 （もっと読む）

【課題】
基板処理装置に於いて、昇降機構部に設けられるベローズ部分での放熱を低減し、温度低下を抑制し、温度に敏感な原料使用条件下に於いても安定に基板に薄膜を堆積生成し、少量、多品種生産への対応、又多種多様な原料の使用を可能とする。
【解決手段】
基板１２を処理する処理容器１０と、該処理容器内で基板を支持する支持台１１と、基板を加熱するヒータ１１と、前記支持台を昇降させる昇降手段４と、前記支持台の一部が前記処理容器を貫通する部分を外部に対して気密に保つ様に該処理容器と前記昇降手段との間に設けられたベローズ６と、該ベローズの昇降手段側部分に設けられたベローズヒータと、前記ベローズの中途部に設けられたサブベローズヒータとを具備する。
（もっと読む）

【課題】既存の設備を変更することなく複数のシステムを統合し、これにより変更作業に要する労力と時間を低減すると共にシステムの運用停止期間を短縮してシステムの信頼性を高く保持する。
【解決手段】Ａ市のＢ町との境界付近に配置された屋外型通信装置ＦＳAiに変換装置ＭＳを付設し、この変換装置ＭＳにおいて、Ａ市の親局ＢＳA から送信された呼出信号を市町村コード変換テーブル２３ａ及び子局ＩＤ変換テーブル２３ｂのデータをもとにＢ町に対応する呼出信号に変換し、かつこの変換された呼出信号及び上記Ａ市の親局ＢＳA から到来する通報信号をＢ町のシステムに割り当てられた無線周波数ｆB を使用してＢ町のエリアＥB へ送信するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】熱処理時間を短縮してスループットを向上させる。
【解決手段】ウエハ１の処理室３２を形成した炭化シリコン製のプロセスチューブ３１と、処理室３２のウエハ１を１５０℃以上６００℃以下の比較的に低温度に加熱するヒータユニット６０とを備えた低温アニール装置１０において、ヒータユニット６０の発熱体６３をプロセスチューブ３１の外面にアルミナ製の絶縁層６４を介して接触させる。アニールに際し、処理室３２を水素ガス雰囲気とする。プロセスチューブを熱伝導で加熱できるので、ヒータユニットとプロセスチューブとの間の熱伝達速度を向上できる。熱伝導率の大きい水素ガス雰囲気とすることにより、ヒータユニットで加熱されたプロセスチューブの熱をウエハへ熱伝導によって伝達できる。ウエハ１を短時間で昇温させることができるので、低温アニール装置のスループットを向上させることができる。
（もっと読む）

【課題】
監視場所に関係する広範囲の監視情報あるいは時間の経過の監視情報が犯罪、事故あるいは災害等の原因の究明や、未然の防止に役立つ場合が多い。このような広範囲の監視情報、あるいは時間の経過の監視情報等を収集する監視カメラシステムの実現が望まれている。
【解決手段】
複数の監視カメラ装置と、複数のセンサ装置と、上記複数の監視カメラ装置および上記複数のセンサ装置が伝送路を介して接続された監視センタを具えた監視カメラシステムにおいて、上記監視センタは、制御部および記憶部を有し、上記複数の監視カメラ装置および上記複数のセンサ装置は、複数の地域にグループ分けされると共に、上記グループ分けされたテーブルが上記監視センタの上記記憶部に記憶され、上記制御部は、上記複数のセンサ装置の少なくとも１つのセンサからの異常信号を検出すると、上記制御部は、上記異常を検出したセンサが所属するグループの複数の監視カメラ装置の映像を収集するように構成される。 （もっと読む）

【課題】
基板処理装置に於いて、基板の基板支持台への搬送位置の再現性を向上させ、基板と基板支持台との接触の不均一の要因の１つである累積膜の影響を無くし、膜厚の均一性、再現性の向上を図る。
【解決手段】
基板９を収納し処理する処理容器１と、該処理容器内で前記基板を支持する基板支持台２と、該基板支持台上方に設けられ、該基板支持台に対する前記基板の搬送位置を検知する基板位置検知センサ２９とを具備する。
（もっと読む）

【課題】
本発明は、携帯用等、撮像装置がどこでも簡単に持運べ、隠せるくらい小型化しても高画質、低画質の自動切換えによりプライバシーの侵害を軽減する。
【解決手段】
タイムラプス機能等の自動記録、無線 LAN 等の画像の配信、あるいは撮像装置内部のバッテリー駆動時、あるいは撮像装置のゆれを検出した場合は自動的に個人を識別できない程度の低画質撮影をする機能と、ユーザによるシャッター動作及び音、光により周囲に撮影を認識させる様にした時、あるいは撮像装置を外部電源に接続した時、あるいは撮像装置が固定されていることを検出した場合は自動的に高画質撮影をする機能をもつ撮像装置。 （もっと読む）

【課題】
レシピを実行させる前に、レシピの整合性をチェックし、不正なレシピについては実行を抑制することで、ウェーハの損失を防止する。
【解決手段】
複数のステップにより構成されたレシピを実行して基板処理を行う主制御ユニット１３を具備する基板処理装置に於いて、前記主制御ユニットはレシピの各ステップのジャンプ情報を取得し、同一レシピ内でジャンプ先のステップが重複するかどうかを判断してレシピの整合性の有無を判断する様構成した。
（もっと読む）

【課題】 符号誤り訂正能力が高く、電波の瞬断があっても符号誤りの訂正が可能で、しかも回線状況の変化に応じて誤り訂正符号の情報率をフレキシブルに変更できる、高性能で使い勝手も良好な伝送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 信号空間上に前もって定めた各変調信号点にＮビット(Ｎは２以上の整数)の変調符号を対応させて変調して伝送する多値変調方式の伝送装置であって、上記Ｎビットの変調符号をＭ個(Ｍは２以上の整数)のビットの集まりに分割し、互いに独立に誤り訂正符号に変換したＭ個の符号列の符号を該Ｍ個のビットの集まりに割り当てて変調符号を構成して変調する誤り訂正符号化方式の伝送装置であり、変調信号点配置を考慮した誤り訂正能力の高い誤り訂正符号方式であるが、安価なビタビ復号専用ＩＣを用いて実現できるため、符号誤り訂正能力が高く安価な多値変調方式の伝送装置を提供できる。 （もっと読む）

基板処理装置は、基板１を収容し、複数の反応ガスが供給され前記基板に所望の処理を行う空間を形成する反応容器１１と、反応容器１１に開口し、反応容器１１内を排気するための排気口１６と、反応容器１１へ少なくとも複数の反応ガスを供給するガス供給システム７０Ａ、７０Ｂとを有し、ガス供給システム７０Ａ、７０Ｂは、基板１に所望の処理を行うことによって反応容器１１内に付着する付着物を除去するクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給ユニットと、クリーニングガスを供給して付着物を除去した後に反応容器１１内に残留するクリーニングガスに含まれた元素を除去することが可能な後処理用ガスを供給する後処理用ガス供給ユニットとを含み、後処理用ガスは、基板に所望の処理を行なう際に用いる前記反応ガスの全てを含む。
（もっと読む）