【課題】 クリーニング時間を延長することなく、処理室内の付着物を除去することを可能とする。
【解決手段】 処理炉は、処理容器１５の領域Ａ〜Ｄに対応して分割された複数の分割ヒータ１０ａ〜１０ｄを備える。分割ヒータは、温度制御部１６によって独立に制御可能とする。処理工程で堆積した堆積膜を除去するためのクリーニング工程で、クリーニングガスを流す際、クリーニングガス供給側の領域Ａの温度を低く設定し、逆に、順次領域Ｂ、領域Ｃ、領域Ｄでは、排気側に向かって、相対的に温度を高く設定する。これにより、クリーニングガス供給側の領域Ａでのエッチング反応を遅く、排気側の領域Ｂ、Ｃ、Ｄでのエッチング反応を順次速くする。 （もっと読む）

【課題】
本発明はオペレータが一台の旋回式カメラで、夜間監視等の光量の少ない状況で、道路監視等の"動き重視“の場合や海岸監視等の”画質重視“の箇所を監視したい場合に、各々適切な監視を行なうことが可能な監視カメラシステムを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、雲台を具備した監視カメラ装置と該雲台を具備した監視カメラ装置の取得した映像を監視する監視装置とを備える監視システムにおいて、複数の監視ポイント毎に前記監視カメラ装置の画像蓄積時間を可変できるものである。 （もっと読む）

複数の反応物の供給工程を複数回繰り返すことにより基板を処理するものにおいて、反応物である原料を無駄に捨てることなく、基板処理のスループットを向上させる。 基板処理装置は、反応物として液体原料を気化した原料ガスを含み、その原料ガスの処理室１内への供給と、その後に行う原料ガスとは異なる反応物の処理室１への供給を複数回繰り返すことにより、基板を処理するものである。液体原料の流量制御は吐出駆動制御機構６によって制御する。吐出駆動制御機構６は、気化器３内に一体的に組込まれた弁体３３を制御することにより、気化器３や気化器３に接続される外部配管ではなく、気化器３中の気化部へ直接流れ込む液体原料の１回の吐出動作における流量を固定化し、液体原料を気化部３１に間欠的に吐出させるようにする。
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【課題】 基板表面上に付着した不純物を５００℃以下の低温にて除去し、界面の不純物を限りなく低減した状態で高品質なエピタキシャル膜を形成する。
【解決手段】 エピタキシャルプロセスシーケンスは、それぞれ共通する第１ステップから第３ステップで構成されるクリーニングプロセスＡと、エピタキシャル成長プロセスＢと有する。クリーニングプロセスＡの第１ステップ１０３では、ウェハにモノシランガスを照射する。第２ステップ１０４では、塩素ガスを照射する。第３ステップ１０５では、水素ガスを照射する。第１ステップ１０３と第２ステップ１０４と第３ステップ１０５とを順次１回もしくは複数回繰り返すクリーニングプロセスＡを行うことにより、ウェハ表面上に付着した不純物を除去する。クリーニングプロセスＡを行った後、直ちにジシランガス、塩素ガス、水素ガスを用いて、エピタキシャル成長プロセスＢを行う（ステップ１０６〜１０８）。 （もっと読む）

【課題】広ダイナミックレンジ映像を提供するネットワーク画像伝送システムにおいて、カメラ側のコスト、スペース、消費電力を低減し、受信端末毎にユーザが必要とする合成映像を表示する。
【解決手段】カメラ側では、長時間露光映像及び短時間露光映像を別々に圧縮して伝送し、受信端末側では、伝送されたデータを別々に伸張し、任意の比率で合成を行って広ダイナミックレンジ映像を表示する。従って、カメラ側に長時間露光映像と短時間露光映像との合成を行う機能と、複数の受信端末に応じた複数の映像情報をそれぞれの受信端末に送信する機能が不要となるため、カメラ側のコスト、スペース、消費電力が低減できる。 （もっと読む）

【課題】
従来の一体化基板では、一部の回路部分を修正するだけであっても、基板全体を修正しなければならない。また、他に装置に流用したり、変更したりすることに対しても、基板の大変更を行わなければならない。
カメラ一体型の画像伝送装置において、基板構成を機能毎に分割しモジュール化構造とすることで容易に変更、流用ができるようにする。
【解決手段】
基板構成を機能毎に分割し、モジュール化構造として変更部分の基板面積を小さく押さえられるようにした。 （もっと読む）

【課題】カーテシアンループによる電力増幅器歪み補償方式を有するディジタル無線機において、カーテシアンループを開閉せずにかつ、同相成分直交成分とを観測することで位相制御を行い、温度変動、経時変化等でループ内の位相が変化した場合でも位相変化に追従しループの位相特性を安定に動作させ、送信動作特性の安定化、スプリアス特性の劣化等を防ぐことができる負帰還増幅器を提供する。
【解決手段】基準のベースバンド信号と、変調器に入力される信号との位相差を比較し位相差があった場合は位相制御器、位相器により負帰還ループの位相を制御することでループの位相特性を安定に保ちループの発振現象、スプリアスの発生を抑え安定に動作する。 （もっと読む）

【課題】 複数のユーザからの画像データの送信要求に十分対応できる画像伝送システムを提供する。
【解決手段】 画像送信装置および複数の画像受信装置がネットワークを介して結合され、上記画像送信装置は、画像信号を画像フレーム単位にフレーム画像データとして記憶し、且つ順次更新される第１の記憶部と、所定のタイミングでフレーム画像データを書き込み、読み出される複数の第２の記憶部と、上記第１と第２の記憶部を制御すると共に、上記フレーム画像データを上記ネットワークに送出する送信部を制御する制御部とを有し、上記画像送信装置に結合されたネットワークの伝送帯域に応じて最適なフレーム画像データを上記複数の画像受信装置に送信する画像伝送システム。 （もっと読む）

【課題】 電界強度の高低だけでなく、反射波の有無、ＢＥＲ値等の総合的な伝送状態を可聴低周波で表現し、耳から該状況を受け方向調整作業を容易化し、品質の高い伝送を実現することを目的とする。
【解決手段】 ディジタル変調方式を用いた伝送システムにおいて、受信側に、受信信号から反射波の混入状態を表す反射波状態信号、電界強度を表す電界強度状態信号及び復号ＢＥＲ状態を表すＢＥＲ状態信号の内、少なくとも何れか１つの状態信号を生成し、当該生成された状態信号に応じて、発生する音の所定の特性を可変する低周波発生手段を有し、当該発生する音の状態から伝送状態を総合的に解析・把握するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】
複数の撮像装置が撮像した映像から、監視者（または操作者）が目的とする物体の映像を時系列的に確認表示できるように映像を整理することを可能にする映像編集方法及び映像表示方法を提供する。
【解決手段】
監視カメラの設置位置を想定した映像チャネル関連付け情報を登録しておく。事故や事件があった場合に、記録映像中に見つけたい特徴色を入力し、色追跡検索を行なう。検索結果から目的とする物体を選択し、追跡映像の作成を実行することで、映像チャネル関連付けをもとにした色検索を行い、時系列順に追跡映像を確認表示できるように編集する。
追跡映像は、通常の記録映像と同様に扱えるとともに、追跡経路情報を出力することができる。 （もっと読む）