【課題】ガラス基板ウェハ等の光学基板ウェハの良否判定を短時間で行うことができる光
学基板ウェハの検査方法を提供する。
【解決手段】複数枚のガラス基板ウェハ１０を積層するように重ねた状態で、ガラス基板
ウェハ１０の一方の面１０ａに配置した光源１から積層した複数枚のガラス基板ウェハ１
０上の測定ポイント２０−１に光を照射する。そして、複数枚のガラス基板ウェハ１０の
他方面側１０ｂに配置した受光素子２により複数枚のガラス基板ウェハ１０を透過した光
を検出し、検出した検出光量から複数枚のガラス基板ウェハ１０の光透過率を求めて、複
数枚のガラス基板ウェハ１０が良品であるか不良品であるかの良否判定を行うようにした
ものである。 （もっと読む）

【課題】パッケージベースと蓋体の接合時に内蔵電子部品が高温になるのを防止するとともに、蓋体に供給される赤外線を効率的に使用する蓋体、圧電デバイスおよび電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイス１０は、凹陥部３６を備えたパッケージベース３２と、凹陥部３６内に搭載した圧電振動片７０およびこの圧電振動片７０に導通したＩＣチップ１４と、パッケージベース３２に接合材６６を介して設けられ、凹陥部３６を封止する光透過性の蓋体２０とを有している。そして、この蓋体２０は、凹陥部３６の方に向いた表面に赤外線反射膜２６を備えている。また蓋体２０は、凹陥部３６とは反対に向いた蓋体２０の表面に赤外線反射防止膜を備えることもできる。 （もっと読む）

【課題】 電極同士のリークを生じるような誘電体膜の剥離を防止して安定して動作し得
る容量変化型圧力センサを提供すること。
【解決手段】 誘電体材料でなる基体３２と、該基体に重ねて固定されており、受ける圧
力に応じて変形するように厚みを薄くして形成した検出体４１と、該検出体４１の変形面
４２と、前記基体とが互いに対向する対向面の前記基体側に形成された第１の電極４４と
、前記第１の電極と所定の間隔を置いて前記対向面の前記変形面側に形成した第２の電極
４６と、前記第１の電極と第２の電極の間に介在されるようにして、前記第１の電極の表
面側に形成された誘電体膜２２とを含んでおり、前記第１の電極と前記誘電体膜との間に
接着補助層２１を設けた。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化を行う工程を簡単化し、ＩＤＴに形成される陽極酸化膜よりも反射器に形成される陽極酸化膜の厚みを厚くすることができるＳＡＷ素子片の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１２の一主面に構成したＩＤＴ１４と当該ＩＤＴ１４を挟み込むように配置した反射器２４とを備え、ＩＤＴ１４と反射器２４との表面に陽極酸化膜３２（３２ａ，３２ｂ）を形成したＳＡＷ素子片１０の製造方法であって、陽極酸化の工程においてＩＤＴ１４に対して電流を供給するパターン電極の膜厚を、反射器２４に電流を供給するパターン電極の膜厚よりも薄く設定して陽極酸化を行い、所定時間経過後に前記ＩＤＴ１４に対して電流を供給するパターン電極を完全に酸化させてＩＤＴ１４に供給される電流を遮断し、その後も陽極酸化の工程を継続することで反射器２４に対してのみ電流を供給するようにした。 （もっと読む）

【課題】非点収差を生じない光軸合成素子とそれを用いた光ピックアップを提供すること
を目的とする。
【解決手段】所定の間隔に配置された二つの光源を有する２波長レーザ１２と、２波長レ
ーザ１２が出射する二つの異なる波長の光線を入射して平行光とするコリメートレンズ４
と、二つの異なる波長の光線の光軸を同一軸とする光軸合成素子１３とにより構成する光
学系において、所定の板厚に加工したガラスなどからなる透明基板１６の両面に、第一の
反射膜１４と、第二の反射膜１５を形成するようにした。また第一の反射膜１４は、第一
の波長の光線を反射すると共に第二の波長の光線を透過し、第二の反射膜１５は第一の波
長の光線を透過すると共に第二の波長の光線を反射するよう機能する。 （もっと読む）

【課題】自動化ラインに好適で、しかも光学部品の光学領域面を保護することが可能な光
学部品梱包用テープを提供する。
【解決手段】長手方向に対して等間隔に光学部品１０を収納する収納部３を有するキャリ
アテープ２と、キャリアテープ２を被覆するカバーテープ５と、収納部３内に収納した光
学部品１０が遊動しないように保持する粘着剤６とを備えるようにした。これにより光学
部品１０を自動マウンタにより搭載することが可能になる。また収納部３に収納した光学
部品が遊動しないように粘着剤６により保持しているため、搬送時に光学部品１０がエン
ボスキャリアテープ２などの梱包部材に接触することがないので、光学部品１０の角部の
破損を防止でき。これにより、破損により発生する光学部品のカケや削りくずが光学部品
の光学領域面に付着して光学特性が劣化するといったことがない。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチングを用い圧電基板から圧電振動片を形成する際に、圧電基板から
の充分な放熱が得られ、圧電基板の割れを防止し、エッチング形状のばらつきを抑える圧
電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】冷却板５０に水晶基板１０を載置し冷却板５０に接しない一方の主面から音
叉型水晶振動片１の輪郭に沿った形状を有する輪郭形状部２０を水晶基板１０の断面方向
にドライエッチング加工する第１の工程と、第１の工程でドライエッチング加工した一方
の主面を冷却板５０に向けて載置して切り落とし部を冷却板５０に接しつつ、他方の主面
から輪郭形状部２０を水晶基板１０の断面方向にドライエッチング加工する第２の工程と
を備える。 （もっと読む）

【課題】プリズムとの境界面において、偏光分離膜が剥離したり、或いはクラックが発生したりすることがない偏光ビームスプリッタを提供する。
【解決手段】２つの直角三角柱形状のプリズム２、３の傾斜面同士を、偏光分離膜１０を挟んで接合した偏光ビームスプリッタ１であって、偏光分離膜１０を、圧縮応力を有するＳｉＯ₂膜１２とランタンチタネート膜１１とを交互に積層した第１の偏光分離膜層膜１０ａと、引張応力を有するＭｇＦ₂膜１３とランタンチタネート膜１１とを交互に積層した第２の偏光分離膜層１０ｂとにより形成した。 （もっと読む）

【課題】実装面積を小さくし、かつ、低背化を可能とする圧電デバイス及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】上面に電極端子部２３を有する基板２０と、この基板２０の上側に配置された電子部品４０と、この電子部品４０の上側に配置された圧電振動子３０とを備えた圧電デバイスであって、圧電振動子３０の外部端子部３５を有する下面と、電子部品４０のパッド部４１を有する面と反対側の面とが接合され、電子部品４０のパッド部４１を有する面が、基板２０の上面にフェイスダウン実装されており、さらに、基板２０の電子部品４０と電気的に接続された導電パターン領域４２が、圧電振動子３０側に曲げられて、外部端子部３５と接続されている。 （もっと読む）

【課題】従来の発振回路では、インダクタを有することから、小型化が困難であった。
【解決手段】各エミッタが実質的に接地電位に接続された第１のトランジスタ及び第２の
トランジスタと、第１のトランジスタのベース及び第２のトランジスタのベース間に接続
された水晶振動子と、第１のトランジスタのコレクタ及び電源電位間に接続された第１の
抵抗器と、第２のトランジスタのコレクタ及び電源電位間に接続された第２の抵抗器と、
第１のトランジスタのコレクタ及び第２のトランジスタのベース間に接続された第１のキ
ャパシタと、第２のトランジスタのコレクタ及び第１のトランジスタのベース間に接続さ
れた第２のキャパシタと、第１のトランジスタのベース及びエミッタ間に接続された第３
のキャパシタと、第２のトランジスタのベース及びエミッタ間に接続された第４のキャパ
シタと、を含む。 （もっと読む）