【課題】 集束イオンビームを用いて透過型電子顕微鏡で観察をおこなうための薄膜試料を作製する方法において、大きな試料基板から観察所望部位を確実に抽出し、薄膜試料作製のための仕上げ加工を行なう際に、観察所望部位を試料ホルダに安定して保持することができるようにする。
【解決手段】 ナノピンセット４０の先端で、試料ブロック２７上部の凸部２７ａを掴む。試料ブロック２７を試料基板２３から掴みだし、シリコンブロック２９の端面２９ａに予め形成された溝４１に試料ブロック２７を差し込む。
試料ブロック２７の外壁面と溝４１の内壁面の摩擦力が大きくて、ナノピンセット４０で試料ブロックを把持する力だけでは試料ブロック２７を溝４１に圧入することが困難な場合は、試料ブロック２７の凸部２７ａの段差部をナノピンセット４０の先端で押圧する。 （もっと読む）

【課題】本発明はビーム位置ドリフト抑制方法に関し、ビーム位置ドリフトを速く収束させることを目的としている。
【解決手段】描画時又は装置較正時に発生するビーム位置ドリフトの収束値ｄ_cを、過去のビーム位置ドリフト対ビーム電流の関係から決定する手段と、ビーム電流ｉ（ｔ）を、ビーム位置ドリフトの収束値ｄ_c、ビーム位置ドリフトの測定値ｄ_m、ゲイン定数ｇ及び単位ビーム電流当たりのビーム位置ドリフト収束値ｃの関数として、
ｉ（ｔ）＝｛（１＋ｇ）・ｄ_c−ｇ・ｄ_m（ｔ）｝／ｃ
として求める手段と、前記ビーム電流ｉ（ｔ）のゲイン定数ｇをｇ＞０としてｄ_mとｄ_cに関して、εを判断基準となる正の数として、ｄ_mがｄ_cに近づき、
│ｄ_m−ｄ_c│＜ε
となるかどうかをチェックする手段と、を具備し、│ｄ_m−ｄ_c│＜εとなったら、制御を停止し、較正又は描画を行なうように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明はブランキングコイルの制御方法及び装置に関し、ブランキングオフ時間を短かくしてトータルのブランキングオン／オフ時間を短かくすることができるブランキングコイルの制御方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】荷電粒子線により描画媒体にパターン描画を行なう荷電粒子線描画装置に用いられるブランキングコイルの制御装置であって、ブランキング用に設けられた一対のコイルＬ１，Ｌ２と、これらコイルに電流を流す一対の駆動回路１０，１１と、これら駆動回路の入力部に設けられたＤ／Ａ変換器１，２と、これらＤ／Ａ変換器にデジタル値をセットする制御ＣＰＵ４と、前記一対のコイルＬ１，Ｌ２に流す電流の差電流を取り出す差動増幅回路と、該差動増幅回路の出力をデジタル値に変換し、その出力を前記制御ＣＰＵ４に与えるＡ／Ｄ変換器３と、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明はウエハーエッジ検査装置用ステージに関し、Ｘ軸ステージの動作のみで、ウエハー半径に合わせた動作を可能としたことにより円弧制御等の複雑なステージ制御をする必要のないウエハーエッジ検査装置用ステージを提供することを目的としている。
【解決手段】ベースプレート１５の上に取り付けられたＹ方向移動機構と、該Ｙ方向移動機構の上に取り付けられたＹベース８と、該Ｙベース８の上に取り付けられたＸ方向移動機構及びカーブレール移動機構１９と、該カーブレール移動機構１９の上に取り付けられた、回転の際の捩れを吸収するためのベアリング２１を有するブロックと、該ブロックの上に取り付けられたＹサブベース２６と、該Ｙサブベース２６の上に取り付けられたウエハー載せ台１１と、前記Ｘ方向移動機構の上に取り付けられたＸベース１０と、該Ｘベース１０の上に取り付けられたＹサブガイドレール２５と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は２次電子・反射電子検出装置及び２次電子・反射電子検出装置を有する走査電子顕微鏡に関し、２次電子信号と反射電子信号を選択的に検出することを目的としている。
【解決手段】電子顕微鏡の試料から発生する２次電子又は反射電子を検出する２次電子・反射電子検出装置であって、コロナリング３１と２次電子を受けるシンチレータ３２とライトパイプ３３よりなる２次電子検出部３０と、反射電子を受けるシンチレータと該シンチレータの発生光を案内する所定の長さのライトガイド２１よりなる反射電子検出部２０と、前記ライトガイド２１と前記ライトパイプ３３とを接合する接合部３４と、２次電子又は反射電子を受けた前記何れかのシンチレータからの光を受ける光電子増倍管３５と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は荷電粒子ビーム装置におけるビーム位置較正方法に関し、フォーカス補正に伴うビーム位置ずれを精度よく測定し、それに基づきビーム位置を補正することを目的としている。
【解決手段】ビーム偏向に伴う材料面に対するフォーカスずれを偏向フィールド内の各点について求め、そのフォーカスずれを打ち消すために必要なフォーカス補正電圧Ｖ_Fを決定し、偏向フィールド中心について点対称となる任意の２点に対するフォーカス補正電圧を決定してビーム位置ずれをフォーカス補正された状態で測定し、単位フォーカス補正電圧当たりのビーム位置ずれｆ_iを求め、得られた偏向フィールド内の各点についてのＶ_Fに基づいてフォーカスを補正しつつ、ｆ_i・Ｖ_Fを打ち消す様に偏向電圧を補正しながら偏向フィールド歪を測定し、さらにＶ_Fに基づいてフォーカス補正しつつ、ｆ_i・Ｖ_Fと測定した偏向フィールド歪との和を打ち消すように偏向電圧を補正するように構成する。 （もっと読む）

【課題】アンプボックスを従来よりも低温に冷却しても正常に動作する冷却式ＮＭＲプローブを提供する。
【解決手段】ＮＭＲ検出コイルと、該ＮＭＲ検出コイルへ外部送信回路からのＲＦパルスを供給すると共に、ＲＦパルス供給後にＮＭＲ検出コイルからのＮＭＲ信号を受信して外部受信回路へ送る送受信回路とを備え、前記送受信回路に含まれる電子回路を低温に冷却することにより、該電子回路の熱雑音を低減してＮＭＲ信号の検出感度を高めた冷却式ＮＭＲプローブにおいて、前記電子回路中の低温下で電気特性が劣化する電子部品を低温になる部材から熱絶縁し、周囲よりも高温になるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 走査電子顕微鏡における一般的な対物レンズを用いて試料の走査透過電子像を取得する際に、像取得時での分解能を向上させることのできる試料ホルダ及び電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 試料ホルダ２１は、電子線照射による観察対象とされた試料９が保持される試料保持部２１ａと、試料保持部２１ａに取付けられた複数の板バネ２１ｂとを備え、電子線が通過する開口２０ｂが形成されたホルダ支持部材２０の該開口２０ｂに該板バネが係合する。これにより、電子顕微鏡の対物レンズ内で試料ホルダ２１を支持することができ、該開口２０ｂを通過した電子線が試料ホルダ２１内の試料９に到達し、これにより試料９から発生する走査透過電子の信号を検出できる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子とガスとの衝突がある場合でも、荷電粒子の透過効率をある程度維持する方法を提供する。
【解決手段】ある平面内で屈曲した屈曲部を有する光軸に沿い且つ光軸を９０°間隔で取り囲むように光軸から等間隔の位置に配置され、お互いの平行関係を維持しながら、両端部の位置を揃えられた４本の電極棒と、該４本の電極棒を間に挟み光軸と直交するように配置され、光軸と交わる部分に第１の開口、光軸の屈曲部を屈曲させずに直進させた軌道の延長線と交わる位置に第２の開口を有する入口電極または出口電極とを備えた荷電粒子と中性粒子の合流または分離機構であって、該電極棒は、屈曲した光軸を含む前記平面に対して光軸より斜め４５°の角度の位置に配置され、荷電粒子および／または中性粒子は、前記入口電極の開口より入射するとともに、前記出口電極の開口より出射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 液層を成す液量を安定に保つ。
【解決手段】 試料載置台２′に載置された試料Ｓと探針５とを液層Ｗ中において接近させて対向配置し、探針５と試料Ｓとの相対的位置を変化させ、探針５と試料Ｓ間の相互作用に基づいて試料表面の像情報を得る様に成すと共に、液体収納容器２０を設け、液体収納器内に収容された液体を毛管現象を発生する送液体２１Ａ，２１Ｂ，…を介して液層Ｗに導く様に成した。 （もっと読む）