【課題】
半導体集積回路に用いられる半導体素子の配線工程における、ドライエッチング後に残存するエッチング残渣を短時間で除去でき、かつ、銅配線素材や絶縁膜材料等を酸化または腐食しない洗浄液を用いた洗浄法を提供すること。
【解決手段】
酸化剤、無機酸、フッ素化合物および塩基性化合物を混合し、水の濃度が80重量%以上であるpH1〜１０に調整した水溶液。
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【課題】 ｉ線、ｇ線等の紫外線のみならず、可視光線、ＫｒＦ等のエキシマレーザー光、電子線、Ｘ線、イオンビーム等の放射線にも利用できる感放射線性レジスト組成物を提供する。簡単な製造工程で、高感度、高解像度、高耐熱性かつ溶剤可溶性の非高分子系感放射線性レジスト組成物を提供する。
【解決手段】 特定の化学構造式で示される化合物（Ａ）、可視光線、紫外線、エキシマレーザー、電子線、Ｘ線、およびイオンビームからなる群から選ばれるいずれかの放射線の照射により直接的又は間接的に酸を発生する酸発生剤（Ｂ）、ならびに酸架橋剤（Ｃ）を含むことを特徴とするレジスト組成物。
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【課題】食品等の内容物を包装のままで、電子レンジにより加熱調理できる加熱処理用脱酸素包装容器の提供。
【解決手段】包装容器の少なくとも一部に、酸素バリア層、樹脂に酸素吸収剤を配合した酸素吸収層及びシーラント層から構成された多層体が使用され、該多層体のシーラント層において、加熱時に上昇した容器内部の圧力により開封する易通蒸手段を１箇所以上設けてシールすることにより密封された、加熱処理用脱酸素包装容器。
【効果】加熱時の容器内部圧の上昇により包装容器が膨らんだときにシール部の易通蒸手段が開口し、容器の破裂を制御する。 （もっと読む）

【課題】 高分子材料を主体とした、簡便に製造可能で、軽量で、より優れた制振性を発揮する樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 ジカルボン酸成分構成単位とジオール成分構成単位からなるポリエステル樹脂に導電性材料および／またはフィラーを分散させてなる樹脂組成物であって、該ポリエステル樹脂が下記式Ｉ：
０．５≦（Ａ１＋Ｂ１）／（Ａ０＋Ｂ０）≦１ （Ｉ）
（式中、Ａ０は全ジカルボン酸成分構成単位数、Ｂ０は全ジオール成分構成単位数、Ａ１は主鎖中の炭素原子数が奇数であるジカルボン酸成分構成単位数、およびＢ１は主鎖中の炭素原子数が奇数であるジオール成分構成単位数をあらわす）
を満足することを特徴とする樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 ｉ線、ｇ線等の紫外線のみならず、可視光線、ＫｒＦ等のエキシマレーザー光、電子線、Ｘ線、イオンビーム等の放射線にも利用できる感放射線性レジスト組成物を提供する。簡単な製造工程で、高感度、高解像度、高耐熱性かつ溶剤可溶性の非高分子系感放射線性レジスト組成物を提供する。
【解決手段】 フラボノイド系ポリフェノール化合物（Ａ）、可視光線、紫外線、エキシマレーザー、電子線、Ｘ線、およびイオンビームからなる群から選ばれるいずれかの放射線の照射により直接的又は間接的に酸を発生する酸発生剤（Ｂ）、ならびに酸架橋剤（Ｃ）を含むことを特徴とするレジスト組成物。
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【課題】低濃度過酢酸水溶液を効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】過酸化水素、酢酸および酸触媒を、各々高い出発濃度で反応させることによって、過酢酸を含む反応混合物を急速に形成させ、次に該反応混合物をそれ自体が平衡に達する前に水で希釈して過酢酸溶液を製造する方法において、過酸化水素、酢酸および酸触媒の出発濃度が、水希釈なしで該過酢酸溶液を平衡に達するための過酸化水素、酢酸および酸触媒の出発濃度の各々１．１〜３．０倍の濃度であることを特徴とする過酢酸溶液の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳ部品、半導体材料、特にシリコンを部材とするシリコン微細加工部品に係り、シリコン表面の結晶面方位に対し異なったエッチング速度を有するシリコン異方性エッチング剤並びにシリコンの異方性エッチング方法を提供する。
【解決手段】 有機アルカリ化合物（好ましくは水酸化テトラメチルアンモニウム）および還元性化合物（ヒドロキシルアミン類、ヒドラジン類、リン酸塩類、次亜リン酸塩類、還元糖類、アスコルビン酸、グリオキシル酸、及びブレンツカテキン、並びにそれらの誘導体から選ばれる少なくとも１種）を含有することを特徴とするシリコン微細加工に用いる異方性エッチング剤組成物、且つ該組成物を用いるシリコンの異方性エッチング方法。 （もっと読む）

【課題】バリア性、機械的特性、耐薬品性、耐熱性や成形性に優れたバリア材を提供する。
【解決手段】主としてメタキシリレンジアミン単位と、α，ω−直鎖脂肪族ジカルボン酸単位とイソフタル酸単位の混合ジカルボン酸単位からなる、溶融重縮合により得られた重合体Ａを、水の存在下、７０〜１２０℃で結晶化し、次いで、不活性ガス雰囲気中または減圧下、重合体Ａの融点−５０℃〜重合体Ａの融点−１０℃の温度範囲で加熱処理して得たポリアミド樹脂。 （もっと読む）

【課題】 蓄電デバイス電極材料として有用な、高いラジカル濃度を持った立体障害性ニトロキシル高分子を提供する。
【解決手段】
一般式（１）で示されるスピロ環状ニトロキシル構造を持つ高分子化合物。
【化１】


（１）
（式（１）中、Ｒはメチル基または水素を表す。また、Ｚは少なくとも１％がＯラジカル、残りは水素を表す。さらにｎは１以上の整数を表す。）
また、一般式（２）で示されるスピロ環状ニトロキシル構造を持つ高分子化合物。
【化２】


(２)
（式（２）中のＺは少なくとも１％がＯラジカル、残りは水素を表す。また、ｍ、ｎは１以上の整数を表す。さらに、メタクリレート基とアクリレート基との順序は交互であってもランダムであってもよい。） （もっと読む）

本発明の脱酸素剤組成物は、一般式ＣａＯ・ｍＳｉＯ_２・ｎＨ_２Ｏ（但し、ｍは１．６〜６．５、ｎは正の数）で示され、ジャイロライト型珪酸カルシウムと無定型の二酸化珪素からなる湾曲した板状結晶が集合した花冠状の結晶構造を有する珪酸カルシウム系化合物からなる担体１００重量部と、前記担体に担持された２１０重量部を超える量の有機系易酸化性組成物とを含有する。本発明の脱酸素剤組成物は、流動性が大きいので、脱酸素剤包装体の生産性に優れ、単位容積当たりの酸素吸収量が大きく、コンパクトな形状の脱酸素剤包装体とすることが可能である。また、鉄成分が不純物として混入することが避けられるので、金属探知器に検出されない。
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