【課題】複数のセラミック層を積層してなる基板本体の中空部に腐食（変色）などのない内部導体層を有し、且つ該基板本体の表面などに露出して形成した外部導体層にメッキ膜を確実に被覆した配線基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】複数のセラミック層ｓ１〜ｓ６を積層してなり、平面視が矩形の表面３、裏面４、および四つの外壁面５ａ，５ｂを有する基板本体２と、該基板本体２の内部に形成され、且つ上記複数のセラミック層ｓ１〜ｓ６のうち、最上層と最下層のセラミック層ｓ１，ｓ６および下層側のセラミック層ｓ５を除いた中層のセラミック層ｓ２〜ｓ４の内側に形成された中空部６と、該中空部５の床面８を形成する下層側のセラミック層ｓ５の表面に平面形状に形成された単一の導体層１０と、上記中空部５の天井面７と基板本体２の表面３との間を貫通する複数の貫通孔ｈ１と、を備え、該貫通孔ｈ１は低温焼成セラミックからなる充填材ｊ１により閉塞されている、配線基板Ｋ１。 （もっと読む）

【課題】ＮＯｘの分解量に応じて検出される一方で酸素濃度依存性を有する電流Ｉｐ２を、排ガス中の酸素濃度に応じた電流Ｉｐ１で補正するガス濃度検出装置１において、電流Ｉｐ１が温度依存性を有することによるＮＯｘ濃度の検出誤差（補正誤差）を低減する。
【解決手段】第１多孔質部１５１の拡散抵抗をＤ１、第１多孔質部１５１を介して排ガスが導入される第１測定室１５０の拡散抵抗をＤ２とした場合、０．５＜Ｄ１／（Ｄ１＋Ｄ２）≦０．９を満たすように構成し、かつ、第１多孔質部１５１を、気孔径が１０〜４０００ｎｍの範囲に含まれるように構成することにより、第１多孔質部１５１において、温度が変動することによって排ガスの流入量が変動することを極力防止する。これにより、第１多孔質部１５１の温度が変動しても排ガスの流入量が安定し（温度依存性が小さくなり）、電流Ｉｐ１による電流Ｉｐ２の補正誤差を低減できる。 （もっと読む）

【課題】短時間での評価用ガスの入れ替えが可能で評価作業の作業効率が高いセンサ素子評価装置を提供する。
【解決手段】センサ素子評価装置１は、内容積が比較的小さい素子配置空間４１を備えることで、内容積が大きい場合に比べてガスの入れ替え時間を短縮できる。給気口３９および排気口３７が、素子配置空間４１においてセンサ素子１５を挟み込むように互いに反対側の領域に配置されることから、センサ素子評価装置１は、給気口３９から供給された評価用ガスは排気口３７に向けて移動する際に、必ずセンサ素子１５の配置領域を通過するため、センサ素子１５に対して評価用ガスを確実に供給できる。センサ素子評価装置１は、残留ガスを強制的に排気したあとに評価用ガスを供給するガスの入れ替え方法を採ることから、短時間で残留ガスを評価用ガスに入れ替えることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】セラミック基体と接続端子との分離を抑制することができる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】長手方向に延びるセラミック基体と、セラミック基体の表面に設けられた電極パッドと、外部回路と電気的に接続する接続端子と、電極パッドと接続端子とを接合する接合部と、を備えるセラミック接合体を利用する。ここで、電極パッドは、セラミック基体と接する第１層と、第１層上に積層されるとともに接合部と接する第２層と、を含む。第１層は、前記第１層に含有される前記セラミック基体のセラミック材料の含有量（ｗｔ％）は、前記第２層での含有量よりも多い。第１層の輪郭は、全周において、第２層の輪郭の外側にある。 （もっと読む）

【課題】棒状電極端子の位置精度が高く、かつ焼成時やろう付け時の応力の集中に起因するセラミック基体のクラックの発生も抑制することができる半導体製造装置用接続部、及びそのような半導体製造装置用接続部の形成方法を提供する。
【解決手段】板状のセラミックからなる基体１１と、この基体１１の一主面に開口する凹部１７と、基体１１内に配置され、凹部１７の底面に露出する導電層１４と、凹部１７内に配置され、導電層１４にろう材１８を介して接合された棒状電極端子１６とを備える半導体製造装置用接続部であって、凹部１７は開口側の大径部１７ａとそれに続く小径部１７ｂからなり、導電層１４は小径部１７ｂの底面に露出している。 （もっと読む）

【課題】 生体材料、特に、歯や骨の補填材料、カラム等の充填材料、汚染物質の吸着を目的とした環境材料として幅広く利用することができる有機−無機複合多孔体の製造に使用される原料である繊維状有機物を製造する方法を提供すること。
【解決手段】 有機物を溶媒に溶解してなる溶媒溶液と、水溶性高分子及び水溶性高分子凝結剤と、を混合して混合液を得る工程と、前記混合液を撹拌しつつ、前記混合液中の溶媒成分を除去する工程とからなることを特徴とする繊維状有機物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】リード部がパッキンによって損なわれることを防止できるガスセンサを提供すること。
【解決手段】ホルダ１５と検出素子３との間に配置される第２パッキン２７は、中央に貫通孔６５を有する環状の板パッキンである。詳しくは、例えばＳＵＳ４３０からなるステンレス基板６７の両主面にＣｒ層６９を備えたものである。つまり、酸素センサ１では、検出素子３の鍔部２９に当接する第２パッキン２７として、その当接面にＣｒからなる金属層６９を備えているので、従来より高温の状態などの過酷な環境で使用した場合でも、検出素子３の表面のリード部６３が第２パッキン２７側に固着して剥離することを抑制でき、よって、リード部６３における導通が損なわれることを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】固体電解質体の温度が上昇する前にガス検出素子に過大な電圧がかかることを防止し、ガス検出素子の破損を防ぐことができるガスセンサシステムを提供する。
【解決手段】凝縮水を蒸発させて飛水割れおよび凝縮水割れの発生を抑制するために、飛水割れが生じる温度未満の温度にガス検出素子の温度を上昇、維持させるプレヒートモードで全領域空燃比センサを制御することができる。このプレヒートモードを開始させる場合（Ｓ１：ＹＥＳ）、ガスセンサ制御装置からガス検出素子への微小な定電流Ｉｃｐの供給を行わず、飛水割れ発生温度未満の温度にガス検出素子の温度を上昇させるためのヒータ体への通電のみを開始させる（Ｓ２）。 （もっと読む）

【課題】水素ガスに対する感度を低下させて炭化水素に対する選択性を向上させ、炭化水素ガスの検知感度を高めた炭化水素ガスセンサを提供する。
【解決手段】ジルコニアを主成分とする固体電解質体１３と、該固体電解質体上に設けられる基準電極部１２と、基準電極部と対極となり、固体電解質体上に設けられる検出電極部１１と、検出電極を覆うように設けられる選択反応層１４と、ヒータ１９とを有し、検出電極部は、貴金属を主成分としており、選択反応層は、ビスマスバナジウム酸化物を主成分とし、被測定ガス中の炭化水素を測定する炭化水素ガスセンサ１である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイグレーションパターンにより抵抗発熱体の耐久性をより向上させることを目的とする。
【解決手段】長手方向に延び、第１主面および第１主面と対向する第２主面を備える長板状のセラミック基体と、第１主面上に配置され長手方向先端側に配置された発熱部及び長手方向に延びるように第１主面上に配置され、発熱部に電流を供給する一対の発熱リード部を有する抵抗発熱体と、第２主面上に配置され、長手方向先端側に配置された導体部及び導体部と発熱リード部の一方とを接続する導体リード部、を有するマイグレーションパターンと、を備えるセラミックヒータは、第１主面と第２主面との対向方向に見たときに導体部の面積は発熱部の面積より大きい。 （もっと読む）