【課題】反射照明光と透過照明光を利用して、パターンの表面に生じているピットと突起とを区別し、ピットのみを不良として検出すること。
【解決手段】光透過性基板１上に形成されたパターン２に照明光の撮像画像に基づいてパターン２の良否判定するパターン検査装置において、中心光線が基板１に対して略直交する照明光を照射する第１照明手段３１と、基板１の裏面側に設けられ検査領域６（第１照明手段３１により照明される領域）を基板１に対する法線方向に投影した領域外から基板１に対して照明光を照射する第２照明手段３２と、第１照明手段３１による照射方向と同方向に設けられた撮像手段３３と、第１照明手段３１と第の照明手段３２を制御する制御手段４とを備え、制御手段４は第１照明手段３１と第２照明手段３２による照明とを同時に行い、撮像手段３３は同時に照明されているパターン２を撮像する。 （もっと読む）

【課題】 封止部の温度上昇を抑制するために封止部を管軸と交差する方向に屈曲させた構造であっても、内部リード線が屈曲された封止部の屈曲部で切断されることがない白熱ランプを提供することにある。
【解決手段】 本発明の白熱ランプは、発光管１内に配置されたフィラメント２の両端に内部リード線３が接続され、発光管１の端部に形成された封止部５に、内部リード線３の一部と金属箔４が埋設された白熱ランプ１０において、封止部５は発光管１の管軸と交差する方向に曲がる屈曲部５１を有し、内部リード線３が屈曲部５１で屈曲されており、封止部５内であって内部リード線３の周りに当該内部リード線３を取り囲む包囲部材７が配置されており、包囲部材７の発光管１側の端部が発光管１の内部空間に突出していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ランプ全長を一定にでき、装置内に配置されたランプの発光部を所定の位置に固定することができ、配光特性を一定にでき、封止部とベースとの衝撃を防止することにより封止部が破損しないベース付きランプを提供することにある。
【解決手段】 本発明のベース付きランプは、ランプ１の発光部に続く封止部２から突出する外部リード棒６が給電部材１００に接続され、封止部２にベース７が接着剤なしで取り付けられたベース付きランプにおいて、ベース７には、封止部２と給電部材１００を隔てる隔壁７１が設けられており、隔壁７１には外部リード棒６が貫通するリード棒貫通孔７２が形成され、隔壁７１の給電部材１００側の端面にはリード棒貫通孔につながる給電部材側開口７３が形成され、給電部材１００は給電部材側開口７３より大きく、封止部２と隔壁７１との間、及び／又は、給電部材１００と隔壁７１との間に弾性部材ｄ１が配置され、外部リード棒６と給電部材１００が接合されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本願の目的は、高圧放電ランプを均一に冷却する光照射装置を提供することである。
【解決手段】
第１の発明に係る光照射装置は、高圧放電ランプと、前記高圧放電ランプの外方に配置したジャケットと、前記高圧放電ランプに沿って配置した反射鏡と、からなる光照射装置において、前記高圧放電ランプは放電管と該放電管の外方に配置された外管とを具え、前記放電管の内部には水銀と一対の対向された電極とが封入され、前記外管の内部には空気より熱伝導率の大きな気体が封入されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 放電ランプ装置において、該封止部が直接反射鏡の後部に露出した構造をとった場合に、封止部端面から封止部を構成するガラス内部を透過してきた指向性の強い赤外光がランプ装置後方に配置される部材の昇温を抑制し、加えてランプ封止部の昇温も抑制し、ランプ寿命の長い放電ランプ装置を提供すること。
【解決手段】 その中央底部に筒状の頸部を有する凹面反射鏡と、少なくとも一端に封止部を有し、当該封止部が前記凹面反射鏡の頸部内に挿入されて配置された放電ランプとからなり、該封止部の端部が直接前記凹面反射鏡の外部に露出してなる放電ランプ装置において、該封止部端面から離間して遮光板を配設したことを特徴とする放電ランプ装置とする。 （もっと読む）

【課題】レーザチャンバのウィンドウからレーザガスがリークしても、リークしたレーザガスに含まれる所定のガス成分が紫外線ガスレーザ装置の筺体内に流出するのを防止できる紫外線ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】容器と、前記容器内にパージガスを供給する回路と、前記容器内のパージガスを排気する回路とを有するパージ用回路と前記レーザチャンバのレーザガスを排出するレーザガス排気用回路とを有し、前記パージ用回路に前記フィルタを有するとともに、前記レーザガス排気用回路に前記フィルタとは別に所定のガス成分を捕獲するフィルタが設けられる。 （もっと読む）

【課題】接続用ハーネスに起因して生じる種々の問題を解消することが可能な蛍光ランプを提供する。
【解決手段】蛍光ランプは、内壁面に蛍光体層が形成されると共に放電物質が封入された発光管と、発光管の外周面上に周方向に離間して配置され、管軸に沿って伸びる一対の外部電極と、前記発光管の一方の端部に装着され、内部空洞が形成されたランプ側絶縁キャップと、前記一対の外部電極の各々に対して給電する、給電側絶縁キャップを備える給電機構と、を備えた蛍光ランプにおいて、前記ランプ側絶縁キャップの内部には、前記給電側絶縁キャップに設けられた給電端子に接続するための導電性接続端子が設けられ、当該導電性接続端子は、基端側が前記外部電極に接続され、先端側に前記給電端子を挟持する挟持部が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ランプの放射光を効率的に利用できるとともに、小型化の要請に適した光学装置を提供することである。
【解決手段】放電ランプ１０と凹面反射鏡２０よりなる光学装置において、（イ）凹面反射鏡２０は、前方楕円面反射鏡部分２１、中央球面反射鏡部分２２および後方楕円面反射鏡部分２３から構成される。（ロ）仮想接線ＶＴＬと光軸Ｚがなす角度αと、仮想直線ＶＳＬと光軸Ｚがなす角度βの関係がβ＞αとなる。（ハ）電極Ｅ１の体積Ｖ（ｍｍ^３）と、ランプ電力（Ｐ）との関係が、０．０７×ＥＸＰ（０．０１４×Ｐ）＜Ｖを満たす。 （もっと読む）

【課題】プレートがその移動範囲のどの位置にあっても、プレートの微小な移動制御を容易に行うことのできるステージ装置を提供すること。
【解決手段】ワークを保持するプレート６をプレート面において直交するＸＹ方向およびプレート面に対して直交する軸の周りのθ回転方向に移動させるステージ装置において、ステージベースと、ステージベースに固定され、エアを噴出し移動磁界を発生する磁極を有する複数の推力発生手段２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−５と、この推力発生手段に対向する面に碁盤目状の凸極が形成された平面状のプラテンが設けられ上記推力発生手段により駆動されるプレート６と、プレート６のステージベースに対する位置を検出するプレート位置検出手段１１，１２と、プレート位置検出手段１１，１２からのプレート位置信号に基づき、上記複数の推力発生手段のうち動作させる推力発生手段を選択する制御部１３とを備えることを特徴とするステージ装置である。 （もっと読む）

【課題】低ガス圧使用時における出力特性が改善される放電励起エキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザチャンバ１０１内に配置されレーザ光の発振を可能とする放電を得るための一対の主放電電極１０２、１０２と、回転軸１０４を有し前記一対の主放電電極間１０２、１０２にレーザガス流を作り出す貫流ファン１０３と、回転駆動力を付与するモータ１１２と、該モータ１１２に駆動用交流電圧を供給するインバータ１３１と、該レーザチャンバ１０１内のガス圧力センサ１２１からのレーザガス圧力検出信号を受信し、かつ、該モータ１１２を所定の回転数で回転させるための駆動用交流電圧をインバータ１３１に発生させる速度指令信号を発信するコントローラー１３０と、からなる放電励起エキシマレーザ装置１００であって、該コントローラー１３０は、該レーザガス圧力検出信号に応じた速度指令信号を発信することを特徴とする。 （もっと読む）