【課題】周波数変動を防止することができる圧電発振器及び生産性を向上させることができる圧電発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電発振器100は、基板部110ａと枠部110ｂによって基板部の一方の主面に凹部空間111が設けられた容器体110と、凹部空間内に露出した基板部110ａの一方の主面に設けられた２個一対の圧電振動素子搭載パッド113に搭載され、励振用電極が設けられている圧電振動素子120と、基板部110ａの他方の主面に設けられた集積回路素子搭載パッドに搭載されている集積回路素子140と、凹部空間111を気密封止する蓋体130と、基板部110ａの他方の主面に設けられた枠体接続用電極端子114に接続されているガラスからなる枠体ＷＴと、を備えている構成。 （もっと読む）

【課題】振動部の一方の主面が曲面形状の凸部を有する水晶振動子を容易に製造し、該水晶振動子の製造コストを軽減する。
【解決手段】水晶ウエハの一方の主面に複数の水晶基板凹部１１ａを形成して水晶基板凹部の間に基板内部配線を設ける水晶ウエハ形成工程と、水晶基板凹部の底面に第一の電極１３ａを形成する第一の電極形成工程と、複数の第一の容器体２０ａとなる部分からなる第一のウエハと複数の水晶基板凹部１１ａの設けられている水晶ウエハの一方の主面とを接合する第一の接合工程と、水晶ウエハの他方の主面を片面研磨する研磨工程と、水晶ウエハの他方の主面に第二の電極１４ａを形成する第二の電極形成工程と、複数の第二の容器体からなる第二のウエハと水晶ウエハの他方の主面とを接合する第二の接合工程と、水晶ウエハの水晶基板凹部の間を切断し水晶振動子ごとに個片化する個片化工程と、からなる。 （もっと読む）

【課題】正確な導電経路を有し、高精度で工程が煩雑な位置合わせを必要としない圧電振動子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】枠部と振動部とで形成された圧電素板と、励振電極と、枠部に設けられた接続用電極と、励振電極と接続用電極とを電気的に接続する引出電極とにより構成される圧電振動素子と、枠部の一方の主面及び接続用電極の上に設けられる絶縁部と、基板と外部接続用電極端子と第一の貫通孔内に設けられた導通配線とから構成される基体と、一方の主面に凹部を有する蓋体とを備え、絶縁部には、第一の貫通孔と連通し接続用電極まで貫通する第二の貫通孔を有し、第一の貫通孔内及び第二の貫通孔内に導電性物質が充填されて、所定の外部接続用電極端子と接続用電極とが電気的に接続され、枠部の一方の主面及び接続用電極と基板の他方の主面とが絶縁部を介して接合されて構成されている圧電振動子及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】外装体と水晶素板との間隔をなくし、水晶素板に形成される励振用電極の面積バラツキを抑え、発振周波数が変動してしまうことを防止するマスク治具を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のマスク治具は、薄板に電極を形成する際に用いられるマスク治具であって、前記薄板が挿入可能な複数の第１の貫通孔を有するマスク治具本体と、前記マスク治具本体の両主面にそれぞれに設けられ、前記薄板と相対する箇所に第２の貫通孔を有している２つ一対の外装体とを備え、外装体は磁性体により形成され、第２の貫通孔から離間した位置に平行になるように２つ一対の溝部が設けられていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、多層構造の内部に設けられる配線パターンの設計の自由度を確保しつつ、ウエーハ状態での一括処理を行うことができ、従って製造効率を向上させることができる圧電振動子及びその製造方法並びに発振器を提供することを目的とする。
【解決手段】 ガラスを含み、所定の基準温度より低い温度で焼成することが可能なセラミックからなる基板２００上に形成された、圧電片２３０を搭載するための複数の搭載領域２１０に、圧電片２３０を搭載する搭載ステップを備える。 （もっと読む）

【課題】 圧電発振器が小型化された構造でも、プローブピンを当てる端子の面積を確保する圧電発振器を提供する。
【解決手段】 基板体と、前記基板体の一方の主面に設けられている
第１のキャビティー部に配置される圧電振動素子と、前記基板体の他方の主面に設けられている第２のキャビティー部に配置される集積回路素子と、前記基板体の一方の主面に設けられている第１のキャビティー部の前記圧電振動素子を封止する蓋体と、前記基板体の他方の主面に設けられている第２のキャビティー部に形成される複数の集積回路素子搭載パッドとを備え、前記集積回路素子搭載パッドのうちの所定の２つを前記圧電振動素子と電気的に接続された水晶端子とし、前記水晶端子を前記圧電振動素子の電気特性を検査するモニター端子とした。 （もっと読む）

【課題】小型化が進んでも、蓋体を接合する際に、容器体の割れや欠けを防止することができる圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】基板部とこの基板部の一方の主面に枠部が設けられて凹部空間が形成された容器体と、凹部空間内に露出した基板部の一方の主面に設けられた２個一対の圧電振動素子搭載パッドに搭載され、励振用電極が設けられている圧電振動素子と、凹部空間を気密封止する蓋体と、を備え、蓋体の凹部空間側に面している主面に、外側縁から内側に向かって傾斜部が設けられていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 集積回路素子の発熱による温度上昇を抑えることで、発振周波数のずれを抑えることが可能な圧電発振器を提供する。
【解決手段】 基板体と、前記基板体の一方の主面に設けられている第１のキャビティー部に配置される圧電振動素子と、前記基板体の他方の主面に設けられている第２のキャビティー部に配置される集積回路素子と、前記基板体の一方の主面に設けられている第１のキャビティー部の前記圧電振動素子を封止する蓋体と、前記基板体の他方の主面に設けられている第２のキャビティー部に形成される複数の集積回路素子搭載パッドとを備え、前記基板体の他方の主面に設けられている複数の集積回路素子搭載パッドの総面積が、前記集積回路素子の面積以上である。 （もっと読む）

【課題】音叉型圧電振動素子の振動腕部の先端部を浮かし、音叉型圧電振動素子の発振周波数が変動しない圧電デバイスの提供。
【解決手段】基板部と、この基板部の一方の主面に枠部が設けられて、凹部空間１１１が形成された容器体１１０と、凹部空間内に露出しつつ基板部の一方の主面に設けられた２個一対の圧電振動素子搭載パッド１１３ａ、１１３ｂに搭載され、第１の基部１２１ａと第１の基部より幅の狭い第２の基部１２１ｂと、第２の基部の側面より同一の方向に延出する２本の振動腕部１２１ｃとを備えた音叉型圧電振動素子１２０と、凹部空間を気密封止する蓋体１３０と、圧電振動素子搭載パッドに設けられた支持バンプＢＰと、を備え、支持バンプＢＰが、音叉型圧電振動素子の第２の基部の位置になるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、素子部品が気密状態で封止された電子デバイスとその電子デバイスの生産コストを抑えた製造方法を提供する。
【解決手段】素子部品を塔載したベース体と前記素子部品を封止する蓋体とが紫外線硬化樹脂により接合されている。また、この電子デバイスの製造方法は、複数のベース体が設けられたベースウエハのベース体となる部分に素子部品を塔載する素子部品塔載工程と、ベースウエハの一方の主面または複数の蓋体が設けられている蓋ウエハの一方の主面に紫外線硬化樹脂を塗布する塗布工程と、ベースウエハと蓋ウエハとを紫外線硬化樹脂を挟んで重ね合わせて素子部品をベース体と蓋体とで囲う重ね合わせ工程と、重ね合わされたウエハの周囲から紫外線を照射しベースウエハと蓋ウエハとを接合する接合工程と、接合されたベースウエハと蓋ウエハとを素子部品が塔載されているベース体と蓋体ごとに個片化する個片化工程と、からなる。 （もっと読む）