【課題】拡散制御孔を有する拡散制御板を備えた電気化学式センサにおいて、拡散性が低下している異常状態を簡単且つ確実に診断することが可能な診断方法を確立する。
【解決手段】検知極及び対極を電解質層の両側に接続したセンサ手段と、検知対象ガスが検知極に拡散律速で接触するように外気の流入量を制御する拡散制御孔を有する拡散制御手段とを備えた電気化学式センサの診断方法にて、検知極と対極との間が適切な湿潤状態にあり検知対象ガスの濃度検知を行える状態を正常湿潤状態として、検知極と対極との間の電気的特性を検出し、これを正常湿潤状態にある場合の検知極と対極との間における基準電気的特性と比較し、当該電気的特性が正常湿潤状態における基準電気的特性から変動している場合に、拡散性が低下していると判断して、異常状態であると診断する。 （もっと読む）

【構成】 Si基板に設けたキャビティ上に絶縁膜からなる架橋部を設け、架橋部にヒータと感ガス膜とを設ける。架橋部を貫通するホールを設け、感ガス膜が架橋部の表面とホールの少なくとも一部、及び架橋部の周縁を覆い、ヒータがホールを取り巻くようにする。
【効果】 感ガス膜の周囲雰囲気への接触面積を増すことができる。 （もっと読む）

【構成】 Si基板の空洞を架橋するように脚により支持された架橋部に、下層の第１層パターンと上層の第２層パターンとから成るヒータパターンを設ける。第１層パターンと第２層パターンとの間に中間絶縁膜が有り、第１層パターンと第２層パターンは、中間絶縁膜が無い部分で、電気的に直列に接続されている。第１層パターンの一端と第２層パターンの一端とが、Si基板上で第１及び第２のパッドに接続されている。
【効果】 ヒータ抵抗を約２倍にできる。 （もっと読む）

【課題】検知対象ガスの濃度上昇に伴って発生する電気化学式センサの感度の鈍化の影響を低減し、検知対象ガスを正確且つ確実に検知可能とする電気化学式センサの感度改善方法を確立する。
【解決手段】検知対象ガスが反応する検知極２及び対極３を電解質層１の両側に接続したセンサ手段を備えた電気化学式センサにおいて、検知対象ガスの濃度上昇に伴って発生するセンサ手段の感度の鈍化を改善する電気化学式センサの感度改善方法であって、電解質層１内に対極３側の電位が検知極２側の電位よりも高くなる電位勾配を生成させる電位勾配生成工程を包含する。 （もっと読む）

【課題】電解質層の一方の面に検知極を他方の面に対極を積層し、前記検知極に検知対象ガスが接触することにより前記検知極と前記対極との間に流れる電流、もしくは前記電流に対応する電気的特性を検出して、前記検知対象ガスを検知する電気化学式センサにおいて、電位の基準としての機能を果たすことができる形態で照合電極が配置されている電気化学式センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】電解質層の内部に、照合電極７を、電解質層の外周に沿って、検知極から対極に向かう方向視で当該電解質層の中央部を迂回して設ける。 （もっと読む）

【課題】拡散制御孔を有する拡散制御板を備えた電気化学式センサにおいて、拡散性が低下しているか否かを簡単且つ確実に診断することが可能な電気化学式センサの診断方法を確立する。
【解決手段】拡散性が低下しているか否かを診断する電気化学式センサの診断方法であって、検知極と対極との間での電気的特性が変動する場合に、その電気的特性を変動状態として計測する計測ステップと、計測ステップで計測した変動状態を、拡散制御孔が完全に開口している状態に対応する基準状態と比較する比較ステップと、変動状態が基準状態からオフセットしている場合に、拡散性が低下していると判定する判定ステップとを実行する。 （もっと読む）

【課題】シロキサン被毒や水分吸着が生じている状態を判定することができながら、ＣＯガス等の検出対象ガスの濃度を適正に検出する。
【解決手段】高温状態と低温状態とに切り換えるように加熱部４の作動を制御して低温状態のガス検出部３の電気抵抗値に基づいて検出対象ガスを検出する制御部５と、ガス検出部３の電気抵抗値に基づいて、ガス検出部３の周囲が清浄空気であるか否かを判定する清浄空気判定処理を行い、その清浄空気判定処理にて清浄空気であると判定した場合に、高温状態におけるガス検出部３の電気抵抗値が正常範囲よりも低下していることを検出するとシロキサン被毒状態であると判定するシロキサン被毒判定処理、及び、高温状態におけるガス検出部３の電気抵抗値が正常範囲よりも増大していることを検出すると水分吸着状態であると判定する水分吸着判定処理の少なくとも一方を行う判定部１４を備えている。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサとして成膜後も結晶子径が小さく、結晶成長が緩やかなＳｎＯ２ナノクリスタルが得られ、ＶＯＣに高感度であるガスセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】スズの有機化合物を有機溶媒中に界面活性剤と共に溶解し、加熱してスズの有機化合物を熱分解することで、ＳｎＯ２ナノクリスタル表面に界面活性剤を吸着ないしは配位され、ＳｎＯ２ナノクリスタルを有機溶媒中に分散させると共に、焼成時の結晶成長を妨げることにより、ＶＯＣに高感度なガスセンサが得られる。 （もっと読む）

【課題】検知極と対極との間に流れる電流又は当該電流に対応する電圧に基づいて検知対象ガスの濃度を検知する電気化学式センサの電解質中の抵抗上昇による異常状態となっているか否かを簡単且つ確実に診断することが可能な電気化学式センサの診断方法及び診断装置を確立することを目的とする。
【解決手段】検知対象ガスが接触する検知極と、対極との間に固体又は液体の電解質を備え、検知極と対極との間に流れる電流又は当該電流に対応する電圧に基づいて、検知対象ガスの濃度を検知する電気化学式センサの診断方法であって、電解質の両極間における電解質抵抗に基づいて、電気化学式センサが異常状態か否かを診断する。 （もっと読む）

【課題】電極に使用する白金量を低減しつつも、感度の悪化を防止することが可能な電気化学式ＣＯセンサを提供する。
【解決手段】電気化学式ＣＯセンサ１は、アノード電極１０と、カソード電極２０と、固体電解質膜３０と、電流測定部４０とを備え、電流測定部４０は、アノード電極１０が一酸化炭素雰囲気に晒されることによりアノード電極１０及びカソード電極２０間を流れる電流の値を計測する。この計測された電流値に基づいて一酸化炭素濃度が判断される。また、アノード電極１０とカソード電極２０とは白金を担持すると共に、アノード電極１０の白金担持量はカソード電極２０の担持量よりも少なくされている。 （もっと読む）