【課題】平坦度が０．２５μｍ以内の高平坦度を有するマスクブランク用基板、マスクブランクおよびこの基板を用いたときのパターン位置精度や、転写精度が良好な転写用マスクの製造方法を提供する。
【解決手段】キャリアの保持孔に保持されたマスクブランク用基板を、該基板の上下両面に研磨パッドを貼った上下定盤に挟持させ、前記上下定盤を基板の被加工面と垂直な軸にそれぞれ回転させ、キャリアに保持された基板が、研磨パッド間で自転しながら公転する摺動運動をすることにより、前記基板を両面研磨して、前記基板主表面の表面粗さＲａが０．２５ｎｍ以下、平坦度が１μｍ以下になるようにした後、前記基板の少なくとも一主表面の平坦度を測定し、測定したデータに基づき基板の平坦度が所望の値となるように、前記一主表面において任意に設定した基準面に対して相対的に凸状になっている領域についてエッチング作用を利用して局所的に形状修正する。 （もっと読む）

【課題】 ＡｒＦエキシマレーザ等硫酸アンモニウムからなる異物の生成反応を促進するような高出力露光手段を露光した際に、硫酸アンモニウムの析出を抑制することができるリソグラフィーマスク及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 半透過部形成工程のレジスト剥離洗浄工程(工程５)及び遮光帯形成工程のレジスト剥離洗浄工程（工程１０）で、硫酸系洗浄剤を用いた洗浄を行い、その後、パターンの硫酸イオンが吸着された表層部の一部又は全部を除去する硫酸除去工程を行って、吸着した硫酸イオンを効果的に除去する。 （もっと読む）

【課題】 成形型から光学レンズを成形する際に当該光学レンズが変形してしまう場合であっても、頂点において所望の透過屈折力を有する光学レンズを成形できること。
【解決手段】 光学レンズ２０を成形する成形型の設計方法であって、上記光学レンズの第１面２１及び第２面２２における両設計曲面の形状を規定するシェイプファクタに基づき、成形される光学レンズの頂点Ｏにおける透過屈折力の成形による誤差を予測し、この成形誤差に対応する補正情報を用いて上記成形型を補正して設計するものである。 （もっと読む）

【課題】 成形条件が非常に狭く、プレス成形が難しいとされる凹メニスカスレンズ、平凹レンズ、両凹レンズなどの凹レンズを、高い精度で効率良く製造する。
【解決手段】 対向する成形面１１、２１が加工された上型１０と下型２０によって、成形面１１、２１間に配置した成形素材２をプレスし、成形素材２に成形面形状を転写することにより、光学有効径内において中心部が肉厚最小部となる光学素子を成形するモールドプレス用の成形型１であって、上型１０及び下型２０が、成形面１１、２１における光学有効径の外側に、成形面間距離が光学有効径内のいずれの部分よりも小さく、かつ、径方向に連続した近接転写面１１ａ、２１ａを有する。 （もっと読む）

基板上に少なくとも転写パターンとなる薄膜を含む複数の膜が形成されたマスクブランクのレジスト膜に対して、パターンデータに従ってパターン形成する際に、パターンと照合するための膜情報を、複数の膜それぞれについて取得する。 （もっと読む）

セミフィニッシュレンズブランクス等のブランクスの種類の減少、材料の節減及び加工時間の短縮を図る。
製造側の工場２００に配置されている眼鏡レンズ設計装置２０１及びこれに接続されるレンズ加工装置は、発注側の眼鏡店１００に配置されている発注端末１０１から送られる発注情報に基づいて、NC制御のカーブジェネレータ用い、適合するセミフィニッシュレンズブランクス又はレンズブランクスをその基準面が所定角度傾くようにブロッキングし、円形レンズの円の中心に前記玉型形状の幾何中心が位置することになるように前記プラスチック材料の両面の曲面形状を発注にかかる眼鏡レンズの光学仕様を満たす形状に形成し、次いで、この円形状レンズを発注にかかる眼鏡レンズの玉型形状に加工して発注にかかる眼鏡レンズを得る。 （もっと読む）

金属材料とのオーミック接続が容易な低抵抗ｐ型ＺｎＳ系半導体材料を提供する。また、本発明は、ガラス基板など、単結晶基板以外の基板上に低抵抗の電極をもつ、半導体素子および半導体発光素子を提供する。 本発明の半導体材料は、発光素子の正孔注入用電極層として用いられる組成式Ｚｎ_{（１−α−β−γ）}Ｃｕ_αＭｇ_βＣｄ_γＳ_{（１−ｘ−ｙ）}Ｓｅ_ｘＴｅ_ｙ（０．００４≦α≦０．４，β≦０．２，γ≦０．２，０≦ｘ≦１，０≦ｙ≦０．２，ｘ＋ｙ≦１）で示される可視域に透光性を有する半導体材料である。 （もっと読む）

調光機能を有する塗布液を、必要最小限の塗布液量で、均一に且つ塗り残しなくレンズに塗布して調光レンズを製造すること。
眼鏡レンズ１を回転させながら、調光機能を備えたコーティング液９を眼鏡レンズの塗布面２に滴下して塗布し、調光機能を備えた調光膜を塗布面に形成する調光レンズの製造方法であって、上記コーティング液の滴下は、眼鏡レンズの塗布面における外周近傍にリング状にコーティング液を滴下(リング状滴下箇所２５)した後、この外周近傍から眼鏡レンズの幾何学中心または光学中心方向へ向かって螺旋状にコーティング液を滴下(螺旋状滴下箇所２６)するものであり、上記塗布面が上に凸の曲面形状であり、上記コーティング液の粘度が、２５℃において２５〜５００ｃｐｓであるものである。 （もっと読む）

エピタキシャル成長なしに実用的な発光特性を持つ発光素子を得る。 本発明の量子ドット分散発光素子は、基板１１と、電子注入用電極１２と、正孔注入用電極１４と、前記両電極に接触するように配置された無機発光層１３とを備え、前記無機発光層１３は、同時二極性無機半導体材料と、前記同時二極性無機半導体材料中に、発光中心として分散されたナノ結晶１５とを含み、前記電子注入用電極層または正孔注入用電極層との界面でこれらに対してエピタキシャル関係を有することなしに、発光しうるように構成される。 （もっと読む）

プランジャーの先端部が眼内レンズの上に乗り上げることによる眼内レンズの損傷を防止する確度を高くすることができる眼内レンズ挿入装置を提供する。眼内レンズ50が挿入される挿入口20と、眼内レンズ50が排出される排出口16と、挿入口20から排出口16へ貫通する貫通孔22と、挿入口20から挿入された眼内レンズ50を押圧して排出口16から排出するプランジャー68とを備え、貫通孔22にプランジャー68が侵入可能に形成された溝46を備えた。溝46を挿入口20から排出口16に向かって徐々に浅くなるように貫通孔22の内面に対して傾斜して形成した。 （もっと読む）