【課題】 安定した研磨特性を実現することができる研磨組成物用添加剤を提供する。
【解決手段】 少なくとも１度使用された研磨組成物（スラリー）に添加される研磨組成物用添加剤である。本発明の研磨組成物用添加剤は、１種または２種以上のアミン化合物の水溶液であり、前記アミン化合物は、第４級アンモニウム塩を含むことを特徴としている。第４級アンモニウム塩としては、強アルカリ性の水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）が特に好ましい。また、研磨組成物に予めアミン化合物が含まれている場合は、研磨組成物に含まれているアミン化合物と同じアミン化合物を含むことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 上下に対向配備された貼付けローラの間に粘着テープとシート状のワークとを挿通して貼り合わせるテープ貼付け装置において、シワの発生を抑制して歩留まりを向上させるる。
【解決手段】 貼付けローラ１，２の手前にテーブル３を配置してワークＷをテーブル３の上面に沿って供給するとともに、テーブル３の上方に、ワークＷよりも幅広に形成された先細り断面形状の貼付け治具４をテーブル上面と平行に横架配備し、この貼付け治具４の前端部とテーブル３の上面との間に形成された間隙ｃに、感熱接着面Ｓｔを有する粘着テープＴとワークＷとを重ね合わせて通過させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】ウエハーの口径が大口径になるにつれてウエハ周縁部のロールオフ（縁だれ）が、チップの取れ率に与える影響が深刻になり、シリコンウエハの製造メーカにとって縁だれの低減が大きな課題となっている。一次研磨において要求される研磨速度を確保するために化学成分を最適化することによりロールオフを改善する。
【解決手段】シリコンウエハの研磨に使用される研磨用組成物であって、少なくとも砥粒と含窒素塩基性化合物とを含み、前記砥粒濃度を、1重量％以上１０重量％以下としている。 （もっと読む）

【課題】 加工終点の検出精度の高い研磨パッドを提供することを目的とする。
【解決手段】 被研磨物を研磨する研磨層２と、研磨層２を支持する下地層３とを有する研磨パッドである。研磨層２には、厚み方向に光を透過させる第１窓部材４が形成されており、下地層３には、第１窓部材４に対応する位置に、厚み方向に光を透過させる第２窓部材５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 被研磨物表面の平坦度を向上させることができる研磨布の製造方法および研磨布を提供する。
【解決手段】 不織布を基材とし、この不織布に樹脂を付着させ、その表面を研磨布紙によって平滑化している。平滑化に用いる研磨布紙の研磨材（砥粒）の粒径は５μｍ〜２００μｍが好ましい。研磨布紙としてたとえばサンドペーパを用いた場合、研磨材の粒度を示す番手は８０番〜３０００番が好ましい。これによって、不織布の繊維に由来する徴小な凹凸、いわゆる“けば”が研磨布紙によって平滑化され、硬い研磨布に限らず柔らかい研磨布であっても被研磨物表面の平坦度を向上させ、スクラッチの発生を防止することが可能となっている。 （もっと読む）

【課題】 ＣＭＰ法に用いるヨウ素を含む化合物を使用した研磨用組成物において、ヨウ素蒸気を発生させず、また、着色しない研磨用組成物を提供する。
【解決手段】 本発明の研磨用組成物は、少なくとも水性溶液、研磨剤、ヨウ素を含む化合物、酸化剤、有機酸、および二酸化炭素からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 弾性を保持しながら、硬い研磨布を提供することを目的とする。
【解決手段】 不織布にウレタン樹脂を付着させ、このウレタン樹脂はイソシアヌレート化されているウレタン樹脂が好ましく、３級アミンおよび有機金属塩から選ばれる１種または２種以上のイソシアヌレート化触媒をウレタン樹脂に対して０．０１重量％以上１０重量％以下用いてイソシアヌレート化されたウレタン樹脂がより好ましい。不織布としては、ポリエステル繊維を含むことが好ましい。硬さはアスカーＣ硬度で９０以上９８以下、圧縮率は１．０％以上２．５％以下、回復率は５５％以上７５％以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハを高平坦度に研磨可能な研磨パッドを提供する。
【解決手段】ポリウレタンを主な材料とした研磨パッドにおいて、裏面に開口している気泡と気泡との間のエリアを中心線平均粗さＲａで２μｍ以上、３０μｍ以下の平面に研削処理する。これによってポリウレタン裏面の初期凹凸がなくなるとともに、両面粘着テープによって高い粘着力で定盤に固定可能となる。 （もっと読む）

【課題】被研磨物保持材から被研磨物に局所的に異常な加圧が作用するのを抑制して、被研磨物全体における均等な平坦研磨を可能とすること。
【解決手段】被研磨物５を研磨布７に圧接した状態で被研磨物５と研磨布７とを相対摺動させることにより当該被研磨物５を研磨する研磨装置に対し被研磨物５を保持する被研磨物保持材４において、当該被研磨物保持材４を圧縮率が２０％以上、６０％以下の範囲であり、かつ、圧縮弾性率が７０％以上、９８％以下の範囲である発泡素材４ａにより構成し、この発泡素材４ａの表面を被研磨物の保持面とした （もっと読む）

【課題】両面接着テープ全体の厚さを薄くする一方で、両面接着テープを薄くしても研磨布裏面に対する両面接着テープの粘着力が低下しないようにする。
【解決手段】基材層２の両面に粘着剤層３，４を有し研磨布６を定盤５に固定する両面粘着テープ１であって、その全体の厚みが１００μｍ以下であり、研磨布６に貼り付ける側の粘着剤層（研磨布粘着剤層）３の厚みが２０μｍ以上５０μｍ以下の範囲で粘着力が２５Ｎ／２５ｍｍ以上であり、少なくともこの研磨布側粘着剤層３の厚さが上記範囲内で上記粘着力を維持した状態で薄く設定されていることにより、当該研磨布全体の硬さを増加させて研磨時における研磨布６の圧縮変形量を減少させることができるようになっている。 （もっと読む）