【課題】電解液やメッキ液が均一に分散されて均一な研磨面あるいはメッキ面が得られるようにする。
【解決手段】被研磨物や被メッキ物に圧接されて相対的に摺動されるパッドにおいて、被研磨物や被メッキ物に圧接される研磨層３を、超極細繊維で構成するとともに、下地層４に貫通孔４を形成し、貫通孔４を介して供給される電解液やメッキ液が、超極細繊維からなる研磨層３で均一に分散され、電流密度が均等になるようにしている。 （もっと読む）

【課題】 研磨パッドにおける温度分布を均一化し、安定的な研磨を可能にする。
【解決手段】 上定盤３に保持された被研磨物Ｗと、下定盤２上に装着された研磨パッド１とを接触加圧した状態で、供給ノズル４からスラリーを供給しながら、被研磨物Ｗと研磨パッド１とを相対的に摺動させて研磨を行う研磨装置であって、研磨パッド１の径方向互いに異なる位置に配置された複数の温度センサ１１と、供給ノズル４からのスラリー供給位置を変更するための供給位置変更手段５と、制御部６とを備える。制御部６は、複数の温度センサ１１の検出信号を入力し、これら温度センサ１１により検出される各位置の温度差に対応して供給位置変更手段５を動作させて供給ノズル４によるスラリー供給位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】被加工物を保持する被加工物保持材の吸着力を高めるとともに、被加工物のうねりを吸収して被加工物の品質の向上を図る。
【解決手段】第１の基材２上に、湿式凝固法によって第１の発泡層３形成し、発泡層の表面３ａを、バフ加工して涙滴状の気泡６を開口し、また、第２の基材７上に、湿式凝固法によって第２の発泡層５を形成し、第１の発泡層３の表面３ａ上に、粘着層４を介して第２の発泡層５を、その発泡層の表面５ａを下にして積層し、第２の発泡層５の裏面５ｂ側の第２の基材７を剥離することにより、被加工物保持材を製造する。 （もっと読む）

【課題】被加工物を保持する被加工物保持材の平坦度を高めて被加工物の品質の向上を図ることを目的とする。
【解決手段】基材７上に樹脂溶液を塗工して湿式凝固して形成され、基材７から剥離された発泡層２の裏面２ｂが、研削加工され、支持層としての両面テープ３に接着して構成され、被加工物の保持面となる発泡層２の表面２ａは、そのろ波うねり曲線における高低差を、１２μｍ未満としている。 （もっと読む）

【課題】 長期間保存しても、砥粒が凝集したり沈降したりせず、砥粒の形状が変化しない安価で安定性の高い研磨用組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】 研磨用組成物は、コロイダルシリカ、有機酸およびナトリウムイオンを含む。ナトリウムイオンを含むことによって、コロイダルシリカは、ナトリウムイオンによって、取り囲まれるので、ナトリウムイオンを含まない場合と比較して、コロイダルシリカ間の相互作用が小さい。したがって、このコロイダルシリカは、有機酸を含ませて、研磨用組成物を酸性にしても、分散性が高く、長期間保存しても、凝集および沈降が発生せず、砥粒の形状を維持される。さらに、コロイダルシリカの分散性が高いので、平均粒子径が１００ｎｍ程度の大きさになるまで粒子成長させたコロイダルシリカである必要がないので、製造コストを低く抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】過酷な研磨条件で使用しても、研磨層と下地層とが剥離されない研磨パッドを提供する。
【解決手段】被研磨物１２と接触させて、被研磨物１２を研磨する研磨層１３と、研磨層１３を支持する下地層１４と、研磨層１３と下地層１４とを粘着させる粘着層１５とを有する研磨パッド１１である。研磨層１２は、中央部に第１貫通孔１６が形成されているので、研磨層１３の変形による研磨層１３と下地層１４との剥離を防止する。また、下地層１４は、中央部に第２貫通孔１７が形成されているので、第１貫通孔１６を臨む内壁部の変形に追従して下地層１４が変形しやすく、第１貫通孔１６を臨む内壁部の変形による研磨層１３と下地層１４との剥離を防止することができる。さらに、第３貫通孔１８には、少なくとも前記第２貫通孔１７の高さの孔内部材が設けられているので、下地層１４にスラリが浸入することを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】過酷な研磨条件で使用しても、研磨層と下地層とが剥離されない研磨パッドを提供する。
【解決手段】被研磨物１２と接触させて、被研磨物１２を研磨する研磨層１３と、研磨層１３を支持する下地層１４と、研磨層１３と下地層１４とを粘着させる粘着層１５とを有する研磨パッド１１である。研磨層１２は、中央部に貫通孔１６が形成されているので、研磨層１３の変形による研磨層１３と下地層１４との剥離を防止する。また、粘着層１５は、研磨層１３の外周で外囲される領域の全面に配置されるので、貫通孔１６をふさいでいる。 （もっと読む）

【課題】過酷な研磨条件で使用しても、研磨層と下地層とが剥離されない研磨パッドを提供する。
【解決手段】被研磨物１２と接触させて、被研磨物１２を研磨する研磨層１３と、研磨層１３を支持する下地層１４と、研磨層１３と下地層１４とを粘着させる粘着層１５とを有する研磨パッド１１である。研磨層１２は、中央部にスリット１６が形成されているので、研磨層１３の変形による研磨層１３と下地層１４との剥離を防止する。また、粘着層１５は、研磨層１３の外周で外囲される領域の全面に配置されるので、スリット１６をふさいでいる。 （もっと読む）

【課題】過酷な研磨条件で使用しても、研磨層と下地層とが剥離されない研磨パッドを提供する。
【解決手段】被研磨物１２と接触させて、被研磨物１２を研磨する研磨層１３と、研磨層１３を支持する下地層１４と、研磨層１３と下地層１４とを粘着させる粘着層１５とを有する研磨パッド１１である。研磨層１２は、中央部に第１貫通孔１６が形成されているので、研磨層１３の変形による研磨層１３と下地層１４との剥離を防止する。また、下地層１４は、中央部に第２貫通孔１７が形成されているので、第１貫通孔１６を臨む内壁部の変形に追従して下地層１４が変形しやすい。したがって、第１貫通孔１６を臨む内壁部の変形による研磨層１３と下地層１４との剥離を防止することができる。さらに、粘着層１５は、研磨層１３の外周で外囲される領域の全面に配置されるので、第１貫通孔１６をふさいでいる。 （もっと読む）

【課題】仕上げ研磨における被研磨物のスクラッチを低減する。
【解決手段】不織布からなる基材層２と、この基材層２上の樹脂フィルムからなる中間層４と、この中間層４上に直接形成されてなるナップ層５とを備えおり、基材層２の不織布を構成する繊維７が、ナップ層５側へ入り込むのを中間層４で阻止することができ、不織布を構成する繊維７が、研磨層であるナップ層５に入り込んだり、あるいは、ナップ層５を突き抜けることがなく、これによって、基材層２の繊維７に起因する被研磨物のスクラッチを低減できる。 （もっと読む）