【課題】廃棄が容易で環境を汚染しない研磨パッドを提供する。
【解決手段】被研磨物４を研磨する研磨パッド２を、ポリ乳酸などの生分解性樹脂を用いて、圧縮成形や射出成形によって成形する。生分解性樹脂で構成されているので、寿命が終わって廃棄された研磨パッドは、水や土壌等の環境下で、自然分解し、環境を汚染することがない。また、ポリ乳酸からなる研磨パッドは、水、特にアルカリ性の水溶液によって、分解され易く、研磨中に表面の分解が進んで新しい表面が露出するので、ドレッシング工程を簡略化できる。 （もっと読む）

【課題】 ヒュームドシリカを用いても凝集の発生を抑制することができる研磨用組成物を提供する。
【解決手段】 砥粒であるヒュームドシリカとアルキルポリエーテルアミン型界面活性剤とを含み、アルキルポリエーテルアミン型界面活性剤は、ポリオキシエチレンアルキルアミンが好ましい。 （もっと読む）

【課題】研磨レートの低下を抑制する。
【解決手段】表面２ａが被研磨物に圧接される研磨層２を有し、研磨層２の裏面側に設けられる両面テープ３によって定盤に固定される研磨パッドであって、研磨層２の裏面と両面テープ３との間に、研磨スラリーを遮断する止水層８を設け、研磨層２の表面２ａに供給される研磨スラリーが、研磨層２の表面から裏面側の両面テープ３に浸透するのを防止し、両面テープ３の粘着材層６の成分が溶出するのを防止している。 （もっと読む）

【課題】研磨レートの低下を抑制するとともに、層間の剥離を防止する。
【解決手段】表面２ａが被研磨物に圧接される研磨層２と下地層３とが、接着層である両面テープ４によって接着される研磨パッドであって、研磨層２の裏面と両面テープ４との間に、研磨スラリーを遮断する止水層５を設け、研磨層２の表面２ａに供給される研磨スラリーが、研磨層２の表面から裏面側の両面テープ３に浸透するのを防止し、両面テープ３の粘着材層の成分が溶出するのを防止している。 （もっと読む）

【課題】被研磨物の平坦度を高めることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】２価以上のアミノ基（ＮＨ_２基）を有する芳香族アミンと、２価以上のイソシアネート基（ＮＣＯ基）を有するイソシアネート末端プレポリマーとを反応硬化させた発泡ポリウレタンからなる研磨パッドであって、前記アミノ基と前記イソシアネート基との当量比を、ＮＨ_２／ＮＣＯ＝０．９５〜１．３としている。 （もっと読む）

【課題】 端面処理にばらつきがなく、安定した研磨性能の樹脂フィルムを加工する加工装置を提供する。
【解決手段】 固定ステージ２にバッキングフィルム５を固定し、押圧プレート３を加熱した状態で、固定ステージ２に固定されたバッキングフィルム５に押圧し、バッキングフィルム５の端面部分を熱破壊してシーリングを行う。押圧プレート３は、プレート移動部４に、所定の傾斜角度に保持されるとともに、バッキングフィルム５の厚み方向に平行な方向に移動させてバッキングフィルム５に押圧される。 （もっと読む）

【課題】定盤表面に分割された研磨パッドを貼り付ける場合に、定盤表面の腐食や研磨中のコンタミネーションを防ぎ、研磨パッドの剥離も防ぐことができ、充填時に硬化速度や粘度の調整が容易で扱い易い隙間充填剤を提供する。
【解決手段】研磨パッド２が複数に分割されており、当該分割された各研磨パッド２どうしの突合せ部分の隙間８に隙間充填剤９を充填する。隙間充填剤９はウレタン樹脂とジメチルホルムアミドの混合物であって、粘度を５０００〜２００００cps、充填剤中のウレタン樹脂の割合を１５〜３０ｗｔ％とする。 （もっと読む）

【課題】 使用者が簡単に研磨面の摩耗状態を把握することができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】 研磨面１ａが所定量摩耗した際にそれを知らせるための報知部として、深さの異なる有底凹部１０ａ，１０ｂ，１０ｃが研磨面１ａに形成され、摩耗により有底凹部１０ａ，１０ｂ，１０ｃが消失することで研磨面１ａの摩耗の程度が視覚により把握できる。 （もっと読む）

【課題】ロールオフを抑制してウェハ表面全体の平坦性を確保することができる。また、ウェハ表面全体にデバイスを作成することができ、デバイス製造工程における製品歩留まりの向上が図れる。
【解決手段】ウェハ３の表面に研磨液を供給しながら化学的機械的研磨を行う研磨パッド２１であって、ウェハ３のエッジ部３１に対応する外周部２１ｂの厚みを残余の部分に対して薄くしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 研磨レートを低下させることなくウェーハ表面を親水化することができる研磨組成物を提供する。
【解決手段】 本発明の研磨組成物は、砥粒と、ジアリルアミン系重合体とを含み、残部が水である。ジアリルアミン系重合体を含むことで、研磨レートを低下させることなく研磨後のウェーハ表面を親水化することができる。さらに、ジアリルアミン系重合体の重量平均分子量を、２００以上１５０００未満とすることで凝集の発生を抑制することができる。 （もっと読む）