【課題】硬質なウエハを効率的に研磨できる研磨用組成物（研磨スラリー）を提供する。
【解決手段】本発明の研磨用組成物は、ダイヤモンドからなる主粒子と、サイアロン粒子かなる副粒子とからなる砥粒を、分散液に混合分散させた研磨スラリーからなることを特徴とする。ダイヤモンド粒子とサイアロン粒子とからなる砥粒を含む研磨スラリーを用いることにより、高価なダイヤモンド粒子の使用量を抑制しつつ、非常に優れた研磨レートで、硬質な被研磨材をも研磨することが可能となった。 （もっと読む）

【課題】研磨の質の低下を抑制しつつ研磨効率を向上させ得る研磨パッドと、このような研磨パッドを簡便に作製しうる研磨パッドの作製方法とを提供することを課題としている。
【解決手段】少なくとも被研磨物の研磨に用いられる表面がポリマー組成物を発泡させた発泡シートによって構成されており、該発泡シートがその気泡を前記表面において開口させている研磨パッドであって、前記発泡シートの気泡は、シート厚み方向に長く伸びる縦長形状を有していることを特徴とする研磨パッドなどを提供する。 （もっと読む）

【課題】 仕上げ研磨後のシリコンウェハの表面特性をさらに向上させることができる研磨組成物を提供する。
【解決手段】 本発明の研磨組成物は、下記一般式（１）で示される２つの窒素を有するアルキレンジアミン構造を含み、該アルキレンジアミン構造の２つの窒素に、少なくとも１つのブロック型ポリエーテルが結合されたジアミン化合物であって、該ブロック型ポリエーテルが、オキシエチレン基とオキシプロピレン基とが結合してなるジアミン化合物と、ポリアルキレングリコール構造を有する化合物と、水溶性高分子化合物と、を含むことを特徴とする研磨組成物である。
【化８】


（式中、ＲはＣ_ｎＨ_２ｎで示されるアルキレン基を示し、ｎは１以上の整数である。） （もっと読む）

【課題】 研磨後の表面状態として要求される特性を満たすとともに、研磨速度を向上させることができる研磨組成物を提供する。
【解決手段】 本発明の研磨組成物は、ｐＨ調整剤と、砥粒と、下記一般式（１）で示される２つの窒素を有するアルキレンジアミン構造を含み、かつ該アルキレンジアミン構造の２つの窒素にオキシプロピレン基のみが結合した化合物とを含む。
【化１０】


（式中、ＲはＣ_ｎＨ_２ｎで示されるアルキレン基を示し、ｎは１以上の整数である。）
このような化合物を研磨助剤として含むことにより、研磨後の表面状態として要求される特性を満たすとともに、研磨速度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 下地層の周側面に防水層を設けることにより、研磨パッドの下地層内にスラリーが浸透することを防止して、研磨特性に悪影響を及ぼさず、また研磨レートの検出精度を上げるようにする。
【解決手段】 研磨パッド１は、下地層１１と下地層１１の表面に積層されたパッド本体１０とを有する。下地層１１の周側面にスラリーの浸透を防止し得る防水層１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】耐用期間が短縮されるおそれを抑制しつつ、研磨の質の向上を図り得る研磨パッドと、このような研磨パッドを簡便に作製しうる研磨パッドの作製方法とを提供することを課題としている。
【解決手段】ポリマー組成物を発泡させてなる発泡層を有し、該発泡層が、その厚み方向に平均気泡径を連続的に変化させていることを特徴とする研磨パッドなどを提供する。 （もっと読む）

【課題】被研磨物の平坦性を改善するとともに、端面だれを抑制する。
【解決手段】被研磨物に圧接される研磨層を有する研磨パッドであって、
前記研磨層は、独立気泡１１と連続気泡１０とを有する発泡体からなり、前記独立気泡１１と前記連続気泡１０とを併せた気泡全体の体積に占める独立気泡１１の体積の割合である独立気泡率が、０．３％以上１０％以下である。 （もっと読む）

【課題】被加工物を保持する被加工物保持材の保持力を高めるとともに、バフ加工を不要とし、表裏面からの研磨液などの水分の浸透を抑制できるとともに、表裏面の強度を高めた被加工物保持材の製造方法および被加工物保持材を提供する。
【解決手段】基材１に、樹脂溶液を塗工し、湿式凝固して発泡層２を形成し、前記発泡層２の裏面の前記基材１を剥離して、発泡層２の表裏面に、平滑な樹脂フィルム３を重ねてヒートロールを通過させて加熱加圧し、樹脂フィルム３を剥離し、発泡層２の裏面に両面テープ４を貼り付けて、発泡層２の表面２ａ−１を保持面とする被加工物保持材を得るようにしている。 （もっと読む）

【課題】湿式発泡によって、比較的大きな気泡を、傾斜することなく形成できるようにする。
【解決手段】基材２の表面に、ウレタン樹脂溶液を塗布し、湿式凝固させて前記基材２の表面に発泡層３を形成する発泡体の製造方法であって、前記ウレタン樹脂溶液に、カーボンブラックを添加するとともに、０．０１重量％〜０．１５重量％のアゾ系顔料を添加し、これによって、湿式発泡の際の水の導入を促進し、比較的大きな気泡を迅速に形成し、気泡が傾斜しないようにしている。 （もっと読む）

【課題】 特にノッチ部およびその周辺部の研磨に好適で、かつ、製品寿命の長い研磨パッドを提供する。
【解決手段】 研磨パッド１は、空隙率が最も高い中央層２と、空隙率が最も低い外側層３と、空隙率が、前記中央層の空隙率よりも低く、前記外側層の空隙率よりも高い中間層４とを有する。中央層２は、厚み方向中央側に位置し、外側層３は、厚み方向外側に位置し、中間層４は、中央層２と外側層３との間に位置する。 （もっと読む）