【課題】少なくとも２種の樹脂原料液を混合することにより硬化されてなる比較的均質な発泡樹脂成形体を得ることができる成形用金型および発泡樹脂成形体の製造方法及び、その製造方法で製造された研磨パッドを提供する。
【解決手段】発泡樹脂成形用の金型１は未硬化樹脂組成物を硬化してなる発泡樹脂成形体を扁平状とすべく形成された内部空隙８を備え、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体が前記未硬化樹脂組成物となって前記内部空隙８内へ連続的に充填されるように構成されており、該内部空隙８が所定の空隙高さを有する第１状態からそれより高い第２状態へ密閉状態で連続的に拡大するように形成されており、前記内部空隙８の外側には、前記未硬化樹脂組成物の流体を前記内部空隙８内へ導きつつ内部で前記未硬化樹脂組成物の一部を保持できる液だめ部１０が備えられている。 （もっと読む）

【課題】 ヒュームドシリカを用いた場合であっても、凝集を抑制し、粗大粒子数が低減された研磨組成物を提供する。
【解決手段】 ヒュームドシリカの比表面積を８０ｍ^２／ｇ以上９０ｍ^２／ｇ以下とし、かつ前記研磨組成物の可視光領域の吸光度を０．３以上０．４以下の範囲内とすることで、粗大粒子数を低減し、スクラッチを低減した研磨組成物を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 ヒュームドシリカを用いた場合であっても、凝集を抑制し、粗大粒子数が低減された研磨組成物を提供する。
【解決手段】 砥粒にヒュームドシリカを使用し、研磨組成物に含まれるベンゼン環系有機物の含有量を１００ｐｐｍ以下とする。ベンゼン環系有機物とは、構造にベンゼン環を含む有機物の総称であり、ベンゼン環系有機物の含有量が１００ｐｐｍを超えると、ベンゼン環系有機物を核として研磨組成物中のヒュームドシリカの凝集が促進される。したがって、ベンゼン環系有機物の含有量を１００ｐｐｍ以下とすることで、研磨組成物中のヒュームドシリカの凝集を抑制し、粗大粒子数が低減された研磨組成物を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 ノッチ研磨において、ノッチ部及びその周辺部を鏡面に仕上げることができ、かつ、製品寿命が長いノッチ研磨用の研磨パッドを提供する。
【解決手段】 研磨パッドの内層部と外層部とで、密度に違いのある三層構造を有することを特徴とする。密度に違いのある三層構造は、基材にウレタン樹脂を含浸して、外層部の樹脂密度と内層部の樹脂密度を異ならせ、層間に境目のない三層構造を形成する。 （もっと読む）

【課題】高硬度であって、しかも、ドレス性が良好な研磨パッドを提供する。
【解決手段】発泡ポリウレタンの研磨層を有する研磨パッドであって、前記発泡ポリウレタンが、エポキシ樹脂を添加して、イソシアネート基含有化合物と活性水素含有化合物とを発泡硬化させてなるものであり、硬く、しかも、引っ張り破断しやすく、伸びが小さいという特性を有するエポキシ樹脂を添加しているので、高硬度を維持しながら、ドレス性を高めている。 （もっと読む）

【課題】被研磨物のうねりを良好に維持しつつ、研磨レートを高めることを目的とする。
【解決手段】基材層２と前記基材層２上に形成された多孔質の研磨層３とを備える研磨布であって、研磨層３の比表面積を０．５〜１．０ｍ^２／ｇとしており、これによって、研磨層の表面が、砥粒が付着し易い適度な粗さとなって、被研磨物のうねりを良好に維持しつつ、研磨レートを高めることができ、また、予備研磨の立ち上げに要する時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】ヘイズ等を改善して研磨品質を高めることができる研磨布を提供する。
【解決手段】基材層２と基材層２上に形成された多孔質の研磨層であるナップ層３とを備える研磨布１であって、基材層２の表面に樹脂溶液を塗布して湿式凝固した後に、湿式凝固した樹脂の表面を研削して形成される研磨層であるナップ層３の表面粗さＲａの最大値と最小値との差が、１μｍ以下としている。 （もっと読む）

【課題】 研磨パッドを汚染することなく、溝部やパッドのうねり、研磨パッド全体の回転、コンディショナーの回転などのあらゆる運動と加圧が行われている環境下で、コンディショナーに多数配置する各コンディショニング部に対して、任意の圧力で加圧し、希望する研磨パッドの表面形状を得ることができる研磨パッドのコンディショナーを提供する。
【解決手段】 一方に研磨パッドの表面粗さの維持及び目詰まりを除去するためのコンディショナー部１１が設けられ、他方にシリンダー１４が設けられ、内部に加圧センサー３が設けられた複数のコンディショナー本体部１２と、前記コンディショナー本体部１２およびコンディショナー部１１の一部又は全部に対し圧力を加えるシリンダー加圧装置と、前記加圧センサー３からのセンサー信号に基づいて前記加圧手段を制御する制御部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】包装対象の汎用性が広く、作業の自由度が高く、かつ一度の作業で溶着および溶断を可能とするハンディ型ヒートシーラー、およびハンディ型ヒートシーラーを用いたシール方法を提供する。
【解決手段】本発明は、一方の面にハンドルが設けられた長方体の基台２と、長手方向に溶着用電熱線１１ａが配線された溶着線用耐熱樹脂１２ａと、長手方向に溶着用電熱線１１ａと略並行に、溶着用電熱線より細い溶断用電熱線１１ｂが配線された溶断線用耐熱樹脂１２ｂとを有する。そして、溶着線用耐熱樹脂１２ａと基台２との間には溶着線用クッション材１４ａが、また溶断線用耐熱樹脂１２ｂと基台２との間には溶断線用クッション材１４ｂがそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】表面に研磨面が設けられ、一部分に終点検出用窓が形成された円盤状の母材と、前記終点検出用窓に備えられた透光部材とを有している研磨パッドにおいて、研磨の際に生じる熱やスラリーなどに起因して、透光部材が膨らみ、凹み、皺になり、あるいは波打つなど変形しないようにする。
【解決手段】この研磨パッド２０は、終点検出用窓２２ａの周囲に応力緩和部６０が設けられている。応力緩和部６０は、複数のスリット及び／又は複数の貫通孔からなる貫通部６１，６１，…と、該各貫通部６１，６１間の非貫通部６２と、貫通部６１，６１，…及び非貫通部６２，６２，…の周囲の母材２２ｂとによって形成されている。 （もっと読む）