説明

株式会社キーエンスにより出願された特許

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【課題】電子顕微鏡画像の観察中においても、試料台と電子顕微鏡レンズとの位置関係を確認可能とする。
【解決手段】電子線撮像手段11を用いて試料を観察する前に、電子線撮像手段11を用いて試料の観察を開始するための所定操作が行われたことを契機として、試料室内観察手段を用いてこの時点における試料を含んだ試料室内画像を試料室内基準画像KGとして取得するための試料室内基準画像取得手段202と、少なくとも電子線撮像手段11で試料を観察する間の、先端部の回動位置に関する位置情報を逐次取得するための位置情報取得手段204と、位置情報取得手段204から取得した位置情報に基づいて、先端部の回動位置における姿勢を逐次仮想イメージKIとして生成し、電子線撮像手段11で試料を観察する間に、試料室内基準画像取得手段202で取得された試料室内基準画像KG上に重ねて表示させるための仮想イメージ生成手段206とを備える。 (もっと読む)


【課題】カラーの合成画像に基づいた計測精度を向上させる。
【解決手段】電子線撮像手段11で取得した電子顕微鏡画像の位置情報を記憶するための第一記憶手段131と、光学系撮像手段12で取得した光学画像の色情報を記憶するための第二記憶手段132と、第一及び第二記憶手段132に各々記憶された電子顕微鏡画像の位置情報と光学画像の色情報に基づいて合成した合成画像を生成するための画像合成手段116と、画像合成手段116で生成された合成画像を表示するための表示手段と、表示手段上に表示される合成画像に対して、表示手段の画面上にて計測点を指定する計測点指定手段130と、計測点指定手段130にて指定された合成画像上の計測点を、第一記憶手段131に記憶される位置情報に対して対応させて特定し、指定された計測を行う計測手段134とを備える。 (もっと読む)


【課題】同一の表示サイズでの光学画像と電子顕微鏡画像の取得作業を容易にする。
【解決手段】試料室21内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段11と、試料室21内の光学画像を取得可能な光学系撮像手段12と、一方の観察手段の光軸の方向を、他方の観察手段の光軸の方向と略一致させるように各観察手段を移動可能な移動手段と、電子線撮像手段11で取得された電子顕微鏡画像と、光学系撮像手段12で取得された光学画像を、切り替えて、又は同時に表示するための表示手段と、電子線撮像手段11又は光学系撮像手段12のいずれか一方で取得された画像の倍率を認識し、該画像と略同一の表示サイズの画像を他方の観察手段で取得するための倍率を、他方の観察手段の基準に基づく倍率に換算するための倍率換算手段111とを備える。 (もっと読む)


【課題】電子顕微鏡画像、光学拡大観察画像の観察視野切り替えをスムーズに行う。
【解決手段】胴部24の対向する端面を閉塞する一対の端面板と、第一の観察手段として、胴部24の円筒状側面の第一の位置41に固定され、試料室21内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段11と、第二の観察手段として、胴部24の円筒状側面であって、第一の位置41と異なる第二の位置42に装着され、試料室21内の光学画像を撮像可能な光学系撮像手段12と、電子線撮像手段11及び光学系撮像手段12の光軸を共通の回転軸に向かう姿勢に維持しつつ、該回転軸までの距離を一定に維持するように、電子線撮像手段11及び光学系撮像手段12を胴部24の円筒状側面に沿って回転させるための回動手段と、観察対象の試料を載置するため試料室21内に設置され、回転軸と略一致する位置に配置される試料台33とを備える。 (もっと読む)


【課題】フィルタリング処理を実行した場合であっても、一次元コード又は二次元コードの内容を正しく読み取ることができる画像処理装置、画像処理方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】少なくとも一の一次元コード又は二次元コードを含む画像を取得し、取得した画像に対して、カーネルサイズが2画素×2画素であるモルフォロジーフィルタを用いて第一のフィルタリング画像を生成する。生成した第一のフィルタリング画像に基づいて一次元コード又は二次元コードを読み取る。また、取得した画像に対して、カーネルサイズが2画素×2画素であるモルフォロジーフィルタ以外のフィルタを用いて第二のフィルタリング画像を生成し、生成した第二のフィルタリング画像に対して他の画像処理を実行する。 (もっと読む)


【課題】回転、開閉する真空チャンバを、気密性を維持しつつ回転動作をスムーズに行えるようにする。
【解決手段】減圧可能な試料室21を構成する胴部24の開口端を開閉自在に閉塞する蓋部27と、胴部24を回転させるための回動手段とを備えており、蓋部27は、胴部24の開口端を閉塞する閉塞板28と、閉塞板28を開放位置、閉塞位置に切り替えるための蓋開閉手段と、閉塞板28の円盤状の略中心を回転軸として、蓋開閉アーム29上で閉塞板28を回転自在に支承する蓋回転軸142と、閉塞板28が開放位置にあるとき、閉塞板28の回転軸が胴部24の回転軸と閉塞位置において略一致させる位置となるように閉塞板28の姿勢を保持すると共に、閉塞板28が開放位置から閉塞位置に切り替えられると、該保持状態を解除するよう、蓋回転軸142を保持する保持機構140とを備える。 (もっと読む)


【課題】対比観察や画像合成に際して、対応する光学画像と電子顕微鏡画像の対の取得作業を容易にする。
【解決手段】電子線撮像手段11で取得された電子顕微鏡画像と、光学系撮像手段12で取得された光学画像を、切り替えて、又は同時に表示するための表示手段と、電子線撮像手段11又は光学系撮像手段12のいずれか一方で取得された画像の倍率を認識し、該画像と略同一の表示サイズの画像を他方の観察手段で取得するための倍率を、他方の観察手段の基準に基づく倍率に換算するための倍率換算手段と、電子線撮像手段11又は光学系撮像手段12のいずれか一方で取得され表示手段に表示された画像の倍率を取得し、倍率換算手段で換算した換算倍率に他方の観察手段を設定可能かどうかを判定して表示手段に表示するための換算倍率表示手段を備える。 (もっと読む)


【課題】試料台の角度や観察位置によらず、観察手段を切り替えても観察視野を変化させない。
【解決手段】胴部24の円筒状側面の第一の位置41に固定され、試料室21内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段11と、胴部24の円筒状側面であって、第一の位置41と異なる第二の位置42に装着され、試料室21内の光学画像を撮像可能な光学系撮像手段12と、観察対象の試料を載置するため試料室21内に設置された試料台33と、試料台33の高さを調整可能な高さ調整機構80と、高さ調整機構80により調整された試料台33の高さによらず、電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれかの光軸の方向を、他方の観察手段の光軸の方向と略一致させるように各観察手段を移動できる移動手段とを備え、移動手段により、水平姿勢に維持された試料台33に対して、観察手段を傾斜させて傾斜観察を可能とする。 (もっと読む)


【課題】回転による視野の変化を試料台の位置に依らず一定にして変化の把握を容易にする。
【解決手段】内部空間を中空状として減圧可能な試料室を構成する胴部と、胴部の開口端を開閉自在に閉塞し、試料室を気密状態に維持可能な蓋部と、試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、胴部を回転させるための回動手段と、試料室内に設置され、観察対象の試料を載置するための試料載置面を有する試料台33と、試料台33をXY方向に線状移動させるためのXY移動機構75と、試料台33をXY面と直行するR軸を中心として回転移動させるためのR軸回転機構76とを備え、R軸回転機構76は、XY移動機構75による試料台33の位置に依らず、回転中心であるR軸を電子線撮像手段による観察視野中の所定位置とするR軸維持機構77を備える。 (もっと読む)


【課題】シンボルコードの読取開始からデコード結果が外部機器へ送信されるまでに要する時間を短縮することができるコード読取装置を提供する。
【解決手段】共通の共有23バスを介して共有メモリ24にアクセスするCPU21,22と、シンボルコードの光学読取を行って読取画像を生成する撮像素子25aと、共有バス23を介して読取画像を撮像素子25aから共有メモリ24へ転送するDMAC29により構成される。CPU21は、CPU22の指示に基づいて、共有メモリ24内の読取画像をデコードする。CPU22は、撮像素子25aによる光学読取を制御する撮像制御タスク、読取画像のデコードをCPU21に指示するデコード制御タスク、及び、デコード結果の送信を制御するデコード結果送信タスクのいずれか1つを選択的に実行し、撮像制御タスクがデコード制御タスクよりも優先され、デコード制御タスクがデコード結果送信タスクよりも優先される。 (もっと読む)


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