【課題】複数のレーザー発振源のうちのいずれかのレーザー発振源に異常が生じ、レーザービームの発振ができなくなった場合であっても、装置の大型化を抑えつつ、ワーク全体にレーザー加工を施すこと。
【解決手段】本発明のある実施の形態において、レーザ加工装置１が備えるレーザー照射手段６０は、２つの第１，第２のレーザー発振源６１ａ，６１ｂと、第１，第２のレーザー発振源６１ａ，６１ｂから発振されたレーザービームをそれぞれ例えば３つの光路に分岐する第１，第２のレーザー分岐手段６３ａ，６３ｂと、第１，第２のレーザー分岐手段６３ａ，６３ｂによって３つの光路に分岐されたレーザービームのそれぞれをガラス基板Ｗに向けて集光する例えば３つの第１，第２の集光器６２ａ，６２ｂとを有する。そして第１の集光器６２ａと第２の集光器６２ｂとが、割り出し送り方向に沿って互い違いに１列に配列されて配設される。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造でブレード検出センサーの位置が変動することのない切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに吸引保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持するスピンドルを有する切削手段と、該切削ブレードの切り込み方向位置を検出するブレード検出手段とを備えた切削装置であって、該チャックテーブルは、該切削手段の該スピンドルと直交する方向に移動自在に設けられたテーブルベースに配設されており、該ブレード検出手段は、該テーブルベースから立設する垂直支持部材と、該垂直支持部材から該チャックテーブルの横に突出するように延在する水平支持部材と、該水平支持部材の先端部に搭載された少なくとも発光部及び受光部を有するブレード検出機構から構成され、該水平支持部材の上面全体に水溜溝が形成されており、該切削装置の稼働中は該水溜溝中に常に水が供給されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 可動部分においても破損することなくコンパクトなチューブの断熱機構を提供することである。
【解決手段】 チューブの断熱機構であって、第１の流体を供給するメインチューブと、該メインチューブの外径より所定値大きい内径を有し、該メインチューブを覆うように配設された外チューブと、該外チューブの一端側に配設されて該メインチューブと該外チューブとの間に第２の流体を供給する供給口と、該外チューブの他端側に配設されて該メインチューブと該外チューブとの間に供給された第２の流体が流出する流出口と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 撮像中でもリング照明を加工屑を含んだ外部雰囲気に晒すことのない撮像装置を提供することである。
【解決手段】 撮像対象物の表面に対向する対物レンズを収容したケーシングを備えた撮像装置であって、底面に形成された撮像開口と、該撮像開口を複数の発光体で囲繞して撮像対象物に斜め上方からの光をリング状に照射するリング照明とを有し、前記ケーシングの先端部に取り付けられた密閉カバーアセンブリと、該密閉カバーアセンブリの下端に着脱可能に装着されたリング照明カバーとを具備し、該リング照明カバーは、環状の枠体と、該環状の枠体から立ち上がって延在し該密閉カバーアセンブリに該リング照明カバーを固定する装着部材と、該撮像開口からのエアの噴出を遮らない第１開口を中央部に有し周囲が該環状の枠体に保持された透明部材と、該密閉カバーアセンブリの底面及び該環状の枠体の上面に圧接して該透明部材の外周を囲繞するＯリングとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザー光線の集光点を大きい円軌跡に沿って移動することができるとともに、被加工物の厚み方向に所定の範囲わたって連続して加工することができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】レーザー光線照射手段５２は、レーザー光線を発振するレーザー光線発振器５２２と、レーザー光線発振器から発振するレーザー光線を集光してチャックテーブル３６に保持された被加工物に照射する集光レンズ６２と、レーザー光線発振器から発振するパルスレーザー光線を集光レンズに向けて方向変換せしめる方向変換ミラー６１と、方向変換ミラーの反射面の垂線に対して傾斜する回転軸で方向変換ミラーを回転せしめるミラー回転手段６３と、集光レンズによるレーザー光線の集光点位置を調整する集光点位置調整手段６５と、レーザー光線発振器と該ミラー回転手段および該集光点位置調整手段を制御する制御手段１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】透明な被加工物であっても輪郭を確実に認識することができる加工装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブル３６を加工送り方向(X軸方向)に加工送りする加工送り手段と、チャックテーブルのX軸方向の座標値を検出するX座標検出手段とを具備する加工装置であって、チャックテーブルのX軸方向移動経路上に配設され、X軸方向と直交するY軸方向に沿って、かつ被加工物の上面に所定の入射角をもったライン光を照射するライン光照射器７１１を備えたライン光照射手段７１と、ライン光照射手段によって照射されたライン光が被加工物の上面で反射した反射光を受光して撮像するラインスキャンカメラ７２１を備えた撮像手段７２と、撮像手段からの画像信号とX座標検出手段からの検出信号に基づいてチャックテーブルに保持された被加工物のX軸座標値におけるY軸方向両端のY軸座標値を求める制御手段とを具備する輪郭検出機構７を備えている。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードを複数収容可能なブレード収容手段に収容された切削ブレードのブレード種類を正しく識別すること。
【解決手段】本発明のある実施の形態において、ブレード交換装置は、ワークを切削する切削装置において第１，第２の切削手段で使用される第１，第２の切削ブレードを交換するためのものであり、第１，第２のブレードラック７１ａ，７１ｂを備える。この第１，第２のブレードラック７１ａ，７１ｂは、ブレード種類を記録したバーコードラベルが裏面に貼付された交換用の切削ブレードを複数収容する。また、第１，第２のブレードラック７１ａ，７１ｂは、バーコードラベルからブレード種類を読み取る読み取り機構７１３を備える。 （もっと読む）

【課題】 研削後のウエーハ厚みを均一にしウエーハを破損させる恐れのないウエーハの研削方法を提供することである。
【解決手段】 被研削物の裏面を研削する被研削物の研削方法であって、被研削物の表面に固着剤を介して中央に開口を有する保護部材を配設するとともに該開口を該固着剤で埋める保護部材配設ステップと、該保護部材配設ステップを実施した後、該固着剤を硬化させて該保護部材を被研削物の表面に固着する硬化ステップと、該硬化ステップを実施した後、研削装置のチャックテーブルで被研削物の裏面を吸引保持しながら被研削物の表面に固着した該保護部材と該開口に露出した該固着剤とを研削して平坦化する保護部材研削ステップと、該保護部材研削ステップを実施した後、研削装置の該チャックテーブルで該保護部材を吸引保持しながら被研削物の裏面を研削する被研削物研削ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対物レンズのレンズ面にコンタミが付着することを効果的に防止してレンズ面を清浄な状態に保つことができる撮像装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡１１０の対物レンズ１１３を、顕微鏡１１０に取り付けたカバー部材１２０で覆った状態とする。カバー部材１２０の内部には、レンズ面１１３ａの中央部に対応する箇所に上方開口部１２２ａを有し、レンズ面１１３ａとの間に隙間１２３を形成する環状凸部１２２（隙間形成部材）と、隙間１２３に圧縮エアを導入するエア導入流路１２５と、隙間１２３から上方開口部１２２ａに流入する圧縮エアをウェーハ１に向けて噴射する噴射流路１２６とが形成されている。噴射流路１２６から噴射する圧縮エアでレンズ面１１３ａへのコンタミの侵入を阻止し、また、隙間１２３を通る際にレンズ面１１３ａに沿って流動する圧縮エアでレンズ面１１３ａに付着するコンタミを除去する。 （もっと読む）

【課題】板状ワークに貼着される拡張テープとして熱された後に冷却される過程で収縮する性質を有するものを使用する場合において、拡張テープの拡張によるチップ間隔の拡張後に拡張テープのうち板状ワーク貼着部分の外周側に生じるたるみの除去を迅速に行う。
【解決手段】開口部において拡張テープ１０４を介して分割前の板状ワーク１００又はチップに分割済みの板状ワークを支持する環状フレーム１０５を保持するフレーム保持手段と、フレーム保持手段と板状ワークとを板状ワーク表面の垂直方向に離反させて拡張テープ１０４を拡張してチップ間隔を拡張するチップ間隔形成手段とを有するテープ拡張装置を用い、熱した後に冷却することによって冷却する過程において収縮する拡張テープ１０４を拡張し、拡張によって生じたたるみ部１０４ａに対して加熱手段４を用いて加熱を行うとともに冷却手段４を用いて冷却を行う。 （もっと読む）