【課題】 レチクル１２を、安全に且つ確実に支持する。
【解決手段】 レクチル１２を収納するポッド１３と、このポッド１３を塞いで気密にシールする扉１４およびシール１５とを備えたレチクル搬送容器１１である。ポッド１３及び扉１４の各内側面に一対のレチクルリテーナー２５，４５を有し、各レチクルリテーナー２５，４５が、レチクル１２の周縁の上側角部１２Ａ又は下側角部１２Ｂに当接して弾性的に支持する傾斜面部２８を備えた。傾斜面部２８の内側には、レチクル１２の周縁の上側角部１２Ａ又は下側角部１２Ｂが当接したときに上記傾斜面部２８の撓みを許容して弾性的に支持する緩衝機能を持たせる凹部３１，５２を備えた。 （もっと読む）

【課題】 シール部材３の脱落を防ぎつつシール部材３を容易に装着できるようにすると共に、シール性を向上させる。
【解決手段】 シール部材３は、容器本体１及び蓋体２のいずれか一方に形成された嵌合溝５内の突状部１４で仕切られた嵌合溝部分５ａ、５ｂに嵌め入れられる個別的に変形可能な複数の個別変形部９ａ、９ｂと、これらの個別変形部９ａ、９ｂを結合している結合部１０と、容器本体１及び蓋体２のいずれか他方の壁面に当接して封止するシール片１１とを有し、シール片１１は個別変形部９ａ、９ｂを結合している結合部１０に一体形成した。個別変形部９ａ、９ｂの対向する面側には、突状部１４の壁面に弾性的に密着する突状のリブ１２を各々形成した。 （もっと読む）

【課題】 薄板の自動出し入れの際に薄板の破損を防止する。
【解決手段】 内部に半導体ウエハを収納して搬送する薄板支持容器１を、搬送先のロードポート２０に載置して半導体ウエハを自動的に出し入れする際に上記薄板支持容器を固定する薄板支持容器用クランプ装置である。薄板支持容器１のリテーニング部１５に係止して薄板支持容器１全体を支持するフック部２４と、当該フック部２４を上下動可能に支持してフック部２４をリテーニング部１５に係止した状態で引き込んで薄板支持容器１を支持する駆動部２５と、当該駆動部２５によってフック部２４を引き込む力を、薄板支持容器１の蓋体４を着脱するときに強く、半導体ウエハの出し入れのときに弱くする制御部３１とを備えた。制御部３１は、肉厚センサ３２、位置センサ３３及び引き込み力検出センサ３４での検出値に基づいて、フック部２４を引き込む力を調整する。 （もっと読む）

【課題】容器本体２と蓋体３との隙間へのパーティクルの付着を低減して容器本体２内へのパーティクルの浸入を防止する。
【解決手段】内部を清浄に保ってその内部に半導体ウエハ等を収納する薄板支持容器である。上記半導体ウエハが収納される容器本体２と、容器本体２を塞ぐ蓋体３とを備え、当該蓋体３と容器本体２との隙間を覆って保護フィルム１１を設けた。保護フィルム１１は粘着性を持たせて、容易に着脱できるようにする。保護フィルム１１は、蓋体３が取り付けられた容器本体２の当該蓋体３側面全面を覆う大きさに形成した。保護フィルム１１を貼ることで、容器本体２と蓋体３との隙間にパーティクルが浸入するのを防止して、蓋体３を容器本体２から取り外すときに、内部に巻き込む空気と共にパーティクルが内部に浸入するのを防止する。 （もっと読む）