【課題】 ハードディスク等の記憶媒体や読取装置を汚染することのない液体動圧軸受を提供すること、及び樹脂被覆を有する液体動圧軸受のコストを低減すること。
【解決手段】 円柱状軸部材１、この円柱状軸部材１が回転自在に嵌合する円筒状受け部材２、蓋部材３とを有する液体動圧軸受において、円柱状軸部材１は金属心材Ｎに樹脂被覆層Ｐが施されたものであり、且つ樹脂被覆層Ｐとこの樹脂被覆層Ｐに設けられた動圧発生溝は液晶高分子材料の成形加工により一体に形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】複数個の収納品の収納が可能であり、収納品を傷めることなく収納することが可能な収納容器を提供すること。
【解決手段】収納容器１０は、方形、かつ、平皿状の受体カバー１１０と、受体カバー１１０内側に設けられ、受体カバー１１０内側を１０の領域に仕切る仕切壁１２０と、弾性を有する１枚のポリウレタンシートで形成された受体弾性シート１３０と、方形、かつ、平皿状の、受体カバー１１０と嵌合する、蓋体カバー１４０と、蓋体カバー１４０の内側に設けられ、蓋体カバー１４０内側を受体部１００と同数の領域に仕切る、ガイド部１５０と、ガイド部１５０の端部であり受体部１００と対向する面に設けられ、弾性を有する１枚のポリウレタンシートで形成された蓋体弾性シート１６０とで形成されている。 （もっと読む）

【課題】使用時には磁性体でない壁面にも吸着固定して容易に使用することができ、収納時には不用意に展開されないように収納状態を安定して固定することができ、しかも軽量かつコンパクトで設置や収納を極めて容易に行うことができる投影スクリーンを提供すること。
【解決手段】投影された光学像を映すための映像スクリーン部１０の裏面の全体又は一部に、多数の微細吸盤が形成された自己吸着層１を設けると共に、映像スクリーン部１０の表面の全体又は一部を、自己吸着層１が吸着される平滑面状に形成した。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに悪影響を及ぼす汚染ガスを、シンプルでかさばらない低コストの構成で容器内の空間から効率的に除去することができ、さらに、そのような汚染ガス除去を使用環境等に対応して選択的かつ効果的に行うことができるウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】蓋体５の内壁面に形成された凹部８内の空間が、ウエハ押さえ部材１０により複数の半導体ウエハＷの軸線に対して略平行方向に伸びた複数の領域に仕切られて、特定のガス成分を吸着するための少なくとも一種類のケミカルフィルタ２０がウエハ押さえ部材１０によって仕切られた凹部８内の少なくとも一つの空間内に略全範囲にわたって配置されている。 （もっと読む）

【課題】薄板を正確にかつ確実に安定して支持する。
【解決手段】内部に薄板を複数枚収納する容器本体と、この容器本体を塞ぐ蓋体と、上記容器本体内の対向する側壁にそれぞれ設けられて内部に収納された薄板を両側から支持する溝板とを備えてなる薄板支持容器である。上記蓋体の裏面に、当該蓋体が上記容器本体に取り付けられたとき容器本体内に収納された薄板の上部を押さえて支持する薄板押え部材を設けた。当該薄板押え部材には、上記薄板を１枚ずつ嵌合して支持する嵌合溝を設け、当該嵌合溝を、薄板の周縁を挟み込むように鋭角に形成した。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハが搬送中等に破損することがなく、しかも必要に応じてクッションシートをトレイに対し簡便に脱着して容易に洗浄したり交換したりすることができるクッションシート付ウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】ウエハ載置トレイ１上面の半導体ウエハＷ載置位置には弾力性のあるウエハ載置クッションシート５が配置され、そのウエハ載置クッションシート５にはウエハ載置トレイ１に対して着脱自在に吸着される着脱自在吸着面（５Ｂ）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等を収納する容器等の材料である高分子材料の導電性を向上させ、容器の帯電防止や塵埃付着防止をはかること。
【解決手段】高分子材料にカーボンナノチューブ等の導電性ナノチューブを含有させる。射出成形により作製する容器において、容器を構成する高分子材料は、ゲートと容器の端までの長さLと容器の代表厚みｔとの比L/tが増加すると、あるいは、シート状製品の場合には、圧延・延伸前後のシート厚さの比t₁/t₀が減少すると、導電率が増加する傾向にある。特にL/t比が50以上、またはt₁/t₀比が0.7以下において、顕著である。この理由は、高分子材料のマトリックス中に導電性ナノチューブがその長手方向に配向するためである。本発明を用いて成形した半導体ウエハなどの容器は、帯電しないので塵埃付着などがなく、半導体の超微細加工プロセスに適用できる。 （もっと読む）

【課題】レチクルケースの帯電を防止し、レチクルおよびレチクルケースへの塵埃等の異物の静電的付着を防止し、かつレチクル情報を確実に把握すること。
【解決手段】レチクルケースの上・下面に透明窓を設ける。これによりレチクルケース内のレチクル状態およびレチクル情報を把握できる。透明窓以外のレチクルケースは非帯電性材料で形成され、かつ連続している。これによりレチクルケースの帯電を防止できる。レチクルケースには呼吸弁およびケミカルアブソーバーが設置される。これによりレチクルケース内は、常に清浄な環境に保持される。呼吸弁はレチクルケース外表面から張り出さない構造である。このため、レチクルケース本体および蓋体の側面に形成されたV溝を用いて固定スライダでレチクルケース本体および蓋体を結合固定できる。また、呼吸弁の破損がなくなりレチクルケースの取り扱いも容易になる。 （もっと読む）

【課題】 載置トレイ間の結合、解除に磁力を利用しながら、漏洩磁束量を抑え、構成の小型化を達成できる薄板保持容器を提供する。
【解決手段】 本発明は、互いに結合したとき、その間隙に薄板を狭持して保持収納する載置トレイの積層集合体を含む薄板保持容器に関する。そして、相前後する第１及び第２の載置トレイを結合、解除する結合・解除手段が、第１の載置トレイに設けられた磁束発生源からの磁束を、第１及び第２の載置トレイ間に亘る第１の閉ループで流して第１及び第２の載置トレイを結合させ、この第１の閉ループを開ループに変化させることで第１及び第２の載置トレイ間の結合を解除させると同時に、磁束発生源からの磁束を、第１の載置トレイに内在する第２の閉ループで流すようにさせる構成を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄板収納容器を真空包装する際に袋が破損するのを防止する。
【解決手段】トップフランジ５と、トップフランジを覆う保護カバー４１とを備えた。トップフランジがほぼ四角形平板状のフランジ部２５を有し、保護カバーが、フランジ部全体を覆う四角形皿状に形成した。保護カバーには、フランジ部の対向する２つの辺に当接して一方向の位置決めをする一対の当接部４２と、各当接部と直交するフランジ部の２つの辺に当接して他方向の位置決めをすると共に当該２つの辺に係止する一対の係止爪４３とを備えた。保護カバーの周縁の端部から係止爪の両側の位置まで２つのスリット４５を設けて係止爪を撓みやすくした。２つのスリットで仕切られた保護カバーの周縁部と係止爪との間には係止爪を開閉させる取っ手部４４を設けた。 （もっと読む）