【課題】主ろ材を通気性を備えた合成樹脂製のシート体よりなる袋体内にガス除去剤を封入させてなるものとしながら、この主ろ材から生じる可能性のある塵埃の問題を簡素な構造をもって確実に解消できるようにする。
【解決手段】主ろ材１と、メンブレンフィルタよりなる副ろ材２と、容器Ｃの通気部Ｃａに蓋状に嵌め付けられる両端を開放させた筒状主体３０とその筒一端３０ａを巡る外鍔部３１とを備えてなる合成樹脂製のベース３と、キャップ口４０側にベース３の外鍔部３１への組み合わせ部４０ａを備えると共にキャップ底４１にエアの通し部４１ａを備えてなる合成樹脂製のキャップ４とを備えている。副ろ材２はベース３の筒一端３０ａを覆った状態でベース３の外鍔部３１に溶着されていると共に副ろ材２とキャップ４のキャップ底４１との間に主ろ材１を納めて、ベース３とキャップ４とを一体化させてなる。 （もっと読む）

【課題】空気中に微量に含まれるガス成分を捕集しその量を測定分析するにあたり、この捕集を容易かつ適切に行えるようにすると共に、格別の配慮をすることなくその測定結果の信頼性を保証できるようにする。
【解決手段】測定対象となるガス成分を生じさせることのない金属又は合成樹脂よりなる管１０中にこのガス成分を化学吸着する粒状をなす吸着剤１１を充填してなる捕集管１に、測定対象空間にある空気を所定量通気させた後、この捕集管１の両管端１２、１２を気密状態にシールする捕集工程と、捕集工程を経た捕集管１中から取り出した吸着剤１１から蒸留により前記ガス成分を含んだ試料液を得る蒸留工程と、蒸留工程で得られた試料液中の前記ガス成分の濃度を測定する測定工程とを含んでなる。 （もっと読む）

【課題】吸湿特性を利用して酸性ガスを効率的に捕捉しつつ、放湿時に捕捉した酸性ガスを解放させてしまうことがない調湿吸ガス剤、およびこれを利用してなる調湿吸ガス具の提供。
【解決手段】モンモリロナイトを主成分とする粘土鉱物よりなる粉末状をなす調湿材１と粉末状をなす酸性ガスの吸着材２とを主原料として造粒して得られる多孔質の粒状体の集合物に対し、水分調整してなる。調湿吸ガス具は、かかる調湿吸ガス剤を通気性を備えた袋体又は容器に封入してなる。 （もっと読む）

【課題】レチクル収納容器内部に設置する汚染物質等を吸着し除去するケミカルアブソーバーを容易に交換可能とする手段を提供する。
【解決手段】ケミカルアブソーバーを挟持するカートリッジ本体およびストッパーからなるカートリッジをレチクル収納容器の蓋体の側面にピン部および溝部の結合により固定する。カートリッジはケミカルアブソーバー抜け防止機構を有し、ケミカルアブソーバーは抜け防止機構で確実に抑えられてカートリッジに固定される。抜け防止機構は、少なくとも１つ以上の突起を有する抜け防止突起部、および突起を受け、突起に対応する少なくとも１つ以上の凹部または平面を有する抜け防止溝部からなる。さらに、カートリッジはヒンジ部を有し、レチクル収納容器の蓋体角部にも設置することが可能である。連結部を介してカートリッジ本体とストッパーを一体として成形することもできる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに悪影響を及ぼす汚染ガスを、シンプルでかさばらない低コストの構成で容器内の空間から効率的に除去することができ、さらに、そのような汚染ガス除去を使用環境等に対応して選択的かつ効果的に行うことができるウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】蓋体２の内壁面とウエハ支持体７とで形成された少なくとも一つの空間において複数の半導体ウエハＷの軸方向に伸びた略全範囲にわたって、特定のガス成分を吸着するための少なくとも一種類のケミカルアブソーバ１９が配置されている。このケミカルアブソーバ１９の補強フレーム１５、１６に形成されたアブソーバ係止部１８によってウエハ支持体７に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに悪影響を及ぼす汚染ガスを、シンプルでかさばらない低コストの構成で容器内の空間から効率的に除去することができ、さらに、そのような汚染ガス除去を使用環境等に対応して選択的かつ効果的に行うことができるウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】蓋体５の内壁面に形成された凹部８内の空間が、ウエハ押さえ部材１０により複数の半導体ウエハＷの軸線に対して略平行方向に伸びた複数の領域に仕切られて、特定のガス成分を吸着するための少なくとも一種類のケミカルフィルタ２０がウエハ押さえ部材１０によって仕切られた凹部８内の少なくとも一つの空間内に略全範囲にわたって配置されている。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどの収納容器内に、格別のスペースを要することなく、また、フォトマスクなどに悪影響を及ぼす要因を増やすことなく、容易に備え付け可能なガス除去具の提供。
【解決手段】ポリテトラフルオロエチレンを主体として構成されるシート体１ａからなる通気性を備えた扁平袋体１と、この扁平袋体１内に封入される活性炭シート２と、扁平袋体１の外側に巻き付けられた周回テープ体３とを備えている。この周回テープ体３の外面の一部には、吸盤機能を持った発泡プラスチック層３ｂ’よりなる吸着面３ａが形成されていると共に、扁平袋体１における周回テープ体３の巻き付け箇所１ｆに位置される縁部には、扁平袋体１の内部に至らない深さで、かつ、周回テープ体３の巾と略等しいかそれより広い巾を持った切り欠き部１ｇが形成されている。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームなどの空気質保全の必要のある空間を備えた建物に場所的にある程度近接した領域で工事を行う場合に汚染物質からその空間を容易に、かつ適切に保全する。
【解決手段】工事によって生じる塵埃などの粒子状汚染物質およびガスなどの分子状汚染物質の影響を強く蒙るおそれのある領域に空気質保全の必要のある空間を備えた建物があるときの工事方法であって、少なくとも、前記工事における汚染物質が生じるおそれがある期間において、前記空間の外気処理用空調機１２０のエアフィルタ１２４の全部又は一部を置き換え対象フィルタ１として、この置き換え対象フィルタ１を、この置き換え対象フィルタ１よりも圧力損失が大きくなく、かつ、前記粒子状汚染物質および分子状汚染物質の双方を除去し得る養生用仮設エアフィルタ２に置き換えて前記工事を実施する。 （もっと読む）

【課題】収納空間に送り込まれるエアから化学汚染物質も適切に除去できるようにすると共に、収納空間から送り出されるエアの一部を効率的に循環させて化学汚染物質および粒子汚染物質の除去フィルタにかかる負担を軽減させる。
【解決手段】吸気部１と排気部２との間の流路中に、換気手段３により常時エアが通り抜けるようにされた収納空間４を有すると共に、この収納空間４の二次側４ｂが吸気部１と排気部２とに共に連通した混合室５に連通され、この混合室５と収納空間４の一次側４ａとの間に化学汚染物質の除去フィルタ６及び粒子汚染物質の除去フィルタ７が介装されている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構造をもって容器の通気部に取り外し可能に取り付けることができるとと共に、塵芥のみならずガスも確実に捕捉除去し得るエアフィルタユニットの提供。
【解決手段】ろ材１は、通気性を備えた合成樹脂製のシート体１０ａよりなる扁平袋体１０内にガス除去剤１１を封入してなる。フィルタフレーム２は、通気部Ｃａにキャップ状をなすようにはめ付けられる、筒一端２１を開放させ、かつ、筒他端２２を通気穴２３ａを備えた座板２３によって閉塞された筒状をなすように構成されている。前記ろ材１によってフィルタフレーム２の前記通気穴２３ａをフィルタフレーム２の内側から塞いでなる。 （もっと読む）