【課題】低着磁力の領域において、ワークの低剛性に応じて適正な着磁力の設定を行うことができる永電磁式マグネットチャックの着磁力調整装置を提供する。
【解決手段】制御装置２１のＣＰＵ２２に着磁力調整スイッチ２７を接続する。ＲＯＭ２３にパターン記憶エリアを設け、該エリアにマグネットチャックの複数の機種に適した着磁電圧調整パターンを記憶する。ＣＰＵ２２にパターン選択スイッチ４１を接続する。このスイッチ４１によりマグネットチャックの種類に応じて、複数の着磁電圧調整パターンの中から適正な着磁電圧調整パターンを選択する。低着磁力領域において、着磁力の変化率が正比例して大きくなるので、着磁力の調整を多段階に適正に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】変形により平面度がレーザ光の焦点位置に対して許容範囲を超えた基材について、簡単な構造の装置により、効率的なスクライブ加工或いは分断加工を可能とするレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】照射部２の下方の２ヶ所に突設された脚部７において、ローラＲ１、Ｒ２を回動可能に支持するようにした。このローラＲ１、Ｒ２間の中間位置は、レーザ光５の集光部６と一致するように配置されている。そして、照射部２の移動と共にローラＲ１、Ｒ２を転動させて、ローラＲ１、Ｒ２の間にある基材８を載置面９に押し付けるようにした。 （もっと読む）

【課題】スピンドルの回転精度を高め、加工具によるワークの加工精度を向上させるために、モーターとモーターが取り付けられるフレームとの間で挟持され、モーターからフレームへの熱の伝達を阻止する連結フランジを提供する。
【解決手段】溝１１が形成された基体１０ａと、その溝１１を覆うように基体１０ａに合わせられた副体１０ｂとで連結フランジ１０を形成し、溝１１を冷却用流体が流れるようにした。そして、この連結フランジ１０を、モーター１のフランジ部１３とフレーム２の取付部１９との間に挟持させ、モーター１の熱がフレーム２へ伝達されないようにした。 （もっと読む）

【課題】機械本体、スケール、ワーク等の各温度を制御することにより高い加工精度が安定的に得られる精密加工機械を提供する。
【解決手段】主ベッド部２、副ベッド部３、コラム４等のブロック体に設けられた油静圧摺動面９、１０、１１に供給される静圧油の温度を調節するに際し、それぞれのブロック体の測定点２０、３０、４０で、ブロック体の室温の環境下に置かれた部分の温度を測定し、その温度を基に調節するようにした。 （もっと読む）

【課題】３点法プローブのゼロ点校正を３点法の環境に対するロバスト性を維持しながら、迅速に、精度よく、かつ簡便に実現できる校正装置及び真直形状測定装置を提供する。
【解決手段】校正対象となる３つの変位センサＳＳ１〜ＳＳ３を円板ＣＰ１〜ＣＰ３に対して相対的に固定し、回転角θ＝０度において３つの円板ＣＰ１〜ＣＰ３の円周を、各変位センサセンサＳＳ１〜ＳＳ３を用いて測定して第１の測定値を求め、且つ回転角θ＝１８０度において３つの円板ＣＰ１〜ＣＰ３の円周を、変位センサセンサＳＳ１〜ＳＳ３を用いて測定して第２の測定値を求め、第１の測定値と第２の測定値とに基づいて、前記変位センサを校正できる （もっと読む）

【課題】棒状のセンサホルダに取り付けた３つのセンサにおける鉛直方向の位置ズレを抑制する。
【解決手段】予め決められた孔ＨＬ１〜ＨＬ３にセンサＳＳ１〜ＳＳ３を固定して検出軸方向を鉛直方向に向けた時の、センサホルダＳＨのたわみ量は、２点支持の梁の集中質量と分布質量を考慮して計算できるので、３つのセンサＳＳ１〜ＳＳ３の固定位置の重力によるたわみが等しくなる位置が定まるため、孔ＨＬ１〜ＨＬ３にセンサＳＳ１〜ＳＳ３を配置するのみで、センサＳＳ１〜ＳＳ３の鉛直方向のズレがゼロとなる。これにより精度の良い測定が可能となる。 （もっと読む）

【課題】長尺大面積の直線形状や、面形状の測定における逐次３点法の零点調整を、工作機械やそれに類似する測定システム上に簡便に実現することができ、反転法と異なり長尺の被測定物の被測定対象面を置き直すことがなく測定ができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】
形状測定装置は、変位センサ４１〜４３の検出感度軸方向Ｋが水平面に含まれるとともに互いに反対方向となる第２姿勢位置Ｄ２及び第３姿勢位置Ｄ３、及び水平面と直交する鉛直方向に向ける第１姿勢位置Ｄ１を取り得るようにホルダ３８を回転自在に支持する姿勢可変機構を備える。形状測定装置は基準幅直定規を変位センサ４１〜４３の配列方向を走査方向として、該走査方向に走査測定することで得られる幅真直形状と基準幅直定規の校正値を比較することで変位センサ４１〜４３の零点調整誤差を算出し、被測定物の断面形状を逐次３点法で測定して、零点調整誤差に基づき校正する。 （もっと読む）

【課題】
ワークを取外して加工前の新たなワークを吸着面に対して吸着する際に、ワークのマグネットチャックに対する位置決めを行う治具の位置ずれが生ずることがない、永電磁式マグネットチャックを提供する。
【解決手段】マグネットチャック１０の吸着面は、ワークＷを吸着保持するワーク用の吸着面１２Ａと、ワーク用の吸着面１２Ａに隣接して設けられるとともにワークＷを位置決めするために被吸着体としての治具４０を吸着保持する治具用の吸着面１２Ｂ，１２Ｃを含む。制御装置は、ワークＷの交換をするために該ワークＷを吸着保持状態から吸着解除、及び吸着解除から再び吸着保持する際に、ワーク用の吸着面１２Ａに対応した部位の永電磁石の極性の変換を行い、一方、ワークＷを交換する間は、治具用の吸着面１２Ｂ，１２Ｃに対応した部位の永電磁石の着磁・脱磁の変換を行わずに、治具４０を吸着保持させる。 （もっと読む）

【課題】ワークの研削面の平面度の精度を向上することができる平面研削盤を提供する。
【解決手段】ワークＷの平面研削を行う際に、該ワークＷを支持するテーブル１３の移動速度を左方向の移動時と、右方向への移動時とで、順次ランダムに変化させることにより、ワークＷの研削中におけるテーブル１３の固有振動（共振）の位相を変化させる。そして、テーブル１３の共振によるテーブル１３の変形を防止し、テーブル１３に支持されたワークＷの変形を防止し、ワークＷの研削面の平面度の精度を向上する。 （もっと読む）

【課題】複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差の変動検出方法を提供する。
【解決手段】
多点プローブの零点誤差の変動検出方法は、センサユニット２２０をスピンドルにて回転されている状態の試料の測定面に相対するように配置して、試料が１回転する間において、試料が所定回転角度回転する毎に複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃから出力される試料の測定面における同心円に沿う形状値及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０に読取りさせて記憶装置３４０に記憶させる。記憶装置３４０が記憶した、同一の試料に関する新しい測定値と古い測定値とに基づいて、零点誤差の変動量を算出する。 （もっと読む）