【課題】接合強度がさらに向上し、充分な歩留まりが得られるようになる力学的物理量変換器の製造方法およびその変換器の提供。
【解決手段】陽極接合においては、シリコン酸化膜11に含まれる酸素イオンの数と接合強度とが密接な関係にあるので、上ガラス30の表面に非晶質のシリコン酸化膜11を成膜するにあたり、モノシランガスに対して適度な量の亜酸化窒素ガスを加えてシリコン酸化膜11の成膜を行えば、陽極接合時に移動する酸素イオンの数が増え、シリコン酸化膜11が形成された上ガラス30とシリコン基板２との接合強度が向上し、これにより変換器の歩留まりが改善される。 （もっと読む）

【課題】 可動電極と固定電極との絶縁を確保できるとともに十分な接合強度が得られ、容易に製造できる静電容量型トランスデューサの製造方法および静電容量型トランスデューサを提供すること。
【解決手段】 基板３０と、この基板３０に対して変位可能に空隙を介して対向配置された可動電極２０と、基板３０の可動電極２０と対向する検出面３０Ａに設けられた固定電極３１，３２とを備えた静電容量型トランスデューサ１０を、基板３０の検出面３０Ａの固定電極３１，３２を含むほぼ全面に絶縁膜１１を形成した後に、この絶縁膜１１を介して基板３０と可動電極２０とを互いに陽極接合して製造する。 （もっと読む）