【課題】マイクロチップの基板材料に制約が無く、流路を確実に閉塞して耐圧性を確保できるマイクロ流路の流体制御構造、閉塞部材、マイクロチップ、各種の応用装置、および、閉塞部材操作装置の提供。
【解決手段】マイクロチップ１の孔２０にバルブ３０を押し込むことで流路ＦＡを閉塞する構造とされ、流路ＦＡを閉塞するための可動部分がバルブ３０それ自体であって、基板１１，１２を変形させて流路ＦＡを閉塞する必要がない。このため、マイクロチップ１の基板１１，１２に硬質材料をも使用でき、信頼性および汎用性を大きく向上させることができる。また、弾性部材３２が弾性変形によって孔２０の周縁２１および溝１４の端部１４２に密接するので、流路ＦＡが確実に閉塞され、耐圧性を確保できる。また、本発明は、マイクロチップ１に配設されたバルブ３０の押圧手段を備える操作装置も提供する。 （もっと読む）

【課題】 安定したポンプ効率のダイアフラムポンプを提供する。
【解決手段】ダイアフラムポンプ１０は、可動子３０の連結部３３を挿通して保持する挿通部と、この挿通部から可動子３０の径方向に蛇行して形成される蛇行ばね部と、蛇行ばね部の端部に設けられてケース２０のばね固定部２１２Ａに固定される外周取付部とを備え、これらの挿通部、蛇行ばね部、および外周取付部が可動子３０の軸心と略直交するばね形成面上に配置されるばね部材５０を具備した。このため、挿通部が蛇行ばね部によりケース２０の略軸心上に支持され、蛇行ばね部が設けられる方向への移動を規制されるので、可動子３０は、径方向への移動を規制され、可動子３０の軸心のズレや、傾斜、電磁石部への接触を防止できる。よって、可動子３０は、軸心上で安定して振動でき、ダイアフラムポンプ１０のポンプ効率を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】 長寿命化を図れるダイアフラムポンプを提供する。
【解決手段】ダイアフラムポンプ１０は、ケース２０の内部に可動子３０およびダイアフラム４０を配置し、ケース２０の外部に電磁石部５０を配置した。このため、ケース２０の可動子収納部２１が隔壁となって、電磁石部５０にて発生する熱エネルギーを遮断し、ダイアフラム４０が熱されて劣化するのを防止できる。したがって、ダイアフラム４０の長寿命化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】センサモジュールが配置される内部空間の密閉性を向上させることができるセンサのシール方法及びセンサのシール構造を提供すること。
【解決手段】流体圧力センサ１は、内部にセンサモジュール２０の歪ゲージ２０Ａおよび回路部３０が配置された本体１１と、この本体１１の嵌合壁部１５に嵌合されるハウジングとの隙間に、合成樹脂を射出して形成される封止部５０を備えた。これにより、ハウジング４０のガスケット部４１を嵌合壁部１５に嵌合した状態で、嵌合壁部１５とガスケット部４１との間に隙間が生じても、この隙間を、射出した合成樹脂で形成された封止部５０にて確実に密封することができる。したがって流体圧力センサ１の内部空間の密閉性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】内部の流路における流体の流れに影響を及ぼすことなくセンサを配設可能であって、そのうえ製造が容易なマイクロチップの提供。
【解決手段】互いに重ねられる複数の基板１１，１２を備え、これらの基板１１，１２のうち一方の基板１２の板面と他方の基板１１の板面に形成された溝とから窪んで流路ＦＡを構成する溝１４が形成されたマイクロチップ１は、一方の基板１２には、流体ＲＧにおける流体ＲＧの状態を検出するセンサ８０を配設するために、溝１４の開口に向かって貫通し、かつ、平面的に見た際に流路ＦＡの幅方向における溝１４の寸法よりも大きい孔２０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 大幅に小型化できるとともに、製造が容易な電子部品、およびこの電子部品を備えたセンサの提供。
【解決手段】 導電性パターン２２１〜２２３を間に挟んで基板２１，２２同士が重ねられた構造により、絶縁性部材である基板積層体２０の内部が導電性パターン２２１〜２２３を介して導通されるので、基板２１，２２に孔を形成することを不要にできる。これにより、孔形成に際してのデッドスペースが生じないため、大幅な小型化が可能となる。
また、穿孔する代わりに導電性パターン２２１〜２２３および基板２１，２２を互いに接合するだけで済むので、容易にかつ低コストで製造できる。
これにより、基板積層体２０の両端面２３，２４において、導通が図られると共に気体の往来が可能なフィードスルー構造を実現でき、超小型の圧力センサ１を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムと保持体との接合に関して、陽極接合以外の手段を見出し、更なる小型化を促進できるセンサを提供すること。
【解決手段】感応部３４、および少なくとも一部に設けられる導電部３２を有するダイアフラム３０と、このダイアフラム３０を保持する絶縁性の保持体２０とを備え、保持体２０の保持側端部２３に配線部２２１〜２２３を有するセンサ１は、保持体２０には、ダイアフラム３０と互いに接合される側の接合面２３に配線部２２１〜２２３と導通するとともに感応部３４を区画する導電性の接合用パターン２３１が形成され、接合用パターン２３１を挟んでダイアフラム３０と保持体２０とを接合した際に、感応部３４の変化を許容するギャップ部２６が形成されているとともに、当該接合用パターン２３１によりダイアフラム３０と配線部２２１〜２２３とが電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 発光素子の使用数量をより増加させて全体の明るさを高めたり大型表示部の明るさを十分に確保するとともに、伝送装置の性能低下を回避し、また、明るさの均一化を図る。
【解決手段】 受信部２と送信部３を二本の伝送線４ｐ，４ｎにより接続し、受信部２側に接続した電源部５から送信部３に対して給電を行うとともに、送信部３側のデータを直流電流信号Ｉｓにより受信部２に伝送する二線式信号伝送装置１を構成するに際して、送信部３に、表示部６と、この表示部６に付設し、かつ直流電流信号Ｉｓを流して点灯させる発光部７と、少なくとも発光部７に流れる直流電流信号Ｉｓを所定の周波数によりスイッチング制御する制御部８を備える。 （もっと読む）

【課題】高い精度と信頼性を確保し、耐食性に優れた歪検出器および歪検出器の製造方法を提供すること。
【解決手段】流体の圧力を測定する流体圧力センサ１は、起歪体であるダイアフラム部１２、絶縁膜であるシリコン酸化膜２１および結晶性シリコンの歪ゲージ２０を備えており、ダイアフラム部１２には機械強度と耐食性に優れたオーステナイト系の析出硬化型Ｆｅ−Ｎｉ耐熱鋼が用いられる。シリコン酸化膜２１はその内部応力を−１５０〜１３０ＭＰａに調整されて形成される。これにより、流体圧力センサ１は、高い精度と信頼性を確保し、かつ腐食性の高い流体の圧力をも計測できる。 （もっと読む）

【課題】高い精度と信頼性を確保し、耐食性に優れ、かつ安価な圧力センサを提供すること。
【解決手段】圧力センサ１は、底部が薄肉部２１０とされたダイアフラム２１と圧力導入継手１０とを備えており、ダイアフラム２１には機械強度の高いオーステナイト系の析出硬化型Ｆｅ−Ｎｉ耐熱鋼が用いられ、圧力導入継手１０には比較的安価なオーステナイト系ステンレス鋼が用いられる。ダイアフラム２１と圧力導入継手１０とは溶接により一体的に形成され、このとき溶接部のＮｉ含有量は適宜調整される。これにより圧力センサ１は高い精度と信頼性を確保することができ、圧力センサ１の製造においては高価なオーステナイト系析出硬化型Ｆｅ−Ｎｉ耐熱鋼の使用量を必要最小限に節約できる。また、オーステナイト系のステンレス鋼は耐食性に優れているため、圧力センサ１は腐食性の高い流体の圧力をも測定できる。 （もっと読む）