【課題】半導体ウエハに回路パターンを露光する際に用いられるレチクル等のマスク用基板を表裏反転できるようにして、単一の検査光学系機構で測定できるようにしつつも、マスク用基板を表裏反転させるときの回転機構及びその回転駆動系構造を簡単な構成で実現できるマスク用基板検査装置１００を提供する。
【解決手段】検査光学系機構１０１に対して相対移動可能なステージ３に姿勢調整可能に支持基体４を取り付け、この支持基体４にレチクルＷを保持する基板保持体５を反転可能に支持させる。そして、基板保持体５を、前記マスク用基板を挟圧把持する把持状態及び基板を抜き差しすることができる非把持状態のいずれかの状態をとることが可能なものとするとともに、前記基板保持体５を前記２状態のいずれかに駆動するための把持駆動機構１１を前記支持基体４側に設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに回路パターンを露光する際に用いられるレチクル等のマスク用基板における表裏面の異物等を、簡単かつ安価な構成で検査できるマスク用基板検査装置１００を提供する。
【解決手段】検査光学系機構１０１に対して相対移動可能なステージ３に姿勢調整可能に支持基体４を取り付け、この支持基体４にレチクルＷを保持する基板保持体５を回転可能に支持させる。そして、前記基板保持体５の回転角度位置を、表面に検査光が照射される表面検査角度位置、裏面に前記検査光が照射される裏面検査角度位置に保持する検査角度位置保持機構９を設けるとともに、前記基板保持体５に保持されたレチクルＷの表裏面が、基板保持体５の回転軸線Ｃと平行になるように当該基板保持体５の支持基体４に対する姿勢を調整可能な平行調整機構８を設けた。 （もっと読む）

【課題】装置構成を簡単にしつつ、遊離酸素による酸素濃度測定の測定誤差を低減し、炭化水素による窒素濃度測定の測定誤差を低減する。
【解決手段】るつぼＲに入れた試料を加熱炉１内で加熱し、当該試料内部に含まれている元素をガス成分として抽出して分析する元素分析装置１００であって、試料ガスに含まれる少なくともＣＯ_２、Ｏ_２及びＣＨ_４を還元又は分解可能なガス処理部４と、ガス処理部４を通過した試料ガスに含まれるＣＯを検出するＣＯ検出部５と、ＣＯ検出部５の下流側に設けられ、試料ガスに含まれるＣＯをＣＯ_２に酸化し、Ｈ_２をＨ_２Ｏに酸化する酸化部６と、酸化部６を通過した試料ガスからＣＯ_２を吸着除去するＣＯ_２除去部９１、及び酸化部６を通過した試料ガスからＨ_２Ｏを吸着除去するＨ_２Ｏ除去部９２を有する除去機構９と、除去機構９によりＣＯ_２及びＨ_２Ｏが除去された試料ガスに含まれるＮ_２を検出するＮ_２検出部１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ガス分析計の出力がオーバースケールした場合においても、自動的に信頼性のある分析値を確保し、測定精度の高い元素分析方法および元素分析装置を提供すること。
【解決手段】 ガス分析計の出力と時間の相関から、出力が飽和状態になったか否かを判定し、飽和状態となった時間Ｔａおよび飽和状態が解消された時間Ｔｂを認定するとともに、飽和状態になった場合、出力の立ち上り時間Ｔｕから飽和状態となるまでの時間Ｔａの出力、および飽和状態が解消された時間Ｔｂから立ち下り時間Ｔｄの出力を用いてカーブフィッティングを行い、時間Ｔａ〜Ｔｂまでの出力を補間するとともに、補間された出力を基に補間された時間帯の特定成分濃度を算出し、立ち上り時間Ｔｕから立ち下り時間Ｔｄまでの特定成分濃度を基に、特定元素の定量分析を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】データの容量を抑制した容易にユーザが参照することができる３次元画像データを生成し、直感的に装置のプロパティ情報を参照できるようにするナレッジ取得支援装置を提供する。
【解決手段】実在の装置を撮影した１又は複数の画像データ１１を記憶する画像データ記憶部１と、装置についての少なくとも線情報を具備した３次元データ２１を記憶する３次元データ記憶部２と、画像データ１１と３次元データ２１とを照合してそれらの対応関係を算定する対応関係算定部３と、対応関係に基づいて、前記３次元データ２１における各表面に画像データ１１の対応部分を貼り付け、装置についての表面画像情報を有した新たな３次元データである画像付３次元データ４１を生成する画像付３次元データ生成部４と、画像付３次元データの表面画像情報に対応付けて、表面画像情報Ｓに関するプロパティ情報を記憶するプロパティ情報記憶部５と、前記プロパティ情報を出力する出力部７と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 簡便な構成によって長時間の測定が可能な汎用性の高い可搬型の水素炎を利用した測定装置を提供する。
【解決手段】 試料中の特定成分の濃度を、水素炎を利用した検出器９を用いて連続的に測定し、電力供給手段としてバッテリーを用いる測定装置２であって、水素吸蔵合金から水素を供給する水素供給手段１１と、空気精製手段１３を介して助燃ガスを供給する助燃ガス供給手段と、前記水素を定圧化する圧力調整器７ｂと、圧力調整器７ｂを通過した水素を定流量化するキャピラリー８ｂと、前記助燃ガスを定流量化するキャピラリー８ｃと、試料を定流量化するキャピラリー８ａと、キャピラリー８ａの上流側で分岐され検出器９を経由せずに試料の一部を排出するバイパス流路と、キャピラリー８ｂ，８ｃ，８ａとこれらより下流側であり検出器９に至るまでの各流路を、検出器９とともに所定温度に温度調節する手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】より高いレベルでの有機ＥＬ素子の計測を実行することが可能な有機ＥＬ素子の計測方法を提供する。
【解決手段】発光測定手段は、有機ＥＬ素子を発光させた状態で、透光性基板側から光を照射し、試料で反射した光の偏光状態を測定する。また非発光測定手段は、有機ＥＬ素子を発光させない状態で、透光性基板側から光を照射し、試料で反射した光の偏光状態を測定する。発光算出手段はモデルを用いたフィッティングにより、発光測定手段により測定した光の偏光状態に基づき、膜の光学定数を算出する。同様に、非発光算出手段は、非発光測定手段により測定した光の偏光状態に基づき、膜の光学定数を算出する。最後に出力手段は、発光算出手段及び非発光算出手段により算出した光学定数間の差または変化率を出力する。 （もっと読む）

【課題】 試料の化合物組成をより精度良く判別するとともに、その際の使い勝手を向上することができる化合物分析装置を提供する。
【解決手段】 ＦＴＩＲ法によって試料を測定した結果にピークサーチマッチングを施してこれを分析し、当該試料を構成する化合物組成の候補を１又は複数抽出するＦＴＩＲ分析部３１と、ＸＲＦ法によって前記試料を測定した結果にピークサーチマッチングを施してこれを分析し、当該試料を構成する元素組成の候補を１又は複数抽出するＸＲＦ分析部３２と、前記ＦＴＩＲ分析部３１による候補抽出結果とＸＲＦ分析部３２による候補抽出結果とを照合し、ＦＴＩＲ分析部３１で抽出された各候補に対して試料組成としての妥当性を示す妥当性評価値をそれぞれ算出する評価部３３と、を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】より高いレベルでの有機ＥＬ素子の計測を実行することが可能な有機ＥＬ素子の計測方法を提供する。
【解決手段】封止部材で覆う前の有機ＥＬ素子を計測する。発光測定手段は、有機ＥＬ素子を発光させた状態で、透光性基板側から光を照射し、有機ＥＬ素子で反射した光の偏光状態を測定する。非発光測定手段は、有機ＥＬ素子を発光させない状態で、透光性基板側から光を照射し、有機ＥＬ素子で反射した光の偏光状態を測定する。発光算出手段は、発光測定手段により測定した光の偏光状態に基づき、膜の光学定数を算出する。非発光算出手段は非発光測定手段により測定した光の偏光状態に基づき、膜の光学定数を算出する。そして出力手段は、発光算出手段及び非発光算出手段により算出した光学定数間の差または比を出力する。 （もっと読む）

【課題】 排気ガス後処理装置用の触媒やＤＰＦのテストピースを用いて、内燃機関等の排気ガス後処理装置の性能を評価する装置または評価方法を提供すること。
【解決手段】 排気ガス流路Ｅｐに接続され、排気ガス流量測定部ＦＭと、プローブ１と、テストピースＴＰが設けられる試料ガス流路Ｌｓと、希釈ガス流路Ｌｄと、希釈ガス流量制御部ＦＣと、混合ガス流路Ｌｍと、定流量を吸引するポンプＰを有するとともに、処理対象物を測定する測定部として、ＰＭフィルタ２とＮＯｘ分析計３を設けることを特徴とする。 （もっと読む）