【課題】 ホトレジスト層を形成する面に銅が存在する支持体の上であってもレジストパターンが得られるポジ型ホトレジスト組成物、厚膜ホトレジスト積層体、厚膜レジストパターンの製造方法および接続端子の製造方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）活性光線又は放射線照射により酸を発生する化合物、（Ｂ）酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂を含有するポジ型ホトレジスト組成物であって、前記（Ａ）成分が、カチオン部にナフタレン環を有するオニウム塩（Ａ１）を含有することを特徴とする、ｇ線、ｈ線およびｉ線から選ばれる１種以上の波長の光を用いて露光するためのポジ型ホトレジスト組成物およびこれを用いた厚膜ホトレジスト積層体、厚膜レジストパターンの製造方法および接続端子の製造方法。 （もっと読む）

優れた解像性及び焦点深度幅を有するポジ型レジスト組成物、該ポジ型レジスト組成物に用いられるレジスト用樹脂、該ポジ型レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法が提供される。上記レジスト用樹脂は、（α−低級アルキル）アクリル酸エステルから誘導される構成単位（ａ）を主成分とし、この構成単位（ａ）は、酸解離性溶解抑制基を含有する（α−低級アルキル）アクリル酸エステルから誘導される構成単位（ａ１）、及びラクトン含有単環式基を含有し、この構成単位（ａ１）は、下記一般式（ａ１−１）［式中、Ｒは水素原子又は低級アルキル基、Ｒ^１１は、単環式の脂肪族炭化水素基を含有し、かつ多環式の脂肪族炭化水素基を含有しない酸解離性溶解抑制基］で表される構成単位を有する。（ａ１−１）
（もっと読む）

【課題】 解像性および形状に優れたレジストパターンを形成できるレジスト組成物、該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法、および該レジスト組成物用として好適な化合物を提供する。
【解決手段】 ２以上のフェノール性水酸基を有しかつ分子量が３００〜２５００である多価フェノール化合物（ａ）における前記フェノール性水酸基の水素原子の一部または全部が下記一般式（ｐ１）または（ｐ２）［式中、Ｒ_１およびＲ_２はそれぞれ独立に分岐状または環状のアルキル基であって、その構造中にヘテロ原子を含んでもよく；Ｒ_３は水素原子または低級アルキル基であり；ｎ’は１〜３の整数である。］で表される酸解離性溶解抑制基からなる群から選択される少なくとも１種で置換されている化合物。該化合物を含有するレジスト組成物。
（もっと読む）

【課題】 塗布性、剥離性が良好で、現像速度が大きく、現像時に未露光領域を溶出することなく、高い忠実度でパターンが形成される上に、膜厚を増大させた場合においても塗布性の低下がない厚膜形成用化学増幅型ポジ型ホトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】 支持体上に膜厚１０〜１５０μｍのホトレジスト層を形成するための、（Ａ）光酸発生剤、（Ｂ）酸の作用によりアルカリ溶液に対する溶解性が増大するアルカリ不溶性樹脂、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂及び（Ｄ）有機溶剤を含有する厚膜形成用化学増幅型ポジ型ホトレジスト組成物において、（Ｃ）成分がヒドロキシスチレン単位を少なくとも８０質量％含む共重合体又はポリヒドロキシスチレン（Ｃ−１）を含み、かつ（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計質量に対するヒドロキシスチレン単位を少なくとも８０質量％含む共重合体又はポリヒドロキシスチレン（Ｃ−１）の質量割合が０．１５を超えないものとする。 （もっと読む）

【課題】 良好な耐熱性および透明性を備えたポジ型の感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式（ａ１）で表される構成単位におけるフェノール性水酸基の水素原子の少なくとも一部がナフトキノン−１，２−ジアジド−５−（及び／又は−４−）スルホニル基で置換されている構成単位（ａ１’）を有する樹脂成分（Ａ１）を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【化１】


（上記一般式中、Ｒ^０は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ^１は単結合または炭素数１〜５のアルキレン基を表し、Ｒ^２は炭素数１〜５のアルキル基を表し、ａは１〜５の整数を表し、ｂは０または１〜４の整数を表し、ａ＋ｂは５以下である。なお、Ｒ^２が２個以上存在する場合、これらのＲ^２は相互に異なっていてもよいし同じでもよい。） （もっと読む）

【課題】 良好な感度が得られるとともに、現像後のパターンにおける耐熱性を向上させることができる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、および（Ｄ）光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、（Ｅ）オキセタン化合物および（Ｆ）エポキシ化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 アルカリ溶解性が向上するとともに、良好なコントラストが得られるネガ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）および架橋剤成分（Ｃ）を含有するネガ型レジスト組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）が、下記式
【化１】


［式中、Ｘはフッ素化されたヒドロキシアルキル基であり、ｒは０または１である。］の構成単位（ａ１）と、下記式
【化２】


［式中、Ｒ^１，Ｒ^２はそれぞれ独立して水素原子または低級アルキル基であり、Ｒ’は水素原子またはヒドロキシアルキル基であり、ｒは０または１であり、ｐは１〜３の整数である。］の構成単位（ａ２）とを含み、かつ（ａ１）と（ａ２）の合計モル数中、（ａ１）を６０〜８９モル％、（ａ２）を１１〜４０モル％含む共重合体（Ａ１）を含むことを特徴とするネガ型レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】微細なパターニングをすることが可能で、かつ十分な黒色を有するブラックマトリックスを形成できる、水現像可能な光硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】光硬化性樹脂組成物の構成成分として、（Ａ）酸化により黒色化するイオン価数が２以上の金属の粉末と、（Ｂ）（ｉ）水溶性セルロース誘導体と、（ｉｉ）光重合性単量体と、（ｉｉｉ）ヒドロキシ基を有するアクリル系樹脂と、（ｉｖ）光重合開始剤とからなる有機成分とを含有させる。前記（Ａ）酸化により黒色化するイオン価数が２以上の金属としては、銅、鉄、コバルトからなる群から選ばれる少なくとも１つが挙げられる。 （もっと読む）

【課題】 優れた耐熱性を備えた層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）、感光剤（Ｂ）を含む感光性樹脂組成物であって、前記（Ａ）成分が、下記一般式（ａ１）で表される構成単位（ａ１）を有する樹脂成分（Ａ１）を含有することを特徴とする層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。
【化１】


（上記一般式中、Ｒ^０は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ^１は単結合または炭素数１〜５のアルキレン基を表し、Ｒ^２は炭素数１〜５のアルキル基を表し、ａは１〜５の整数を表し、ｂは０または１〜４の整数を表し、ａ＋ｂは５以下である。なお、Ｒ^２が２個以上存在する場合、これらのＲ^２は相互に異なっていてもよいし同じでもよい。） （もっと読む）

【課題】 優れた耐熱性を備えたレンズ形成用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）、感光剤（Ｂ）を含む感光性樹脂組成物であって、前記（Ａ）成分が、下記一般式（ａ１）で表される構成単位（ａ１）を有する樹脂成分（Ａ１）を含有することを特徴とするレンズ形成用感光性樹脂組成物。
【化１】


（上記一般式中、Ｒ^０は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ^１は単結合または炭素数１〜５のアルキレン基を表し、Ｒ^２は炭素数１〜５のアルキル基を表し、ａは１〜５の整数を表し、ｂは０または１〜４の整数を表し、ａ＋ｂは５以下である。なお、Ｒ^２が２個以上存在する場合、これらのＲ^２は相互に異なっていてもよいし同じでもよい。） （もっと読む）