【課題】 加温器の熱を効率よく液化ガス容器に伝達することができ、大量のガスを安定して供給することが可能で、しかも、液化ガス容器の交換も容易に行うことができるガス供給装置を提供する。
【解決手段】 液化ガスを充填した液化ガス容器１１の外面を加温器１５により加温して液化ガス容器内の前記液化ガスを蒸発させて供給するガス供給装置において、前記液化ガス容器１１の外側に配置した加温器１５と液化ガス容器１１の外面との間に、高熱伝導性シリコーンゴム１６のようなシート状のゲル状物質を着脱可能に配設する。 （もっと読む）

【課題】 推定対象が及ぼす影響も考慮して推定対象の値を予測することができる異常診断装置を提供する。
【解決手段】 プラント内の測定対象を測定した測定データを履歴として記憶する測定データ記憶部を有し、プラントの異常を診断する異常診断装置における異常診断方法であって、前記プラント内の測定対象を測定した測定データを取得し、前記測定データ記憶部に記憶された測定データを読み出し、多重回帰パラメータを算出し、前記算出した多重回帰パラメータと前記取得した測定データとに基づいて、対象量の推定値を算出し、前記算出した推定値と前記取得した測定データとの差を算出し、前記算出した差を積分して積分値を算出し、算出した積分値と基準値とを比較し、積分値が基準値以上である場合に警報を出力する。 （もっと読む）

【課題】 マグネットポンプ等の、低温流体を移液する車載用のポンプに、軽量で大きなスペースを占有することなく、簡便かつ確実に乾燥空気を供給する装置及び該装置を用いた乾燥空気の供給方法を提供する。
【解決手段】 マグネットポンプ１と、このマグネットポンプ１に接続されている低温流体用配管２と、この低温流体用配管２の外表面を覆うジャケット３と、このジャケット３に接続されジャケット３内に空気を送り込む空気用配管８と、この空気用配管８に接続されたエアーポンプ４と、ジャケット３とマグネットポンプ１を接続するパージガス用配管１０とを備えるパージガス供給装置であり、ジャケット３内で、空気中の水分を凝結させて乾燥空気を生成し、この乾燥空気をマグネットポンプ１へ供給する。 （もっと読む）

【課題】 動力消費量を低減しつつ、酸素と高純窒素を効率よく併産することができる空気分離装置を提供する。
【解決手段】 圧縮、精製、冷却した原料空気を熱交換型蒸留器１５の空気蒸留通路１５ａで蒸留して窒素濃縮物と酸素富化液化空気とに分離し、窒素濃縮物を高純窒素塔１６で蒸留して高純窒素と低純液化窒素とに分離し、熱交換型蒸留器の蒸留物及び低純液化窒素を蒸留塔１８で蒸留して高純窒素と粗液化酸素とに分離し、粗液化酸素を熱交換型蒸留器１５の酸素蒸留通路１５ｂで蒸留して液化酸素を得る。 （もっと読む）

【課題】半導体処理装置のチャンバ内に付着した高誘電率酸化物からなる付着物をクリーニングする際、あるいは基板上に形成された高誘電率酸化膜をエッチングする際、付着物または高誘電率酸化膜を効率よく除去またはエッチングすることができるようにし、かつリモートプラズマ発生装置を構成する部材の劣化を抑えることができるようにする。
【解決手段】アルゴンなどの非反応性ガス、酸素などの酸素原子供給性ガスおよび窒素酸化物などの酸化性ガスの少なくとも１種をリモートプラズマ発生装置１２において活性化して、活性種を含むガスとし、このガスを三塩化ホウ素などのハロゲン系ガスとともチャンバ１に導入する。 （もっと読む）

【課題】 超低温容器の賃貸ビジネスを、ネットワークを通じて実現できるようにする容器賃貸者サーバを提供することで、凍結保存試料の流通を円滑化し、ひいてはバイオテクノロジーの発展に寄与する。
【解決手段】 ネットワークを通して試料保有者端末と相互に交信が可能な容器賃貸者サーバであって、試料保有者端末の要求に応じて試料保有者の住所欄、試料利用者の住所欄、容器欄を含む超低温容器賃貸画面情報を送信する手段と、試料保有者端末から送信される超低温容器賃貸画面に入力された試料保有者の住所情報および試料利用者の住所情報を入力して、これらの情報に基づいて容器搬送情報を表示手段に出力する搬送情報出力手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】窒化物半導体を製造する際、半導体製造装置を構成する各種部品が上記汚染物で汚染された場合に、この汚染部品を部品の損傷を来すことなく、しかも作業者が安全に作業することができる洗浄方法および清浄装置を得る。
【解決手段】半導体製造装置内の汚染された部品を取り外して反応室１内に収め、反応室１を密閉する。ヒーター４を作動させて反応室１内の汚染部品を５００〜１０００℃の温度に加熱した後、洗浄ガス導入管２から塩素系ガスと希釈ガスからなる洗浄ガスを反応室１内に導入する。汚染物が洗浄ガスに含まれる塩素系ガスと反応し、反応物が揮発ガスとなり、洗浄ガスに同伴されて揮発ガス排出管３から排出される。 （もっと読む）

【課題】 ＰＦＣの再結合を防止して、高いＰＦＣ除去率を達成できると共に、励起部下段での配管詰りや機器故障などのトラブルを防止した排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】 半導体製造装置１から排出される排ガスに含まれる有害ガス成分を除去する装置であって、有害ガス成分の一部を除去する反応除去部Ａ４１と、有害ガス成分の残部を活性化させる励起部４２と、励起部４２で活性化された有害ガス成分を除去する反応除去部Ｂ４３と、半導体製造装置１及び励起部４２を減圧するための排気ポンプ３，４４をそれぞれ備えた排ガス処理装置１０を用いる。 （もっと読む）

【課題】溶接部などの被冷却物を効率よく冷却することのできる冷却剤、冷却方法および冷却剤供給装置を得る。
【解決手段】ボンベ１に液化二酸化炭素と添加剤とを含む冷却剤を収容し、この冷却剤をホース２からノズル３に送り、ノズル３においてこの冷却剤を断熱膨張させてドライアイスと添加剤とが混じったシャーベットとし、これを被冷却物４に吹き付ける。添加剤には、ドライアイスの昇華温度付近で液状を保つもの、例えばフルオロエーテル類などが用いられる。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い断熱層を備え、大容量化が容易および設置が容易、かつ、狭い敷地に設置が可能な低温液化ガス貯槽を提供する。
【解決手段】 下断熱貯槽１２とこの上に積み重ねられた上断熱貯槽１１を備え、下断熱貯槽１２は下内槽１６とこれを下断熱層１２Ａを介して収容した下外槽１５からなり、上断熱貯槽１１は上内槽１４とこれを上断熱層１１Ａを介して収容した上外槽１３からなり、下断熱貯槽１２と上断熱貯槽１１が、下外槽１５と上外槽１３にて一体に接続され、かつ、下内槽１６と上内槽１４が配管を介して接続されている低温液化ガス貯槽１０を提供する。 （もっと読む）