【目的】良好な生成品質のカーボンナノ構造物の連続生産を行うことのできるカーボンナノ構造物の仕切構造式製造装置を提供することを目的とする。
【構成】 反応炉１の一端の開口側には原料ガス流入口３と、キャリアガス流入口４が設けられている。触媒基体は反応炉１の加熱領域に導入される。原料ガスから分解する分解ガスが原料ガス流入口３側に逆流するのを防止する仕切部材５が原料ガス流入口３側に設けられており、その断熱効果により原料ガスや分解ガス等の原料ガス流入口側への逆流を抑制し、良質のカーボンナノ構造物の連続生産を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 真空容器でのプラズマの生成に供する電極の信頼性を確保すると共に、地球温暖化係数の高いガスの排出を確実に防止すること。
【解決手段】 真空容器１１内で基板１２に成膜等を行う真空処理装置（プラズマＣＶＤ装置）１０のクリーニング方法において、非反応性ガス（不活性ガス）を真空容器１１とは別に設けられたガス分解装置２４に導入して非反応性ガスによるプラズマを生成する工程と、前記非反応性ガスによるプラズマが生成されたガス分解装置２４内に反応性ガス（三フッ化窒素ＮＦ_３）を導入し解離し活性種（原子状フッ素Ｆ）を生成する工程とを有し、前記活性種（原子状フッ素Ｆ）を真空容器１１に導入してクリーニングを行う。 （もっと読む）

【課題】 高圧ガス配管と、これに接続される弁類との間に設け、高圧ガス配管から弁類に流れる、高圧ガスの流量を減少させることで、弁類内のガス温度の上昇を緩和させる、ガス温度上昇低減装置を提供する。
【解決手段】 本体１０は、内径の異なる四つのガス流路１２，１３，８，１１を備え、第二のガス流路１３の内部には可動部材としてのボール５を収め、第三のガス流路８の内部にはボール５を付勢するコイルスプリング６を収め、本体１０の第三のガス流路８に相当する部分の内壁に、副流路７を形成する。副流路７は第二のガス流路１３と第四のガス流路１１とに連通しており、ガスはここを通過して開閉弁１に徐々に流入するため、開閉弁１内でのガスの温度上昇が緩和される。 （もっと読む）

【課題】 高圧ガス配管と、これに接続される弁類との間に設け、高圧ガス配管から弁類に流れる、高圧ガスの圧力を制御して、弁類内のガス温度の上昇を緩和させる、昇温低減装置を提供する。
【解決手段】 高圧ガス配管より開閉弁１へ高圧ガスを導通するガス流路を設けた、中空筒体の昇温低減装置４であって、該ガス流路は、円筒形状の第一のガス流路５、第二のガス流路６および第三のガス流路７が順次連結した構造からなる。第二のガス流路６の断面積を、高圧ガス配管のガス流路の断面積よりも大きくし、第二のガス流路６内で高圧ガスを断熱膨張させることで、開閉弁１へ流入するガスの温度を低下させて、開閉弁１内でのガスの温度上昇を緩和させる。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＯＣ膜などのシリコン系の低誘電率膜がプラズマ処理に伴って受けたダメージを回復する方法を得ることにある。
【解決手段】ダメージを受けたシリコン系の低誘電率膜に対して、シリコン化合物またはハイドロカーボンからなる回復剤を液状または気体状で接触させる。接触を加熱下で行うことあるいは接触をプラズマ雰囲気下で行うことが好ましい。回復剤には、例えばＳｉＨ_４，Ｓｉ_２Ｈ_６、ＣＨ_４，Ｃ_２Ｈ_６，Ｃ_３Ｈ_８，が用いられる。 （もっと読む）

【課題】 フィードアルゴンのような２種類のガスを主成分とした混合ガス中に含まれる不純物の濃度を、より簡単な構成の装置によって、リアルタイムかつ連続的に、しかも正確に測定する。
【解決手段】 本発明の分析装置は、一対の放電電極１３，１４を備えた放電管１２と、２種類のガスを主成分とした混合ガスを放電管内に導入する経路１６に設けられたオリフィス１７と、放電管内のガスを一定の体積流量で排気する真空ポンプ１９と、放電によって生じた光から測定対象となる不純物に特有の光の波長を抽出する干渉フィルター２１と、干渉フィルターで抽出した光の発光強度を測定する光検出器２２と、放電管内の圧力を測定する圧力計２０と、光検出器からの光強度信号を圧力測定手段からの圧力信号により補正して混合ガス中の不純物濃度を算出する演算器２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】マグネシウムを溶解し溶湯とする溶解炉において、溶湯の燃焼を速やかにかつ確実に検出し、この結果に基づいて速やかに警報を発し、かつ消火ができるようにする。
【解決手段】マグネシウムを溶解して溶湯とする溶解炉１と、この溶解炉１内に二酸化炭素と防燃剤を含むカバーガスを供給するカバーガス供給部７、８、９と、上記溶解炉１内の気体中のＣＯ濃度を測定するＣＯ濃度計５と、このＣＯ濃度計からの一酸化炭素濃度に基づいてカバーガス中への防燃剤の供給量を調節する制御部６を備え、溶解炉１内の気体中のＣＯ濃度を測定し、このＣＯ濃度により、溶解炉１内でのマグネシウムの燃焼の有無を検知し、マグネシウムの燃焼が認められた時に、カバーガス中の防燃剤濃度を高めて、マグネシウムの燃焼を消火する。また、制御部６からマグネシウムの燃焼を示す警報を表示部１３に送る。 （もっと読む）

カーボンナノコイルの先端に付着した触媒核の構造を決定することによって真のカーボンナノコイル製造用触媒を特定して高効率にカーボンナノコイルを製造する方法を実現する。 本発明に係るカーボンナノコイル製造用触媒は、少なくとも（遷移金属元素、Ｉｎ、Ｃ）又は（遷移金属元素、Ｓｎ、Ｃ）の元素を含有した炭化物触媒であり、特に遷移金属元素としてＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉが好適である。また、この炭化物触媒以外に（Ｆｅ、Ａｌ、Ｓｎ）、（Ｆｅ、Ｃｒ、Ｓｎ）の金属触媒も有効である。この中でも、Ｆｅ_３ＩｎＣ_０．５、Ｆｅ_３ＩｎＣ_０．５Ｓｎ_ｗ、Ｆｅ_３ＳｎＣなどの触媒が更に好適である。これらの触媒を多孔性担体に担持させた触媒は線径、コイル径を制御することができる。
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【課題】突き合わせ部における鋼板の隙間が大きい場合でも溶接不良を防ぐことができ、かつ溶接部の成形性を高めることができるレーザ溶接方法および複合板材を得る。
【解決手段】鋼板をプレス成形に先立ってレーザ溶接により突き合わせ溶接する際、アルゴン、ヘリウムおよび窒素の１種以上と２０〜５０ｖｏｌ％の炭酸ガスを含む混合ガスをシールドガスとして用い、鋼板間の隙間を０．２５ｍｍ以下とする。アルゴン、ヘリウムおよび窒素の１種以上と１０〜４０ｖｏｌ％の炭酸ガスと酸素１〜５ｖｏｌ％を含む混合ガスをシールドガスとして用いてもよい。 （もっと読む）

本発明は、タンパク質立体構造解析のためのＮＭＲ測定試料となる同位体標識タンパク質を安価にかつ迅速に製造する方法を提供することを目的する。 本発明は、無細胞タンパク質合成系においてアラニン、アルギニン、アスパラギン酸、システイン、グルタミン酸、グリシン、ヒスチジン、イソロイシン、ロイシン、リジン、メチオニン、フェニルアラニン、プロリン、セリン、トレオニン、トリプトファン、チロシン、バリン、アスパラギン、及びグルタミンから成る群から選択されるアミノ酸を多くとも１９種類含むアミノ酸混合物を基質として用いてタンパク質を合成することを特徴とするタンパク質の製造方法である。
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