【課題】気相成長装置および排ガス除害装置を通常運転から省エネルギー運転に切り替える際に、排ガス除害装置から排気ガスが気相成長装置に逆流しないようにし、気相成長装置に悪影響を与えないようにする。
【解決手段】ＭＯＣＶＤ装置１を通常運転から省エネルギー運転に切り替える際、排ガス除害装置３の送風機７の回転数を徐々にかつ連続的に下げる。好ましくは、送風機７の回転数を１〜５分間かけて徐々にかつ連続的に、その回転数を３分の１ないし５分の１以下に下げる。 （もっと読む）

【課題】水素ガスを充填する際，充填開始時初期の急激な圧力上昇をおさえ，ノズルと充填口周辺に生じる衝撃を緩和したガス供給装置およびガス供給方法を提供すること。
【解決手段】本発明のガス供給装置は，蓄ガス器ユニット１１と，蓄ガス器ユニット１１に貯蔵されたガスを自動車タンク４へ供給する供給ライン３５とを有するものであって，供給ライン３５に設けられた流量制御弁３１と，供給ライン３５における流量制御弁３１より下流の位置に設けられたガス開閉弁３３と，供給ライン３５における流量制御弁３１より下流の位置と蓄ガス器ユニット１１の上流側の位置とを結ぶ回収ライン４２と，回収ライン４２に設けられたガス開閉弁４１と，ガス開閉弁３３，４１の開閉を制御する制御装置３６とを有し，制御装置３６は，供給ライン３５による自動車タンク４へのガス供給の前または後に，ガス開閉弁３３，４１を開いて供給ライン３５を掃気する。 （もっと読む）

【課題】 製品窒素を効率よく供給できる窒素製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】 原料空気を０．８〜１．１ＭＰａの圧力で低温蒸留する第１分離工程と、第１分離工程で分離した第１窒素ガスと第１酸素富化液化流体とを間接熱交換させて第１液化窒素と第１酸素富化ガス流体を得る第１間接熱交換工程と、第１酸素富化ガス流体を低温蒸留する第２分離工程と、第２分離工程で分離した第２窒素ガスと第２酸素富化液化流体とを間接熱交換させて第２液化窒素と第２酸素富化ガス流体を得る第２間接熱交換工程と、第２酸素富化ガス流体を断熱膨張させて寒冷を発生させる寒冷発生工程と、第１窒素ガスの一部を第１製品窒素ガスとして導出する第１製品回収工程と、第２窒素ガスの一部を熱回収後に第２製品窒素ガスとして導出する第２製品回収工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 パーフルオロコンパウンドなどの有害成分含有ガスを高い分解率で処理するとともに、窒素酸化物などの副生成物の発生を抑制することができる有害成分含有ガスの処理方法を提供する。
【解決手段】 有害成分含有ガスを、反応性ガスの共存下、プラズマ１００により分解する有害成分含有ガスの処理方法において、前記反応性ガスとして水素と酸素との混合物を用いるとともに、前記酸素に対する前記水素の添加割合が２．０以上に設定する。 （もっと読む）

【課題】 制御系を含めたシミュレーションが可能であって、設定項目が少なく、汎用性の高い故障予測システムのロジックに基づいて故障予測を行う。
【解決手段】 空気を圧縮機１１で圧縮した後二酸化炭素や水分をＭＳ吸着器１２によって除去する。圧縮空気を主熱交換器１３で冷却・液化し、精留塔１４で窒素、酸素、アルゴンなどに分離し、高純度の窒素を製品回収系統３へ送出する。制御系統は、系統毎に制御ループで結ばれた制御系だけではなく、互いに外乱として影響を及ぼしあう制御系を組み合わせてシステム同定し、一つのＡＲＸモデルを形成している。蒸留分離系統２の液体窒素注入弁ＬＶ３５０１が詰まり、正常に精留塔１４へ液体窒素の注入ができない場合でも容易に故障予測を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】不純物含有アルゴンガスを精製する際、装置構成を簡略化でき、設備費用、運転費用を低減することができる精製方法および精製装置を得る。
【解決手段】一酸化炭素、水素、酸素、窒素を不純物として含む不純物含有アルゴンガス中の一酸化炭素および水素を酸素と反応させて二酸化炭素と水に変換する触媒筒７と、この触媒筒７で生成したガス中の水を除去する第１吸着層と、この第１吸着層からのガス中の二酸化炭素を除去する第２吸着層と、この第２吸着層からのガス中の一酸化炭素と窒素を除去する第３吸着層とが同一筒内に設けられた吸着筒９ａ、９ｂを用い、第１ないし第３吸着層での吸着温度、再生温度を同一として、不純物含有アルゴンガスを精製する。 （もっと読む）

【課題】 金属Ni及び／又はCoを低コストで連続的に生産性高く回収することのできる回収方法を提供する。
【解決手段】燃料に対する酸素の比率が化学量論比未満の条件の下で、該燃料を酸素バーナで燃焼させて還元雰囲気を生成せしめ、その火炎中に、Ni及び／又はCo化合物を含む原料粉体１０を供給して火炎中でNi及び／又はCo化合物を選択的に還元して微粒金属Ni及び／又はCoを粉体１０中に析出させるとともに続いて火炎の熱で溶融凝集させて周囲の酸化物から遊離し、独立した金属粒子１４として、その後火炎で処理した後の粉体１０を冷却して溶融金属Ni及び／又はCoを粉体１０中で粒状に固化させた上で、粉体１０中の他のものから分離し回収する。 （もっと読む）

【課題】常温常圧の温和な処理条件で分解処理操作が行え、特殊な反応剤を用いる必要がなく、効率よくフッ素化合物を分解処理できるフッ素化合物含有排ガスの処理方法を得る。
【解決手段】半導体製造設備１などからのフッ素化合物を含む排ガスを、リアクター７に送り込む。リアクター７内には、リン酸アルミニウム、リン酸ホウ素、酸化チタン、酸化ケイ素などの触媒８が充填されている。リアクター７の内部に沿面放電、無声放電などによって低温プラズマを発生させ、排ガス中のＣＦ_４などのフッ素化合物を低温プラズマと触媒８の作用により分解する。 （もっと読む）

【課題】 ガス導入部の温度上昇を抑えて原料ガスを熱分解させずに基板上に安定した状態で供給することができる気相成長装置を提供する。
【解決手段】 円盤状の基板保持台１１と、該基板保持台に対向配置されて基板保持台との間に偏平円筒状の反応室１３を形成する隔壁１２と、該隔壁の中央部に設けられたガス導入部１５と、前記反応室の外周に設けられたガス導出部１６と、前記基板保持台の同一円周上に配設された複数の基板保持部１９と、該基板保持部に保持した基板１８を加熱するヒーター２１とを備えた気相成長装置において、前記基板保持台の中央部に冷却手段１７を設ける。 （もっと読む）

【課題】 パーフルオロメタンなどのプラズマ分解が困難な有害成分含有ガスに対して良好な処理効率を示す有害成分含有ガスの処理方法および処理装置を提供する。
【解決手段】 有害成分含有ガスを、反応性ガスの共存下、プラズマ１００により分解する有害成分含有ガスの処理方法であって、前記有害成分含有ガス中におけるパーフルオロメタンの有無により、前記プラズマ１００を発生させるマイクロ波の電力を調節することを特徴とする有害成分含有ガスの処理方法を用いる。 （もっと読む）