【課題】測定精度の向上、測定可能時間を増加できるとともに、サンプルの形状や寸法、サンプル材質に関して制約のない損失測定装置及び方法を提案する。
【解決手段】内部にサンプルを収容した非金属製の容器の内側、あるいは外側、又は内側と外側の両側に冷媒を貯え、サンプルに発生した熱によって前記容器の内部の冷媒を気化させてガスを発生させ、前記発生させたガス量を計測してサンプルの熱損失を測定する装置であって、前記容器に断熱手段が備えられ、かつ前記容器の内部にヒーターが設けられていることを特徴とする交流損失測定装置である。 （もっと読む）

【課題】 サセプタの温度分布を低減し、ウェハの膜厚や発光波長の基板内分布が改善された横型気相成長装置を提供する。
【解決手段】 誘導加熱型のサセプタ上に載置した基板の基板面に対して平行に原料ガスを流して基板表面に結晶を成長させる横型気相成長装置であって、前記サセプタは、前記基板を載置する面と反対の面の中央部であって、前記基板を載置する面に垂直方向に熱電対が挿入されるための熱電対用穴を有し、かつ、前記基板を載置する面と反対の面の中央部に窪みを有する気相成長装置である。 （もっと読む）

【課題】 比誘電率（ｋ）が２．６以下であって、ヤング率の大きい層間絶縁膜及び比誘電率（ｋ）が４．０以下であって、銅の拡散を防止できる銅配線用拡散防止膜とそのソース材料並びにこれらの膜の形成方法と膜形成用プラズマＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】 下記一般式（１）において、少なくとも１つ以上の水素原子が重水素原子で置換された化合物からなることを特徴とする低誘電率層間絶縁膜又は銅配線用拡散防止膜形成用ソース材料。
【化１】


（式中、Ｒ^１は、メチル基を表し、Ｒ^２〜Ｒ^４は、それぞれ独立的に、水素原子、フッ素原子、メチル基、又はメトキシ基を表す。）：低誘電率層間絶縁膜：銅配線用拡散防止膜：膜形成方法：膜形成用プラズマＣＶＤ装置。 （もっと読む）

【課題】 硝酸アンモニウムの生成要因となるアンモニア及び窒素酸化物の少なくともいずれか一方を簡単な処理で除去することにより、配管中での硝酸アンモニウムの生成を防止することができるガス処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】 不純物としてアンモニアと窒素酸化物とを含む排ガスを処理する方法において、脱硝触媒によりアンモニアと窒素酸化物とを反応させ、アンモニア及び窒素酸化物を窒素及び水蒸気に転化させる触媒反応工程を行うことにより、アンモニア及び窒素酸化物の少なくともいずれか一方を排ガス中から除去する。 （もっと読む）

【目的】基板等を良好且つ効果的に洗浄しうる洗浄材を製造する方法を提供する。
【構成】 洗浄材製造容器５の一端部に形成した過冷却液噴出口６２から、水若しくは水とこれより凝固点の低い有機化合物液との混合液である原料液を過冷却状態に冷却してなる過冷却液１ｃを、洗浄材製造容器５内へと噴出させることにより、洗浄材製造容器５内に過冷却液１ｃの乱流領域５３を形成し、過冷却液噴出口６２から噴出された過冷却液１ｃの一部を、洗浄材製造容器５内に発生させた種氷９３ａと接触させることにより、氷粒子に相変化させると共に、乱流領域５３で乱流攪拌することで氷粒子を成長させ、氷粒子と液体とが混在する固液共存のシャーベット状をなす洗浄材１を得るようにし、かくして得られた洗浄材１を洗浄材製造容器５からその他端部に接続した洗浄材供給路７へと流出させるようにする。 （もっと読む）

強い相互作用にて互いに引き合った状態の複数の炭素系微細構造物が集合した集合体であって、その取り扱い性や加工性を向上させることができる程度の長さの集合体を提供する。本発明の炭素系微細構造物の集合体は、複数の炭素系微細構造物が集合したものであり、各炭素系微細構造物が同一方向に配向している。 （もっと読む）

この発明の排ガス処理方法では、半導体装置の製造設備内で励起状態にある排ガスを処理部のプラズマ処理部に減圧下で導入し、プラズマ処理部で発生しているプラズマによって励起状態を維持したまま、反応除去部の反応器に導入し、反応器に充填されている粒状酸化カルシウムからなる反応除去剤と反応させて排ガス中の有害ガス成分を除去する。プラズマ処理部に酸素を供給してプラズマの存在下、有害ガス成分を酸化分解したうえ、反応除去剤と反応させてもよい。 （もっと読む）

本発明の排ガス処理剤は、粒状で、多孔質であり、その表面の一部が水酸化カルシウムとなっている酸化カルシウムからなる排ガス処理剤である。表面積が１ｍ^２／ｇ以上であり、空間率が１０〜５０体積％であることが好ましい。この酸化カルシウムは、粒状の炭酸カルシウムを焼成して得られたものであり、半導体製造装置から排出される排ガスを気体状のまま、この排ガス処理剤に接触させて有害ガス成分を反応させて除去する。 （もっと読む）

【課題】 常温で長期保存が可能であり、しかも、喫食時における食味や食感等が炊き立ての米飯と同等の品質を得ることができる長期保存可能が米飯の製造方法及び包装米飯を提供する。
【解決手段】 洗米した米をアジピン酸含有浸漬水に浸漬した後、該浸漬水を水切りした浸漬米を水洗し、該水洗した米を容器に充填するとともに炊き水を加えて加熱処理する。 （もっと読む）

【課題】 窒素よりも酸素の平衡吸着量が多い特異な吸着特性を有する吸着剤として使用される層状化合物とその製造方法の提供を目的としている。
【解決手段】 本発明は層状ケイ酸塩の層間に三核酢酸金属イオンをイオン交換反応で挿入し、ついで層状ケイ酸塩の層間に金属酸化物架橋が形成されるように加熱処理することを特徴とする層状化合物の製造方法である。また本発明は該方法によって製造される層状化合物であって、酸素を窒素よりも多く吸着することを特徴とする層状化合物である。 （もっと読む）