【課題】ステンレス鋼配管における接合部の内面にデッドスペースが生じることがなく、しかもヒュームに基づく金属微粒子による汚染が極めて少く、供給するガスが不純物で汚染されることがなく、接合部の耐食性が極めて良好なステンレス鋼配管を得る。
【解決手段】接合すべきステンレス鋼管の端部を突合わせて、管内をバックシールドガス雰囲気下、又は真空環境下として溶接して接合する際、管の壁の外側部分のみを溶融して溶融接合部Ｗを形成して接合する。バックシールドガス雰囲気下、又は真空環境下での酸化性ガスの含有量が１０ｐｐｍ以下とし、鋼管の端部の表面粗さを３０μｍ以下とすることが好ましい。鋼管の肉厚ｔが１ｍｍを越える場合、溶融接合部の溶け込み深さｔｗを、ｔ−０．７≦ｔｗ＜ｔ（ｍｍ）とし、肉厚ｔが１ｍｍ以下の場合、溶融接合部の溶け込み深さｔｗを、ｔ＞ｔｗ≧０.３ｔ（ｍｍ）とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 地震が発生しても、多数本のガス容器を転倒させることなく安定に固定するとともに、チェーン３を安定に係止することができるガス容器固定器具を提供する。
【解決手段】 保管区画内に置かれたガス容器の転倒を防止するためのガス容器固定器具であって、保管区画に立てられる４本の緊縛支柱１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄと、これら緊縛支柱１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの間に渡される少なくとも３個の緊縛桁２ａ，２ｂ，２ｃと、これら緊縛桁２ａ，２ｂ，２ｃの内、互いに隣接しない緊縛桁２ａ，２ｃの間に架け渡されるチェーン３と、このチェーン３の端部を係止するために、前記緊縛桁２ａ，２ｃに取り付けられた複数の係止部４，４，…とからなるガス容器固定器具を用いる。 （もっと読む）

【課題】 広範囲な流量に対して安定したガス圧力が得られ、しかもよりコンパクトな形状の圧力調整器を提供する。
【解決手段】 弁座を閉塞・離反させるポペットが連結されたダイヤフラムを使用した直動式の第１段減圧装置と第２段減圧装置を、直列に結合した二段式の圧力調整器であって、ダイヤフラム裏側のダイヤフラムを調整するロードスプリングを収容した調整バネ室を真空に保ち、減圧された低圧ガスの流路を調整バネ室とハウジングの間に設ける構造にする。 （もっと読む）

【課題】地球温暖化能（ＧＷＰ）の高いガスの使用量を削減し、クリーニング効果を損なうことなく、ガスコストの低減も図れるチャンバーのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】六フッ化プロペン、三フッ化窒素及び酸素を含み、前記三フッ化窒素量に対する前記六フッ化プロペン量を三フッ化窒素の１に対して０．２５〜２の範囲とし、前記六フッ化プロペン量に対する前記酸素量を六フッ化プロペンの１に対して３〜６の範囲とした混合ガスをチャンバー１１内に導入し、該チャンバー１１内でプラズマ化させる。 （もっと読む）

【課題】 基板を効率よく均一に加熱でき、膜質、膜厚の再現性が良好で、ランプやヒーター、サセプタの寿命及びメンテナンス周期の長期化が図れ、さらに、各種基板への対応も容易な基板支持構造を有する気相成長装置を提供する。
【解決手段】 平滑面で形成したサセプタ１１の表面に、該サセプタ１１にて支持する基板１７の外径に対応した基板保持用切欠孔１９を有するとともに、前記基板１７の厚さに対応した厚さを有する基板保持部材１８を設置する。 （もっと読む）

【課題】燃料ガスとして、水素ガスまたは圧縮天然ガスを自動車に供給する際、設定圧力の通りに作動する過充てん防止弁を備えた燃料充てん装置を提供する。
【解決手段】燃料ガス流路２１と、弁体３０によって燃料ガス流路２１を開閉する弁部２２と、燃料ガスの充てん圧力に基づいて弁体３０を変位させる弁体変位手段２３と、この弁体変位手段２３の温度を調整する温度調整部２４とを備えてた過充てん防止弁２０を設ける。このような燃料充てん装置１によれば、燃料ガスの温度と過充てん防止弁２０の作動温度との差が大きい場合でも、温度調整部２４により弁体変位手段２３の温度が設定温度範囲に維持される。従って、過充てん防止弁２０が設定圧力の通りに確実に作動するようになる。
このような燃料充てん装置１においては、燃料ガス供給経路３に、燃料ガスを冷却する熱交換器を設けることができる。
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【課題】 ガラス製造炉６０の原料として好適なガラスを回収でき、また、ガラス回収装置の運転を容易にするガラス回収方法、ガラス回収装置、およびガラス製造炉６０を提供する。
【解決手段】 ガラス繊維を有機物で被覆してなるガラス繊維廃材の粉砕物からのガラス回収方法であって、前記ガラス繊維廃材を、ガラス回収装置の処理炉２０内で燃焼させて前記ガラス繊維を溶融して前記処理炉２０の内壁の付着部２２ａに付着させ、該付着部２２ａに付着したガラスを溶融状態のまま流下もしくは滴下させて回収する。 （もっと読む）

【課題】 六フッ化プロペンに混合するガスの種類及び混合比の最適化を図り、さらに、クリーニング処理における最適条件を見出すことにより、短時間で効率よくチャンバー内をクリーニングすることができるチャンバーのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】 六フッ化プロペンを１５〜２５％含む酸素との混合ガスをチャンバー内に導入し、該チャンバー内でプラズマ化させる。また、チャンバー内における前記混合ガスの圧力を５３０〜９３３Ｐａとして行う高圧クリーニング工程を行う。 （もっと読む）

【課題】 フローライナーとサセプタとの間から気相原料が漏洩することを抑制でき、サセプタやヒーターへの反応生成物や分解生成物の付着を防止でき、これらの交換時期の延長、装置寿命の延長が図れる気相成長装置を提供する。
【解決手段】 サセプタ１１の外周部、ヒーター１３の外周部及びリフレクター１４の外周部の少なくともいずれか一箇所に、フローライナー１７の壁部外面からサセプタ１１の回転軸（サセプタ支持軸１２）に平行な方向に延出するガス漏れ抑制板２１を設ける。 （もっと読む）

【課題】 生体内外に関わらず、ＲＮＡの立体構造を安定化させるＲＮＡ安定化剤およびＲＮＡ安定化方法を提供する。また、生体内外に関わらず、ＲＮＡとＲＮＡとの結合能を有する分子とからなる複合体を安定化させる複合体安定化方法を提供する。さらに、ＲＮＡを生体内において追跡可能なＲＮＡトレーサーおよびＲＮＡ追跡方法を提供する。
【解決手段】 ４級ポリアミンを有効成分とするＲＮＡ安定化剤を、ＲＮＡおよび複合体に結合させる。また、４級ポリアミンを安定同位体元素により標識したＲＮＡトレーサーをＲＮＡに結合させて、このＲＮＡトレーサーを検出する。 （もっと読む）