説明

エイゼット・エレクトロニック・マテリアルズ・ユーエスエイ・コーポレイションにより出願された特許

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光活性化合物

本発明は、フォトレジスト組成物の調合に使用することができる新規の光活性化合物に関する。 （もっと読む）

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