反射防止コーティング材及びそれの関連するポリマーが開示される。
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本発明は、フォトレジストパターンをコーティングするための水性コーティング組成物であって、アルキルアミノ基を有する少なくとも一つの単位を含むポリマーを含み、前記単位は以下の構造（１）


［式中、Ｒ_１〜Ｒ_５は独立して水素及びＣ_１〜Ｃ_６アルキルから選択され、そしてＷはＣ_１〜Ｃ_６アルキルである］
を有する、前記組成物に関する。本発明は、更に、本発明の組成物を用いてフォトレジスト層に画像形成する方法にも関する。
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本発明は、ポリマー、架橋剤、および熱酸発生剤を含み、前記ポリマーが、構造（１）の少なくとも１つの単位、構造（２）の少なくとも１つの単位、および構造（３）の少なくとも１つの単位を含む、反射防止コーティング組成物であって、但しＲ_１からＲ_９は独立して、ＨおよびＣ_１〜Ｃ_６アルキルから選択され、Ｒ’およびＲ”は独立して、ＨおよびＣ_１〜Ｃ_６アルキルから選択され、ＸはＣ_１〜Ｃ_６アルキレンであり、ＹはＣ_１〜Ｃ_６アルキレンである組成物に関する。本発明はさらに、該反射防止コーティング組成物上にコーティングされたフォトレジストに画像形成するための方法に関する。

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ａ）第一のフォトレジスト組成物から基材上に第一のフォトレジストの層を形成し； ｂ）第一のフォトレジストを像様露光し； ｃ）第一のフォトレジストを現像して第一のフォトレジストパターンを形成し； ｄ）第一のフォトレジストパターンを、少なくとも二つのアミノ（ＮＨ_２）基を含む硬化性化合物で処理して、硬化された第一のフォトレジストパターンを形成し； ｅ）硬化された第一のフォトレジストパターンを含む基材の領域上に、第二のフォトレジスト組成物から第二のフォトレジスト層を形成し； ｆ）第二のフォトレジストをフラッド露光し、ｇ）フラッド露光された第二のフォトレジストを現像して、増大された寸法及び減少された空間を有するフォトレジストパターンを形成することを含む、デバイス上にフォトレジストパターンを形成する方法。
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ａ） 第一のフォトレジスト組成物から基材上に第一のフォトレジストの層を形成し； ｂ） 第一のフォトレジストを像様露光し； ｃ） 第一のフォトレジストを現像して第一のフォトレジストパターンを形成し； ｄ） 第一のフォトレジストパターンを、少なくとも二つのアミノ（ＮＨ_２）基を含む硬化性化合物で処理して、硬化された第一のフォトレジストパターンを形成し； ｅ） 硬化された第一のフォトレジストパターンを含む基材の領域上に、第二のフォトレジスト組成物から第二のフォトレジスト層を形成し； ｆ） 第二のフォトレジストを像様露光し、ｇ） 像様露光された第二のフォトレジストを現像して、第一のフォトレジストパターン間に第二のフォトレジストパターンを形成し、それによって二重フォトレジストパターンを供することを含む、デバイス上にフォトレジストパターンを形成する方法。 （もっと読む）

本発明の方法は、ａ） 反射防止膜組成物から反射防止膜フィルムを形成し、ここで該組成物はシロキサンポリマーを含み、ｂ） 反射防止フィルムを水性アルカリ性処理液で処理し、ｃ） 処理された反射防止フィルムを水性リンス液で濯ぎ、ｄ） 前記反射防止膜組成物のフィルムの上にフォトレジストの被膜を形成し、ｅ） フォトレジストフィルムを像様露光し、及びｆ） フォトレジストを水性アルカリ性現像液で現像することを含む、反射防止膜フィルム上にコートされたフォトレジストに像を形成する方法に関する。 （もっと読む）

第一の層、第二の層、場合により及び第三の層を少なくとも系内に含む多層系であって、前記第一の層は光酸発生剤を含み、この光酸発生剤は第二の層及び第三の層の溶剤中に実質的に不溶性である。現像可能なポジ型及びネガ型底面反射防止膜用コーティング組成物、並びに基材、前記反射防止膜用コーティング組成物の層、及びポジ型もしくはネガ型フォトレジストを含む被覆された基材。画像を形成する方法。次式の化合物。

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本発明は、厚膜の像形成に特に有用な、感光性フォトレジスト組成物に関する。樹脂バインダーを含むフォトレジスト組成物が提供される。 （もっと読む）

（ｉ）（１）〜（７）から選択される２つ以上の繰返し単位（式中、Ｒ_６１、Ｒ_６２、Ｒ_６３およびＲｅｓのそれぞれは、水素またはＣ_１〜４アルキルから個別に選択され、Ｒ_６４はＣ_１〜４アルキルである）、および（ｉｉ）（８）〜（１９）から選択される少なくとも１つの追加の繰返し単位（式中、各Ｒ_６１、Ｒ_６２、Ｒ_６３、Ｒ_６４およびＲ_６５は、水素またはＣ_１〜４アルキルから個別に選択され、ｎは０〜３の数である）を含むポリマーは、フォトレジスト組成物の成分として有用である。



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高いｎ値を有する膜を形成する反射防止コーティング組成物が記載される。 （もっと読む）